RU2072735C1 - Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера - Google Patents
Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера Download PDFInfo
- Publication number
- RU2072735C1 RU2072735C1 RU95108587/28A RU95108587A RU2072735C1 RU 2072735 C1 RU2072735 C1 RU 2072735C1 RU 95108587/28 A RU95108587/28 A RU 95108587/28A RU 95108587 A RU95108587 A RU 95108587A RU 2072735 C1 RU2072735 C1 RU 2072735C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- channel
- microscope
- scanning
- atomic force
- tunneling microscope
- Prior art date
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
1. Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий систему подачи и сканирования образца, измерительную головку, включающую платформу, установленные на ней полупроводниковый лазер и фотодатчик отклонения отраженного луча лазера, электронные схемы управления и регистрации, включающие канал сканирующего туннельного микроскопа, канал атомно-силового микроскопа и канал обратной связи, систему акустической, конвекционной и виброзащиты, кантилевер и иглу сканирующего туннельного микроскопа, отличающийся тем, что кантилевер и игла сканирующего туннельного микроскопа закреплены на дополнительно введенном столике, установленном в измерительной головке с возможностью перемещения, а канал обратной связи дополнительно снабжен реле, обеспечивающим подключение канала обратной связи либо к выходу канала сканирующего туннельного микроскопа, либо к выходу канала атомно-силового микроскопа.2. Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий систему подачи и сканирования образца, измерительную головку, включающую платформу, установленные на ней полупроводниковый лазер и фотодатчик отклонения отраженного луча лазера, электронные схемы управления и регистрации, включающие канал сканирующего туннельного микроскопа, канал атомно-силового микроскопа и канал обратной связи, систему акустической, конвекционной и виброзащиты, чувствительные элементы сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа, отличающийся тем, что чувствительные элементы сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа выполнены в виде комбинированного зонда, включающего держатель кантилевера с закрепленным на нем
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU95108587/28A RU2072735C1 (ru) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
RU95108587/28A RU2072735C1 (ru) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU95108587A RU95108587A (ru) | 1996-08-20 |
RU2072735C1 true RU2072735C1 (ru) | 1997-01-27 |
Family
ID=48434405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU95108587/28A RU2072735C1 (ru) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
RU (1) | RU2072735C1 (ru) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2180726C1 (ru) * | 2001-05-25 | 2002-03-20 | Зао "Нт-Мдт" | Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с инвертированным оптическим микроскопом |
-
1995
- 1995-05-25 RU RU95108587/28A patent/RU2072735C1/ru active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU95108587A (ru) | 1996-08-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU94028284A (ru) | Способ фотонной сканирующей туннельной микроскопии и фотонный сканирующий туннельный микроскоп | |
DE69332444D1 (de) | Abtastsystem und Verfahren | |
NO981964D0 (no) | FremgangsmÕte for forbedring av LADAR-oppl÷sning | |
MXPA02002503A (es) | Metodo y aparato para determinar las caracteristicas de una zona de haz laser. | |
US5631410A (en) | Vibrating probe atomic force microscope | |
DE69034251D1 (de) | Atomkraftmikroskop mit nach Wahl auswechselbarer Flüssigkeitszelle | |
US5406833A (en) | Atomic force microscope | |
ATE227419T1 (de) | Abtastkopf | |
KR910020668A (ko) | 광 빔 제어용 트래킹 제어장치 | |
ATE165675T1 (de) | Optisches nahfeld-verfahren für mikrolithographie und mikrolithographie-vorrichtungen unter verwendung desselben | |
EP1653478B1 (en) | Surface texture measuring probe and microscope utilizing the same | |
ATE67034T1 (de) | Untersuchungsvorrichtung mit strahlungsabtastbuendel. | |
JPS63279548A (ja) | 走査型光学顕微鏡 | |
ATE142774T1 (de) | Rastertastmikroskop | |
RU2072735C1 (ru) | Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера | |
KR860007637A (ko) | 바이모프 헤드의 바이모프 구동장치 | |
GB2263773A (en) | Vibratile sensing instrument | |
JP2005147979A (ja) | 走査形プローブ顕微鏡 | |
JPH1138021A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡とその接近機構 | |
ES2043908T3 (es) | Dispositivo optico de medida. | |
JP3497913B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法 | |
DE59914241D1 (de) | Messeinrichtung zur Erfassung von Dimensionen von Prüflingen sowie Verfahren unter Verwendung der Messeinrichtung | |
JPH06258068A (ja) | 原子間力顕微鏡 | |
KR100526217B1 (ko) | 주사식 프로브 현미경을 이용한 가공장치와, 주사식 프로브 현미경을 이용한 기록 및 재생장치 | |
JPH0933543A (ja) | 走査型近接場光学顕微鏡 |