RU2020110912A

RU2020110912A - Мембранный датчик давления

Info

Publication number: RU2020110912A
Application number: RU2020110912A
Authority: RU
Inventors: Виктор Николаевич Дьячков; Николай Викторович Дьячков; Константин Иванович Баринов; Марат Хаджи-Муратович Абдуев; Андрей Николаевич Калегаев; Виктор Борисович Розе
Original assignee: Общество С Ограниченной Ответственностью "Оптосенс"
Priority date: 2020-03-16
Filing date: 2020-03-16
Publication date: 2020-07-10
Also published as: RU2745007C2; RU2020110912A3

Claims

1. Мембранный датчик давления, содержащий камеру опорного давления, которая отделена от среды, давление которой измеряют, упругой мембраной и содержит средства измерения, включающие датчик степени деформации мембраны и датчик температуры, и средства предохранения от чрезмерной деформации, отличающийся тем, что упругая мембрана изготовлена из монокристаллического кремния и прижата по ее периметру к посадочному месту камеры, причем обе контактирующие поверхности или только поверхность посадочного места камеры содержат (-ит) буферный слой толщиной от 0,7 до 2,5 мкм из поликристаллического кремния (поликремния) или из композита (твердого раствора, керамики и т.п.) с содержанием кремния не менее 15 ат. %.

2. Мембранный датчик по п. 1, отличающийся тем, что композит буферного слоя на посадочной поверхности камеры содержит материал, на котором буферный слой сформирован.

3. Мембранный датчик по п. 1, отличающийся тем, что хотя бы одна поверхность кремниевой мембраны содержит однослойное или многослойное вспомогательное покрытие.

4. Мембранный датчик по п. 1, отличающийся тем, что мембрана выполнена круглой в плане с плоской и одинаковой толщины посадочной областью по периферии в виде плоской кремниевой пластины однородной по толщине или с заданной формой в поперечном сечении и с заданным распределением по толщине.

5. Мембранный датчик по п. 4, отличающийся тем, что мембрана имеет одну или несколько одинаковых или отличающихся формой и размерами концентрических канавок.

6. Мембранный датчик по п. 4, отличающийся тем, что мембрана выполнена с осевым поперечным сечением, содержащим области в виде меандра или синусоиды.

7. Мембранный датчик по п. 1, отличающийся тем, что средства измерения степени деформации включают интегральный датчик температуры, выполненный на самой кремниевой мембране.

8. Мембранный датчик по п. 1, отличающийся тем, что средства измерения степени деформации включают датчик температуры, выполненный на самой кремниевой мембране или в объеме ее материала (в теле мембраны).

9. Мембранный датчик по п. 1, отличающийся тем, что датчиком степени деформации мембраны служит резонатор Фабри-Перо, образованный закрепленным над поверхностью мембраны оптическим элементом с отполированной полупрозрачной поверхностью и полированной поверхностью кремниевой мембраны или нанесенным на ее поверхность отражающим покрытием.