RU2099439C1 - Устройство для нанесения покрытий (варианты) - Google Patents
Устройство для нанесения покрытий (варианты) Download PDFInfo
- Publication number
- RU2099439C1 RU2099439C1 RU95107368A RU95107368A RU2099439C1 RU 2099439 C1 RU2099439 C1 RU 2099439C1 RU 95107368 A RU95107368 A RU 95107368A RU 95107368 A RU95107368 A RU 95107368A RU 2099439 C1 RU2099439 C1 RU 2099439C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electrode system
- substrate holder
- alternating
- vacuum chamber
- ribbed
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Изобретение относится к ионно-плазменной обработке, в частности к устройствам для нанесения покрытий в вакууме. Сущность изобретения: устройство, содержащее вакуумную камеру 1, магнитную систему 2, электродную систему 3 с ребрами 4, подложкодержатель 5 с подложками 6, системой питания 7, имеет электронную систему, выполненную в виде чередующихся колец, расположенных на расстоянии 1-3 мм друг от друга. Внутренняя поверхность колец выполнена ребристой с углом ребра при вершине 20 - 45o. В другом варианте электронная система выполнена в виде чередующихся пластин, расположенных в одной плоскости, а плоские подложки закреплены на подложкодержателе на расстоянии 10 - 20 мм от поверхности электродов. При этом поверхность электродов выполнена ребристой. 1с.п. ф-лы 2 ил.
Description
Изобретение относится к ионно-плазменным устройствам для покрытия металлами различных материалов и может быть использовано в светотехнике, оптике, электронике, в частности микроэлектронике, для получения тонких покрытий катодным распылением.
Наиболее близким к предлагаемому является устройство по авт.св. 796248 "Устройство для нанесения покрытий", 1981 г. Устройство содержит вакуумную камеру, электродную систему из распыляемого металла, источник питания, магнитную систему, газовый коллектор для подачи реактивного газа, а также подложку и подложкодержатель.
Недостатком устройства является невозможность покрытия подложки большой площади.
Целью изобретения является повышение производительности устройства, а также увеличение площади подложек, покрываемых металлом.
Поставленная цель достигается тем, что для нанесения покрытий на подложки цилиндрической или близкой к ней формы в известном устройстве, состоящем из вакуумной камеры с давлением 0,01 0,1 мм рт.ст. магнитной системы, электродной системы из распыляемых металлов, источника питания, подложкодержателя, подложки, электродная система выполнена в виде чередующихся колец, расположенных на расстоянии 1 3 мм друг от друга, а внутренняя поверхность колец выполнена ребристой с углом ребра при вершине 20o- 45o. Магнитная система расположена коаксиально и обеспечивает индукцию магнитного поля 0,03 0,1 Тл. Во втором варианте для нанесения покрытий на подложки плоской геометрии электродная система выполнена в виде чередующихся пластин, расположенных в одной плоскости, а подложкодержатель представляет собой плоскость для крепления подложек на расстоянии 10 20 мм от плоскости электродов, при этом поверхность электродной системы выполнена ребристой.
на фиг. 1 представлен вариант устройства для нанесения покрытия на подложки цилиндрической формы, в котором электродная система выполнена в виде чередующихся колец; на фиг.2 вариант выполнения устройства.
Устройство состоит из вакуумной камеры 1, магнитной системы 2, электродной системы 3 с ребрами 4, подложкодержателя 5 с подложками 6, источника питания 7, герметичной крышки 8.
В вакуумной камере 1 не подложкодержатель 5 устанавливают подложку 6. Герметично закрывает крышку 8. Откачивает камеру до давления 0,1 0,01 мм рт. ст. Включают питание от источника 7 переменного напряжения 1 3 кВ, магнитную систему 2, и подложка покрывается слоем металла катода.
Для покрытия металлом крупногабаритных плоских подложек в вакуумную камеру устанавливают электродную систему с ребрами, изготовленную в виде чередующихся пластин, расположенных в одной плоскости. Подложкодержатель устанавливают на внутреннюю поверхность герметичной крышки. Подложкодержатель 5 представляет собой плоскость для крепления плоских подложек на расстоянии 10 20 мм от поверхности электродов.
Claims (2)
1. Устройство для нанесения покрытий, содержащее вакуумную камеру, магнитную систему, электродную систему из распыляемого металла, источник питания и подложкодержатель с подложками, отличающееся тем, что электродная система выполнена в виде чередующихся колец с ребристой внутренней поверхностью и с углом каждого ребра при вершине 20 45o, установленных с зазором 1 3 мм относительно друг друга, а магнитная система расположена коаксиально камере.
2. Устройство для нанесения покрытий, содержащее вакуумную камеру, магнитную систему, электродную систему из распыляемого металла, источник питания и подложкодержатель с подложками, отличающееся тем, что электродная система выполнена в виде чередующихся пластин, выполненных с ребристой поверхностью и установленных в одной плоскости, а подложкодержатель выполнен в виде плоского элемента для крепления плоских подложек, установленного на расстоянии 10 20 мм от поверхности пластин электродной системы.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU95107368A RU2099439C1 (ru) | 1995-05-06 | 1995-05-06 | Устройство для нанесения покрытий (варианты) |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU95107368A RU2099439C1 (ru) | 1995-05-06 | 1995-05-06 | Устройство для нанесения покрытий (варианты) |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU95107368A RU95107368A (ru) | 1997-01-27 |
RU2099439C1 true RU2099439C1 (ru) | 1997-12-20 |
Family
ID=20167530
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU95107368A RU2099439C1 (ru) | 1995-05-06 | 1995-05-06 | Устройство для нанесения покрытий (варианты) |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2099439C1 (ru) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2486280C2 (ru) * | 2007-12-06 | 2013-06-27 | Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах | Вакуумная pvd-установка нанесения покрытий |
-
1995
- 1995-05-06 RU RU95107368A patent/RU2099439C1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
SU, авторское свидетельство, 796248, кл. C 23 C 14/32, 1981. * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2486280C2 (ru) * | 2007-12-06 | 2013-06-27 | Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах | Вакуумная pvd-установка нанесения покрытий |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU95107368A (ru) | 1997-01-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20090308732A1 (en) | Apparatus and method for uniform deposition | |
CN1282384A (zh) | 磁控管溅射源 | |
JPS6254078A (ja) | 陰極スパツタリング処理により基板に薄層を被着する装置 | |
JP2012512324A (ja) | 真空物理的蒸着のためのチャンバシールド | |
CN109075008A (zh) | 与介电沉积一起使用的非消失的阳极 | |
FI82717B (fi) | Anordning foer att i vakuum foerse en glasskiva med en reaktiv katodfoerstoftningsbelaeggning. | |
WO2010123680A2 (en) | Wafer processing deposition shielding components | |
US6328857B1 (en) | Method for forming coating on substrate and sputtering apparatus used for the method | |
CN1500906A (zh) | 促进电弧喷射涂层的涂覆和功能的部件特征设计 | |
RU2099439C1 (ru) | Устройство для нанесения покрытий (варианты) | |
US5538609A (en) | Cathodic sputtering system | |
JPH0240739B2 (ja) | Supatsutasochi | |
EP0458085B1 (en) | Plasma CVD apparatus | |
RU1809840C (ru) | Устройство дл нанесени тонких пленок в вакууме | |
JP4450654B2 (ja) | スパッタ源及び成膜装置 | |
JP2008025031A (ja) | マルチカソード設計用冷却暗部シールド | |
US5753089A (en) | Sputter coating station | |
JPH09176840A (ja) | 真空被覆装置 | |
US5656091A (en) | Electric arc vapor deposition apparatus and method | |
RU121812U1 (ru) | Катодно-распылительный узел магнетрона (варианты) | |
CN215163091U (zh) | 一种真空蒸镀机的镀锅轨道保护结构 | |
US3779891A (en) | Triode sputtering apparatus | |
RU2242821C2 (ru) | Магнетронная распылительная система | |
KR20070001722A (ko) | 플라즈마 에칭 처리 장치 | |
RU54948U1 (ru) | Установка для нанесения покрытий |