RU2458023C1 - Способ получения спеченных изделий на основе нитрида кремния - Google Patents
Способ получения спеченных изделий на основе нитрида кремния Download PDFInfo
- Publication number
- RU2458023C1 RU2458023C1 RU2011108975/03A RU2011108975A RU2458023C1 RU 2458023 C1 RU2458023 C1 RU 2458023C1 RU 2011108975/03 A RU2011108975/03 A RU 2011108975/03A RU 2011108975 A RU2011108975 A RU 2011108975A RU 2458023 C1 RU2458023 C1 RU 2458023C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- silicon nitride
- amount
- mixture
- yttrium
- silicon
- Prior art date
Links
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
Изобретение относится к области получения изделий из высокотемпературных конструкционных материалов на основе нитрида кремния, которые могут использоваться в машиностроении, авиации и других высокотехнологических отраслях промышленности. Способ получения спеченных изделий на основе нитрида кремния включает: приготовление исходной шихты, содержащей порошки нитрида кремния и технологическую добавку, формование изделия, размещение его в реакторе, засыпку изделия слоем экзотермической смеси, содержащей нитрид кремния в количестве 45,0-65,0 мас.% и кремний в количестве 35,0-55,0 мас.%, инициирование горения и термообработку в режиме горения под давлением азота от 5 до 35 МПа. В качестве технологической добавки используют Al2O3, Y2O3, муллит, иттрий-алюминиевый гранат, алюминат кальция, алюмосиликат иттрия в количестве от 5 до 15 мас.%. В шихте используют порошки нитрида кремния, полученные методами плазмохимического, пирохимического или самораспространяющегося высокотемпературного синтезов с удельной поверхностью не менее 5 м2/г. В исходную шихту может быть дополнительно введено не более 30 мас.% порошка кремния. Экзотермическая смесь для засыпки может дополнительно содержать оксид металла II-III группы, преимущественно MgO, Y2O3, Al2O3, в количестве не более 15 мас.%. Технический результат: получение изделий с повышенной механической прочностью и плотностью. 3 з.п. ф-лы, 9 пр.
Description
Изобретение относится к области получения высокотемпературных конструкционных изделий на основе нитрида кремния, которые могут использоваться в машиностроении, авиации и других высокотехнологических отраслях промышленности.
Известен способ получения изделий, содержащих нитрид кремния, сущность которого состоит в том, что приготавливают экзотермическую порошкообразную смесь, включающую, по меньшей мере, один компонент из группы: металл III-VIII группы Периодической системы элементов, бор, кремний, углерод и, по меньшей мере, одно неорганическое соединение из группы: борид, силицид, нитрид переходных металлов IVБ-VIБ групп; карбид, нитрид, оксид кремния; нитрид, оксид алюминия; нитрид бора, оксид элемента II - IV группы, из смеси формуют заготовку изделия, которую подвергают термической обработке в режиме горения в среде азотсодержащего газа при регулировании температуры от 2000 до 3000°С и давления от 0,1 до 1000 МПа. Пористость полученных изделий 1-10%, прочность 25-40 кг/мм2 (RU 1720258, 10.05.1995).
Недостатками этого способа являются необходимость проведения операции длительного смешивания - размола и недостаточно высокая прочность при изгибе 25-40 кг/мм2.
Известен способ изготовления спеченных изделий из нитрида кремния путем активирования спекания, включающий введение в порошок нитрида кремния порошкообразных оксидов магния, алюминия, иттрия, (Андриевский Р.А. и Спивак И.И. М.: Металлургия, 1984, с 57-62).
Наиболее близким к заявляемому изобретению является способ изготовления спеченных изделий из нитрида кремния (RU 2028997, 20.02.1995), который включает прессование порошка нитрида кремния, пропитку заготовки активирующими спекание оксидами и спекание в среде азота. Причем заготовку размещают над слоем алюмосодержащей экзотермической смеси, смесь зажигают, а пропитку ведут за счет конденсации оксида алюминия (из образующихся при горении газообразных продуктов) в порах прессовки.
Недостатком данного метода является неоднородность пропитки с нижней и верхней части заготовок, что отрицательно сказывается на прочностных характеристиках получаемых изделий.
Техническим результатом предлагаемого изобретения является получение изделий на основе нитрида кремния с повышенной плотностью и механической прочностью.
Технический результат достигается тем, что способ получения спеченных изделий на основе нитрида кремния включает: приготовление шихты, содержащей порошки нитрида кремния и технологической добавки, формование изделия, размещение его в реакторе, засыпку изделия слоем экзотермической смеси, инициирование горения и термообработку в режиме горения под давлением азота, согласно изобретению в качестве технологической добавки используют, по крайней мере, одну добавку, выбранную из ряда, включающего: оксид алюминия, иттрия, муллит, иттрий-алюминиевый гранат, алюминат кальция, алюмосиликат иттрия в количестве от 5 до 15 мас.%, в качестве засыпки используют экзотермическую смесь, содержащую нитрид кремния в количестве 45,0-65,0 мас.% и кремний в количестве 35,0-55,0 мас.%, термообработку изделий в засыпке проводят при давлении азота от 5 до 35 МПа.
В качестве порошков нитрида кремния используются порошки, полученные методами плазмохимического, пирохимического или методом самораспространяющегося высокотемпературного синтезов с удельной поверхностью не менее 5 м2/г, взятых порознь или в смеси. В исходную шихту может быть дополнительно введено не более 30 мас.% порошка кремния. Экзотермическая смесь для засыпки может дополнительно содержать, по крайней мере, одну добавку, выбранную из ряда: оксид металла II-III группы в количестве не более 15 мас.%, преимущественно оксид магния, оксид иттрия, оксид алюминия.
Спекание осуществляется за счет тепла, выделяемого при горении шихты. Основу смеси спекаемых образцов составляют порошки нитрида кремния различного происхождения, в том числе с невысокой удельной поверхностью (5-10 м2/г), в которые может быть добавлен порошок кремния в количестве до 30 мас.% для протекания реакционного спекания, а также технологические добавки (5-15 мас.%), способствующие спеканию нитрида кремния, из числа простых оксидов (алюминия, кремния, иттрия, кальция, магния) и сложных оксидных соединений (муллит, иттрий-алюминиевый гранат, алюминат кальция, алюмосиликат иттрия).
Известные и достаточно распространенные способы синтеза нитрида кремния, такие как плазмохимический и пирохимический синтез, приводят к получению высокодисперсного и активного к спеканию нитрида кремния (удельная поверхность до 50 м2/г), но стоимость таких продуктов достаточно высока. Напротив, порошок нитрида кремния, полученный методом СВС, характеризуется невысокой удельной поверхностью (до 10 м2/г), но относительно дешев.
Изделия формуют известными методами керамической технологии: полусухим прессованием под давлением 100-150 МПа при содержании связки (поливиниловый спирт, парафин и др.) 5-10 мас.% от веса шихты; холодным шликерным литьем из водных шликеров (35-45% влажности) в пористые гипсовые формы или горячим шликерным литьем в металлические формы с использованием в качестве связки смеси парафина, воска, петролатума, олеиновой кислоты и др.
После формования изделия выжигают связку при температурах, не допускающих окисления нитрида кремния (600-1100°С).
Сущность предлагаемого способа заключается в том, что заготовку помещают в реактор и окружают экзотермической смесью (засыпка), которая состоит из экзотермически активной части (порошок кремния) и инертного разбавителя (нитрид кремния) и одного из оксидов металлов II-III группы. Разбавитель обеспечивает требуемые условия спекания, такие как температура спекания, степень азотирования заготовки, и обеспечивают стабильный температурный режим спекания.
Изделие спекают в СВС-реакторе в условиях повышенных температур и давлений до 50 МПа. Температура термической обработки заготовок может достигать 2100°С, что позволяет провести быстрое спекание без диссоциации нитрида кремния.
Способ позволяет из порошка нитрида кремния с относительно невысокой удельной поверхностью за короткое время спекания (до 30 минут) получать изделия с плотностью до 98% от теоретической и пределом прочности при изгибе до 600 МПа.
Сущность изобретения подтверждается примерами.
Пример 1
Готовят исходную шихту, состоящую из порошка нитрида кремния 85 мас.%, полученного методом СВС (удельная поверхность 8 м2/г) и добавки Al2O3 (5 мас.%), Y2O3 (10 мас.%). После тщательного смешивания в шихту добавляют временную технологическую связку (парафин - 4% от веса шихты), смешивают, гранулируют и формуют методом полусухого прессования.
Полуфабрикат засыпают экзотермической смесью, состоящей, мас.%: из порошка из кремния 50, нитрида кремния 35, оксида алюминия 10, оксида иттрия 5, помещают в реактор и проводят термообработку в условиях самораспространяющегося высокотемпературного синтеза при максимальной температуре 1950°С и давлении 35 МПа.
После термообработки плотность спеченного материала составляет 94% от истинной, предел прочности при изгибе до 450 МПа.
Пример 2
Готовят исходную шихту, состоящую из смеси порошков нитрида кремния 56 мас.%, полученного методом СВС (удельная поверхность 6 м2/г) и порошка нитрида кремния 24 мас.%, полученного методом плазмохимического синтеза (удельная поверхность 15 м2/г), кремния 15 мас.% и добавки муллита 2Al2O3-3SiO2 5 мас.%. После тщательного смешивания в шихту добавляют временную технологическую связку (5% раствор поливинилового спирта) в количестве 8% от веса шихты, помещают в пресс-форму и прессуют под давлением 120 МПа. После формования полуфабрикат в виде пластины подвергают термообработке на воздухе для удаления связки при максимальной температуре 560°С и выдержке в течение 30 минут.
Затем полуфабрикат изделия засыпают экзотермической смесью, состоящей, мас.%: из тонко дисперсных порошков кремния 45, нитрида кремния 55, помещают в реактор и проводят термообработку в условиях самораспространяющегося высокотемпературного синтеза при максимальных температуре 1900°С и давлении 5 МПа.
После термообработки плотность спеченного материала составляет 92% от истинной, предел прочности при изгибе - 400 МПа.
Пример 3
Готовят исходную шихту, состоящую из порошка нитрида кремния 85 мас.%, полученного методом СВС (удельная поверхность 8 м2/г) и добавки алюмосиликата иттрия Y2O3-Al2O3-SiO2 15 мас.%. После тщательного смешивания в шихту добавляют временную технологическую связку (парафин - 4% от веса шихты) и формуют заготовку методом полусухого прессования.
Заготовку засыпают экзотермической смесью, состоящей, мас.%: из полидисперсных порошков кремния 50, нитрида кремния 35, оксида алюминия 10, оксида иттрия 5, помещают в реактор и проводят термообработку в условиях самораспространяющегося высокотемпературного синтеза при максимальной температуре 1950°С и давлении 5 МПа.
После термообработки плотность спеченного материала составляет 95% от истинной, предел прочности при изгибе до 600 МПа.
Пример 4
Готовят исходную шихту, состоящую из смеси порошков нитрида кремния 70 мас.%, полученного методом СВС (удельная поверхность 10 м2/г), кремния 25 мас.% и добавки муллита (3Al2O3-2SiO2) 5 мас.%. После тщательного смешивания в шихту добавляют временную технологическую связку (парафин - 76 мас.%, петролатум - 20 мас.% и воск - 4 мас.%), смешивают, гранулируют и формуют методом горячего шликерного литья в металлическую форму. После формования полуфабрикат помещают в засыпку тонкодисперсного глинозема и выжигают связку по ступенчатому режиму при максимальной температуре 1000°С.
Полуфабрикат засыпают экзотермической смесью, состоящей, мас.%: из порошка кремния 35, нитрида кремния 65, помещают в реактор и проводят термообработку в условиях самораспространяющегося высокотемпературного синтеза при максимальной температуре 1800°С и давлении 5 МПа.
После термообработки плотность спеченного материала составляет 85% от истинной, предел прочности при изгибе - 150 МПа.
Пример 5
Готовят исходную шихту, состоящую из смеси порошков нитрида кремния 70 мас.%, полученного методом СВС (удельная поверхность 8 м2/г), кремния 23 мас.% и добавки алюмосиликата иттрия Y2O3-Al2O3-SiO2 7 мас.%. После тщательного смешивания в шихту добавляют временную технологическую связку (парафин - 4% от веса шихты), смешивают, гранулируют и формуют изделие методом полусухого прессования.
Полуфабрикат засыпают экзотермической смесью, состоящей, мас.%: из порошка кремния 50, нитрида кремния 35, оксида иттрия 10, оксида магния 5, помещают в реактор и проводят термообработку в условиях самораспространяющегося высокотемпературного синтеза при максимальной температуре 1850°С и давлении 15 МПа.
После термообработки плотность спеченного материала составляет 97% от истинной, предел прочности при изгибе до 450 МПа.
Пример 6
Готовят исходную шихту, состоящую из смеси порошков нитрида кремния 61 мас.%, полученного методом СВС (удельная поверхность 8 м2/г), кремния 26 мас.% и добавки 6 мас.% Al2O3 и 7 мас.% Y2O3. После тщательного смешивания в шихту добавляют временную технологическую связку (парафин - 4% от веса шихты), смешивают, гранулируют и формуют изделие методом полусухого прессования.
Полуфабрикат засыпают экзотермической смесью, состоящей, мас.%: из порошка кремния 50, нитрида кремния 35, оксида алюминия 10, оксида иттрия 5, помещают в реактор и проводят термообработку в условиях самораспространяющегося высокотемпературного синтеза при максимальной температуре 1850°С и давлении 25 МПа.
После термообработки плотность спеченного материала составляет 95% от истинной, предел прочности при изгибе до 450 МПа.
Пример 7
Готовят исходную шихту, состоящую из смеси порошков нитрида кремния 80 мас.%, полученного методом СВС (удельная поверхность 6 м2/г), кремния 15 мас.% и добавки муллита (2Al2O3-3SiO2) 5 мас.%. После тщательного смешивания в шихту добавляют временную технологическую связку (5% раствор поливинилового спирта) в количестве 8% от веса шихты, смешивают, гранулируют, помещают в пресс-форму и прессуют под давлением 120 МПа. После формования заготовки (полуфабриката) в виде пластины подвергают термообработке на воздухе для удаления связки при максимальной температуре 560°С и выдержке в течение 30 минут.
Затем заготовку засыпают экзотермической смесью, состоящей, мас.%: из порошка кремния 40, нитрида кремния 55 и оксида магния 5, помещают в реактор и проводят термообработку в условиях самораспространяющегося высокотемпературного синтеза при максимальной температуре 1800°С и давлении 5 МПа.
После термообработки плотность спеченного материала составляет 92% от теоретической, предел прочности при изгибе - 250 МПа.
Пример 8
Готовят исходную шихту, состоящую из смеси порошков нитрида кремния 65 мас.%, полученного методом СВС (удельная поверхность 6 м2/г), кремния 30 мас.% и алюмината кальция (CaAl2O4) 5 мас.%. После тщательного смешивания в шихту добавляют временную технологическую связку (5-ный раствор поливинилового спирта) в количестве 8% от веса шихты, смешивают, гранулируют, помещают в пресс-форму и прессуют под давлением 120 МПа. После формования заготовки в виде пластины ее подвергают термообработке на воздухе для удаления связки при максимальной температуре 560°С и выдержке в течение 30 минут.
Затем заготовку засыпают экзотермической смесью, состоящей в мас.%: из порошка кремния 40, нитрида кремния 50, оксида иттрия 10, помещают в реактор и проводят термообработку в условиях самораспространяющегося высокотемпературного синтеза при максимальной температуре 1850°С и давлении 5 МПа.
После термообработки плотность спеченного материала составляет 94% от теоретической, предел прочности при изгибе - 400 МПа.
Пример 9
Готовят исходную шихту, состоящую из смеси порошков нитрида кремния 80 мас.%, полученного методом СВС (удельная поверхность 6 м2/г), кремния 15 мас.% и добавки муллита (2Al2O3-3SiO2) 5 мас.%. После тщательного смешивания в шихту добавляют временную технологическую связку (5% раствор поливинилового спирта) в количестве 8% от веса шихты, смешивают, гранулируют, помещают в пресс-форму и прессуют под давлением 120 МПа. После формования полуфабрикат в виде пластины подвергают термообработке на воздухе для удаления связки при максимальной температуре 560°С и выдержке в течение 30 минут.
Затем полуфабрикат засыпают экзотермической смесью, состоящей, мас.%: из порошка кремния 45, нитрида кремния 55, помещают в реактор и проводят термообработку в условиях самораспространяющегося высокотемпературного синтеза при максимальной температуре 1900°С и давлении 10 МПа.
После термообработки плотность конечного материала составляет 93% от истинной, предел прочности при изгибе - 400 МПа.
Таким образом, заявляемый способ позволяет получать изделия из нитрида кремния с высокой прочностью при изгибе и низкой пористостью (не более 7%).
Claims (4)
1. Способ получения спеченных изделий на основе нитрида кремния, включающий приготовление исходной шихты, содержащей порошки нитрида кремния и технологическую добавку, формование изделия и размещение его в реакторе, засыпку изделия слоем экзотермической смеси, инициирование горения и термообработку в режиме самораспространяющегося высокотемпературного синтеза под давлением азота, отличающийся тем, что в качестве технологической добавки используют, по крайней мере, одну добавку, выбранную из ряда, включающего: оксид алюминия, иттрия, муллит, иттрий-алюминиевый гранат, алюминат кальция, алюмосиликат иттрия в количестве от 5 до 15 мас.%, в качестве засыпки используют экзотермическую смесь, содержащую нитрид кремния в количестве 45,0-65,0 мас.% и кремний в количестве 35,0-55,0 мас.%, термообработку изделий в засыпке проводят при давлении азота от 5 до 35 МПа.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве порошков нитрида кремния используются порошки, полученные методами плазмохимического, пирохимического и самораспространяющегося высокотемпературного синтезов с удельной поверхностью не менее 5 м2/г, взятых порознь или в смеси.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в исходную шихту дополнительно вводят не более 30 мас.% порошка кремния.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что экзотермическая смесь дополнительно содержит, по крайней мере, одну добавку, выбранную из ряда: оксид металла II-III группы в количестве не более 15 мас.%, преимущественно оксид магния, оксид иттрия, оксид алюминия.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011108975/03A RU2458023C1 (ru) | 2011-03-11 | 2011-03-11 | Способ получения спеченных изделий на основе нитрида кремния |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2011108975/03A RU2458023C1 (ru) | 2011-03-11 | 2011-03-11 | Способ получения спеченных изделий на основе нитрида кремния |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2458023C1 true RU2458023C1 (ru) | 2012-08-10 |
Family
ID=46849574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011108975/03A RU2458023C1 (ru) | 2011-03-11 | 2011-03-11 | Способ получения спеченных изделий на основе нитрида кремния |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2458023C1 (ru) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2511415C1 (ru) * | 2012-09-17 | 2014-04-10 | Максим Вячеславович Бушуев | Керамический материал на основе карбида и нитрида кремния и способ изготовления из него изделий |
| RU2540674C2 (ru) * | 2013-02-27 | 2015-02-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Малое инновационное предприятие "Реализация инженерно-технических целей порошковой металлургии" | Способ изготовления изделий из нитрида кремния |
| RU2647540C1 (ru) * | 2017-03-13 | 2018-03-16 | Общество с ограниченной ответственностью "МИРКОН" | Способ получения композиционных керамических изделий на основе нитрида кремния |
| CN111187072A (zh) * | 2020-01-09 | 2020-05-22 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种具有优异高温性能的多孔氮化硅陶瓷及其制备方法 |
| RU2734682C1 (ru) * | 2019-11-12 | 2020-10-21 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова Российской академии наук (ИМЕТ РАН) | Способ изготовления керамики из нитрида кремния с легкоплавкой спекающей добавкой алюмината кальция |
| RU2803087C1 (ru) * | 2022-11-29 | 2023-09-06 | Акционерное общество "Композит" (АО "Композит") | Способ изготовления керамических заготовок на основе нитрида кремния |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4400427A (en) * | 1981-12-21 | 1983-08-23 | Gte Laboratories Incorporated | Sintered silicon nitride ceramic articles having surface layers of controlled composition |
| SU1074402A3 (ru) * | 1978-12-05 | 1984-02-15 | Чентро Ричерке Фиат С.П.А. (Фирма) | Способ получени изделий на основе нитрида кремни |
| RU2028997C1 (ru) * | 1991-02-25 | 1995-02-20 | Институт структурной макрокинетики РАН | Способ изготовления спеченных изделий из нитрида кремния |
| EP0731186A1 (en) * | 1993-09-24 | 1996-09-11 | The Ishizuka Research Institute, Ltd. | Composite material and process for producing the same |
| EP1829844A1 (en) * | 2004-11-26 | 2007-09-05 | Kyocera Corporation | Silicon nitride based sintered compact and method for production thereof, and member for molten metal, member for hot working and member for excavation |
-
2011
- 2011-03-11 RU RU2011108975/03A patent/RU2458023C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1074402A3 (ru) * | 1978-12-05 | 1984-02-15 | Чентро Ричерке Фиат С.П.А. (Фирма) | Способ получени изделий на основе нитрида кремни |
| US4400427A (en) * | 1981-12-21 | 1983-08-23 | Gte Laboratories Incorporated | Sintered silicon nitride ceramic articles having surface layers of controlled composition |
| RU2028997C1 (ru) * | 1991-02-25 | 1995-02-20 | Институт структурной макрокинетики РАН | Способ изготовления спеченных изделий из нитрида кремния |
| EP0731186A1 (en) * | 1993-09-24 | 1996-09-11 | The Ishizuka Research Institute, Ltd. | Composite material and process for producing the same |
| EP1829844A1 (en) * | 2004-11-26 | 2007-09-05 | Kyocera Corporation | Silicon nitride based sintered compact and method for production thereof, and member for molten metal, member for hot working and member for excavation |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2511415C1 (ru) * | 2012-09-17 | 2014-04-10 | Максим Вячеславович Бушуев | Керамический материал на основе карбида и нитрида кремния и способ изготовления из него изделий |
| RU2540674C2 (ru) * | 2013-02-27 | 2015-02-10 | Общество с ограниченной ответственностью "Малое инновационное предприятие "Реализация инженерно-технических целей порошковой металлургии" | Способ изготовления изделий из нитрида кремния |
| RU2647540C1 (ru) * | 2017-03-13 | 2018-03-16 | Общество с ограниченной ответственностью "МИРКОН" | Способ получения композиционных керамических изделий на основе нитрида кремния |
| RU2734682C1 (ru) * | 2019-11-12 | 2020-10-21 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова Российской академии наук (ИМЕТ РАН) | Способ изготовления керамики из нитрида кремния с легкоплавкой спекающей добавкой алюмината кальция |
| CN111187072A (zh) * | 2020-01-09 | 2020-05-22 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种具有优异高温性能的多孔氮化硅陶瓷及其制备方法 |
| RU2803087C1 (ru) * | 2022-11-29 | 2023-09-06 | Акционерное общество "Композит" (АО "Композит") | Способ изготовления керамических заготовок на основе нитрида кремния |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2458023C1 (ru) | Способ получения спеченных изделий на основе нитрида кремния | |
| CN107188567B (zh) | 一种高热导率氮化铝陶瓷的制备方法 | |
| WO2017022012A1 (ja) | アルミニウム‐炭化珪素質複合体及びその製造方法 | |
| RU2691207C1 (ru) | Способ получения пористой керамики с бимодальным распределением пористости | |
| JPS61183172A (ja) | 窒化ケイ素成形物の製造方法 | |
| CN106083205B (zh) | 一种通过化学气相渗透提高整体式氧化铝基陶瓷铸型高温强度的方法 | |
| JPS6138149B2 (ru) | ||
| US6015517A (en) | Controlled porosity for ceramic contact sheets and setter tiles | |
| RU2399601C2 (ru) | Способ получения безусадочного конструкционного керамического изделия | |
| RU2540674C2 (ru) | Способ изготовления изделий из нитрида кремния | |
| RU2610482C1 (ru) | Способ получения пористой алюмооксидной керамики | |
| RU2641358C2 (ru) | Способ получения технологических заготовок керамических изделий из нитрида кремния | |
| JP6837685B2 (ja) | アルミニウム合金基複合材料の製造方法 | |
| RU2329997C2 (ru) | Композиционный керамический материал на основе сиалона и способ получения изделий | |
| JP4096096B2 (ja) | ヘキサアルミネート多孔質セラミックス及びその製造方法 | |
| Hagen et al. | Preparation and properties of porous aluminum nitride–silicon carbide composite ceramics | |
| RU2470896C1 (ru) | Способ изготовления корундовых изделий | |
| RU2319678C1 (ru) | СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОМПОЗИЦИОННОГО МАТЕРИАЛА Al2O3-Al | |
| RU2734682C1 (ru) | Способ изготовления керамики из нитрида кремния с легкоплавкой спекающей добавкой алюмината кальция | |
| JP3942288B2 (ja) | セラミックス焼成用セッター材の製造方法 | |
| JP2696734B2 (ja) | 窒化珪素質焼結体の製造法 | |
| JPH0733528A (ja) | セラミック複合焼結体及びその製法、並びにそれを用いた半導体製造用治具 | |
| JPS6235995B2 (ru) | ||
| JP5166223B2 (ja) | 窒化珪素系セラミックスの被接合部材同士を接合する方法 | |
| JPH05105525A (ja) | 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20210312 |