RU2072735C1 - Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера - Google Patents

Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера Download PDF

Info

Publication number
RU2072735C1
RU2072735C1 RU95108587/28A RU95108587A RU2072735C1 RU 2072735 C1 RU2072735 C1 RU 2072735C1 RU 95108587/28 A RU95108587/28 A RU 95108587/28A RU 95108587 A RU95108587 A RU 95108587A RU 2072735 C1 RU2072735 C1 RU 2072735C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
channel
microscope
scanning
atomic force
tunneling microscope
Prior art date
Application number
RU95108587/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU95108587A (ru
Inventor
А.В. Иконников
С.Ф. Кацур
М.Д. Еремченко
С.А. Саунин
С.А. Шикин
В.А. Быков
Original Assignee
Исследовательская корпорация "МДТ"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Исследовательская корпорация "МДТ" filed Critical Исследовательская корпорация "МДТ"
Priority to RU95108587/28A priority Critical patent/RU2072735C1/ru
Publication of RU95108587A publication Critical patent/RU95108587A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2072735C1 publication Critical patent/RU2072735C1/ru

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

1. Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий систему подачи и сканирования образца, измерительную головку, включающую платформу, установленные на ней полупроводниковый лазер и фотодатчик отклонения отраженного луча лазера, электронные схемы управления и регистрации, включающие канал сканирующего туннельного микроскопа, канал атомно-силового микроскопа и канал обратной связи, систему акустической, конвекционной и виброзащиты, кантилевер и иглу сканирующего туннельного микроскопа, отличающийся тем, что кантилевер и игла сканирующего туннельного микроскопа закреплены на дополнительно введенном столике, установленном в измерительной головке с возможностью перемещения, а канал обратной связи дополнительно снабжен реле, обеспечивающим подключение канала обратной связи либо к выходу канала сканирующего туннельного микроскопа, либо к выходу канала атомно-силового микроскопа.2. Сканирующий зондовый микроскоп, содержащий систему подачи и сканирования образца, измерительную головку, включающую платформу, установленные на ней полупроводниковый лазер и фотодатчик отклонения отраженного луча лазера, электронные схемы управления и регистрации, включающие канал сканирующего туннельного микроскопа, канал атомно-силового микроскопа и канал обратной связи, систему акустической, конвекционной и виброзащиты, чувствительные элементы сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа, отличающийся тем, что чувствительные элементы сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа выполнены в виде комбинированного зонда, включающего держатель кантилевера с закрепленным на нем
RU95108587/28A 1995-05-25 1995-05-25 Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера RU2072735C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95108587/28A RU2072735C1 (ru) 1995-05-25 1995-05-25 Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU95108587/28A RU2072735C1 (ru) 1995-05-25 1995-05-25 Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU95108587A RU95108587A (ru) 1996-08-20
RU2072735C1 true RU2072735C1 (ru) 1997-01-27

Family

ID=48434405

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU95108587/28A RU2072735C1 (ru) 1995-05-25 1995-05-25 Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2072735C1 (ru)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2180726C1 (ru) * 2001-05-25 2002-03-20 Зао "Нт-Мдт" Сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с инвертированным оптическим микроскопом

Also Published As

Publication number Publication date
RU95108587A (ru) 1996-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU94028284A (ru) Способ фотонной сканирующей туннельной микроскопии и фотонный сканирующий туннельный микроскоп
DE69332444D1 (de) Abtastsystem und Verfahren
NO981964D0 (no) FremgangsmÕte for forbedring av LADAR-oppl÷sning
MXPA02002503A (es) Metodo y aparato para determinar las caracteristicas de una zona de haz laser.
US5631410A (en) Vibrating probe atomic force microscope
DE69034251D1 (de) Atomkraftmikroskop mit nach Wahl auswechselbarer Flüssigkeitszelle
US5406833A (en) Atomic force microscope
ATE227419T1 (de) Abtastkopf
KR910020668A (ko) 광 빔 제어용 트래킹 제어장치
ATE165675T1 (de) Optisches nahfeld-verfahren für mikrolithographie und mikrolithographie-vorrichtungen unter verwendung desselben
EP1653478B1 (en) Surface texture measuring probe and microscope utilizing the same
ATE67034T1 (de) Untersuchungsvorrichtung mit strahlungsabtastbuendel.
JPS63279548A (ja) 走査型光学顕微鏡
ATE142774T1 (de) Rastertastmikroskop
RU2072735C1 (ru) Сканирующий зондовый микроскоп (варианты), его чувствительный элемент и способ юстировки кантилевера
KR860007637A (ko) 바이모프 헤드의 바이모프 구동장치
GB2263773A (en) Vibratile sensing instrument
JP2005147979A (ja) 走査形プローブ顕微鏡
JPH1138021A (ja) 走査型プローブ顕微鏡とその接近機構
ES2043908T3 (es) Dispositivo optico de medida.
JP3497913B2 (ja) 走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法
DE59914241D1 (de) Messeinrichtung zur Erfassung von Dimensionen von Prüflingen sowie Verfahren unter Verwendung der Messeinrichtung
JPH06258068A (ja) 原子間力顕微鏡
KR100526217B1 (ko) 주사식 프로브 현미경을 이용한 가공장치와, 주사식 프로브 현미경을 이용한 기록 및 재생장치
JPH0933543A (ja) 走査型近接場光学顕微鏡