SU404145A1 - - Google Patents

Description

ДЛЯ ЭЛЕКТРОТЕРМИЧЕСКОГО СОЕДИНЕНИЯ ПЛАСТИН ИЗ ЭЛЕКТРОПРОВОДНЫХ МАТЕРИАЛОВ

1

Изобретение относитс  к электронной технике и, в частности, к оборудованию полупроводникового производства и может использоватьс  дл  получени  двухслойных полупроводниковых пластин.

Известны устройства дл  соединени  электропроводных тел (например сварочные аппараты ).

Однако они не позвол ют осуществить соединение полупроводниковых пластин без изменени  их электрофизических свойств и геометрической формы.

Целью изобретени   вл етс  обеспечение равномерного распределени  тока по площади контакта соедин емых пластин и снижени  в них термических напр жений.

Дл  этого узел подвода посто нного тока содержит размещенный в раме токораспределитель в виде цилиндрической пружины, ось которой параллельна плоскости пластин, а каждый виток имеет контакт с рамой и с одной из соедин емых пластин.

На чертеже приведена схема конструкции узла подвода посто нного тока к соедин емым нластинам.

На верхней поверхности узла находитс  диэлектрическа  прокладка /. на которой установлены токопровод щие направл ющие 2, соедин емые через электроды 3 с источником посто нного тока. На токопровод щих направУСТРОЙСТВО

л ющих 2 укреплены рамы 4, в которые вставлена цилиндрическа  пружина 5 и диэлектрическа  прокладка 6. Каждый виток пружины имеет контакт с рамой и с нижней из соедин емых пластин 7, в то врем  как с нижней стороны соедин ема  пластина изолирована от рамы диэлектрической прокладкой 6.

Устройство обеспечивает равномерное распределение электрического тока по поперечному сечению соедин емых пластин и, компенсиру  термическое расщирение и сжатие пластины , снижает в них температурные напр жени .

Навеску 8 легкоплавкого металла помещают на нижней пластине 7 у торца верхней пластины 9 так, чтобы не получилось контакта навески 8 с пружиной 6.

Устройство работает следующим образом.

Пластины 7 и Р с пружинными зажимами помещают на токонровод щие направл ющие 2, загружают навеску 8 легкоплавкого металла. Камеру герметизируют и в ней создают рабочую среду, например атмосферу водорода или вакуум. Включают систему охлалсдени  и производ т нагрев соедин емых пластин. При достижении заданной температуры через пластины пропускают посто нный ток, в результате чего навеска 8 легкоплавкого металла входит в зазор между соедин емыми пластинами , перемещаетс  в нем и выходит с противополо кной стороны, оставл   за собой рекристаллизованный слой из материала пластин, чем и обеспечиваетс  их соединение.

Предмет изобретени 

Устройство дл  электротермического соединени  нластин из электропроводных материалов , состо щее из рабочей камеры с системой охлаждени , узла подвода переменного тока к нагревателю соедин емых пластин, системы обеспечени  рабочей среды, блока контрол  и

управлени , узла подвода посто нного тока к соедин емым пластинам со скольз щими электрическими контактами, отличающеес  тем, что, с целью равномерного распределени 

электрического тока по площади контакта соедин емых пластин и снижени  в них термических напр жений, узел подвода посто нного тока содержит размещенный в раме токораспределитель в виде цилиндрической пружины,

ось которой пара;ллельна плоскости пластин, а каждый виток имеет контакт с рамой и одной из соедин емых пластин.