RU2015144042A - Система и метод сканирования лучом ультракороткого импульсного излучения - Google Patents

Система и метод сканирования лучом ультракороткого импульсного излучения Download PDF

Info

Publication number
RU2015144042A
RU2015144042A RU2015144042A RU2015144042A RU2015144042A RU 2015144042 A RU2015144042 A RU 2015144042A RU 2015144042 A RU2015144042 A RU 2015144042A RU 2015144042 A RU2015144042 A RU 2015144042A RU 2015144042 A RU2015144042 A RU 2015144042A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
mirror
optical system
scanning
dispersion
focusing
Prior art date
Application number
RU2015144042A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2629547C2 (ru
Inventor
Клаус ФОГЛЕР
Клаудиа ГОРШБОТ
Кристоф ДОНИЦКИ
Original Assignee
Уэйвлайт Гмбх
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Уэйвлайт Гмбх filed Critical Уэйвлайт Гмбх
Publication of RU2015144042A publication Critical patent/RU2015144042A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2629547C2 publication Critical patent/RU2629547C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10Scanning systems
    • G02B26/101Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F9/00825Methods or devices for eye surgery using laser for photodisruption
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0025Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration
    • G02B27/0031Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for optical correction, e.g. distorsion, aberration for scanning purposes
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F2009/00861Methods or devices for eye surgery using laser adapted for treatment at a particular location
    • A61F2009/0087Lens
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61FFILTERS IMPLANTABLE INTO BLOOD VESSELS; PROSTHESES; DEVICES PROVIDING PATENCY TO, OR PREVENTING COLLAPSING OF, TUBULAR STRUCTURES OF THE BODY, e.g. STENTS; ORTHOPAEDIC, NURSING OR CONTRACEPTIVE DEVICES; FOMENTATION; TREATMENT OR PROTECTION OF EYES OR EARS; BANDAGES, DRESSINGS OR ABSORBENT PADS; FIRST-AID KITS
    • A61F9/00Methods or devices for treatment of the eyes; Devices for putting-in contact lenses; Devices to correct squinting; Apparatus to guide the blind; Protective devices for the eyes, carried on the body or in the hand
    • A61F9/007Methods or devices for eye surgery
    • A61F9/008Methods or devices for eye surgery using laser
    • A61F2009/00861Methods or devices for eye surgery using laser adapted for treatment at a particular location
    • A61F2009/00872Cornea

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Vascular Medicine (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Laser Surgery Devices (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Facsimile Scanning Arrangements (AREA)

Claims (25)

1. Сканирующая оптическая система (10), содержащая:
оптический источник (22), обеспечивающий луч (38) импульсного излучения длительностью ультракороткого импульса;
дефлектор для отклонения луча на угол сканирования;
систему линз, в том числе, фокусирующее устройство (30) для фокусировки отклоненного луча;
устройство (25) компенсации дисперсии для уменьшения искажений импульса луча, связанных с дисперсией, с помощью системы линз, при этом данное устройство компенсации дисперсии включает деформируемое диспергирующее зеркало (42) и приводное устройство (44) для зеркала; и
контроллер (18) для управления приводным устройством для изменения формы зеркала в соответствии с углом сканирования.
2. Оптическая система по п. 1, в которой деформируемое диспергирующее зеркало (42) имеет многослойную структуру, обеспечивающую дисперсионную характеристику, которая изменяется в зависимости от положения на отражающей поверхности зеркала.
3. Оптическая система по п. 2, в которой многослойная структура выполнена с возможностью формирования, по меньшей мере, одного из: неравномерной групповой задержки, неравномерной дисперсии групповой задержки и неравномерной дисперсии третьего порядка на отражающей поверхности.
4. Оптическая система по п. 2, в которой устройство (25) компенсации дисперсии дополнительно содержит объемный компенсатор (46), имеющий характеристику пространственно однородной дисперсии для компенсации величины, по меньшей мере, одного из групповой задержки и дисперсии групповой задержки, вызванной системой линз.
5. Оптическая система по любому из пп. 1-4, в которой оптический источник (22) представляет собой источник лазерного излучения, а излучение имеет центральную длину волны, которая подходит для создания разрезов в ткани человеческого глаза.
6. Сканирующая оптическая система (10), содержащая:
оптический источник (22), обеспечивающий луч (38) импульсного излучения длительностью ультракороткого импульса;
дефлектор для отклонения луча на угол сканирования;
систему линз, в том числе, фокусирующее устройство (30) для фокусировки отклоненного луча;
деформирующее зеркало (42);
приводное устройство (44) для зеркала; и контроллер (18) для управления приводным устройством для изменения формы зеркала в соответствии с углом сканирования.
7. Сканирующая оптическая система по п. 6, в которой деформируемое зеркало является недиспергирующим.
8. Сканирующая оптическая система по п. 7, включающая устройство компенсации дисперсии для уменьшения искажений импульса луча, связанных с дисперсией, с помощью системы линз.
9. Сканирующая оптическая система по одному из пп. 6-8, в которой изменения формы зеркала в соответствии с инструкциями контроллера предназначены для обеспечения согласованных вариаций пространственного распределения групповой задержки оптической системы, вариации которой имеют различные углы сканирования.
10. Способ сканирования, содержащий:
обеспечение луча импульсного излучения длительностью ультракороткого импульса;
отклонение луча на угол сканирования;
фокусировку отклоненного пучка с помощью фокусирующего устройства;
обеспечение деформируемого зеркала; и
управление формой деформируемого зеркала в соответствии с углом сканирования для, по меньшей мере, частичной компенсации вариаций пространственного распределения групповой задержки фокусирующего устройства в зависимости от различных углов сканирования.
RU2015144042A 2013-03-15 2013-03-15 Система и метод сканирования лучом ультракороткого импульсного излучения RU2629547C2 (ru)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/EP2013/055379 WO2014139582A1 (en) 2013-03-15 2013-03-15 System and method for scanning a beam of ultra-short pulse light

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2015144042A true RU2015144042A (ru) 2017-04-27
RU2629547C2 RU2629547C2 (ru) 2017-08-29

Family

ID=47891719

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015144042A RU2629547C2 (ru) 2013-03-15 2013-03-15 Система и метод сканирования лучом ультракороткого импульсного излучения

Country Status (15)

Country Link
US (1) US9188776B2 (ru)
EP (1) EP2812747B1 (ru)
JP (1) JP6074069B2 (ru)
KR (1) KR101684426B1 (ru)
CN (1) CN105143959B (ru)
AU (1) AU2013382344B2 (ru)
BR (1) BR112015020029A2 (ru)
CA (1) CA2899262C (ru)
DK (1) DK2812747T3 (ru)
ES (1) ES2653961T3 (ru)
MX (1) MX344072B (ru)
PL (1) PL2812747T3 (ru)
PT (1) PT2812747T (ru)
RU (1) RU2629547C2 (ru)
WO (1) WO2014139582A1 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA3052631A1 (en) * 2017-02-06 2018-08-09 Amo Development, Llc Dispersion control using chirped mirrors in femtosecond laser system for ophthalmic application
DE102017120317A1 (de) * 2017-09-04 2019-03-07 Leica Microsystems Cms Gmbh Optische Anordnung und Verfahren zur Beeinflussung einer Dispersion von Wellenlängen mindestens eines Lichtpulses oder Lichtstrahls

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4834474A (en) 1987-05-01 1989-05-30 The University Of Rochester Optical systems using volume holographic elements to provide arbitrary space-time characteristics, including frequency-and/or spatially-dependent delay lines, chirped pulse compressors, pulse hirpers, pulse shapers, and laser resonators
JPH084767B2 (ja) * 1987-11-26 1996-01-24 三菱重工業株式会社 塗工機
HU214659B (hu) 1993-08-23 1998-04-28 Szilárdtestfizikai Kutatóintézet Diszperzív dielektrikumtükör és eljárás annak tervezésére
CN1160858A (zh) * 1995-12-26 1997-10-01 株式会社东芝 光扫描器
JP3420956B2 (ja) * 1998-12-18 2003-06-30 松下電器産業株式会社 光走査装置及びこれを用いた画像読取装置と画像形成装置
US6555781B2 (en) * 1999-05-10 2003-04-29 Nanyang Technological University Ultrashort pulsed laser micromachining/submicromachining using an acoustooptic scanning device with dispersion compensation
JP4164450B2 (ja) * 2002-01-29 2008-10-15 松下電器産業株式会社 可変形ミラー、および当該可変形ミラーを備えた光制御装置
JP4276971B2 (ja) * 2004-03-12 2009-06-10 オリンパス株式会社 多光子励起型測定装置
JP4804767B2 (ja) 2005-02-18 2011-11-02 オリンパス株式会社 超短パルスレーザ伝達装置
DE102005013949A1 (de) * 2005-03-26 2006-09-28 Carl Zeiss Meditec Ag Scanvorrichtung
US8189971B1 (en) * 2006-01-23 2012-05-29 Raydiance, Inc. Dispersion compensation in a chirped pulse amplification system
CN1864581A (zh) * 2006-05-12 2006-11-22 吴伟淡 一种太阳能灯伞
JP5511323B2 (ja) * 2009-11-17 2014-06-04 キヤノン株式会社 補償光学装置、補償光学方法、撮像装置、撮像方法
EP2445461B1 (de) * 2009-12-07 2014-06-11 WaveLight GmbH Vorrichtung für die ophthalmologische laserchirurgie
US8279901B2 (en) * 2010-02-24 2012-10-02 Alcon Lensx, Inc. High power femtosecond laser with adjustable repetition rate and simplified structure
CN101986484A (zh) * 2010-08-26 2011-03-16 大恒新纪元科技股份有限公司 一种激光三倍频系统
JP5726566B2 (ja) * 2011-02-18 2015-06-03 オリンパス株式会社 2次元スキャナ、及び、光刺激装置

Also Published As

Publication number Publication date
EP2812747A1 (en) 2014-12-17
PL2812747T3 (pl) 2018-03-30
KR20150109431A (ko) 2015-10-01
JP6074069B2 (ja) 2017-02-01
EP2812747B1 (en) 2017-11-08
MX2015012105A (es) 2016-01-12
CA2899262A1 (en) 2014-09-18
ES2653961T3 (es) 2018-02-09
KR101684426B1 (ko) 2016-12-08
AU2013382344B2 (en) 2016-10-13
JP2016511044A (ja) 2016-04-14
BR112015020029A2 (pt) 2017-07-18
RU2629547C2 (ru) 2017-08-29
CN105143959A (zh) 2015-12-09
US20150062680A1 (en) 2015-03-05
WO2014139582A1 (en) 2014-09-18
AU2013382344A1 (en) 2015-09-24
PT2812747T (pt) 2018-01-08
CA2899262C (en) 2017-08-01
DK2812747T3 (en) 2018-02-12
CN105143959B (zh) 2018-03-06
US9188776B2 (en) 2015-11-17
MX344072B (es) 2016-12-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2010142311A8 (de) Einrichtung für die laserchirurgische ophthalmologie
US10114157B2 (en) Pulse width controller
US9575309B2 (en) Telescopic control of high power laser propagation
KR20150005939A (ko) 레이저 방사선을 이용한 공작물 가공 방법 및 장치
CN101862899A (zh) 飞秒激光加工装置
US11347068B2 (en) Device and method for laser material processing
EP2657780A3 (en) Image forming apparatus
EP4154512A4 (en) DEFORMATION FOR LASER BEAM SCANNING DISPLAYS USING EYE TRACKING
WO2020157207A3 (de) Anordnung und verfahren zum formen eines laserstrahls
EA201490246A1 (ru) Устройство для маркировки с множеством лазеров и индивидуально настраиваемыми наборами отклоняющих средств
RU2015144042A (ru) Система и метод сканирования лучом ультракороткого импульсного излучения
EP2602669A3 (en) Laser scanning unit and colour image forming apparatus including the same
US11331218B2 (en) Ophthalmological device for treating eye tissue
CN202649600U (zh) 时域光脉冲整形装置
Williams et al. Constructing a low-budget laser axotomy system to study axon regeneration in C. elegans
JP7366150B2 (ja) 材料の表面上に虹色効果を生み出すための方法および該方法を実施するためのデバイス
RU2563448C1 (ru) Офтальмохирургическая лазерная система
Apeksimov et al. HIGH INTENSITY LIGHT CHANNELS ALONG AN EXTENDED PATH UNDER CONDITIONS OF PHASE AND AMPLITUDE DISTORTIONS OF THE INITIAL PROFILE OF A HIGH POWER FEMTOSECOND LASER BEAM

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20200316