RU2178384C1 - Способ получения фторидов азота - Google Patents

Способ получения фторидов азота Download PDF

Info

Publication number
RU2178384C1
RU2178384C1 RU2001112371/12A RU2001112371A RU2178384C1 RU 2178384 C1 RU2178384 C1 RU 2178384C1 RU 2001112371/12 A RU2001112371/12 A RU 2001112371/12A RU 2001112371 A RU2001112371 A RU 2001112371A RU 2178384 C1 RU2178384 C1 RU 2178384C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
reactor
nitrogen
melt
fluorination
fluorides
Prior art date
Application number
RU2001112371/12A
Other languages
English (en)
Inventor
Д.С. Пашкевич
О.В. Лантратова
Ю.И. Алексеев
В.Б. Петров
Д.А. Мухортов
Ю.Н. Калинин
Ю.М. Сердюков
Л.А. Смирнова
Е.П. Анисимов
Е.А. Громов
В.В. Мамаев
В.М. Постников
И.А. Фомина
М.М. Хитров
Original Assignee
Общество с ограниченной ответственностью "НьюКем"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Общество с ограниченной ответственностью "НьюКем" filed Critical Общество с ограниченной ответственностью "НьюКем"
Priority to RU2001112371/12A priority Critical patent/RU2178384C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2178384C1 publication Critical patent/RU2178384C1/ru
Priority to KR10-2003-7014679A priority patent/KR20040012817A/ko
Priority to PCT/RU2002/000221 priority patent/WO2002092504A1/ru

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/082Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
    • C01B21/083Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more halogen atoms
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/082Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
    • C01B21/083Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more halogen atoms
    • C01B21/0832Binary compounds of nitrogen with halogens
    • C01B21/0835Nitrogen trifluoride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/082Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
    • C01B21/083Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more halogen atoms
    • C01B21/0832Binary compounds of nitrogen with halogens
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C01INORGANIC CHEMISTRY
    • C01BNON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B21/00Nitrogen; Compounds thereof
    • C01B21/082Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals
    • C01B21/087Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more hydrogen atoms
    • C01B21/088Compounds containing nitrogen and non-metals and optionally metals containing one or more hydrogen atoms containing also one or more halogen atoms
    • C01B21/09Halogeno-amines, e.g. chloramine

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Abstract

Изобретение относится к неорганической химии, к области получения фторидов азота, а именно к получению трифторида азота NF3, тетрафторгидразина N2F4, дифтордиазина N2F2, дифтордиамина NF2H. Сущность способа состоит в том, что проводят фторирование расплава кислых фторидов аммония общей формулы NH4H(x-1)Fx, где х = 2,5-3 газообразным фтором при атмосферном давлении, температуре 80-153oС и перемешивании, обеспечивающем циркуляцию реагентов, при удельном расходе фтора 0,1-0,5 см3/мин на единицу объема расплава. При этом в зависимости от температуры в реакторе получают смесь фторидов азота с повышенным содержанием одного из указанных выше соединений. Если необходимо, для увеличения выхода трифторида азота проводят дополнительное газофазное фторирование в отдельном реакторе. Для этого в реактор газофазного фторирования подают продукты взаимодействия из первого реактора или их часть и дополнительный фтор и проводят взаимодействие при 200 - 400oС. Способ позволяет варьировать состав получаемых фторидов азота с преимущественным выходом одного из соединений. 6 з. п. ф-лы, 1 ил. , 2 табл.

Description

Изобретение относится к неорганической химии, к области получения фторидов азота, а именно к получению трифторида азота NF3 тетрафторгидразина N2F4, дифтордиазина N2F2, дифторамина NF2H.
Фториды азота применяются во многих отраслях химической и электронной промышленности, а именно: в химической промышленности в качестве фторирующих агентов для синтеза фторолефинов, фтораммониевых солей; в качестве окислителей высококалорийных топлив в ракетной технике; в электронной промышленности: для чистки микрокристаллов полупроводников, кремниевых пластин, для сухого травления больших интегральных схем и т. д.
Дифторамин и тетрафторгидразин N2F4 применяются во фторорганическом синтезе в качестве дифтораминирующих агентов; дифтордиазин N2F2 применяется как катализатор полимеризации мономеров - метилметакрилата стирола и циклопентадиена.
Тетрафторгидразин получают взаимодействием трифторида азота с акцепторами фтора - с углеродом (при 440oC) или металлами - медью, висмутом, кобальтом, ураном (при 320-375oC) [А. В. Панкратов. Журнал физической химии, N 3, 398, 1969] , взаимодействием фтора с аммиаком в присутствии катализатора при 0-50oC [G. Ellenrieder and al, Z. Phys. Chern. , N. F. , N 55, 144, 1967] ; фторированием NH4F в смеси с фторидом натрия [L. M. Brown and al, J. Chem. Phys, N 42, 2158, 1965] и т. п.
Дифтордиазин может быть получен разложением азида фтора, фторированием азида натрия или пиролизом трифторида азота или тертрафторгидразина [А. В. Панкратов, О. М. Соколов. Журнал неорганической химии, N 11, 1497, 1966 г. А. В. Панкратов, О. М. Соколов. Журнал неорганической химии, N 13, 2881, 1968 г. ] и т. п.
В настоящее время в промышленности используются две основные технологии производства трифторида азота NF3. Это способы получения трифторида азота электролизом расплава кислых фторидов аммония [патент США 5084156, кл. C 25 B 1/24, оп. 14.06.1991, патент США 5085752, кл. C 25 B 9/00, оп. 04.02.1992; заявка ФРГ 3722163, кл. C 25 G 1/00, оп. 14.02.1989] и прямое фторирование аммиака в расплаве кислого фторида аммония [патент США 4001380, кл. C 01 B 21/00, оп. 04.01.1977, патент США 4091081, кл. C 01 B 21/52, оп. 23.05.1978, и т. п. ] .
Известны попытки проведения фторирования аммиака в газовой фазе [J. Amer. Chem. Soc. , 1960, р. 5301-5304] при соотношении аммиак : фтор 1,01-2,0 : 1 (моль), при этом выход NF3 в расчете на фтор составлял 10-25%: 2NH3 + 3F2--->NF3 + 3HF.
При этом проходят побочные реакции и преобладает реакция фторирования NF3 до N2 и HF.
Индивидуальный фторид аммония разлагается при температурах фторирования и потому его использование нетехнологично.
При фторировании расплава кислой соли аммония процесс образования трифторида азота проходит по схеме NH4FHF + 3F2 ---> NF3 + 3NH4F + 8HF.
В качестве примесей образуются незначительные количества (следы) других фторидов азота.
Известен способ фторирования сложных солей и комплексов, в которых отношение HF: NH3 составляет не менее 2: 1 [патент США 4091081, кл. C 01 B 21/52, оп. 23.05.78] . Способ заключается во фторировании расплава кислого фторида аммония (бифторида) NH4F HF. По этому способу осуществляют барботирование элементного фтора через расплав NH4F HF при температуре в ванне 130-160oC и давлении 200-445 кПа.
В результате в качестве побочного продукта образуется 5 моль HF на 4 моль исходного бифторида. На каждый моль образующегося NF3 расходуется 1 моль NH3, поэтому при непрерывном режиме работы в реактор необходимо непрерывно вводить аммиак или его производные - фторид или бифторид аммония. На выходе в газообразной смеси содержится не более 10-15% об. HF.
Температура поддерживается в интервале от Т плавления исходного фторида (127oC) до температуры разложения продукта. При образовании NF3 выделяется 370 ккал и это тепло необходимо отводить, чтобы не ускорять прохождение побочных реакций, которые уменьшают выход целевого продукта:
2NH4F + 3F2--->N2 + 10HF
NF3 + NH4FHF--->N2 + 5HF
Известен способ получения трифторида азота [патент США 5637285, кл. C 01 B 21/06, оп. 10.06.1997] , по которому целевой продукт, содержащий примеси (следы) других фторидов, получают их элементного фтора и аммиака в среде расплава кислых фторидов солей аммония общей формулы NH4 H1-xFx, где x≥ 2,55.
В качестве фторируемых соединений аммония могут использоваться и другие его соединения: NH4Cl, NH4Br, NH4I, NH4NO3, (NH4)2SO4, и (NH4), полифторидов NH4 Hx-1Fx, и двойных солей (NH4)yMFz n HF, где M = элемент групп IA - VA, IB - VIIIB и VIII Периодической системы, а именно Li, Na, K, Rb, Cs, Be, Mg, Ca, Sr, Ba, B, Al, Ga, In, Tl, Si, Ge, Sn, Pb, и т. д.
Фторирование соединений, в которых отношение HF/NH3 более чем 2,5(моль) в условиях усиленного перемешивания позволяет повысить выход NF3 до 90% при селективности 80%. Фторирование вели в непрерывном режиме при времени контакта от 5 сек до 2 минут под давлением 200-445 кПА и Т 121 -160oC.
Аналогично способу, указанному выше [пат. США 4091081] , дополнительно вводят аммиак для превращения образующегося HF в исходное аммониевое соединение NH3 + xHF ---> NH4Hx-1Fx.
При более высоком содержании HF в расплаве выход NF3 сильнее зависит от мощности перемешивания. Реагенты перемешивают с интенсивностью, выражаемой отношением мощности мешалки к объему расплава P/Nж не менее 5000 Вт/м3, лучше 35000 Вт/м3. Именно интенсивное перемешивание обеспечивает хороший контакт реагентов, в результате чего повышается конверсия.
Однако данный способ не дает возможности получать другие фториды азота, а некоторые получаются в очень незначительных количествах.
Задачей, стоящей перед данным изобретением, было создание способа, позволяющего варьировать состав получаемых продуктов с преимущественным выходом одного из указанных соединений, представляющих в данное время интерес на рынке, и получать в качестве товарных такие продукты, как трифторид азота NF3, тетрафторгидразин N2F4, дифтордиазин N2F2, дифторамин NF2Н. Кроме того, задачей является разработка способа, позволяющего снизить безопасность процесса. Указанная задача решается за счет перемешивания реагентов, которое обеспечивает их циркуляцию в реакторе, и нахождения параметров реакции, позволяющих получать каждый из целевых продуктов.
Сущность изобретения состоит в том, что синтез фторидов азота проводят фторированием кислых фторидов аммония общей формулы NH4 H(x-1)Fx, где x = 2,5-3, газообразным фтором, при этом процесс ведут при атмосферном давлении, температуре 80 - 153oC и перемешивании, обеспечивающем циркуляцию реагентов при удельном расходе фтора 0,1 - 0,5 см3/мин на единицу объема расплава. При необходимости получения: дифтордиазина N2F2 процесс ведут при 80 - 100oC, тетрафторгидразина - 110 - 125oC, дифторамина - при 125 - 135oC. Трифторид азота получают при 138 - 153oC. Продукты взаимодействия, полученные в результате фторирования в расплаве, подвергают дополнительно газофазному фторированию, которое проводят при 200-450oC. Процесс проводят по схеме, показанной на фиг. 1, следующим образом. В реактор поз. I, заполненный расплавом кислых солей аммония (кислотность соли 2,5-3), по линии 1 вводят газообразный фтор, а по линии 2 - аммиак или бифторид аммония. Может использоваться любой реактор, имеющий перемешивающее устройство, такое, как лопастную мешалку, струйный барботер, контур циркуляции жидкости или циркуляционную трубу. Соотношение диаметра реактора к диаметру циркуляционной трубы D/d около 1,5, высота L - около 5D. Кислотность соли в реакторе синтеза поддерживается автоматически в указанном диапазоне, например, подачей в реакционный объем аммиака или фторида аммония (бифторида) аммония. Синтез фторидов азота проводят при удельном расходе фтора 0,1-0,5 см3/мин на единицу объема (см3) расплава. Для получения дифтордиазина N2F2 с выходом не менее 70 об. % в реакторе поддерживается температура 80 - 100oC, при синтезе тетрафторгидразина N2F4 с выходом не менее 40 об. % - при T 100 - 125oC. При получении дифторамина NF2H и температуре 125 - 135oC достигается выход не менее 30 об. %, трифторид азота получают при 138-153oC с выходом не менее 65 об. %.
После реактора смесь фторидов азота с повышенным содержанием одного из указанных поступает на узел разделения для очистки и выделения каждого из указанных соединений. Эти стадии проводятся любыми известными способами.
Для получения трифторида азота NF3 с выходом более 90 об. % применяют дополнительное фторирование фторидов азота NF2H, N2F2, N2F4, образовавшихся в жидкофазном реакторе на первой стадии процесса, элементным фтором при 200-450oC. Стадия дополнительного фторирования осуществляется в реакторе газофазного фторирования (поз. III). При этом в зависимости от расхода фтора на первой стадии, на второй стадии может использоваться как частично не прореагировавший фтор из жидкофазного реактора, так и подаваться новый газообразный фтор. При удельном расходе фтора в реакторе (поз. I) фторирования кислых солей аммония в диапазоне 0,1-0,2 см3/мин F2 на 1 см3 расплава, в газофазный реактор подается свежий фтор с таким расходом, чтобы его суммарная величина на двух стадиях была бы не ниже 0,25 см3/мин F2 на 1 см3 расплава.
Реактором газофазного фторирования является полый сосуд с термостатированными при 200-450oC стенками, в который подается смесь фторидов азота и фтора. Выводимый из газофазного реактора трифторид азота подается на стадию очистки от примесей.
Измерение температуры осуществляется термопарами, установленными на стенках реакторов.
Ниже приведены примеры конкретной реализации данного изобретения.
Получение фторидов азота
Цилиндрический реактор (поз. I) длиной 350 мм, диаметром 70 мм с внутренней циркуляционной трубой диаметром около 47 мм (D/d ≈ 1,5), снабженный плосколопастной турбинной мешалкой и имеющий на внешней стенке электронагреватель, заполнен расплавом кислых солей фторидов аммония кислотностью x= 2,55-3. В расплав под мешалку с удельным расходом F2 0,1-0,5 см3/мин на 1 см3 расплава подают газообразный фтор (линия 1), который с помощью перемешивающего устройства распределяется по объему. Газообразные продукты реакции через фазоразделитель поз. II выводятся из реактора на стадию разделения и очистки по линии 4 при закрытом вентиле на линии, ведущей в реактор поз. III. Составы продуктов реакции в зависимости от температуры расплава в диапазоне 80-155oC приведены в табл. 1. Дальнейшее увеличение температуры в реакторе приводит к образованию азота в большом количестве наряду с продуктами реакции, что делает малоэффективным данный способ синтеза фторидов азота. Поэтому указанный температурный диапазон является наиболее оптимальным. Параметры проведения процесса и полученные результаты представлены в табл. 1 (примеры 1- 7).
Получение смеси с преимущественным содержанием трифторида азота
Процесс проводится также по схеме, приведенной на чертеже. Однако в данном случае смесь продуктов, выводимую из реактора поз. I, после прохождения ее через фазоразделитель поз. II подвергают дополнительному фторированию. Смесь из фазоразделителя поз. II при закрытом вентиле на линии 4 проходит через открытый вентиль на линии, ведущей в реактор газофазного фторирования поз. III. Реактор имеет на внешней поверхности электрический нагреватель. В этот реактор (поз. III), заполняемый реагентами из фазоразделителя, подается газообразный фтор по линии la. При удельном расходе фтора F2 от 0,1-0,2 см3/мин на 1 см3 расплава (в реакторе поз. I) в газофазный реактор подается свежий фтор с таким расходом, чтобы его суммарная величина на двух стадиях была бы не ниже 0,25 см3/(см3•мин). Если удельный расход фтора в реакторе поз. I был выше 0,25 см3/(мин•см3) расплава, то в реактор газофазного фторирования фтор может подаваться с расходом до 0,5 см3/(мин•см3), а может и не подаваться. Процесс фторирования в реакторе поз. III ведется при температуре 200 - 450oC. Температура измеряется с помощью термопар, установленных на стенках реактора.
Показатели выхода трифторида азота в зависимости от температуры расплава на первой стадии и температуры стенки реактора на второй стадии процесса приведены в табл. 2 (примеры 8 - 18).

Claims (7)

1. Способ получения фторидов азота фторированием расплава кислых фторидов аммония общей формулы NH4H(x-1)Fx, где х = 2,5-3, газообразным фтором при перемешивании, отличающийся тем, что процесс ведут при атмосферном давлении, температуре 80 - 153oС и перемешивании, обеспечивающем циркуляцию реагентов, при удельном расходе фтора 0,1-0,5 см3/мин на единицу объема расплава.
2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что дифтордиазин N2F2 получают при 80-100oС.
3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что тетрафторгидразин N2F4 получают при 110-125oС.
4. Способ по п. 1, отличающийся тем, что дифторамин NF2H получают при 125-135oС.
5. Способ по п. 1, отличающийся тем, что трифторид азота NF3 получают при 138-153oС.
6. Способ по пп. 1-5, отличающийся тем, что продукты взаимодействия, полученные в результате фторирования в расплаве, дополнительно подвергают газофазному фторированию.
7. Способ по п. 6, отличающийся тем, что дополнительное газофазное фторирование проводят при 200-450oС.
RU2001112371/12A 2001-05-11 2001-05-11 Способ получения фторидов азота RU2178384C1 (ru)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001112371/12A RU2178384C1 (ru) 2001-05-11 2001-05-11 Способ получения фторидов азота
KR10-2003-7014679A KR20040012817A (ko) 2001-05-11 2002-04-26 플루오르화질소의 제조방법
PCT/RU2002/000221 WO2002092504A1 (fr) 2001-05-11 2002-04-26 Procede de fabrication de fluorures d'azote

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2001112371/12A RU2178384C1 (ru) 2001-05-11 2001-05-11 Способ получения фторидов азота

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2178384C1 true RU2178384C1 (ru) 2002-01-20

Family

ID=20249346

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2001112371/12A RU2178384C1 (ru) 2001-05-11 2001-05-11 Способ получения фторидов азота

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR20040012817A (ru)
RU (1) RU2178384C1 (ru)
WO (1) WO2002092504A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2255040C1 (ru) * 2004-07-02 2005-06-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский научный центр "Прикладная химия" (ФГУП "РНЦ "Прикладная химия") Способ получения трифторида азота
RU2256605C1 (ru) * 2004-05-14 2005-07-20 Общество с ограниченной ответственностью "НьюКем" Способ получения трифторида азота
SG114647A1 (en) * 2002-12-23 2005-09-28 Boc Group Inc Nf3 production reactor

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US454242A (en) * 1891-06-16 Dental engine
US3961024A (en) * 1963-06-18 1976-06-01 Allied Chemical Corporation Fluoro compound production
EP0004767A1 (en) * 1978-04-06 1979-10-17 Air Products And Chemicals, Inc. Removal of dinitrogen difluoride from atmospheres containing nitrogen trifluoride
US5637285A (en) * 1996-01-30 1997-06-10 Air Products And Chemicals, Inc. Process for nitrogen trifluoride synthesis

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6071503A (ja) * 1983-09-27 1985-04-23 Central Glass Co Ltd Νf↓3の製造法
SU1530238A1 (ru) * 1988-01-05 1989-12-23 Предприятие П/Я Р-6956 Газожидкостной реактор с циркул ционным контуром

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US454242A (en) * 1891-06-16 Dental engine
US3961024A (en) * 1963-06-18 1976-06-01 Allied Chemical Corporation Fluoro compound production
EP0004767A1 (en) * 1978-04-06 1979-10-17 Air Products And Chemicals, Inc. Removal of dinitrogen difluoride from atmospheres containing nitrogen trifluoride
US5637285A (en) * 1996-01-30 1997-06-10 Air Products And Chemicals, Inc. Process for nitrogen trifluoride synthesis

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG114647A1 (en) * 2002-12-23 2005-09-28 Boc Group Inc Nf3 production reactor
RU2256605C1 (ru) * 2004-05-14 2005-07-20 Общество с ограниченной ответственностью "НьюКем" Способ получения трифторида азота
RU2255040C1 (ru) * 2004-07-02 2005-06-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Российский научный центр "Прикладная химия" (ФГУП "РНЦ "Прикладная химия") Способ получения трифторида азота

Also Published As

Publication number Publication date
WO2002092504A1 (fr) 2002-11-21
KR20040012817A (ko) 2004-02-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6596251B2 (en) Hydrogen cyanide synthesis process
JP6336111B2 (ja) 純粋なトリシリルアミンを製造する方法
KR100839274B1 (ko) 삼불화질소의 제조 방법 및 장치
JP3727797B2 (ja) 三フッ化窒素の製造方法
PL148109B1 (en) Method of obtaining nithomethane
JP5444453B2 (ja) ビス(フルオロスルホニル)イミドの製造方法
RU2178384C1 (ru) Способ получения фторидов азота
JP5560136B2 (ja) ビス(フルオロスルホニル)イミドの製造方法
US4804792A (en) Nitration of benzene or toluene in a molten nitrate salt
JP3795679B2 (ja) 臭素化合物の製造方法
EP1256546B1 (en) Process for preparing nitrogen trifluoride
JP2000159505A (ja) フッ素化ハロゲン化合物の製造方法
JP2004203739A (ja) Nf3製造反応器
JP2001322806A (ja) 三フッ化窒素の製造方法及びその用途
EP0330420B1 (en) Process for manufacture of fluoroaromatics
JPS6137202B2 (ru)
WO2001085603A2 (en) Process for producing nitrogen trifluoride and use thereof
KR102722226B1 (ko) 카르밤산암모늄의 스페시에이션된 용액을 형성하기 위한 시스템 및 방법
US2797144A (en) Production of ammonium nitrite solutions
RU2041194C1 (ru) Способ получения октафторпропана и реактор для его осуществления
SU1150919A1 (ru) Способ получени дифторхлорметана
JPS5842849B2 (ja) 低級パ−フルオロアルカンの製造方法
KR100591101B1 (ko) 삼플루오르화질소의 제조 방법
RU2182555C1 (ru) Способ получения трифторида азота
US2851336A (en) Two-stage process for sulfamic acid manufacture

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20090512