RU2628503C2 - Способ и устройство для выполнения отверстий в детали при помощи лазерных импульсов - Google Patents

Способ и устройство для выполнения отверстий в детали при помощи лазерных импульсов Download PDF

Info

Publication number
RU2628503C2
RU2628503C2 RU2014153930A RU2014153930A RU2628503C2 RU 2628503 C2 RU2628503 C2 RU 2628503C2 RU 2014153930 A RU2014153930 A RU 2014153930A RU 2014153930 A RU2014153930 A RU 2014153930A RU 2628503 C2 RU2628503 C2 RU 2628503C2
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
resonator
holes
temperature
laser
laser generator
Prior art date
Application number
RU2014153930A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2014153930A (ru
Inventor
МЕР Ив ЛЕ
Жан-Батист МОТТЕН
Original Assignee
Снекма
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Снекма filed Critical Снекма
Publication of RU2014153930A publication Critical patent/RU2014153930A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2628503C2 publication Critical patent/RU2628503C2/ru

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/14Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
    • B23K26/1435Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor involving specially adapted flow control means
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/062Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
    • B23K26/0622Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • B23K26/382Removing material by boring or cutting by boring
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/36Removing material
    • B23K26/38Removing material by boring or cutting
    • B23K26/382Removing material by boring or cutting by boring
    • B23K26/389Removing material by boring or cutting by boring of fluid openings, e.g. nozzles, jets
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/0915Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light
    • H01S3/092Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp
    • H01S3/093Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by incoherent light of flash lamp focusing or directing the excitation energy into the active medium
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/102Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation
    • H01S3/1028Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation by controlling the temperature
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K2101/00Articles made by soldering, welding or cutting
    • B23K2101/001Turbines
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/02Constructional details
    • H01S3/04Arrangements for thermal management
    • H01S3/0407Liquid cooling, e.g. by water
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/05Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
    • H01S3/06Construction or shape of active medium
    • H01S3/0602Crystal lasers or glass lasers
    • H01S3/061Crystal lasers or glass lasers with elliptical or circular cross-section and elongated shape, e.g. rod
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01SDEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/14Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
    • H01S3/16Solid materials
    • H01S3/163Solid materials characterised by a crystal matrix
    • H01S3/164Solid materials characterised by a crystal matrix garnet
    • H01S3/1643YAG

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

Группа изобретений относится к обработке металла, в частности к выполнению отверстий в детали при помощи импульсного лазера. Определяют значения нескольких рабочих параметров лазерного генератора для выполнения отверстий заранее определенного диаметра в детали. Определяют заданное значение температуры резонатора лазерного генератора в зависимости от характеристик выполняемых отверстий и/или от материала детали, в которой выполняют отверстия, и регулируют температуру резонатора по этому заданному значению во время выполнения отверстий. Устройство содержит лазерный генератор, содержащий резонатор, в котором установлен твердый стержень для генерирования лазерных импульсов, систему охлаждения резонатора за счет циркуляции охлаждающей текучей среды рядом или внутри резонатора и средства управления рабочими параметрами лазера. Устройство содержит средства автоматического регулирования температуры резонатора генератора по заданному значению в зависимости от характеристик выполняемых отверстий посредством изменения расхода и/или температуры охлаждающей текучей среды. Улучшается геометрия выполняемых отверстий. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 6 ил.

Description

Изобретение относится к выполнению отверстий в детали, в частности детали турбомашины, при помощи импульсного лазера.
Во многих деталях турбомашины выполняют отверстия, предназначенные, например, для пропускания охлаждающих воздушных потоков. В частности, это относится к турбинным лопаткам и сопловым аппаратам, а также к стенкам камеры сгорания, причем эти стенки могут содержать несколько тысяч отверстий для охлаждения.
Для обеспечения эффективного охлаждения этих деталей и чтобы не сокращать срок их службы, выполненные отверстия должны иметь особую геометрию и не должны иметь микротрещин на своих внутренних стенках. Кроме того, технология, используемая для выполнения отверстий, должна как можно меньше влиять на состояние материала деталей.
Известны три разные технологии выполнения отверстий в детали турбомашины, предназначенные для образования отверстий охлаждения: выполнение отверстий режущим инструментом, выполнение отверстий EDM (Electrical Discharge Machining) и выполнение отверстий лазерными импульсами.
Выполнение отверстий при помощи режущего инструмента не подходит для получения отверстий небольшого диаметра (например, размером от 0,4 до 1,5 мм). Выполнение отверстий посредством EDM позволяет получать отверстия небольшого размера. Однако учитывая, что этот тип выполнения отверстий является относительно дорогим, его применяют для деталей, содержащих небольшое количество охлаждающих отверстий.
Выполнение отверстий посредством лазерных импульсов (например, типа YAG) тоже позволяет выполнять отверстия небольшого размера. Однако известные лазерные устройства применяют только для выполнения небольшого числа последовательных отверстий, так как они не являются стабильными, и поскольку качество и уровень повторяемости геометрии отверстий снижаются по истечении некоторого времени использования устройств. Например, было отмечено, что когда лазерное устройство используют для выполнения отверстий круглого сечения, после определенного времени использования этого устройства сечение выполняемых отверстий становится эллиптическим. Следовательно, это устройство используют в течение относительно коротких промежутков времени и оставляют выключенным в течение относительно длительного времени между двумя последовательными использованиями.
Как правило, импульсный лазер содержит резонатор, внутри которого установлен твердый стержень для генерирования лазерных импульсов. Обычно этот стержень имеет удлиненную форму и образует усиливающую среду, в которую излучаются фотоны по меньшей мере от одной лампы-вспышки, находящейся в резонаторе. На продольных концах стержня расположены два зеркала, одно из которых является по меньшей мер, частично отражающим. Кроме того, резонатор лазера содержит температурный датчик, связанный со средствами детектирования, предназначенными для оповещения оператора, когда температура резонатора достигает определенного порога. Чтобы избежать достижения этого порога резонатором, во время работы его охлаждают.
В известных решениях при управлении или программировании лазерного генератора температуру лазерного резонатора не учитывают. Вышеупомянутый температурный порог резонатора является постоянным при любых характеристиках детали или выполняемых отверстий и его определяют, просто чтобы гарантировать оптимальный срок службы лазерного генератора.
Изобретение призвано предложить простое, эффективное и экономичное решение вышеупомянутой проблемы, связанной с использованием импульсного лазера для выполнения отверстий в детали.
Изобретением предложен способ выполнения отверстий в детали, в частности турбомашины, при помощи импульсного лазерного генератора, содержащего резонатор (с управляемой температурой), в котором установлен твердый стержень, обеспечивающий генерирование лазерного пучка.
В связи с этим объектом изобретения является способ выполнения отверстий в детали, в частности турбомашины, при помощи импульсного лазерного генератора, содержащего резонатор, в котором установлен твердый стержень для генерирования лазерных импульсов, при этом способ содержит этап, на котором определяют значения нескольких рабочих параметров лазерного генератора для выполнения отверстий заранее определенного диаметра в детали, отличающийся тем, что определяют заданное значение температуры резонатора лазерного генератора в зависимости от характеристик выполняемых отверстий и/или от материала детали, в которой выполняют отверстия, и регулируют температуру резонатора по этому заданному значению во время выполнения отверстий.
Авторы изобретения установили, что температура резонатора лазерного генератора, в котором находится стержень, влияет на мощность, выдаваемую лазерным генератором, и, следовательно, на геометрию выполняемых отверстий, а также на появление микротрещин на внутренних стенках этих отверстий.
Рабочими параметрами лазера являются, например, частота повторения импульсов (F), число импульсов, продолжительность импульса (Тр) и/или максимальная мощность лазерного генератора в процентах (Н%). Этот последний параметр Н% является заданным значением, которое позволяет лазерному генератору работать на части своей максимальной мощности или на полной мощности (Н%=100), например, за счет изменения тока его ламп-вспышек. Предпочтительно параметр Н% выбирают достаточно высоким (по меньшей мере, превышающим 25%) для обеспечения стабильности резонатора и мощности лазерного пучка.
Согласно изобретению, к параметрам, учитываемым при управлении, добавляют заранее определенную температуру резонатора и ее поддерживают по существу постоянной во время выполнения отверстий.
Предпочтительно способ содержит этап, на котором определяют заданное значение температуры резонатора, при которой лазерный генератор является настроенным и выдает максимальную энергию при заранее определенных рабочих параметрах. Таким образом, выполнение отверстий производят при температуре резонатора, обеспечивающей настройку лазера. Эта температура должна быть гарантирована до ±3°С. Обтюратор лазерного пучка может быть управляемым только при соблюдении заданного значения температуры. При фиксированных параметрах способа изменение температуры резонатора (за пределами вышеупомянутого диапазона) может привести к «рассогласованию» лазерного генератора.
Температуру резонатора генератора регулируют вокруг заданного значения во время работы лазера, что обеспечивает хорошую повторяемость и оптимальное качество отверстий. Лазерный генератор можно использовать в течение более длительных промежутков времени, чем в известных решениях, и его выключают, только если становится трудно или невозможно поддерживать температуру резонатора вокруг заданного значения (хотя этот риск является ничтожным, если применяют средства охлаждения резонатора).
Изобретение отличается от известных решений, в частности, тем, что температура резонатора генератора является регулируемым рабочим параметром, который контролируют и регулируют для оптимизации характеристик отверстий.
Регулирование этой температуры состоит в ее поддержании в значении, максимально близком к заданному (которое зависит, в частности, от характеристик детали, таких как ее материал, и которое может, таким образом, меняться от одной операции выполнения отверстий к другой), что отличается от известных решений, в которых резонатор охлаждают, чтобы избегать превышения максимальной рабочей температуры, причем эта рабочая температура может принимать любое значение ниже этого максимального значения, и охлаждение резонатора не меняют, пока не будет достигнуто это максимальное значение. В известных решениях лазерный генератор выключают, только когда температура его резонатора достигает этого максимального значения.
Таким образом, целью изобретения является применение автоматического регулирования температуры лазерного резонатора, чтобы оптимизировать геометрию и характеристики выполняемых отверстий и обеспечивать более длительное время использования лазерного генератора при сохранении результатов этой оптимизации.
Для выполнения отверстий лазерный генератор используют в настроенном режиме, то есть с оптимизацией параметров способа (Тр, F, Н%), чтобы получать максимум энергии на выходе лазерного генератора. Следствием изменения температуры резонатора лазерного генератора будет «рассогласование» лазера.
Кроме того, авторы изобретения установили, что на геометрию отверстий можно влиять посредством изменения температуры резонатора.
Температуру резонатора можно регулировать до ±3°С вокруг заданного значения. Заданное значение температуры составляет, например, от 25 до 40°С. Предпочтительно заданное значение определяют таким образом, чтобы отверстия были сквозными и имели круглое сечение.
Температуру лазерного резонатора можно регулировать при помощи системы охлаждения резонатора за счет циркуляции охлаждающей текучей среды вблизи или внутри резонатора. Охлаждение резонатора можно оптимизировать, например, посредством изменения расхода и температуры охлаждающей текучей среды.
Деталью, в которой выполняют отверстия, может быть лопатка или сопловой аппарат турбины или стенка камеры сгорания турбомашины.
Лазером может быть, например, лазер типа YAG или импульсный лазер любого другого типа, в котором можно регулировать температуру лазерного резонатора.
Объектом настоящего изобретения является также устройство для выполнения отверстий в детали, в частности турбомашины, при помощи импульсного лазерного генератора, содержащего резонатор, в котором установлен твердый стержень для генерирования лазерных импульсов, систему охлаждения резонатора за счет циркуляции охлаждающей текучей среды вокруг резонатора и средства управления рабочими параметрами лазера, отличающееся тем, что содержит средства автоматического регулирования температуры резонатора по заданному значению, зависящему от характеристик выполняемых отверстий, посредством изменения расхода и температуры охлаждающей текучей среды.
Изобретение и его другие детали, преимущества и отличительные признаки будут более очевидны из нижеследующего описания, представленного в качестве не ограничительного примера со ссылками на прилагаемые чертежи, на которых:
Фиг. 1 - частичный схематичный вид в перспективе импульсного лазера.
Фиг. 2 - частичный схематичный вид в разрезе детали и лазерного пучка для выполнения отверстий в этой детали.
Фиг. 3 - блок-схема этапов заявленного способа выполнения отверстий в детали посредством лазерных импульсов.
Фиг. 4 - график, показывающий изменение диаметра выполняемых отверстий и энергии лазерного пучка в зависимости от температуры лазерного резонатора, в котором установлен стержень, генерирующий лазерные импульсы.
Фиг. 5 - график, показывающий изменение средней мощности лазерного пучка в зависимости от процента максимальной мощности лазерного генератора.
Фиг. 6 - график, аналогичный графику на фиг. 5 и показывающий влияние температуры резонатора на среднюю мощность лазерного пучка.
Рассмотрим сначала фиг. 1, где представлена часть импульсного лазерного генератора 10, например, типа YAG, причем этот генератор 10 содержит резонатор 12, внутри которого установлены твердый стержень 14 и лампы-вспышки 16 возбуждения твердого стержня.
Твердый стержень 14 имеет удлиненную цилиндрическую форму и проходит параллельно продольной оси резонатора 12, который в представленном примере тоже имеет удлиненную цилиндрическую форму. Стержень 12 является, например, кристаллом. На каждом из продольных концов стержня расположено зеркало 18, 20, причем одно 20 из этих зеркал является частично отражающим зеркалом.
Лампы-вспышки 16 установлены, например, в количестве двух (на фиг. 1 показана только одна), при этом каждая лампа-вспышка соединена с электрическим источником 22 и выполнена с возможностью излучения фотонов в резонатор. В данном случае лампы 16 имеют удлиненную форму. Они расположены параллельно продольной оси резонатора, например, с двух сторон от стержня.
Классически лазерное устройство выполнения отверстий посредством импульсов содержит лазерный генератор 10 вышеупомянутого типа, систему охлаждения резонатора 12 и средства управления рабочими параметрами лазерного генератора.
Лазерный резонатор 12 охлаждают посредством циркуляции охлаждающей текучей среды внутри резонатора, при этом стержень 14 и лампы-вспышки 16 погружены в эту текучую среду. Лазерный генератор 10 содержит теплообменник 24, соединенный со средствами циркуляции охлаждающей текучей среды в резонаторе и с резервуаром 26 охлаждающей текучей среды.
Кроме того, лазерный генератор 10 содержит температурные датчики 28, например, типа термопар, которые установлены в резонаторе 12 и в резервуаре 26 охлаждающей текучей среды.
Специалисту хорошо известна работа импульсного лазерного генератора 10 описанного выше типа.
На фиг. 2 представлен вид в разрезе детали во время выполнения отверстий посредством лазерных импульсов, например при помощи описанного выше лазерного генератора 10. Позицией 40 обозначен пучок, излучаемый генератором, причем этот пучок направлен по существу перпендикулярно к поверхности детали 42, в которой выполняют отверстия. Пучок 40 состоит из множества последовательных импульсов, которые вызывают плавление материала детали (зона плавления 44), причем этот расплавленный материал частично испаряется (позиция 46) и частично выталкивается за пределы зоны плавления (позиция 48), остальная часть материала (позиция 50) остается на внутренних стенках отверстия во время выполнения. Периферическая зона 52, расположенная вокруг выполняемого отверстия, подвергается относительно большим термическим воздействиям. Эта зона 52, называемая зоной термического воздействия (ZAT), является местом образования микротрещин 54 во время выполнения отверстий.
На фиг. 3 представлена блок-схема этапов заявленного способа 60 выполнения отверстий посредством лазерных импульсов.
На первом этапе 62 способа определяют характеристики детали, в которой выполняют отверстия, а также характеристики отверстий, выполняемых в этой детали. Характеристиками детали являются, в частности, ее материал (например, сплав на основе никеля или кобальта) и толщина стенки детали, в которой выполняют отверстие, (как правило, от 0,8 до 15 мм). Они могут включать в себя различные другие данные, такие как форма и размеры детали, присутствие другой стенки вблизи детали, которую не должно затрагивать выполнение отверстий, присутствие покрытия (такого как теплоизоляционное покрытие) на детали, в которой выполняют отверстия, и т.д.
Характеристиками выполняемых отверстий являются, в частности, форма или геометрия этих отверстий, их размеры, угол между продольной осью каждого отверстия и нормалью к поверхности детали, глубина отверстий и т.д. Как правило, эти отверстия имеют общую цилиндрическую форму, то есть имеют круглое сечение, диаметр которого составляет, например, от 0,4 до 1,5 мм. Угол между осью каждого отверстия и нормалью к поверхности детали, как правило, составляет от 0 до 70°. Глубина отверстий равна толщине стенки, в которой выполняют отверстие, если отверстия проходят через эту стенку насквозь (то есть являются сквозными).
По меньшей мере, некоторые из вышеупомянутых характеристик используют для определения заданного значения температуры резонатора 12 лазерного генератора (этап 64). Например, это относится к геометрии выполняемых отверстий и к материалу детали. Температуру лазерного резонатора можно определять на основании этих характеристик при помощи графика, показанного на фиг. 4.
График на фиг. 4 показывает (для данных рабочих параметров лазерного генератора, таких как Тр, F и Н%, которые будут описаны ниже) изменение энергии посредством лазерного импульса (на оси ординат справа) и диаметра D отверстий (на оси ординат слева) в зависимости от температуры резонатора 12 (Т). Отмечается, что кривая 66 Е = f(T) имеет максимум Emax при температуре настройки (Тасс) резонатора, то есть при температуре резонатора, для которой настроен лазерный генератор, как было указано выше.
В зависимости от материала, от необходимого диаметра отверстия, от его глубины и от его морфологии (цилиндрическое, эллиптическое сечение…) необходимо произвести идентификацию значений параметров Тр, F, Н% и температуры Т резонатора, позволяющих соблюдать эти спецификации.
В представленном примере параметрами при настройке лазерного генератора являются Тр=1 мс, F=35 Гц, Н=86% и Т=25°С.
График этого типа можно предварительно построить для каждого материала деталей, в которых можно выполнять отверстия посредством лазерного импульса в рамках заявленного способа. В случае когда одна и та же деталь может быть выполнена из металлического сплава на основе кобальта и из металлического сплава на основе никеля, необходимо строить график этого типа для каждого из этих сплавов.
Эта оптимальная температура представляет собой заданное значение, вокруг которого будут регулировать температуру резонатора во время выполнения отверстий (этап 80) для обеспечения вышеуказанных характеристик отверстий (геометрия, диаметр и т.д.). Таким образом, происходит автоматическое регулирование температуры лазерного резонатора.
В частности, регулирование температуры резонатора 12 лазера можно осуществлять следующим образом. Заявленное устройство для выполнения отверстий, кроме классических известных средств (лазерный генератор 10, средства управления и т.д.), содержит средства регулирования температуры лазерного резонатора. Эти средства автоматического регулирования содержат компаратор 88, который получает на входе измеренную температуру резонатора и заданное значение этой температуры и который определяет, являются ли эти значения достаточно близкими (таким образом, чтобы их разность была меньше или равна интервалу погрешности, например, ±1°). В случае когда температура резонатора оказывается слишком высокой по сравнению с заданным значением, в средства управления расходом и/или температурой охлаждающей текучей среды поступает выходной сигнал компаратора для увеличения охлаждения резонатора и понижения его температуры. В случае когда температура резонатора оказывается слишком низкой по сравнению с заданным значением, компаратор подает команду на уменьшение охлаждения резонатора, чтобы повысить его температуру. Это регулирование температуры резонатора происходит в течение всего времени выполнения отверстий, и компаратор 88 может осуществлять вышеупомянутые сравнения через равномерные интервалы, например, каждую секунду.
Способ содержит также этапы 82, 84, на которых определяют рабочие параметры лазерного генератора при заданном значении (Т1) температуры лазерного резонатора, затем управляют этими параметрами во время выполнения отверстий.
Рабочими параметрами лазерного генератора являются, например, частота повторения импульсов (F), число импульсов, продолжительность одного импульса (Тр), процент максимальной мощности лазерного генератора (Н%).
График на фиг. 5 показывает изменение средней мощности (Pm) лазерного пучка в зависимости от процента максимальной мощности лазерного генератора (Н%). Отмечается, что кривая 86 имеет два пика 88, разделенных горизонтальным участком 90. Этот горизонтальный участок показывает, что при данном диапазоне значений Н% мощность Pm остается относительно постоянной. Этот тип графика можно строить для разных материалов и толщин, и он позволяет определить диапазон значений Н%, при котором средняя мощность лазерного пучка по существу является постоянной. График, показанный на фиг. 5, строят для данной продолжительности импульса (Тр) и для данной частоты импульсов (F).
График на фиг. 6 является аналогичным графику на фиг. 5 и показывает изменение средней мощности (Pm) лазерного пучка в зависимости от процента максимальной мощности лазерного генератора (Н%) для двух разных температур резонатора (25 и 30°С). В представленном примере параметры Тр и F равны соответственно 2 мс и 35 Гц. Для данного заданного параметра Н% отмечается, что средняя мощность Pm меняется в зависимости от температуры резонатора. Для Н%=50 средняя мощность лазерного пучка равна 95 Вт при температуре резонатора 25°С и 120 Вт при температуре резонатора 30°С. Таким образом, этот график показывает влияние температуры резонатора на среднюю мощность и, следовательно, на энергию лазерного пучка, даже если другие рабочие параметры (Тр, F, Н%) лазерного генератора сохраняются постоянными.
Лазерный генератор 90 предназначен для управления посредством контроля вышеупомянутых параметров (Tp, F, H% и т.д.), а также посредством регулирования температуры резонатора, как было указано выше, во время операции выполнения отверстий.

Claims (10)

1. Способ выполнения отверстий в детали (42), в частности турбомашины, при помощи импульсного лазерного генератора (10), содержащего резонатор (12), в котором установлен твердый стержень (14) для генерирования лазерных импульсов, при этом способ содержит этап (82), на котором определяют значения нескольких рабочих параметров лазерного генератора для выполнения отверстий заранее определенного диаметра в детали, отличающийся тем, что определяют заданное значение (Т1) температуры резонатора лазерного генератора в зависимости от характеристик выполняемых отверстий и/или от материала детали, в которой выполняют отверстия, и регулируют температуру резонатора по этому заданному значению во время выполнения отверстий.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что рабочие параметры лазерного генератора включают в себя частоту повторения импульсов (F), число импульсов, продолжительность импульса (Тр) и/или максимальную мощность лазерного генератора в процентах (Н%).
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что температуру резонатора регулируют до ±3°С вокруг заданного значения (Т1).
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что заданное значение определяют таким образом, чтобы отверстия были сквозными и имели круглое сечение.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что содержит этап, на котором определяют заданное значение (Т1) температуры резонатора (12), при которой лазерный генератор является настроенным и выдает максимальную энергию для заранее определенных рабочих параметров.
6. Способ по п. 1, отличающийся тем, что заданное значение (Т1) температуры резонатора составляет от 25 до 40°С.
7. Способ по п. 1, отличающийся тем, что температуру резонатора (12) регулируют при помощи системы (24) охлаждения резонатора за счет циркуляции охлаждающей текучей среды вблизи или внутри резонатора.
8. Способ по п. 1, отличающийся тем, что деталью (42) является лопатка или сопловой аппарат турбины, или стенка камеры сгорания турбомашины.
9. Способ по п. 1, отличающийся тем, что лазерный генератор (10) является типа YAG.
10. Устройство для выполнения отверстий в детали, в частности турбомашины, при помощи импульсного лазерного генератора (10), содержащего резонатор (12), в котором установлен твердый стержень (14) для генерирования лазерных импульсов, систему (24) охлаждения резонатора за счет циркуляции охлаждающей текучей среды рядом или внутри резонатора и средства управления рабочими параметрами лазера, отличающееся тем, что содержит средства (80, 88) автоматического регулирования температуры резонатора генератора по заданному значению в зависимости от характеристик выполняемых отверстий посредством изменения расхода и/или температуры охлаждающей текучей среды.
RU2014153930A 2012-06-01 2013-05-30 Способ и устройство для выполнения отверстий в детали при помощи лазерных импульсов RU2628503C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1255128A FR2991214B1 (fr) 2012-06-01 2012-06-01 Procede de percage d'une piece par impulsions laser
FR1255128 2012-06-01
PCT/FR2013/051214 WO2013178950A1 (fr) 2012-06-01 2013-05-30 Procédé et dispositif de perçage d'une pièce par impulsions laser

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014153930A RU2014153930A (ru) 2016-07-27
RU2628503C2 true RU2628503C2 (ru) 2017-08-17

Family

ID=46963817

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014153930A RU2628503C2 (ru) 2012-06-01 2013-05-30 Способ и устройство для выполнения отверстий в детали при помощи лазерных импульсов

Country Status (8)

Country Link
US (1) US9713855B2 (ru)
EP (1) EP2855079B1 (ru)
CN (1) CN104379300B (ru)
BR (1) BR112014029934B1 (ru)
CA (1) CA2874565C (ru)
FR (1) FR2991214B1 (ru)
RU (1) RU2628503C2 (ru)
WO (1) WO2013178950A1 (ru)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2754524B1 (de) 2013-01-15 2015-11-25 Corning Laser Technologies GmbH Verfahren und Vorrichtung zum laserbasierten Bearbeiten von flächigen Substraten, d.h. Wafer oder Glaselement, unter Verwendung einer Laserstrahlbrennlinie
EP2781296B1 (de) 2013-03-21 2020-10-21 Corning Laser Technologies GmbH Vorrichtung und verfahren zum ausschneiden von konturen aus flächigen substraten mittels laser
US11556039B2 (en) 2013-12-17 2023-01-17 Corning Incorporated Electrochromic coated glass articles and methods for laser processing the same
US10293436B2 (en) 2013-12-17 2019-05-21 Corning Incorporated Method for rapid laser drilling of holes in glass and products made therefrom
US10442719B2 (en) 2013-12-17 2019-10-15 Corning Incorporated Edge chamfering methods
WO2015113302A1 (zh) * 2014-01-30 2015-08-06 西门子公司 用于激光钻孔工艺的仿真系统和方法
KR102445217B1 (ko) 2014-07-08 2022-09-20 코닝 인코포레이티드 재료를 레이저 가공하는 방법 및 장치
TWI659793B (zh) 2014-07-14 2019-05-21 美商康寧公司 用於使用可調整雷射束焦線來處理透明材料的系統及方法
EP3274306B1 (en) 2015-03-24 2021-04-14 Corning Incorporated Laser cutting and processing of display glass compositions
CN107661980B (zh) * 2016-07-29 2020-02-21 上海微电子装备(集团)股份有限公司 3d打印装置及3d打印装置内的环境监控方法
CN109803786B (zh) 2016-09-30 2021-05-07 康宁股份有限公司 使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法
EP3529214B1 (en) 2016-10-24 2020-12-23 Corning Incorporated Substrate processing station for laser-based machining of sheet-like glass substrates
CN116727900B (zh) * 2023-08-11 2023-10-20 中国人民解放军空军工程大学 一种用于航空复合材料的激光制孔开口方法及装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3806829A (en) * 1971-04-13 1974-04-23 Sys Inc Pulsed laser system having improved energy control with improved power supply laser emission energy sensor and adjustable repetition rate control features
SU1299025A1 (ru) * 1985-03-21 1995-11-27 Институт Физики Ан Усср Способ лазерной обработки
DE10063309A1 (de) * 2000-12-19 2002-07-11 Mtu Aero Engines Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Kühlluftöffnung in einem metallischen Bauteil einer Gasturbine
RU2425742C2 (ru) * 2006-02-09 2011-08-10 Снекма Способ вырезания посредством лазерного луча

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4740981A (en) * 1986-10-10 1988-04-26 Stemmerich, Inc. Temperature controller for gas laser resonator
US5151909A (en) * 1990-10-16 1992-09-29 Laserscope Frequency doubled solid state laser having programmable pump power modes and method for controllable lasers
US5392303A (en) * 1993-03-30 1995-02-21 Nec Corporation Frequency stabilization method of semiconductor laser, frequency-stabilized light source and laser module
US5422899A (en) * 1994-05-10 1995-06-06 Premier Laser Systems, Inc. High repetition rate mid-infrared laser
US5757842A (en) * 1996-06-28 1998-05-26 International Business Machines Corporation Method and apparatus for compensating thermal lensing effects in a laser cavity
DE69738632T2 (de) 1996-07-01 2009-06-10 Panasonic Corp., Kadoma Lasergerät
JPH1094887A (ja) * 1996-09-24 1998-04-14 Amada Eng Center:Kk レーザ加工システムの定温化方法
US20060096956A1 (en) * 2001-10-19 2006-05-11 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha Method of controlling working conditions of a laser working machine and a computer-readable storage medium
US6998567B2 (en) * 2003-01-31 2006-02-14 Trimedyne, Inc. Generation and application of efficient solid-state laser pulse trains
FR2876933B1 (fr) * 2004-10-25 2008-05-09 Snecma Moteurs Sa Buse pour tete de percage ou d'usinage par faisceau laser
CN102006964B (zh) * 2008-03-21 2016-05-25 Imra美国公司 基于激光的材料加工方法和系统
JP2010212561A (ja) * 2009-03-12 2010-09-24 Panasonic Corp レーザ発振装置およびレーザ加工機
JP2011049376A (ja) * 2009-08-27 2011-03-10 Mitsubishi Electric Corp レーザ加工機システム
JP2011228537A (ja) * 2010-04-21 2011-11-10 Mitsubishi Electric Corp レーザ光源装置
US8772671B2 (en) * 2010-06-30 2014-07-08 Resonetics, LLC Precision laser ablation
JP5396357B2 (ja) * 2010-09-14 2014-01-22 株式会社アマダ レーザ加工装置及びその制御方法
GB2485985B (en) * 2010-11-30 2015-07-22 Powerphotonic Ltd Laser pulse generation method and apparatus
CN102248306A (zh) * 2011-04-02 2011-11-23 周明 一种激光钻孔高温合金材料燃气轮机叶片的装备和工艺方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3806829A (en) * 1971-04-13 1974-04-23 Sys Inc Pulsed laser system having improved energy control with improved power supply laser emission energy sensor and adjustable repetition rate control features
SU1299025A1 (ru) * 1985-03-21 1995-11-27 Институт Физики Ан Усср Способ лазерной обработки
DE10063309A1 (de) * 2000-12-19 2002-07-11 Mtu Aero Engines Gmbh Verfahren zum Herstellen einer Kühlluftöffnung in einem metallischen Bauteil einer Gasturbine
RU2425742C2 (ru) * 2006-02-09 2011-08-10 Снекма Способ вырезания посредством лазерного луча

Also Published As

Publication number Publication date
EP2855079B1 (fr) 2016-11-30
RU2014153930A (ru) 2016-07-27
CA2874565A1 (fr) 2013-12-05
CN104379300B (zh) 2016-10-19
BR112014029934A2 (pt) 2017-06-27
WO2013178950A1 (fr) 2013-12-05
FR2991214A1 (fr) 2013-12-06
EP2855079A1 (fr) 2015-04-08
CA2874565C (fr) 2020-01-14
FR2991214B1 (fr) 2014-06-13
CN104379300A (zh) 2015-02-25
US20150165561A1 (en) 2015-06-18
US9713855B2 (en) 2017-07-25
BR112014029934B1 (pt) 2019-01-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2628503C2 (ru) Способ и устройство для выполнения отверстий в детали при помощи лазерных импульсов
JP7038775B2 (ja) レーザ衝撃ピーニング処理において使用するための方法および装置
US7257136B2 (en) Laser apparatus
RU2617301C2 (ru) Устройство и способ резания лазером с автоматическим регулированием импульсов газа по частоте или по давлению
US8461470B2 (en) Method of measuring degradation condition of output mirror in laser oscillator and laser machining apparatus
JP6235527B2 (ja) 結露の発生を予測する機能を備えたレーザ装置
WO2003071639A1 (en) Methods and systems for laser processing a workpiece and methods and apparatus for controlling beam quality therein
KR20140115250A (ko) 레이저 가공장치 및 레이저 가공방법
KR102526923B1 (ko) 극자외 소스용 가변 반경 미러 이색성 빔 분할기 모듈
JP4439487B2 (ja) パルスレーザ装置及びパルスレーザビーム生成方法
EP1981134A1 (en) Laser unit having preparatory function for activating the unit and activation method for the unit
US8068520B2 (en) Method for generating a laser pulse for the fine machining of workpieces using a fiber laser
JP2003298160A (ja) 固体レーザ装置
JP2015509049A (ja) ファイバレーザで発生したパルスレーザビームによる材料加工方法及び材料加工装置
Mielke et al. Pulse width stabilization for ultrafast laser systems
JP2008194709A (ja) レーザ加工方法
JP2001332791A (ja) Qスイッチレーザ装置
JP2006324321A (ja) 高調波レーザ装置及びレーザ加工装置
JP6212051B2 (ja) 高出力ファイバーレーザー流出孔穿孔装置、および高出力ファイバーレーザー流出孔穿孔装置を使用する方法
JP2007141879A (ja) レーザ発振器及びレーザ発振器の劣化部品判定方法
JP5810264B2 (ja) レーザ発振装置

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner