RU2459891C2 - High-frequency inductor with draw plates for production of multiple siliceous bars - Google Patents
High-frequency inductor with draw plates for production of multiple siliceous bars Download PDFInfo
- Publication number
- RU2459891C2 RU2459891C2 RU2010145474/05A RU2010145474A RU2459891C2 RU 2459891 C2 RU2459891 C2 RU 2459891C2 RU 2010145474/05 A RU2010145474/05 A RU 2010145474/05A RU 2010145474 A RU2010145474 A RU 2010145474A RU 2459891 C2 RU2459891 C2 RU 2459891C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electric current
- dies
- die
- lines
- discharge
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Molds, Cores, And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
Description
Область техникиTechnical field
Настоящее изобретение относится к высокочастотному индуктору, с помощью которого можно одновременно производить множество поликристаллов столбчатой структуры в виде прутков из кремния или других кристаллических материалов за счет направления электрического тока высокой частоты так, чтобы он равномерно охватывал фильеры и прутки из кремния или других кристаллических материалов для их равномерного нагрева с помощью электрического тока, и в частности к высокочастотному индуктору с фильерами для производства множества прутков из кремния или других кристаллических материалов методом выращивания поликристаллов вытягиванием за счет равномерного распределения электрического тока.The present invention relates to a high-frequency inductor, with the help of which it is possible to simultaneously produce many polycrystals of a columnar structure in the form of rods of silicon or other crystalline materials by directing a high-frequency electric current so that it uniformly covers dies and rods of silicon or other crystalline materials for them uniform heating using electric current, and in particular to a high-frequency inductor with dies for the production of many rods of cream or other crystalline materials by the method of growing polycrystals by pulling due to the uniform distribution of electric current.
Предшествующий уровень техникиState of the art
Хорошо известно, что с постепенным истощением невозобновляемых источников энергии главной тенденцией становится развитие и использование новых энергетических ресурсов типа солнечной энергии и т.п. Поликристаллический кремний является основным материалом для производства солнечных батарей, и потребность в поликристаллическом кремнии в каждой стране мира повышается из года в год, при этом кремниевые прутки являются необходимым исходным материалом для производства поликристаллического кремния различными методами, включая отличные от метода Сименса, поэтому во всем мире требуется огромное количество кремниевых прутков. В существующем технологическом процессе производства керамических прутков, монокристаллического кремния и других материалов с кристаллической структурой методом бестигельной зонной плавки обычно используется высокочастотный индуктор с одной фильерой, принцип действия которого является следующим: во время работы на высокочастотный индуктор подается электрический ток высокой частоты так, чтобы нагреть стержень исходного материала за счет индукции, при этом нагретый верхний конец стержня исходного материала преобразуется в участок расплава, затравочный кристалл вставляется в участок расплава и медленно поднимается вверх, соответственно расплавленный исходный материал может подниматься вверх вместе с затравочным кристаллом с формированием кристаллического материала в форме столбика, где этот полученный кристаллический материал со столбчатой структурой является конечным продуктом в виде прутка из кремния или другого кристаллического материала.It is well known that with the gradual depletion of non-renewable energy sources, the main trend is the development and use of new energy resources such as solar energy, etc. Polycrystalline silicon is the main material for the production of solar cells, and the demand for polycrystalline silicon in every country in the world is increasing from year to year, while silicon rods are an essential starting material for the production of polycrystalline silicon by various methods, including methods different from the Siemens method, which is why all over the world A huge amount of silicon bars is required. In the existing technological process for the production of ceramic rods, single-crystal silicon and other materials with a crystal structure, the crucible-free zone melting method usually uses a high-frequency inductor with one die, the principle of which is as follows: during operation, a high-frequency electric current is applied to the high-frequency inductor to heat the rod the source material due to induction, while the heated upper end of the rod of the source material is converted into a plot melt, the seed crystal is inserted into the melt portion and slowly rises up, respectively, the molten starting material can rise up together with the seed crystal to form a columnar crystalline material, where this obtained crystalline material with a columnar structure is the final product in the form of a rod from silicon or another crystalline material.
Эксперименты показывают, что патенты Китая на полезные модели, которые ранее использовались изобретателями и приведенные ниже, имеют различные недостатки.Experiments show that China's utility model patents, which were previously used by the inventors and listed below, have various disadvantages.
Патент 1: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор с двойным отверстием для одновременного получения двух прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 14.04.2006; номер публикации - CN 2926264 Y.Patent 1: the name of the utility model is “High-frequency inductor with a double hole for the simultaneous production of two rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - 04/14/2006; Publication Number - CN 2926264 Y.
Патент 2: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения двух прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 19.01.2007; номер публикации - CN 201001211 Y.Patent 2: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of two rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - 01/19/2007; Publication Number - CN 201001211 Y.
Патент 3: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения двух прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 13.02.2007; номер публикации - CN 201024223 Y.Patent 3: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of two rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - February 13, 2007; Publication Number - CN 201024223 Y.
Патент 4: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения трех прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 19.01.2007; номер публикации - CN 200999270 Y.Patent 4: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of three rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - 01/19/2007; Publication Number - CN 200999270 Y.
Патент 5: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения трех прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 19.01.2007; номер публикации - CN 201001208 Y.Patent 5: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of three rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - 01/19/2007; Publication Number - CN 201001208 Y.
Патент 6: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения трех прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 13.02.2007; номер публикации - CN 201024224 Y.Patent 6: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of three rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - February 13, 2007; Publication Number - CN 201024224 Y.
Патент 7: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения трех прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 13.02.2007; номер публикации - CN 201024227 Y.Patent 7: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of three rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - February 13, 2007; Publication Number - CN 201024227 Y.
Патент 8: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения трех прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 13.02.2007; номер публикации - CN 201001209 Y.Patent 8: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of three rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - February 13, 2007; Publication Number - CN 201001209 Y.
Патент 9: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения четырех прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 13.02.2007; номер публикации - CN 201024228 Y.Patent 9: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of four rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - February 13, 2007; Publication Number - CN 201024228 Y.
Патент 10: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения пяти прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 19.01.2007; номер публикации - CN 200996058 Y.Patent 10: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of five rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - 01/19/2007; Publication Number - CN 200996058 Y.
Патент 11: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения пяти прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 13.02.2007; номер публикации - CN 201024229 Y.Patent 11: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of five rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - February 13, 2007; Publication Number - CN 201024229 Y.
Патент 12: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения шести прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 19.01.2007; номер публикации - CN 200999269 Y.Patent 12: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of six rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - 01/19/2007; Publication Number - CN 200999269 Y.
Патент 13: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения шести прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 13.02.2007; номер публикации - CN 201024225 Y.Patent 13: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of six rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - February 13, 2007; Publication Number - CN 201024225 Y.
Патент 14: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения семи прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 19.01.2007; номер публикации - CN 200996059 Y.Patent 14: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of seven rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - 01/19/2007; Publication Number - CN 200996059 Y.
Патент 15: название полезной модели - «Высокочастотный индуктор для одновременного получения семи прутков из кремния или других кристаллических материалов»; дата подачи заявки - 13.02.2007; номер публикации - CN 201024226 Y.Patent 15: the name of the utility model is “High-frequency inductor for the simultaneous production of seven rods of silicon or other crystalline materials”; application filing date - February 13, 2007; Publication Number - CN 201024226 Y.
Поскольку высокочастотные индукторы, раскрытые в этих патентах, имеют не вполне обоснованную конфигурацию, и может иметь место неравномерная толщина получаемых поликристаллов при одновременном получении нескольких кремниевых прутков, при этом невозможно получить более десяти прутков с помощью высокочастотных индукторов, раскрытых в этих патентах. Однако выход поликристаллов, получаемых одновременно, непосредственно влияет на технологический коэффициент, и прибыль, главным образом, определяется количеством готовой продукции, полученной вытягиванием поликристаллов в виде кремниевых прутков. Эксперименты показывают, что действие электрического тока высокой частоты высокочастотного индуктора вокруг фильер может не привести к достижению желаемой цели, при этом действие электрического тока является более активным, за исключением средней фильеры и фильер, соединенных со сквозными щелями разряжения линий электрического тока, а на закрытую схему, используемую для множества фильер, распределенных по периферии, влияет принципа действия электрического тока высокой частоты так, что температура большинства этих фильер гораздо ниже, чем тех фильер, которые расположены рядом со сквозными щелями разряжения линий электрического тока или соединены с ними, т.е. из-за образования цепи короткого замыкания в поле электрического тока, поэтому диаметры выращенных поликристаллов достаточно отличаются друг от друга, что значительно снижает выход продукции высокого качества. В этом изобретении раскрывается базис для решения существующих проблем.Since the high-frequency inductors disclosed in these patents do not have a well-grounded configuration, and there may be uneven thickness of the obtained polycrystals while producing several silicon rods, it is impossible to obtain more than ten rods using the high-frequency inductors disclosed in these patents. However, the output of polycrystals obtained simultaneously directly affects the technological coefficient, and the profit is mainly determined by the amount of finished products obtained by drawing polycrystals in the form of silicon rods. Experiments show that the action of a high-frequency electric current of a high-frequency inductor around the dies may not achieve the desired goal, while the action of the electric current is more active, with the exception of the middle die and dies connected to the through slots of the discharge of electric current lines, and on a closed circuit used for a plurality of dies distributed around the periphery affects the principle of operation of a high-frequency electric current so that the temperature of most of these dies is much lower Than those nozzles that are adjacent to the through slit discharge lines of the electric current or connected to them, i.e., due to the formation of a short circuit in the electric current field, so the diameters of the grown polycrystals are quite different from each other, which significantly reduces the output of high quality products. This invention discloses a basis for solving existing problems.
Раскрытие изобретенияDisclosure of invention
Для преодоления существующих проблем в изобретении раскрывается высокочастотный индуктор с фильерами для производства множества прутков из кремния. Можно сделать так, чтобы протекающий электрический ток высокой частоты равномерно охватывал каждую фильеру за счет эффекта разряжения линий электрического тока с помощью сквозной щели разряжения линий электрического тока или сквозной щели разряжения линий электрического тока и вспомогательных отверстий направления электрического тока, и с помощью изменения положения сквозной щели разряжения линий электрического тока с выполнением ее с С-образной сквозной щелью разряжения линий электрического тока и вспомогательными отверстиями направления электрического тока, а также, в качестве другой альтернативы, с помощью обеспечения соединительной сквозной щели разряжения линий электрического тока между двумя фильерами так, чтобы сформировать гантелеобразный элемент между фильерами у крайних концов радиальных сквозных щелей разряжения линий электрического тока. Благодаря тому, что электрический ток высокой частоты может более равномерно охватывать каждую фильеру, достигается тот эффект, что этот ток равномерно распределяется вокруг каждой фильеры и, соответственно, может быть снижен выход продукции низкого качества.To overcome the existing problems, the invention discloses a high-frequency inductor with dies for the production of a plurality of silicon rods. You can make sure that the flowing electric current of high frequency evenly covers each die due to the effect of discharging the lines of electric current using a through slot for discharging lines of electric current or a through slot for discharging lines of electric current and auxiliary holes for the direction of electric current, and by changing the position of the through gap discharge of electric current lines with its implementation with a C-shaped through slot of discharge of electric current lines and auxiliary holes on board electrical current, and also, as an alternative, by providing the connecting-through slit discharge electric current between the two lines of spinnerets such as to form dumbbell element between the spinnerets at the extreme ends of radial through slits discharge lines of the electric current. Due to the fact that the electric current of high frequency can more evenly cover each die, the effect is achieved that this current is evenly distributed around each die and, accordingly, the output of low quality products can be reduced.
Для достижения вышеуказанных целей по изобретению предлагается следующий технический проект.To achieve the above objectives, the invention proposes the following technical project.
Высокочастотный индуктор с фильерами для производства множества кремниевых прутков включает: патрубок передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубок передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), которые выполнены с одной стороны высокочастотного индуктора (1) и расположены смежно друг с другом; сквозную щель разряжения линий электрического тока (2), вытянутую внутрь и расположенную между смежно расположенными патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6); верхнюю поверхность (9) высокочастотного индуктора (1), выполненную в виде наклонной поверхности с уклоном в направлении к центральной части с образованием впадины; нижнюю поверхность (10) высокочастотного индуктора (1), содержащую утопленную внутрь ступень; канал охлаждающей воды (4), проходящий внутри высокочастотного индуктора (1) по его периферии у крайней внешней поверхности, причем два конца канала охлаждающей воды (4) соединены соответственно с патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6).A high-frequency inductor with dies for the production of many silicon rods includes: a pipe for transmitting electric current and supplying cooling water A (5) and a pipe for transmitting electric current and supplying cooling water B (6), which are made on one side of the high-frequency inductor (1) and are adjacent together; a through gap for discharging electric current lines (2), elongated inward and located between adjacent adjacent electric current transmission and cooling water supply pipes A (5) and electric current transmission and cooling water supply pipes B (6); the upper surface (9) of the high-frequency inductor (1), made in the form of an inclined surface with a slope towards the Central part with the formation of a depression; the lower surface (10) of the high-frequency inductor (1) containing a step recessed inward; a cooling water channel (4) passing inside the high-frequency inductor (1) along its periphery at the extreme outer surface, the two ends of the cooling water channel (4) being connected respectively to the electric current transmission pipe and cooling water supply A (5) and the electric transmission pipe current and supply of cooling water B (6).
Сквозная щель разряжения линий электрического тока (2) сообщается с фильерами (3), которые расположены во впадине (7) в средней части высокочастотного индуктора (1), или соединяет фильеры (3) по кратчайшей прямой линии, или сообщается с верхней или нижней частью дополнительной сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), выполненной в форме двутавра, которая расположена в средней части высокочастотного индуктора (1) и лежит на линии сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), которая проходит через среднюю часть сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), выполненной в форме двутавра.The through gap of the discharge of electric current lines (2) communicates with the dies (3), which are located in the cavity (7) in the middle part of the high-frequency inductor (1), or connects the dies (3) in the shortest straight line, or communicates with the upper or lower part an additional through gap of the discharge of electric current lines (2), made in the form of an I-beam, which is located in the middle part of the high-frequency inductor (1) and lies on the line of the through gap of the discharge of electric current lines (2), which passes through the middle part of the through gap whether there is a discharge of electric current lines (2), made in the form of an I-beam.
Здесь могут выполняться вспомогательные отверстия направления электрического тока (11), которые располагают на двух концах дополнительной С-образной сквозной щели разряжения линий электрического тока (12), или вспомогательное отверстие направления электрического тока (11), которое располагают в средней части сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), или вспомогательные отверстия направления электрического тока (11), которые располагают на крайних концах дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2).Here, auxiliary holes of the electric current direction (11) can be made, which are located at the two ends of the additional C-shaped through gap of the discharge of electric current lines (12), or an auxiliary hole of the direction of electric current (11), which is located in the middle of the through gap of the vacuum line electric current (2), or auxiliary holes of the direction of electric current (11), which are located at the extreme ends of the additional through slots of the discharge lines of electric current (2).
Также имеется не менее двух фильер (3), при этом: две фильеры (3) расположены с двух сторон дополнительной сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), выполненной в форме двутавра между крайними точками полок такого двутавра с формированием двухфильерной конструкции; или две фильеры (3) расположены друг за другом в параллель, где одна фильера (3) сообщается со сквозной щелью разряжения линий электрического тока (2), а также с дополнительной С-образной сквозной щелью разряжения линий электрического тока (12), которая охватывает половину другой фильеры (3), причем оба конца дополнительной С-образной сквозной щели разряжения линий электрического тока (12) снабжены вспомогательными отверстиями направления электрического тока (11), тем самым формируя двухфильерную конструкцию; или три фильеры (3) расположены треугольником подобно китайскому иероглифу при этом одна сторона одной фильеры 3 сообщается со сквозной щелью разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), а ее другая сторона сообщается с нижним концом другой сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), имеющей Т-образную форму, причем с двух сторон этой сквозной щели разряжения линий электрического тока (2) Т-образной формы расположены две другие фильеры (3), а с двух боковых сторон первой фильеры (3) выполнено два неглубоких паза (13) соответственно, тем самым формируя трехфильерную конструкцию; или одна сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), сообщается с одной из фильер (3), которая расположена вблизи от середины высокочастотного индуктора (1), а две боковые стороны этой фильеры (3) снабжены двумя другими сквозными щелями разряжения линий электрического тока (2), при этом крайние концы этих двух сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) снабжены соответственно вспомогательными отверстиями направления электрического тока (11), при этом две другие фильеры (3) расположены с двух сторон от первой сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), формируя трехфильерную конструкцию; или четыре фильеры (3) расположены квадратом; сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая проходит между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), сообщается с двумя фильерами (3), где обе боковые стороны каждой из этих фильер (3) сообщаются со вспомогательными отверстиями направления электрического тока (11) с помощью других сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), средняя часть сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), расположенная между двумя сообщающимися фильерами (3), снабжена вспомогательным отверстием направления электрического тока (11), а две другие фильеры (3) расположены с двух сторон от этого вспомогательного отверстия направления электрического тока (11), формируя четырехфильерную конструкцию; или имеется четыре фильеры (3), причем одна фильера (3) расположена посередине, другие три фильеры (3) расположены по окружности равномерно вокруг средней фильеры (3), сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), проходит между двумя из трех фильер (3), расположенных по окружности, и сообщается со средней фильерой (3), имеются две другие сквозные щели разряжения линий электрического тока (2), которые проходят от средней фильеры (3) в направлении наружу так, чтобы располагаться между двумя другими фильерами (3) из трех фильер (3), расположенных по окружности, а крайний конец каждой из этих двух сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) расположен между окружностью центров трех фильер (3), расположенных по окружности, и внешней окружностью, охватывающей эти три фильеры (3), формируя четырехфильерную конструкцию; или имеется несколько фильер (3), причем одна фильера (3) расположена посередине, а другие фильеры (3) расположены по окружности равномерно вокруг средней фильеры (3), сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), проходит между двумя фильерами (3), расположенными по окружности, и сообщается со средней фильерой (3), имеются несколько других сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), которые расположены между другими фильерами (3), расположенными по окружности, или средняя фильера (3) непосредственно сообщается с периферийными фильерами (3) с помощью других сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2).There are also at least two dies (3), in this case: two dies (3) are located on both sides of the additional through gap of the discharge of electric current lines (2), made in the form of an I-beam between the extreme points of the shelves of such an I-beam with the formation of a two-filler structure; or two dies (3) are arranged one after another in parallel, where one die (3) communicates with the through gap of the discharge of electric current lines (2), as well as with the additional C-shaped through gap of the discharge of electric current lines (12), which covers half of the other die (3), with both ends of the additional C-shaped through gap of the discharge of electric current lines (12) provided with auxiliary holes for the direction of electric current (11), thereby forming a two-filler structure; or three dies (3) are arranged in a triangle like a Chinese character in this case, one side of one
Высокочастотный индуктор может быть выполнен с возможностью производить пять кремниевых прутков одновременно, при этом имеется пять фильер, причем одна фильера (3) расположена посередине, другие четыре фильеры (3) расположены по окружности равномерно вокруг средней фильеры (3), сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), проходит между двумя из четырех фильер (3), расположенных по окружности, и сообщается со средней фильерой (3), имеются три другие сквозные щели разряжения линий электрического тока (2), которые проходят от средней фильеры (3) в направлении наружу так, чтобы располагаться между тремя другими фильерами (3) из четырех фильер (3), расположенных по окружности, а крайний конец каждой из этих трех сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) расположен между окружностью центров четырех фильер (3), расположенных по окружности, и внешней окружностью, охватывающей эти четыре фильеры (3), формируя пятифильерную конструкцию.The high-frequency inductor can be made with the ability to produce five silicon rods at the same time, while there are five dies, with one die (3) located in the middle, the other four dies (3) evenly spaced around the middle die (3), the through gap of the discharge of electric lines current (2), which is located between the pipe for transmitting electric current and supply of cooling water A (5) and the pipe for transmitting electric current and supply of cooling water B (6), passes between two of the four dies (3), positioned around the circumference, and communicates with the middle die (3), there are three other through-gap slits for discharging electric current lines (2) that extend from the middle die (3) outward so as to be located between three other die (3) of four dies (3) located around the circumference, and the extreme end of each of these three through slits of discharge of electric current lines (2) is located between the circumference of the centers of four dies (3) located around the circumference and the outer circle covering these four dies (3) , for mirrored five-filament design.
Высокочастотный индуктор может быть выполнен с возможностью производить шесть кремниевых прутков одновременно, при этом имеется шесть фильер, причем одна фильера (3) расположена посередине, другие пять фильер (3) расположены по окружности равномерно вокруг средней фильеры (3), сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), проходит между двумя из пяти фильер (3), расположенных по окружности, и сообщается со средней фильерой (3), имеются четыре другие сквозные щели разряжения линий электрического тока (2), которые проходят от средней фильеры (3) в направлении наружу так, чтобы располагаться между четырьмя другими фильерами (3) из пяти фильер (3), расположенных по окружности, а крайний конец каждой из этих четырех сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) расположен между окружностью центров пяти фильер (3), расположенных по окружности, и внешней окружностью, охватывающей эти пять фильер (3), формируя шестифильерную конструкцию.The high-frequency inductor can be configured to produce six silicon rods at the same time, with six dies, with one die (3) located in the middle, the other five dies (3) evenly spaced around the middle die (3), a through gap for the discharge of electric lines current (2), which is located between the electric current transmission pipe and cooling water supply A (5) and the electric current transmission pipe and cooling water supply B (6), passes between two of the five dies (3), laid around the circumference, and communicates with the middle die (3), there are four other through-gap slits for discharging electric current lines (2), which extend from the middle die (3) outward so as to be located between four other dies (3) out of five dies (3) located around the circumference, and the extreme end of each of these four through slots of discharge of electric current lines (2) is located between the circumference of the centers of five dies (3) located around the circumference and the outer circle covering these five dies (3) form I have a six-ply design.
Высокочастотный индуктор может быть выполнен с возможностью производить семь кремниевых прутков одновременно, при этом имеется семь фильер, причем одна фильера (3) расположена посередине, другие шесть фильер (3) расположены по окружности равномерно вокруг средней фильеры (3), сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), проходит между двумя из шести фильер (3), расположенных по окружности, и сообщается со средней фильерой (3), имеется пять других сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), которые проходят от средней фильеры (3) в направлении наружу так, чтобы располагаться между пятью другими фильерами (3) из шести фильер (3), расположенных по окружности, а крайний конец каждой из этих пяти сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) расположен между окружностью центров шести фильер (3), расположенных по окружности, и внешней окружностью, охватывающей эти шесть фильер (3), формируя семифильерную конструкцию.The high-frequency inductor can be made with the ability to produce seven silicon rods at the same time, while there are seven dies, with one die (3) located in the middle, the other six dies (3) evenly spaced around the middle die (3), the through gap of the discharge of electric lines current (2), which is located between the electric current transmission pipe and cooling water supply A (5) and the electric current transmission pipe and cooling water supply B (6), passes between two of six dies (3), laid around the circumference, and communicates with the middle die (3), there are five other through-gap slits for discharging electric current lines (2) that extend from the middle die (3) outward so as to be located between five other dies (3) of six dies (3) arranged around the circumference, and the extreme end of each of these five through-slits for discharging electric current lines (2) is located between the circumference of the centers of six dies (3) located around the circumference and the outer circumference, covering these six dies (3) forming se ifilernuyu structure.
Высокочастотный индуктор может быть выполнен с возможностью производить восемь кремниевых прутков одновременно, при этом имеется восемь фильер, причем одна фильера (3) расположена посередине, другие семь фильер (3) расположены по окружности равномерно вокруг средней фильеры (3), сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), проходит между двумя из семи фильер (3), расположенных по окружности, и сообщается со средней фильерой (3), имеется шесть других сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), которые проходят от средней фильеры (3) в направлении наружу так, чтобы располагаться между шестью другими фильерами (3) из семи фильер (3), расположенных по окружности, а крайний конец каждой из этих шести сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) расположен между окружностью центров семи фильер (3), расположенных по окружности, и внешней окружностью, охватывающей эти семь фильер (3), формируя восьмифильерную конструкцию.The high-frequency inductor can be configured to produce eight silicon rods at the same time, with eight dies available, with one dies (3) located in the middle, the other seven dies (3) evenly spaced around the middle dies (3), a through gap for the discharge of electric lines current (2), which is located between the electric current transmission pipe and cooling water supply A (5) and the electric current transmission pipe and cooling water supply B (6), passes between two of the seven dies (3), pa positioned around the circumference, and communicates with the middle die (3), there are six other through-gap slits for discharging electric current lines (2) that extend from the middle die (3) outward so as to be located between six other dies (3) of seven dies (3) located around the circumference, and the extreme end of each of these six through-slits for discharging electric current lines (2) is located between the circumference of the centers of seven dies (3) located around the circumference and the outer circle covering these seven dies (3) forming osmifilernuyu structure.
Высокочастотный индуктор по изобретению может иметь конструкцию с увеличенным числом фильер, при этом имеются пары фильер (3) и соединяющие их сквозные щели разряжения линий электрического тока (2), образующих гантелеобразные элементы из пар фильер (3), причем гантелеобразные элементы из пар фильер (3) расположены между средней фильерой (3) и периферийными фильерами (3) с общим числом всех фильер, равным тринадцати, шестнадцати, девятнадцати или двадцати двум.The high-frequency inductor according to the invention can have a design with an increased number of dies, while there are pairs of dies (3) and connecting through them through the discharge gap of the electric current lines (2), forming dumbbell-shaped elements from pairs of dies (3), and dumbbell-shaped elements from pairs of dies ( 3) located between the middle die (3) and peripheral dies (3) with a total number of all dies equal to thirteen, sixteen, nineteen or twenty two.
В последнем случае в высокочастотном индукторе для производства тринадцати кремниевых прутков одновременно одна фильера (3) может быть расположена посередине, другие четыре фильеры (3) окружают среднюю фильеру (3), равноудалены от средней фильеры (3) и расположены по окружности равномерно, сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), сообщается с одной из четырех фильер (3), которые окружают среднюю фильеру (3), эти четыре фильеры (3) сообщаются непосредственно со средней фильерой (3) с помощью дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) соответственно, а гантелеобразные элементы, состоящие из пар фильер (3) и соединяющих их сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), расположены между каждыми из двух соседних фильер (3) из числа четырех фильер (3), расположенных по окружности, формируя тринадцатифильерную конструкцию.In the latter case, in a high-frequency inductor for the production of thirteen silicon rods at the same time, one die (3) can be located in the middle, the other four dies (3) surround the middle die (3), are equidistant from the middle die (3) and are evenly spaced around the circumference, a through slot discharge lines of electric current (2), which is located between the pipe for transmitting electric current and supply of cooling water A (5) and the pipe for transmitting electric current and supply of cooling water B (6), communicates with one of four Lier (3), which surround the middle die (3), these four dies (3) communicate directly with the middle die (3) using additional through-hole slits for discharging electric current lines (2), respectively, and dumbbell-shaped elements consisting of pairs of dies ( 3) and through them through the slots of discharge of electric current lines (2) connecting them, are located between each of two adjacent dies (3) from among four dies (3) located around the circle, forming a thirteen-die design.
В высокочастотном индукторе для производства шестнадцати кремниевых прутков одновременно одна фильера (3) может быть расположена посередине, другие пять фильер (3) окружают среднюю фильеру (3), равноудалены от средней фильеры (3) и расположены по окружности равномерно, сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), сообщается с одной из пяти фильер (3), которые окружают среднюю фильеру (3), эти пять фильер (3) сообщаются непосредственно со средней фильерой (3) с помощью дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) соответственно, а гантелеобразные элементы, состоящие из пар фильер (3) и соединяющих их сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), расположены между каждыми из двух соседних фильер (3) из числа пяти фильер (3), расположенных по окружности, с формированием шестнадцатифильерной конструкции.In a high-frequency inductor for the production of sixteen silicon rods at the same time, one die (3) can be located in the middle, the other five dies (3) surround the middle die (3), are equidistant from the middle die (3) and are evenly spaced around the circumference, the through gap of the discharge of electric lines current (2), which is located between the electric current transmission pipe and cooling water supply A (5) and the electric current transmission pipe and cooling water supply B (6), communicates with one of the five dies (3) that surround the middle die (3), these five dies (3) communicate directly with the middle die (3) with the help of additional through slits for discharging electric current lines (2), respectively, and dumbbell-shaped elements consisting of pairs of dies (3) and through holes connecting them rarefaction of electric current lines (2), are located between each of two adjacent dies (3) from among five dies (3), located around the circle, with the formation of the sixteen-die structure.
В высокочастотном индукторе для производства девятнадцати кремниевых прутков одновременно одна фильера (3) может быть расположена посередине, другие шесть фильер (3) окружают среднюю фильеру (3), равноудалены от средней фильеры (3) и расположены по окружности равномерно, эти шесть фильер (3), окружающих среднюю фильеру (3), дополнительно снабжены по периферии другими шестью фильерами (3) соответственно так, что средняя фильера (3) окружена другими фильерами (3) по двум окружностям, сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), сообщается с одной из шести наиболее удаленных от середины фильер (3), которые окружают среднюю фильеру, эти наиболее удаленные от середины шесть фильер (3) сообщаются со средней фильерой (3) с помощью дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) соответственно, которые проходят посередине других шести фильер (3), расположенных ближе к середине, формируя последовательные структуры фильер, направленные от середины к периферии, гантелеобразные элементы, состоящие из пар фильер (3) и соединяющих их сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), расположены между каждыми из двух последовательных структур фильер, а также имеются независимые фильеры (3), которые расположены соответственно между гантелеобразными элементами и шестью фильерами (3), окружающими среднюю фильеру и расположенными ближе к периферии, с формированием девятнадцатифильерной конструкции.In a high-frequency inductor for the production of nineteen silicon rods at the same time, one die (3) can be located in the middle, the other six dies (3) surround the middle die (3), are equidistant from the middle die (3) and are evenly spaced around the circumference, these six dies (3 ) surrounding the middle die (3) are additionally provided on the periphery with other six dies (3), respectively, so that the middle die (3) is surrounded by other dies (3) in two circles, the through gap of the discharge of electric current lines (2), which laid between the pipe for electric current transmission and cooling water supply A (5) and the pipe for electric current transmission and cooling water supply B (6), it communicates with one of the six farthest spacers (3) that surround the middle die, these are the farthest from the middle, six dies (3) communicate with the middle die (3) by means of additional through slits for discharging electric current lines (2), respectively, which pass in the middle of the other six dies (3) located closer to the middle, forming a dative structures of the dies directed from the middle to the periphery, dumbbell-shaped elements consisting of pairs of dies (3) and connecting through-through slits for discharging electric current lines (2) are located between each of two successive structures of dies, and there are also independent dies (3) , which are located respectively between the dumbbell-shaped elements and six dies (3) surrounding the middle die and located closer to the periphery, with the formation of the nineteen dies design.
В высокочастотном индукторе для производства двадцатидвухкремниевых прутков одновременно одна фильера (3) может быть расположена посередине, другие семь фильер (3) окружают среднюю фильеру (3), равноудалены от средней фильеры (3) и расположены по окружности равномерно, сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), сообщается с одной из семи фильер (3), которые окружают среднюю фильеру, эти семь фильер (3) сообщаются со средней фильерой (3) с помощью дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) соответственно, а гантелеобразные элементы, состоящие из пар фильер (3) и соединяющих их сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), расположены между каждыми из двух соседних фильер (3) из числа семи фильер (3), расположенных по окружности, с формированием двадцатидвухфильерной конструкции.In a high-frequency inductor for the production of twenty-two silicon rods at the same time, one die (3) can be located in the middle, the other seven dies (3) surround the middle die (3), are equally spaced from the middle die (3) and are evenly spaced around the circumference, the through gap of the discharge of electric current lines (2), which is located between the electric current transmission pipe and cooling water supply A (5) and the electric current transmission pipe and cooling water supply B (6), communicates with one of the seven dies (3) that surround t of the middle die, these seven dies (3) communicate with the middle die (3) using additional through-hole slots for discharging electric current lines (2), respectively, and dumbbell-shaped elements consisting of pairs of dies (3) and connecting through-hole slits for discharging electric lines current (2) are located between each of two adjacent dies (3) from among seven dies (3) located around the circle, with the formation of twenty-two dies.
В другом высокочастотном индукторе для производства девятнадцати кремниевых прутков одновременно одна фильера (3) может быть расположена посередине, другие шесть фильер (3) окружают среднюю фильеру (3) и расположены ближе к периферии от средней фильеры (3), эти шесть фильер (3) радиально сообщаются через среднюю фильеру (3) с помощью дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), а гантелеобразные элементы, состоящие из пар фильер (3) и соединяющих их сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), расположены между каждыми фильерами (3), расположенными по периферии, с формированием девятнадцатифильерной конструкции.In another high-frequency inductor for the production of nineteen silicon rods at the same time, one die (3) can be located in the middle, the other six dies (3) surround the middle die (3) and are located closer to the periphery from the middle die (3), these six dies (3) radially communicate through the middle die (3) with the help of additional through-through slots for discharging electric current lines (2), and dumbbell-shaped elements consisting of pairs of dies (3) and connecting through-through slits for discharging electric current lines (2) connecting them dy each die (3) arranged along the periphery to form devyatnadtsatifilernoy structure.
За счет применения предлагаемого технического решения изобретение имеет следующие преимущества.Due to the application of the proposed technical solution, the invention has the following advantages.
В высокочастотном индукторе с фильерами для производства множества прутков из кремния обеспечиваются радиальные сквозные щели разряжения линий электрического тока; или фильеры обеспечиваются С-образной сквозной щелью разряжения линий электрического тока и вспомогательными отверстиями направления электрического тока; или с двух сторон фильер обеспечиваются неглубокие пазы; или обеспечивается соединительная сквозная щель разряжения линий электрического тока между двумя фильерами так, чтобы сформировать гантелеобразный элемент у крайних концов радиальных сквозных щелей разряжения линий электрического тока, что позволяет одновременно вытягивать 2-8, 13, 16, 19 или 22 кремниевых прутка. Благодаря тому что электрический ток высокой частоты может более равномерно распределяться вокруг каждой фильеры за счет разряжения линий электрического тока с помощью сквозной щели разряжения линий электрического тока или сквозной щели разряжения линий электрического тока и вспомогательных отверстий направления электрического тока, электрический ток высокой частоты может равномерно распределяться вокруг каждой из фильер с помощью таких сквозных щелей разряжения линий электрического тока, и, соответственно, может быть снижен выход продукции низкого качества, улучшены показатели энергоемкости, а себестоимость производства и процент брака могут быть снижены. С помощью изобретения обеспечивается равномерный нагрев, экономится значительное количество электроэнергии, снижаются затраты на оборудование, совокупные затраты на заработную плату и т.п.In a high-frequency inductor with dies for the production of many rods of silicon, radial pass-through slits for the discharge of electric current lines are provided; or dies are provided with a C-shaped through gap gap discharge lines of electric current and auxiliary holes for the direction of electric current; or shallow grooves are provided on both sides of the dies; or a connecting through gap of the discharge of electric current lines between the two dies is provided so as to form a dumbbell-shaped element at the extreme ends of the radial through cracks of the discharge of electric current lines, which allows you to simultaneously pull 2-8, 13, 16, 19 or 22 silicon rods. Due to the fact that the high-frequency electric current can be more evenly distributed around each die due to the discharge of electric current lines with the help of the through-gap discharge of electric current lines or the through-gap of the discharge of electric current lines and auxiliary holes of the electric current direction, the high-frequency electric current can be evenly distributed around each of the dies with the help of such through slits of rarefaction of electric current lines, and, accordingly, the output can be reduced d products of low quality, improved energy intensity indicators, and the cost of production and the percentage of rejects can be reduced. The invention provides uniform heating, saves a significant amount of electricity, reduces equipment costs, total cost of wages, etc.
Краткое описание чертежейBrief Description of the Drawings
Фиг.1 - схематичный вид конструкции с двумя фильерами по настоящему изобретению.Figure 1 is a schematic view of a structure with two dies of the present invention.
Фиг.2 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с двумя фильерами по настоящему изобретению.Figure 2 is a schematic view illustrating the principle of operation during the flow of electric current in the design with two dies of the present invention.
Фиг.3 - схематичный вид конструкции с двумя фильерами по другому варианту осуществления настоящего изобретения.Figure 3 is a schematic view of a structure with two dies according to another embodiment of the present invention.
Фиг.4 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с двумя фильерами по другому варианту осуществления настоящего изобретения.Fig. 4 is a schematic view illustrating a principle of operation when an electric current flows in a structure with two dies according to another embodiment of the present invention.
Фиг.5 - схематичный вид конструкции с тремя фильерами по настоящему изобретению.5 is a schematic view of a structure with three dies of the present invention.
Фиг.6 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с тремя фильерами по настоящему изобретению.6 is a schematic view illustrating the principle of operation during the flow of electric current in the design with three dies of the present invention.
Фиг.7 - схематичный вид конструкции с тремя фильерами по другому варианту осуществления настоящего изобретения.7 is a schematic view of a structure with three dies according to another embodiment of the present invention.
Фиг.8 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с тремя фильерами по другому варианту осуществления настоящего изобретения.Fig. 8 is a schematic view illustrating a principle of operation when an electric current flows in a three-die structure in accordance with another embodiment of the present invention.
Фиг.9 - схематичный вид конструкции с четырьмя фильерами по настоящему изобретению.Fig.9 is a schematic view of a design with four dies of the present invention.
Фиг.10 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с четырьмя фильерами по настоящему изобретению.Figure 10 is a schematic view illustrating the principle of operation during the flow of electric current in the design with four dies of the present invention.
Фиг.11 - схематичный вид конструкции с четырьмя фильерами по другому варианту осуществления настоящего изобретения.11 is a schematic view of a design with four dies according to another embodiment of the present invention.
Фиг.12 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с четырьмя фильерами по другому варианту осуществления настоящего изобретения.12 is a schematic view illustrating an electric current flow pattern in a four die design in another embodiment of the present invention.
Фиг.13 - схематичный вид конструкции с пятью фильерами по настоящему изобретению.FIG. 13 is a schematic view of a structure with five dies of the present invention. FIG.
Фиг.14 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с пятью фильерами по настоящему изобретению.Fig. 14 is a schematic view illustrating a principle of operation when electric current flows in a five-die structure of the present invention.
Фиг.15 - схематичный вид конструкции с шестью фильерами по настоящему изобретению.FIG. 15 is a schematic view of a design with six dies of the present invention. FIG.
Фиг.16 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с шестью фильерами по настоящему изобретению.Fig. 16 is a schematic view illustrating a principle of operation when electric current flows in a six-die structure of the present invention.
Фиг.17 - схематичный вид конструкции с семью фильерами по настоящему изобретению.17 is a schematic view of a design with seven dies of the present invention.
Фиг.18 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с семью фильерами по настоящему изобретению.Fig. 18 is a schematic view illustrating a principle of operation when an electric current flows in a structure with seven dies of the present invention.
Фиг.19 - схематичный вид конструкции с восемью фильерами по настоящему изобретению.Fig. 19 is a schematic view of a structure with eight dies of the present invention.
Фиг.20 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с восемью фильерами по настоящему изобретению.FIG. 20 is a schematic view illustrating a principle of operation when an electric current flows in a structure with eight dies of the present invention. FIG.
Фиг.21 - схематичный вид конструкции с тринадцатью фильерами по настоящему изобретению.21 is a schematic view of a structure with thirteen dies of the present invention.
Фиг.22 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с тринадцатью фильерами по настоящему изобретению.Fig. 22 is a schematic view illustrating a principle of operation when an electric current flows in a structure with thirteen dies of the present invention.
Фиг.23 - схематичный вид конструкции с шестнадцатью фильерами по настоящему изобретению.23 is a schematic view of a structure with sixteen dies of the present invention.
Фиг.24 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с шестнадцатью фильерами по настоящему изобретению.24 is a schematic view illustrating the principle of operation when an electric current flows in a design with sixteen dies of the present invention.
Фиг.25 - схематичный вид конструкции с шестнадцатью фильерами по другому варианту осуществления настоящего изобретения.25 is a schematic view of a design with sixteen dies according to another embodiment of the present invention.
Фиг.26 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с шестнадцатью фильерами по другому варианту осуществления настоящего изобретения.FIG. 26 is a schematic view illustrating a principle of operation when electric current flows in a sixteen die design according to another embodiment of the present invention.
Фиг.27 - схематичный вид конструкции с девятнадцатью фильерами по настоящему изобретению.27 is a schematic view of a structure with nineteen dies of the present invention.
Фиг.28 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с девятнадцатью фильерами по настоящему изобретению.Fig. 28 is a schematic view illustrating a principle of operation when electric current flows in a structure with nineteen dies of the present invention.
Фиг.29 - схематичный вид конструкции с двадцатью двумя фильерами по настоящему изобретению.29 is a schematic view of a structure with twenty two dies of the present invention.
Фиг.30 - схематичный вид, иллюстрирующий принцип действия при протекании электрического тока в конструкции с двадцатью двумя фильерами по настоящему изобретению.Fig. 30 is a schematic view illustrating a principle of operation when electric current flows in a structure with twenty-two dies of the present invention.
Фиг.31 - схематичный вид распределения магнитного поля с различной интенсивностью линий напряженности магнитного поля в вытягиваемом затравочном кристалле по настоящему изобретению.Fig - schematic view of the distribution of the magnetic field with different intensities of the lines of the magnetic field strength in the drawn seed crystal of the present invention.
Фиг.32 - схематичный вид в перспективе, иллюстрирующий конструкцию с восемью фильерами по настоящему изобретению.32 is a schematic perspective view illustrating an eight-die design of the present invention.
Фиг.33 - схематичный вид в поперечном разрезе конструкции высокочастотного индуктора по настоящему изобретению.33 is a schematic cross-sectional view of a structure of a high frequency inductor of the present invention.
На чертежах обозначено: 1 - высокочастотный индуктор; 2 - сквозная щель разряжения линий электрического тока; 3 - фильера; 4 - канал охлаждающей воды; 5 - патрубок передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А; 6 - патрубок передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В; 7 - впадина на высокочастотном индукторе; 8 - электрический ток высокой частоты; 9 - верхняя поверхность высокочастотного индуктора; 10 - нижняя поверхность высокочастотного индуктора; 11 - вспомогательное отверстие направления электрического тока; 12 - С-образная сквозная щель разряжения линий электрического тока; 13 - неглубокий паз; 14 - головка фиксации затравочного кристалла; 15 - затравочный кристалл; 16 - стержень исходного материала; и 17 - линия напряженности магнитного поля.The drawings indicate: 1 - high-frequency inductor; 2 - through gap gap discharge lines of electric current; 3 - die; 4 - channel cooling water; 5 - pipe for electric current transmission and cooling water supply A; 6 - pipe for electric current transmission and cooling water supply B; 7 - cavity on a high-frequency inductor; 8 - electric current of high frequency; 9 - the upper surface of the high-frequency inductor; 10 - the lower surface of the high-frequency inductor; 11 - an auxiliary hole of the direction of electric current; 12 - C-shaped through gap gap discharge lines of electric current; 13 - shallow groove; 14 - head fixation of the seed crystal; 15 - seed crystal; 16 - the core of the source material; and 17 is a line of magnetic field strength.
Лучший вариант осуществления изобретенияThe best embodiment of the invention
Со ссылкой на последующие варианты осуществления настоящее изобретение может быть проиллюстрировано более подробно, но не ограничивается этими вариантами осуществления.With reference to the following embodiments, the present invention can be illustrated in more detail, but is not limited to these embodiments.
В варианте осуществления в соответствии с фиг.31, фиг.32 и фиг.33, а также на фиг.1-30, где представлены в сборе каждый из вариантов осуществления, с одной стороны высокочастотного индуктора 1 обеспечивается патрубок передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубок передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6, которые расположены смежно друг с другом; сквозная щель разряжения линий электрического тока 2, протянутая внутрь и расположенная между смежно расположенными патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6; верхняя поверхность 9 высокочастотного индуктора 1 выполнена в виде наклонной поверхности с уклоном в направлении к центральной части с образованием впадины; нижняя поверхность 10 высокочастотного индуктора 1 обеспечена утопленной внутрь ступенью; канал охлаждающей воды 4 проходит внутри высокочастотного индуктора 1 по его периферии у крайней внешней поверхности, а два конца канала охлаждающей воды 4 соединены соответственно с патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6.In the embodiment in accordance with FIG.
Сквозная щель разряжения линий электрического тока 2 может сообщаться с фильерами 3, которые расположены во впадине 7 в средней части высокочастотного индуктора 1, или соединять фильеры 3 по кратчайшей прямой линии или сообщаться с верхней или нижней частью дополнительной сквозной щели разряжения линий электрического тока 2, выполненной в форме двутавра, которая расположена в средней части высокочастотного индуктора 1 и лежит на линии сквозной щели разряжения линий электрического тока 2, которая проходит через среднюю часть сквозной щели разряжения линий электрического тока 2, выполненной в форме двутавра, а также сквозные щели разряжения линий электрического тока 2 могут формировать структуру из внутренних и внешних щелей.The through gap of the discharge of electric
Здесь могут выполняться вспомогательные отверстия направления электрического тока 11, которые располагают на двух концах дополнительной С-образной сквозной щели разряжения линий электрического тока 12, или вспомогательное отверстие направления электрического тока 11, которое располагают в средней части сквозной щели разряжения линий электрического тока 2, или вспомогательные отверстия направления электрического тока 11, которые располагают на крайних концах дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2.Here, auxiliary openings of the direction of electric current 11 can be made, which are located at the two ends of the additional C-shaped through gap of the discharge of electric
Также каждая из конструкций содержит не менее двух фильер 3.Also, each of the structures contains at least two dies 3.
Как показано на фиг.1 и фиг.2, две фильеры 3 расположены с двух сторон дополнительной сквозной щели разряжения линий электрического тока 2 в форме двутавра между крайними точками полок такого двутавра с формированием двухфильерной конструкции; и в процессе работы за счет протекания по окружности и будучи направленным вдоль сквозной щели разряжения линий электрического тока 2 в форме двутавра, электрический ток высокой частоты 8 протекает, равномерно охватывая обе фильеры 3 соответственно.As shown in FIGS. 1 and 2, two dies 3 are located on two sides of an additional through gap of the discharge of electric
Как показано на фиг.3 и фиг.4 для другого варианта осуществления изобретения, две фильеры 3 расположены друг за другом в параллель, при этом одна фильера 3 сообщается со сквозной щелью разряжения линий электрического тока 2, а также с дополнительной С-образной сквозной щелью разряжения линий электрического тока 12, которая охватывает половину другой фильеры 3, причем оба конца С-образной сквозной щели разряжения линий электрического тока 12 снабжены вспомогательными отверстиями направления электрического тока 11, тем самым формируя другую двухфильерную конструкцию; и в процессе работы, за счет протекания по окружности и будучи направленным вдоль С-образной сквозной щели разряжения линий электрического тока 12 и вспомогательных отверстий направления электрического тока 11, выполненных на обоих концах С-образной сквозной щели разряжения линий электрического тока 12, электрический ток высокой частоты 8 протекает, равномерно охватывая обе фильеры 3 соответственно.As shown in FIG. 3 and FIG. 4 for another embodiment of the invention, two dies 3 are arranged in parallel in parallel, with one dies 3 communicating with a through slot for discharging electric
Как показано на фиг.5 и фиг.6, конструкция с тремя фильерами 3 по варианту осуществления изобретения является следующей: три фильеры 3 расположены треугольником подобно китайскому иероглифу при этом одна сторона одной фильеры 3 сообщается со сквозной щелью разряжения линий электрического тока 2, которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6, а ее другая сторона сообщается с нижним концом другой сквозной щели разряжения линий электрического тока 2, имеющей Т-образную форму, причем с двух сторон этой сквозной щели разряжения линий электрического тока 2 расположены две другие фильеры 3, а с двух боковых сторон первой фильеры 3 выполнено два неглубоких паза 13 соответственно, за счет чего формируется трехфильерная конструкция; и в процессе работы, за счет протекания по окружности и будучи направленным вдоль сквозной щели разряжения линий электрического тока 2 Т-образной формы, электрический ток высокой частоты 8 протекает, равномерно охватывая все три фильеры 3 соответственно.As shown in FIGS. 5 and 6, the design with three dies 3 according to an embodiment of the invention is as follows: three dies 3 are arranged in a triangle like a Chinese character while one side of one
Как показано на фиг.7 и фиг.8, другая конструкция с тремя фильерами 3 по другому варианту осуществления изобретения является следующей: первая сквозная щель разряжения линий электрического тока 2, которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6, сообщается с одной из фильер 3, которая расположена вблизи от середины высокочастотного индуктора 1, а две боковые стороны этой фильеры 3 снабжены двумя другими сквозными щелями разряжения линий электрического тока 2, при этом крайние концы этих двух сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2 снабжены соответственно вспомогательными отверстиями направления электрического тока 11, при этом две других фильеры 3 расположены с двух сторон от первой сквозной щели разряжения линий электрического тока 2, за счет чего формируется другая трехфильерная конструкция; и в процессе работы, за счет протекания по окружности и будучи направленным вдоль двух других сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, которые расположены с двух боковых сторон фильеры 3, расположенной вблизи от середины высокочастотного индуктора 1, и вдоль двух вспомогательных отверстий направления электрического тока 11, которые расположены на крайних концах этих двух других сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, электрический ток высокой частоты 8 протекает, равномерно охватывая все три фильеры 3 соответственно.As shown in FIG. 7 and FIG. 8, another design with three dies 3 according to another embodiment of the invention is as follows: a first through slot for discharging electric current lines 2, which is located between the electric current transmission pipe and cooling water supply A 5 and the transmission pipe electric current and supply of cooling water B 6 communicates with one of the dies 3, which is located near the middle of the high-frequency inductor 1, and the two sides of this dies 3 are provided with two other through discharge slots lines of electric current 2, while the extreme ends of these two through gap slots for discharging electric current lines 2 are respectively equipped with auxiliary holes for directing electric current 11, while two other dies 3 are located on both sides of the first through gap of discharge of electric current lines 2, due to what forms another three-filler design; and in the process, due to flowing around the circumference and being directed along two other through-through slots for the discharge of electric current lines 2, which are located on two sides of the die 3 located near the middle of the high-frequency inductor 1, and along two auxiliary holes of the electric current direction 11 , which are located at the extreme ends of these two other through-gap slots for discharging electric current lines 2, high-frequency electric current 8 flows, uniformly covering all three dies 3 respectively Tween.
Как показано на фиг.9 и фиг.10, конструкция с четырьмя фильерами 3 по варианту осуществления изобретения является следующей: четыре фильеры 3 расположены квадратом; сквозная щель разряжения линий электрического тока 2, которая проходит между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6, сообщается с двумя фильерами 3, обе боковые стороны каждой из этих фильер 3 сообщаются со вспомогательными отверстиями направления электрического тока 11 с помощью других сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, средняя часть сквозной щели разряжения линий электрического тока 2, расположенная между двумя сообщающимися фильерами 3, также снабжена вспомогательным отверстием направления электрического тока 11, а две другие фильеры 3 расположены с двух сторон от этого вспомогательного отверстия направления электрического тока 11, за счет чего формируется четырехфильерная конструкция; и в процессе работы, за счет протекания по окружности и будучи направленным вдоль двух других сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, которые расположены с боковых сторон двух фильер 3, сообщающихся со сквозной щелью разряжения линий электрического тока 2, которая проходит между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6, и вдоль вспомогательных отверстий направления электрического тока 11, электрический ток высокой частоты 8 протекает, равномерно охватывая все четыре фильеры 3 соответственно.As shown in FIG. 9 and FIG. 10, the design with four dies 3 according to an embodiment of the invention is as follows: four dies 3 are arranged in a square; the through gap of the discharge of electric current lines 2, which passes between the electric current transmission pipe and cooling water supply A 5 and the electric current transmission pipe and cooling water supply B 6, communicates with two dies 3, both sides of each of these dies 3 communicate with auxiliary openings of the direction of electric current 11 using other through-through slots for discharging electric current lines 2, the middle part of the through-slit for discharging electric current lines 2 located between the two fillers 3 are also provided with an auxiliary hole for the direction of electric current 11, and two other dies 3 are located on two sides of this auxiliary hole for the direction of electric current 11, due to which a four-filter structure is formed; and in the process, due to the circumferential flow and being directed along two other through-through slots for discharging electric current lines 2, which are located on the sides of two dies 3 communicating with a through-slit for discharging electric current lines 2, which passes between the electric current transmission pipe and supplying cooling water A 5 and a branch pipe for transmitting electric current and supplying cooling water B 6, and along the auxiliary holes of the direction of electric current 11, high-frequency electric current 8 about flows evenly covering all four dies 3 respectively.
Как показано на фиг.11-20, конструкции с числом фильер от пяти до восьми по вариантам осуществления изобретения являются следующими: одна фильера 3 расположена посередине, другие четыре-семь фильер 3 расположены по окружности равномерно вокруг средней фильеры 3, сквозная щель разряжения линий электрического тока 2, которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6, проходит между двумя соседними фильерами 3 из числа четырех-семи фильер, расположенных по окружности, и сообщается со средней фильерой 3, другие сквозные щели разряжения линий электрического тока 2 числом от двух до шести расположены между фильерами 3 из числа четырех-семи фильер, расположенных по окружности, эти сквозные щели разряжения линий электрического тока 2 выходят из средней фильеры 3 и направлены от центра, располагаясь между другими фильерами 3, а крайний конец каждой из этих сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2 расположен между окружностью центров фильер 3, расположенных по окружности, и внешней окружностью, охватывающей эти фильеры 3, за счет чего формируется пяти-восьмифильерная конструкция; здесь следует отметить, что эти конструкции с числом фильер от пяти до восьми подобны друг другу, поэтому они не описываются подробно по отдельности.As shown in Figs. 11-20, structures with a number of dies from five to eight according to embodiments of the invention are as follows: one die 3 is located in the middle, the other four to seven dies 3 are arranged uniformly around the middle die 3, a through gap of the discharge of electric lines current 2, which is located between the pipe for transmitting electric current and supply of cooling water A 5 and the pipe for transmitting electric current and supply of cooling water B 6, passes between two adjacent dies 3 of four to seven dies located around the circumference, and communicates with the middle die 3, other through slots for discharging electric current lines 2 of a number from two to six are located between the dies 3 of the four or seven dies located around the circumference, these through slots for discharging electric current lines 2 exit from the middle die 3 and are directed from the center, located between the other die 3, and the extreme end of each of these through slots of discharge of electric current lines 2 is located between the circumference of the centers of the die 3 located on the circle, and the outer circumference, covering these dies 3, due to which a five-eight-die structure is formed; it should be noted here that these designs with the number of dies from five to eight are similar to each other, therefore they are not described in detail separately.
Как показано на фиг.21 и фиг.22, конструкция с тринадцатью фильерами 3 по варианту осуществления изобретения является следующей: высокочастотный индуктор с фильерами для производства тринадцати кремниевых прутков включает одну фильеру 3, расположенную посередине, другие четыре фильеры 3, которые окружают среднюю фильеру 3, равноудалены от средней фильеры 3 и расположены по окружности равномерно, сквозная щель разряжения линий электрического тока 2, которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6, сообщается с одной из четырех фильер 3, которые окружают среднюю фильеру 3, эти четыре фильеры 3 сообщаются непосредственно со средней фильерой 3 с помощью дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, а также имеется структура из гантелеобразных элементов, состоящих из пар фильер 3 и соединяющих их сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, которые соответственно расположены между каждыми из двух соседних фильер 3 из четырех фильер 3, расположенных по окружности, с формированием конструкции с тринадцатью фильерами 3; и в процессе работы, одна часть электрического тока высокой частоты 8 течет по окружности, охватывая внешние края тринадцати фильер 3, а другая часть электрического тока высокой частоты 8 совершает челночное движение между парами фильер 3, выполненных в виде гантелеобразных элементов, и средней фильерой 3, при этом электрический ток высокой частоты 8 протекает, равномерно охватывая все тринадцать фильер 3.As shown in Fig.21 and Fig.22, the design with thirteen dies 3 according to a variant embodiment of the invention is as follows: a high-frequency inductor with dies for the production of thirteen silicon rods includes one dies 3 located in the middle, the other four dies 3 that surround the middle die 3 are equidistant from the middle die 3 and evenly spaced around the circumference, the through gap of the discharge of electric current lines 2, which is located between the pipe for transmitting electric current and supplying cooling water 5 and a branch pipe for transmitting electric current and supplying cooling water B 6, communicates with one of the four dies 3 that surround the middle die 3, these four dies 3 communicate directly with the middle die 3 using additional through-hole slots for discharging the electric current lines 2, and there is a structure of dumbbell-shaped elements consisting of pairs of dies 3 and connecting them through the through slots of discharge of electric current lines 2, which are respectively located between each of two adjacent dies 3 of four dies 3 arranged in a circle to form a structure with thirteen dies 3; and in the process, one part of the high-frequency electric current 8 flows around the circumference, covering the outer edges of the thirteen dies 3, and the other part of the high-frequency electric current 8 shuttles between the pairs of dies 3 made in the form of dumbbell-shaped elements, and the middle die 3, while an electric current of high frequency 8 flows, evenly covering all thirteen dies 3.
Как показано на фиг.23 и фиг.24, конструкция с шестнадцатью фильерами 3 по варианту осуществления изобретения является следующей: высокочастотный индуктор с фильерами для производства шестнадцати кремниевых прутков включает одну фильеру 3, расположенную посередине, другие пять фильер 3, которые окружают среднюю фильеру 3, равноудалены от средней фильеры 3 и расположены по окружности равномерно, сквозная щель разряжения линий электрического тока 2, которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6, сообщается с одной из пяти фильер 3, которые окружают среднюю фильеру 3, эти пять фильер 3 сообщаются непосредственно со средней фильерой 3 с помощью дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, а также имеется структура из гантелеобразных элементов, состоящих из пар фильер 3 и соединяющих их сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, которые соответственно расположены между каждыми из двух соседних фильер 3 из пяти фильер 3, расположенных по окружности, с формированием конструкции с шестнадцатью фильерами 3; и в процессе работы одна часть электрического тока высокой частоты 8 течет по окружности, охватывая внешние края шестнадцати фильер 3, а другая часть электрического тока высокой частоты 8 совершает челночное движение между парами фильер 3, выполненных в виде гантелеобразных элементов, и средней фильерой 3, при этом электрический ток высокой частоты 8 протекает, равномерно охватывая все шестнадцать фильер 3.As shown in FIG. 23 and FIG. 24, the design with sixteen dies 3 according to an embodiment of the invention is as follows: a high-frequency inductor with dies for the production of sixteen silicon rods includes one dies 3 located in the middle, the other five dies 3 that surround the middle dies 3 are equidistant from the middle die 3 and evenly spaced around the circumference, the through gap of the discharge of electric current lines 2, which is located between the pipe for transmitting electric current and supplying cooling water A 5 and the branch pipe for transmitting electric current and supplying cooling water B 6, communicates with one of the five dies 3 that surround the middle die 3, these five dies 3 communicate directly with the middle die 3 using additional through-hole slots for discharging the electric current lines 2, and there is a structure of dumbbell-shaped elements consisting of pairs of dies 3 and connecting them through the through slots of the discharge of electric current lines 2, which are respectively located between each of two adjacent dies 3 of five dies 3, located circumferential, with the formation of a design with sixteen dies 3; and in the process, one part of the high-frequency electric current 8 flows around the circumference, covering the outer edges of the sixteen dies 3, and the other part of the high-frequency electric current 8 shuttles between the pairs of dies 3 made in the form of dumbbell-shaped elements and the middle die 3, this electric current of high frequency 8 flows, evenly covering all sixteen dies 3.
Как показано на фиг.25 и фиг.26, конструкция с девятнадцатью фильерами 3 по варианту осуществления изобретения является следующей: высокочастотный индуктор с фильерами для производства девятнадцати кремниевых прутков включает одну фильеру 3, расположенную посередине, другие шесть фильер 3 окружают среднюю фильеру 3, равноудалены от средней фильеры 3 и расположены по окружности равномерно, эти шесть фильер 3, окружающие среднюю фильеру 3, дополнительно снабжены по периферии другими шестью фильерами 3 соответственно так, что средняя фильера 3 окружена другими фильерами 3 по двум окружностям, сквозная щель разряжения линий электрического тока 2, которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6, сообщается с одной из шести наиболее удаленных от середины фильер 3, которые окружают среднюю фильеру, эти наиболее удаленные от середины шесть фильер 3 сообщаются со средней фильерой 3 с помощью дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2 соответственно, которые проходят посередине других шести фильер 3, расположенных ближе к середине, формируя последовательные структуры фильер, направленные от середины к периферии, гантелеобразные элементы, состоящие из пар фильер 3 и соединяющих их сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, расположены между каждыми из двух последовательных структур фильер, а также имеются независимые фильеры 3, которые расположены соответственно между гантелеобразными элементами и шестью фильерами 3, окружающими среднюю фильеру и расположенными ближе к периферии, тем самым формируя девятнадцатифильерную конструкцию; и в процессе работы одна часть электрического тока высокой частоты 8 течет по окружности, охватывая внешние края девятнадцати фильер 3, а другая часть электрического тока высокой частоты 8 совершает челночное движение между парами фильер 3, выполненных в виде гантелеобразных элементов, независимыми фильерами 3 и последовательными структурами фильер 3, которые сообщаются со средней фильерой 3, при этом электрический ток высокой частоты 8 протекает, равномерно охватывая все девятнадцать фильер 3.As shown in Fig and Fig, the design with nineteen dies 3 according to a variant embodiment of the invention is as follows: a high-frequency inductor with dies for the production of nineteen silicon rods includes one die 3 located in the middle, the other six dies 3 surround the middle die 3, are equidistant from the middle die 3 and are evenly spaced around the circumference, these six dies 3 surrounding the middle die 3 are further provided at the periphery of the other six dies 3, respectively, so that the middle die 3 is about is surrounded by other dies 3 in two circles, the through gap of the discharge of electric current lines 2, which is located between the electric current transmission pipe and cooling water supply A 5 and the electric current transmission pipe and cooling water supply B 6, communicates with one of the six farthest from the middle die 3, which surround the middle die, these six dies 3 farthest from the middle communicate with the middle die 3 by means of additional through slits for discharging electric current lines 2, respectively In the middle, which pass in the middle of the other six dies 3, located closer to the middle, forming successive dies structures directed from the middle to the periphery, dumbbell-shaped elements consisting of pairs of dies 3 and through them through gap slots for discharging electric current lines 2 are located between each of the two successive structures of the dies, and there are also independent dies 3, which are respectively located between dumbbell-shaped elements and six dies 3 surrounding the middle die and located bl same to the periphery, thereby forming devyatnadtsatifilernuyu structure; and in the process, one part of the high-frequency electric current 8 flows around the circumference, covering the outer edges of nineteen dies 3, and the other part of the high-frequency electric current 8 shuttles between pairs of dies 3 made in the form of dumbbell-shaped elements, independent dies 3 and sequential structures die 3, which communicate with the middle die 3, while an electric current of high frequency 8 flows, evenly covering all nineteen die 3.
Как показано на фиг.27 и фиг.28, конструкция с девятнадцатью фильерами 3 по другому варианту осуществления изобретения является следующей: другая девятнадцатифильерная конструкция для производства девятнадцати кремниевых прутков включает одну фильеру 3, расположенную посередине, другие шесть фильер 3 окружают среднюю фильеру (3) и расположены ближе к периферии от средней фильеры 3, эти шесть фильер 3 радиально сообщаются через среднюю фильеру 3 с помощью дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, а гантелеобразные элементы, состоящие из пар фильер 3 и соединяющих их сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, расположены между каждыми фильерами 3, расположенными по периферии, формируя девятнадцатифильерную конструкцию; и в процессе работы одна часть электрического тока высокой частоты 8 течет по окружности, охватывая внешние края девятнадцати фильер 3, а другая часть электрического тока высокой частоты 8 совершает челночное движение между парами фильер 3, выполненных в виде гантелеобразных элементов, и шестью фильерами 3, расположенными на периферии, при этом электрический ток высокой частоты 8 протекает, равномерно охватывая все девятнадцать фильер 3.As shown in FIG. 27 and FIG. 28, a design with nineteen dies 3 according to another embodiment of the invention is as follows: another nineteen dies design for producing nineteen silicon rods includes one dies 3 located in the middle, the other six dies 3 surround the middle die (3) and are located closer to the periphery from the
Как показано на фиг.29 и фиг.30, конструкция с двадцатью двумя фильерами 3 по варианту осуществления изобретения является следующей: высокочастотный индуктор с фильерами для производства девятнадцати кремниевых прутков включает одну фильеру 3, расположенную посередине, другие семь фильер 3 окружают среднюю фильеру 3, равноудалены от средней фильеры 3 и расположены по окружности равномерно, сквозная щель разряжения линий электрического тока 2, которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6, сообщается с одной из семи фильер 3, которые окружают среднюю фильеру, эти семь фильер 3 сообщаются со средней фильерой 3 с помощью дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2 соответственно, а гантелеобразные элементы, состоящие из пар фильер 3 и соединяющих их сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2, расположены между каждыми из двух соседних фильер 3 из числа семи фильер 3, расположенных по окружности, формируя двадцатидвухфильерную конструкцию; и в процессе работы одна часть электрического тока высокой частоты 8 течет по окружности, охватывая внешние края двадцати двух фильер 3, а другая часть электрического тока высокой частоты 8 совершает челночное движение между парами фильер 3, выполненных в виде гантелеобразных элементов, и фильерами 3, которые сообщаются со средней фильерой 3, при этом электрический ток высокой частоты 8 протекает, равномерно охватывая все двадцать две фильеры 3.As shown in Fig. 29 and Fig. 30, the design with twenty-two dies 3 according to an embodiment of the invention is as follows: a high-frequency inductor with dies for the production of nineteen silicon rods includes one dies 3 located in the middle, the other seven dies 3 surround the middle dies 3, equidistant from the middle die 3 and arranged uniformly around the circumference, the through gap of the discharge of electric current lines 2, which is located between the pipe for electric current transmission and cooling water supply A 5 and pa the electric current transmission pipe and the cooling water supply B 6 communicate with one of the seven dies 3 that surround the middle die, these seven dies 3 communicate with the middle die 3 by means of additional through slits for discharging the electric current lines 2, respectively, and dumbbell-shaped elements consisting of pairs of dies 3 and connecting through them through the gap of the discharge lines of electric current 2 are located between each of two adjacent dies 3 of the seven dies 3 located around the circumference, forming twenty-two construction; and in the process, one part of the high-frequency electric current 8 flows around the circumference, covering the outer edges of twenty-two dies 3, and the other part of the high-frequency electric current 8 shuttles between pairs of dies 3 made in the form of dumbbell-shaped elements, and dies 3, which communicate with the middle die 3, while an electric current of high frequency 8 flows, evenly covering all twenty-two die 3.
Высокочастотный индуктор с фильерами для производства множества кремниевых прутков работает следующим образом.A high-frequency inductor with dies for the production of many silicon rods works as follows.
Как показано на фиг.31, фиг.32 и фиг.33, а также на фиг.1-30, сквозные щели разряжения линий электрического тока 2 расположены между смежно расположенными патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А 5 и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В 6, причем тип соединения сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2 определяется в зависимости от реальной потребности, как представлено на фиг.1-30, а главной функцией сквозных щелей разряжения линий электрического тока 2 является направление электрического тока высокой частоты 8 для его прохождения по окружности или разветвления у границы раздела так, чтобы стержень исходного материала 16 равномерно нагревался с возможностью выполнения функции вспомогательного расплавляемого материала (стержень исходного материала 16). После расплавления участка на верхнем конце стержня исходного материала 16 (также называемого исходный кремниевый стержень), который находится вблизи нижней поверхности 10 высокочастотного индуктора, головка фиксации затравочного кристалла 14 опускается вниз вместе с затравочным кристаллом 15 так, чтобы затравочный кристалл 14 прошел через фильеры 3, показанные на фиг.1-30, и вставился в расплавленный участок стержня исходного материала 16, после чего затравочный кристалл 15 поднимается вверх, расплав на верхнем конце стержня исходного материала 16 может подниматься вместе с затравочным кристаллом 15, и, соответственно, нижнюю часть стержня исходного материала 16 синхронно и медленно поднимают вверх так, чтобы стержень исходного материала 16 не мог контактировать с высокочастотным индуктором 1. Поскольку верхний конец стержня исходного материала 16 может быть неплоским, нижняя поверхность 10 высокочастотного индуктора сконструирована с утопленной внутрь ступенью, за счет чего стержень исходного материала 16 направляется так, чтобы его верхний конец был настолько близко к нижней поверхности 10, насколько это возможно, для его быстрого расплавления, а верхняя поверхность 9 высокочастотного индуктора сконструирована так, чтобы иметь уклон в направлении снаружи к внутренней части для предотвращении концентрации электрического тока высокой частоты 8 в середине и создания условий для равномерного распространения электрического тока высокой частоты 8 на высокочастотном индукторе 3 с целью достижения равномерного нагрева. После приведения в движение за счет связывания с затравочным кристаллом 15, проходя через высокочастотный индуктор 1 и фильеры 3, расплавленный участок на верхнем конце стержня исходного материала 16 переходит в твердое состояние благодаря уменьшению плотности линий напряженности магнитного поля 17 с формированием нового кристалла столбчатой структуры, при этом головка фиксации затравочного кристалла 14 продолжает медленно подниматься вверх вместе с затравочным кристаллом 15, и может быть сформирован конечный продукт в виде кремниевых прутков поликристаллической структуры с требуемой длиной.As shown in FIG. 31, FIG. 32, and FIG. 33, as well as in FIGS. 1-30, the through-gap slots for the discharge of electric
Следует отметить, что головка фиксации затравочного кристалла 14, как вспомогательное приспособление, упоминается здесь только в качестве для иллюстрации возможности использования изобретения, при этом само изобретение не включает в себя подробности, относящиеся к головке фиксации затравочного кристалла 14, более того, головка фиксации затравочного кристалла 14 и другие приспособления или оборудование не охватываются правовой охраной по этому изобретению.It should be noted that the fixation head of the
Варианты осуществления, которые были выбраны для раскрытия в описании путей достижения технической задачи, являются осуществимыми, однако следует отметить, что изобретение охватывает все возможные изменения и улучшения раскрытых вариантов осуществления, которые относятся к концепции и объему правовой охраны по изобретению.The embodiments that have been selected for disclosure in the description of the ways to achieve the technical task are feasible, however, it should be noted that the invention covers all possible changes and improvements of the disclosed embodiments that relate to the concept and scope of legal protection according to the invention.
ОбъяснениеExplanation
в соответствии со ст.19(1) РСТin accordance with Article 19 (1) of the PCT
Содержание последней части п.1 формулы патентной заявки удалено, а именно, удалены признаки «или имеется четыре фильеры (3), причем одна фильера (3) расположена посередине, другие три фильеры (3) расположены по окружности равномерно вокруг средней фильеры (3), сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), проходит между двумя из трех фильер (3), расположенных по окружности, и сообщается со средней фильерой (3), имеются две другие сквозные щели разряжения линий электрического тока (2), которые проходят от средней фильеры (3) в направлении наружу так, чтобы располагаться между двумя другими фильерами (3) из трех фильер (3), расположенных по окружности, а крайний конец каждой из этих двух сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) расположен между окружностью центров трех фильер (3), расположенных по окружности, и внешней окружностью, охватывающей эти три фильеры (3), формируя четырех-фильерную конструкцию; или имеется несколько фильер (3), причем одна фильера (3) расположена посередине, а другие фильеры (3) расположены по окружности равномерно вокруг средней фильеры (3), сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), проходит между двумя фильерами (3), расположенными по окружности, и сообщается со средней фильерой (3), имеются несколько других сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), которые расположены между другими фильерами (3), расположенными по окружности, или средняя фильера (3) непосредственно сообщается с периферийными фильерами (3) с помощью других сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2)».The content of the last part of claim 1 of the patent application is deleted, namely, the signs “or there are four dies (3) are removed, one dies (3) located in the middle, the other three dies (3) evenly spaced around the middle die (3) , a through slot for discharging electric current lines (2), which is located between the electric current transmission pipe and cooling water supply A (5) and the electric current transmission pipe and cooling water supply B (6), passes between two of the three dies (3), circumferentially and, and communicates with the middle die (3), there are two other through slits for discharging electric current lines (2) that extend from the middle die (3) outward so as to be located between two other dies (3) of the three dies ( 3) located around the circumference, and the extreme end of each of these two through slots for discharging electric current lines (2) is located between the circumference of the centers of the three dies (3) located around the circumference and the outer circle covering these three dies (3), forming four-die design ; or there are several dies (3), and one dies (3) is located in the middle, and the other dies (3) are evenly spaced around the middle die (3), the through slot for discharging electric current lines (2), which is located between the electric transmission branch pipe current and supply of cooling water A (5) and a branch pipe for transmitting electric current and supply of cooling water B (6), passes between two dies (3) located around the circumference, and communicates with the middle die (3), there are several other through discharge slots line electric current (2) which are disposed between the other spinnerets (3) arranged circumferentially, or average spinneret (3) communicates directly with peripheral spinnerets (3) by means of other through-slits discharge lines of electric current (2) ».
Удалены зависимые пункты формулы 2, 3, 4 и 5 патентной заявки.The
Измененная формула не выходит за рамки патентной заявки как подана.The amended formula does not go beyond the scope of the patent application as filed.
Claims (6)
при этом дополнительно включает вспомогательные отверстия направления электрического тока (11), которые выполнены на двух концах дополнительной С-образной сквозной щели разряжения линий электрического тока (12), или вспомогательное отверстие направления электрического тока (11), которое выполнено в средней части сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), или вспомогательные отверстия направления электрического тока (11), которые выполнены на крайних концах дополнительных сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2); и
причем имеется не менее двух фильер (3), при этом: две фильеры (3) расположены с двух сторон дополнительной сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), выполненной в форме двутавра между крайними точками полок такого двутавра с формированием двухфильерной конструкции; или две фильеры (3) расположены друг за другом в параллель, где одна фильера (3) сообщается со сквозной щелью разряжения линий электрического тока (2), а также с дополнительной С-образной сквозной щелью разряжения линий электрического тока (12), которая охватывает половину другой фильеры (3), причем оба конца дополнительной С-образной сквозной щели разряжения линий электрического тока (12) снабжены вспомогательными отверстиями направления электрического тока (11), тем самым формируя двухфильерную конструкцию; или три фильеры (3) расположены треугольником, при этом одна сторона одной фильеры (3) сообщается со сквозной щелью разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), а ее другая сторона сообщается с нижним концом другой сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), имеющей Т-образную форму, причем с двух сторон этой сквозной щели разряжения линий электрического тока (2) Т-образной формы расположены две других фильеры (3), а с двух боковых сторон первой фильеры (3) выполнено два неглубоких паза (13) соответственно, тем самым формируя трехфильерную конструкцию; или одна сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая расположена между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), сообщается с одной из фильер (3), которая расположена вблизи от середины высокочастотного индуктора (1), а две боковые стороны этой фильеры (3) снабжены двумя другими сквозными щелями разряжения линий электрического тока (2), при этом крайние концы этих двух сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2) снабжены соответственно вспомогательными отверстиями направления электрического тока (11), при этом две другие фильеры (3) расположены с двух сторон от первой сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), формируя трехфильерную конструкцию; или четыре фильеры (3) расположены квадратом; сквозная щель разряжения линий электрического тока (2), которая проходит между патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды А (5) и патрубком передачи электрического тока и подачи охлаждающей воды В (6), сообщается с двумя фильерами (3), где обе боковые стороны каждой из этих фильер (3) сообщаются со вспомогательными отверстиями направления электрического тока (11) с помощью других сквозных щелей разряжения линий электрического тока (2), средняя часть сквозной щели разряжения линий электрического тока (2), расположенная между двумя сообщающимися фильерами (3), снабжена вспомогательным отверстием направления электрического тока (11), а две другие фильеры (3) расположены с двух сторон от этого вспомогательного отверстия направления электрического тока (11), формируя четырехфильерную конструкцию.1. A high-frequency inductor with dies for the production of many silicon rods, including: a pipe for transmitting electric current and supplying cooling water A (5) and a pipe for transmitting electric current and supplying cooling water B (6), which are made on one side of the high-frequency inductor (1) and are adjacent to each other; a through gap for discharging electric current lines (2), elongated inward and located between adjacent adjacent electric current transmission and cooling water supply pipes A (5) and electric current transmission and cooling water supply pipes B (6); the upper surface (9) of the high-frequency inductor (1), made in the form of an inclined surface with a slope towards the Central part with the formation of a depression; the lower surface (10) of the high-frequency inductor (1) containing a step recessed inward; a cooling water channel (4) passing inside the high-frequency inductor (1) along its periphery at the outermost surface, the two ends of the cooling water channel (4) being connected respectively to the electric current transmission pipe and cooling water supply A (5) and the electric transmission pipe current and supply of cooling water B (6), characterized in that the through gap of the discharge of electric current lines (2) communicates with dies (3), which are located in the cavity (7) in the middle part of the high-frequency inductor (1), or connects the filter (3) along the shortest straight line, or communicates with the upper or lower part of the additional through gap of the discharge of electric current lines (2), made in the form of an I-beam, which is located in the middle of the high-frequency inductor (1) and lies on the line of the through gap of the discharge of lines electric current (2), which passes through the middle part of the through gap of the discharge lines of electric current (2), made in the form of an I-beam;
this further includes auxiliary holes for the direction of electric current (11), which are made at the two ends of the additional C-shaped through gap of the discharge of electric current lines (12), or an auxiliary hole for the direction of electric current (11), which is made in the middle of the through gap of the discharge lines of electric current (2), or auxiliary holes of the direction of electric current (11), which are made at the extreme ends of the additional through slots of the discharge lines of electric current (2); and
moreover, there are at least two dies (3), wherein: two dies (3) are located on both sides of the additional through gap of the discharge of electric current lines (2), made in the form of an I-beam between the extreme points of the shelves of such an I-beam with the formation of a two-filler structure; or two dies (3) are arranged one after another in parallel, where one die (3) communicates with the through gap of the discharge of electric current lines (2), as well as with the additional C-shaped through gap of the discharge of electric current lines (12), which covers half of the other die (3), with both ends of the additional C-shaped through gap of the discharge of electric current lines (12) provided with auxiliary holes for the direction of electric current (11), thereby forming a two-filler structure; or three dies (3) are arranged in a triangle, with one side of one die (3) communicating with the through gap of the discharge of electric current lines (2), which is located between the electric current transmission pipe and cooling water supply A (5) and the electric current pipe and supplying cooling water B (6), and its other side communicates with the lower end of the other through gap of the discharge of electric current lines (2), having a T-shape, and from two sides of this through gap of the discharge of electric current lines (2) T- image hydrochloric forms are two other die (3) and two shallow groove (13) of the first die (3) with two lateral sides respectively formed, thereby forming trehfilernuyu structure; or one through slot for discharging electric current lines (2), which is located between the electric current transmission pipe and cooling water supply A (5) and the electric current transmission pipe and cooling water supply B (6), communicates with one of the dies (3), which is located near the middle of the high-frequency inductor (1), and the two lateral sides of this die (3) are equipped with two other through slots for discharging electric current lines (2), while the extreme ends of these two through slots for discharging electric current lines (2) are abzheni respectively auxiliary openings of the direction of the electric current (11), while two other dies (3) are located on two sides of the first through gap of the discharge lines of electric current (2), forming a three-filler structure; or four dies (3) are arranged in a square; the through gap of the discharge of electric current lines (2), which passes between the pipe for transmitting electric current and supplying cooling water A (5) and the pipe for transmitting electric current and supply of cooling water B (6), communicates with two dies (3), where both side the sides of each of these dies (3) communicate with auxiliary openings of the electric current direction (11) using other through-gap slots for discharging electric current lines (2), the middle part of the through slit of rarefaction of electric current lines (2) located between two communicating dies (3), is equipped with an auxiliary hole for electric current direction (11), and two other dies (3) are located on two sides of this auxiliary hole for electric current direction (11), forming a four-filament structure.
Applications Claiming Priority (23)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200810182055.3 | 2008-11-25 | ||
CN200810181999.9 | 2008-11-25 | ||
CN200810182052.X | 2008-11-25 | ||
CN200810182053.4 | 2008-11-25 | ||
CN200810182000.2 | 2008-11-25 | ||
CN2008101820002A CN101457388B (en) | 2008-11-25 | 2008-11-25 | High-frequency coil structure capable of simultaneous producing two silicon cores and other crystal material |
CN2008101820534A CN101457390B (en) | 2008-11-25 | 2008-11-25 | High-frequency coil structure capable of simultaneous producing eight silicon cores and other crystal material |
CN2008101820572A CN101457394B (en) | 2008-11-25 | 2008-11-25 | High-frequency coil structure capable of simultaneous producing two silicon cores and other crystal material |
CN2008101819984A CN101487136B (en) | 2008-11-25 | 2008-11-25 | High-frequency coil structure capable of producing six silicon cores and other crystal material at the same time |
CN200810181998.4 | 2008-11-25 | ||
CN200810182056.8 | 2008-11-25 | ||
CN200810182057.2 | 2008-11-25 | ||
CN2008101820568A CN101457393B (en) | 2008-11-25 | 2008-11-25 | High-frequency coil structure capable of simultaneous producing three silicon cores and other crystal material |
CN2008101819999A CN101487137B (en) | 2008-11-25 | 2008-11-25 | High-frequency coil structure capable of producing four silicon cores and other crystal material at the same time |
CN200810182054.9 | 2008-11-25 | ||
CN200810182058.7 | 2008-11-25 | ||
CN200910064015.3 | 2009-01-06 | ||
CN200910064013.4 | 2009-01-06 | ||
CN2009100640134A CN101570884B (en) | 2009-01-06 | 2009-01-06 | High-frequency coil capable of drawing 16 silicon cores or other crystal materials simultaneously |
CN200910064012.X | 2009-01-06 | ||
CN200910064014.9 | 2009-01-06 | ||
CN2009100640168A CN101570887B (en) | 2009-01-06 | 2009-01-06 | High-frequency coil structure capable of drawing 19 silicon cores or other crystal materials |
CN200910064016.8 | 2009-01-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2010145474A RU2010145474A (en) | 2012-05-20 |
RU2459891C2 true RU2459891C2 (en) | 2012-08-27 |
Family
ID=46230155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2010145474/05A RU2459891C2 (en) | 2008-11-25 | 2009-11-06 | High-frequency inductor with draw plates for production of multiple siliceous bars |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2459891C2 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7552498B2 (en) * | 2021-05-18 | 2024-09-18 | 株式会社Sumco | Induction heating coil, single crystal manufacturing apparatus using the same, and method for manufacturing single crystal |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1016375A1 (en) * | 1981-03-04 | 1983-05-07 | Чебоксарский Проектно-Конструкторский И Технологический Институт "Промтрактор" | Apparatus for induction heating of produucts |
RU2133288C1 (en) * | 1997-12-04 | 1999-07-20 | Открытое акционерное общество "Автонормаль" | Coiled steel thermal treatment apparatus |
RU2157795C1 (en) * | 1999-04-14 | 2000-10-20 | Закрытое акционерное общество "Научно-производственная фирма Стройпрогресс-Новый век" | Method and apparatus for preparing melt silicate |
CN200996058Y (en) * | 2007-01-19 | 2007-12-26 | 刘朝轩 | High-frequency coil for producing five silicon core or other crystal materials |
CN200996059Y (en) * | 2007-01-19 | 2007-12-26 | 刘朝轩 | High-frequency coil for producing seven silicon core or other crystal materials |
CN200999269Y (en) * | 2007-01-19 | 2008-01-02 | 刘朝轩 | High-frequency coil capable of producing six silicon cores or other crystal material once |
CN201001209Y (en) * | 2007-01-19 | 2008-01-02 | 刘朝轩 | High-frequency coil capable of producing four silicon cores or other crystal materials |
CN201001208Y (en) * | 2007-01-19 | 2008-01-02 | 刘朝轩 | High-frequency coil capable of meanwhile producing three silicon cores or other crystal materials |
-
2009
- 2009-11-06 RU RU2010145474/05A patent/RU2459891C2/en active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU1016375A1 (en) * | 1981-03-04 | 1983-05-07 | Чебоксарский Проектно-Конструкторский И Технологический Институт "Промтрактор" | Apparatus for induction heating of produucts |
RU2133288C1 (en) * | 1997-12-04 | 1999-07-20 | Открытое акционерное общество "Автонормаль" | Coiled steel thermal treatment apparatus |
RU2157795C1 (en) * | 1999-04-14 | 2000-10-20 | Закрытое акционерное общество "Научно-производственная фирма Стройпрогресс-Новый век" | Method and apparatus for preparing melt silicate |
CN200996058Y (en) * | 2007-01-19 | 2007-12-26 | 刘朝轩 | High-frequency coil for producing five silicon core or other crystal materials |
CN200996059Y (en) * | 2007-01-19 | 2007-12-26 | 刘朝轩 | High-frequency coil for producing seven silicon core or other crystal materials |
CN200999269Y (en) * | 2007-01-19 | 2008-01-02 | 刘朝轩 | High-frequency coil capable of producing six silicon cores or other crystal material once |
CN201001209Y (en) * | 2007-01-19 | 2008-01-02 | 刘朝轩 | High-frequency coil capable of producing four silicon cores or other crystal materials |
CN201001208Y (en) * | 2007-01-19 | 2008-01-02 | 刘朝轩 | High-frequency coil capable of meanwhile producing three silicon cores or other crystal materials |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2010145474A (en) | 2012-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN202226951U (en) | High frequency coil for producing water-drop-shaped drawing hole structure with eight or nine silicon cores | |
CN202226953U (en) | High frequency coil for producing water-drop-shaped or bat-shaped combination drawing hole with five or six silicon cores | |
CN202226956U (en) | High-frequency coil for producing eight or nine silicon core drip-shaped and racket-shaped combination drawing holes | |
RU2459891C2 (en) | High-frequency inductor with draw plates for production of multiple siliceous bars | |
CN200996059Y (en) | High-frequency coil for producing seven silicon core or other crystal materials | |
CN200996058Y (en) | High-frequency coil for producing five silicon core or other crystal materials | |
CN202744654U (en) | Crucible for preparing single crystal silicon by adopting Czochralski method | |
KR101324582B1 (en) | High-frequency coil pulling holes arrangement for producing multiple silicon cores | |
CN217628716U (en) | Crystal cooling device for artificial crystal furnace | |
US20110204044A1 (en) | High-frequency coil pulling holes arrangement for producing multiple silicon cores | |
CN202226952U (en) | High frequency coil for producing water-drop-shaped or bat-shaped combination drawing hole with eight or nine silicon cores | |
CN201001209Y (en) | High-frequency coil capable of producing four silicon cores or other crystal materials | |
CN202279872U (en) | High-temperature furnace heating body | |
CN202246980U (en) | High-frequency coil provided with water-drop-shaped drawing hole structure and used for producing six or seven silicon cores | |
CN202246981U (en) | High-frequency coil of drip-shaped drawing hole structure for producing seven or eight silicon cores | |
CN202246982U (en) | High-frequency coil provided with racket-shaped drawing hole structure and used for producing seven or eight silicon cores | |
CN202226954U (en) | High frequency coil for producing bat-shaped drawing hole structure with six or seven silicon cores | |
CN213231540U (en) | 63-pair-rod reduction furnace chassis for polycrystalline silicon production | |
CN202226955U (en) | High frequency coil for producing water-drop-shaped or bat-shaped combination drawing hole with six or seven silicon cores | |
CN202246985U (en) | High-frequency coil for producing racket-shaped drawing hole structure of five or six silicon cores | |
CN203820920U (en) | High frequency coil drawing hole distribution for drawing seven to fourteen silicon cores simultaneously | |
CN207294941U (en) | Square silicon core ingot casting furnace body | |
CN200999269Y (en) | High-frequency coil capable of producing six silicon cores or other crystal material once | |
CN202246983U (en) | High-frequency coil of drop-shaped drawing hole structure for producing five or six silicon cores | |
CN201952521U (en) | High-frequency induction heater for simultaneously drawing five silicon chips |