RU2184406C1 - Установка для диффузионной сварки - Google Patents
Установка для диффузионной сварки Download PDFInfo
- Publication number
- RU2184406C1 RU2184406C1 RU2001116759A RU2001116759A RU2184406C1 RU 2184406 C1 RU2184406 C1 RU 2184406C1 RU 2001116759 A RU2001116759 A RU 2001116759A RU 2001116759 A RU2001116759 A RU 2001116759A RU 2184406 C1 RU2184406 C1 RU 2184406C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- additional
- inserts
- thermocouple
- heating
- workpiece assemblies
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Control Of Resistance Heating (AREA)
Abstract
Изобретение относится к оборудованию для сварки с подогревом и может быть использовано в радиотехнической, электронной и приборостроительной промышленности. Уст ановка снабжена дополнительным нагревателем, размещенным в центре зоны расположения узлов-заготовок, и дополнительным регулируемым источником питания. На нижней токопроводящей плите пакетного устройства установлены вставки и выполнено сквозное отверстие, в котором закреплена термопара. Боковая поверхность дополнительного нагревателя выполнена в виде рефлектора, концентрирующего тепловое воздействие в зоне расположения узлов-заготовок. Вставки выполнены из меди с антиоксидным покрытием хром-никель. Регулирование величины нагрева осуществляется дополнительным источником питания в соответствии с показаниями термопары. Такое выполнение установки позволяет подавать тепло и соединяющее напряжение непосредственно на соединяемые элементы. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.
Description
Изобретение относится к оборудованию для сварки с подогревом, в частности к установкам для диффузионной сварки полупроводников с диэлектриками, и может быть использовано в радиотехнической, электронной и приборостроительной промышленности.
Известна установка для диффузионной сварки, содержащая пакетное устройство, состоящее из верхней плиты с системой нажимных токопроводящих штоков, средней центрирующей плиты с контактной защелкой, нижней плиты с посадочными местами для каждого соединяемого узла датчика, изоляторы, токоведущие шины, камеру нагрева с рабочим столом [1].
Недостатками данного технического решения является неэкономичность в использовании тепла, выделяемого нагревателями камеры, длительный процесс нагрева, трудность поддержания заданного температурного режима соединения из-за неравномерного прогрева массивного пакетного устройства.
Наиболее близким по технической сущности решением является установка для диффузионной сварки, содержащая термошкаф с рабочим столом, токоведущие шины, изоляторы, пакетное устройство, состоящее из систем сжатия узлов-заготовок, нижней, верхней и средней токопроводящих плит, токопроводящие и изолированные болты, сжимающие плиты, причем в среднюю токопроводящую плиту встроен двусторонний нагреватель [2].
Недостатками данного технического решения является длительный процесс нагрева встроенным нагревателем, трудность поддержания заданного температурного режима соединения из-за неравномерного прогрева массивного пакетного устройства.
Применение в обоих известных случаях более мощных нагревателей затрудняет поддержание температуры в заданных пределах и увеличивает расход электрической энергии.
Задача изобретения - повышение качества соединяемых деталей за счет более точного поддержания рабочей температуры.
Согласно изобретению установка для диффузионной сварки, содержащая камеру нагрева, нагреватели, термопару, токоведущие шины, изоляторы, пакетное устройство, состоящее из систем сжатия узлов-заготовок, нижней и верхней токопроводящих плит, снабжена дополнительным нагревателем, размещенным в центре зоны расположения узлов-заготовок, и дополнительным регулируемым источником питания для обеспечения нагрева и поддержания заданной температуры, при этом на нижней токопроводящей плите пакетного устройства установлены вставки, изготовленные из материала с высокой теплопроводностью, и выполнено сквозное отверстие, в котором закреплена термопара, чувствительный элемент которой расположен под нижним торцом одного из узлов-заготовок, опирающегося на вставки.
Боковая поверхность дополнительного нагревателя выполнена в виде рефлектора, концентрирующего тепловое воздействие в зоне расположения узлов-заготовок.
Введение дополнительного нагревателя, встроенного в центр зоны расположения узлов-заготовок, позволит, используя комбинированный нагрев, поддерживать заданный температурный режим соединения. На первом этапе пакетное устройство с зажатыми в нем соединяемыми элементами нагревается одновременно нагревателями камеры и дополнительным нагревателем, расположенным в центре зоны расположения узлов-заготовок. При достижении заданной температуры, близкой к температуре соединения, автоматизированный блок управления отключает нагреватели камеры либо переключает их на работу в теплопониженном режиме. Дальнейший нагрев и поддержание температуры соединения осуществляются дополнительным нагревателем. Автоматизированный блок управления плавно регулирует температуру и обеспечивает подачу высокого напряжения на соединяемые элементы в течение заданного времени.
Введение в пакетное устройство вставок из материала с высокой теплопроводностью (например, медь с антиоксидным покрытием хром-никель) обеспечивает подачу тепла и соединяющего напряжения непосредственно на соединяемые элементы, устойчивое и длительное поддержание заданного значения температуры соединяемых элементов.
Регулирование величины нагрева осуществляется дополнительным источником питания в соответствии с показаниями термопары.
Предлагаемая установка позволяет повысить качество соединяемых элементов и снизить энергозатраты.
На фиг. 1 дана схема установки для диффузионной сварки; на фиг. 2 - циклограмма работы установки.
Установка для диффузионной сварки состоит из камеры нагрева 1, нагревателей камеры 2, токоведущих шин нагревателей 3, токоведущих шин высоковольтных 4, изоляторов 5 и пакетного устройства, состоящего из нижней 6 и верхней 7 токопроводящих плит с системами сжатия узлов-заготовок 8. В нижнюю токопроводящую плиту установлены теплопроводные вставки 9. Установка снабжена термопарами 10 и автоматизированным блоком управления 11, имеющим регулятор нагрева 12, реле времени 13, источник высокого напряжения 14. В центре зоны расположения узлов-заготовок установлен дополнительный нагреватель 15. При необходимости камера нагрева 1 помещается в вакуумную камеру 16.
Установка работает следующим образом. На монтажном столе вне установки с помощью центрирующих приспособлений собираются соединяемые узлы-заготовки 8, устанавливаются в пакетное устройство, которое расположено в камере нагрева 1, так, чтобы токоведущие шины 3 и 4 вошли в контакт с защелками пакетного устройства. Блок управления 11 включает нагреватели камеры 2 и дополнительный нагреватель 15. При достижении температуры t1, см.фиг.2, отключаются нагреватели камеры 2 либо переключаются на работу в телопониженном режиме в зависимости от массы соединяемых узлов-заготовок. Дальнейший нагрев идет за счет большей теплоемкости вставок и встроенного дополнительного нагревателя 15. При достижении рабочей температуры tpaб включается реле времени 13 и на соединяемые узлы-заготовки 8 через токоведущие шины 4, защелки и токоведущие плиты 6 и 7 пакетного устройства, теплопроводные вставки 9 подается соединяющее напряжение от источника высокого напряжения 14. Поддержание рабочей температуры tpa6 осуществляется регулятором нагрева 12 путем включения-выключения нагревателя 15. По истечении заданного времени реле времени 13 отключает нагреватель 15. При охлаждении до температуры t2 отключается источник высокого напряжения 14. Установку охлаждают и вынимают центрирующие приспособления с соединенными узлами-заготовками. Блок управления обеспечивает стабилизацию соединяющего напряжения по току и напряжению, имеет защиту от пробоя и устройство для смены полярности соединяющего напряжения.
Использование предлагаемой установки позволит обеспечить подачу тепла и соединяющего напряжения непосредственно на соединяемые элементы, повысить качество соединяемых деталей за счет более точного поддержания температуры соединения в более узком диапазоне температур, а также снизить энергозатраты.
Источники информации
1. SU, авторское свидетельство 1391839, А1, В 23 К 20/26, 30.04.88, БИ 16.
1. SU, авторское свидетельство 1391839, А1, В 23 К 20/26, 30.04.88, БИ 16.
2. RU, патент 2111577, C1 H 01 L 21/324, 20.02.98, БИ 14.
Claims (4)
1. Установка для диффузионной сварки, содержащая камеру нагрева, нагреватели, термопару, токоведущие шины, изоляторы и пакетное устройство, состоящее из систем сжатия узлов-заготовок, нижней и верхней токопроводящих плит, отличающаяся тем, что она снабжена дополнительным нагревателем, размещенным в центре зоны расположения узлов-заготовок, и дополнительным регулируемым источником питания для обеспечения нагрева и поддержания заданной температуры, при этом на нижней токопроводящей плите пакетного устройства установлены вставки, изготовленные из материала с высокой теплопроводностью, и выполнено сквозное отверстие, в котором закреплена термопара, чувствительный элемент которой расположен под нижним торцом одного из узлов-заготовок, опирающегося на вставки.
2. Установка по п. 1, отличающаяся тем, что боковая поверхность дополнительного нагревателя выполнена в виде рефлектора, концентрирующего тепловое воздействие в зоне расположения узлов-заготовок.
3. Установка по п. 1 или 2, отличающаяся тем, что вставки выполнены из меди с антиоксидным покрытием хром-никель.
4. Установка по любому из пп. 1-3, отличающаяся тем, что регулирование величины нагрева осуществляется дополнительным источником питания в соответствии с показаниями термопары.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2001116759A RU2184406C1 (ru) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | Установка для диффузионной сварки |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2001116759A RU2184406C1 (ru) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | Установка для диффузионной сварки |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2184406C1 true RU2184406C1 (ru) | 2002-06-27 |
Family
ID=20250878
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2001116759A RU2184406C1 (ru) | 2001-06-15 | 2001-06-15 | Установка для диффузионной сварки |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2184406C1 (ru) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2604083C1 (ru) * | 2015-06-08 | 2016-12-10 | Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Дальневосточный Федеральный Университет" (Двфу) | Термическая печь |
| RU2604078C1 (ru) * | 2015-06-08 | 2016-12-10 | Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Дальневосточный Федеральный Университет" (Двфу) | Камера термической печи для высокотемпературной обработки стержневых деталей |
| RU2809742C1 (ru) * | 2023-01-24 | 2023-12-15 | Общество с ограниченной ответственностью "НОВА СПБ" | Установка для диффузионной сварки |
-
2001
- 2001-06-15 RU RU2001116759A patent/RU2184406C1/ru active
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2604083C1 (ru) * | 2015-06-08 | 2016-12-10 | Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Дальневосточный Федеральный Университет" (Двфу) | Термическая печь |
| RU2604078C1 (ru) * | 2015-06-08 | 2016-12-10 | Федеральное Государственное Автономное Образовательное Учреждение Высшего Профессионального Образования "Дальневосточный Федеральный Университет" (Двфу) | Камера термической печи для высокотемпературной обработки стержневых деталей |
| RU2809742C1 (ru) * | 2023-01-24 | 2023-12-15 | Общество с ограниченной ответственностью "НОВА СПБ" | Установка для диффузионной сварки |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4236329B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
| US20070284085A1 (en) | Plasma processing apparatus, electrode unit, feeder member and radio frequency feeder rod | |
| JP2007224319A (ja) | ラックバーの高周波焼入装置 | |
| EP1934029B1 (en) | Preform heating device | |
| RU2184406C1 (ru) | Установка для диффузионной сварки | |
| CN208316585U (zh) | 功率组件及电机控制器 | |
| CN108022852B (zh) | Icp刻蚀机台及其绝缘窗口薄膜加热器装置和温度控制方法 | |
| US20230349044A1 (en) | Workpiece holder, system, and operating method for pecvd | |
| JP5311257B2 (ja) | 鋼材加熱装置の電源用トランス及び鋼材加熱装置 | |
| CN114496693A (zh) | 多区加热装置、下电极组件、等离子处理装置及调温方法 | |
| CN106222389B (zh) | 一种用于加热的夹持工装及固溶热处理装置 | |
| KR100765856B1 (ko) | 진공로의 가열장치 | |
| JP4232973B2 (ja) | 直接通電加熱装置 | |
| CN212655816U (zh) | 感应热处理机构 | |
| RU2111577C1 (ru) | Установка для диффузионной сварки | |
| JP4472844B2 (ja) | 無機化合物の溶融及び／又は精製装置 | |
| KR20000012519A (ko) | 고주파 유도가열용 히터 스테이션 | |
| SU1391839A1 (ru) | Установка дл диффузионной сварки | |
| SU404145A1 (ru) | ||
| SU1675394A1 (ru) | Устройство дл разогрева ванны электролизера | |
| CN216134177U (zh) | 一种水冷型微波电源散热装置 | |
| CN220606117U (zh) | 一种中频电容器切换装置及中频感应加热系统 | |
| CN112740830B (zh) | 中间区域独立控制陶瓷加热器 | |
| CN111424138A (zh) | 感应热处理机构 | |
| JP4187381B2 (ja) | 高周波誘導加熱装置における加熱コイルの接続構造 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PD4A | Correction of name of patent owner |