RU2015125469A - Оптический волновод с наноканалом и оптофлюидный датчик с таким оптическим волноводом - Google Patents

Оптический волновод с наноканалом и оптофлюидный датчик с таким оптическим волноводом Download PDF

Info

Publication number
RU2015125469A
RU2015125469A RU2015125469A RU2015125469A RU2015125469A RU 2015125469 A RU2015125469 A RU 2015125469A RU 2015125469 A RU2015125469 A RU 2015125469A RU 2015125469 A RU2015125469 A RU 2015125469A RU 2015125469 A RU2015125469 A RU 2015125469A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
channel
substrate
optical waveguide
guide structure
optical guide
Prior art date
Application number
RU2015125469A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2654924C2 (ru
Inventor
Эльза ЖАРДИНЬЕ
Лоран КУСТОН
Жан-Эмманюэль БРОКЕН
Давиде БУЧЧИ
Фабрис КАНТО
Аластэр МАНЬЯЛЬДО
Original Assignee
Комиссариат А Л' Энержи Атомик Э Оз Энержи Альтернатив
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Комиссариат А Л' Энержи Атомик Э Оз Энержи Альтернатив filed Critical Комиссариат А Л' Энержи Атомик Э Оз Энержи Альтернатив
Publication of RU2015125469A publication Critical patent/RU2015125469A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2654924C2 publication Critical patent/RU2654924C2/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L3/00—Containers or dishes for laboratory use, e.g. laboratory glassware; Droppers
    • B01L3/50—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes
    • B01L3/502—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures
    • B01L3/5027—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip
    • B01L3/502715—Containers for the purpose of retaining a material to be analysed, e.g. test tubes with fluid transport, e.g. in multi-compartment structures by integrated microfluidic structures, i.e. dimensions of channels and chambers are such that surface tension forces are important, e.g. lab-on-a-chip characterised by interfacing components, e.g. fluidic, electrical, optical or mechanical interfaces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N21/03—Cuvette constructions
    • G01N21/0303—Optical path conditioning in cuvettes, e.g. windows; adapted optical elements or systems; path modifying or adjustment
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
    • G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
    • G02B6/1223—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths high refractive index type, i.e. high-contrast waveguides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/06—Auxiliary integrated devices, integrated components
    • B01L2300/0627—Sensor or part of a sensor is integrated
    • B01L2300/0654—Lenses; Optical fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0861—Configuration of multiple channels and/or chambers in a single devices
    • B01L2300/0877—Flow chambers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/08—Geometry, shape and general structure
    • B01L2300/0887—Laminated structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01L—CHEMICAL OR PHYSICAL LABORATORY APPARATUS FOR GENERAL USE
    • B01L2300/00—Additional constructional details
    • B01L2300/16—Surface properties and coatings
    • B01L2300/161—Control and use of surface tension forces, e.g. hydrophobic, hydrophilic
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82—NANOTECHNOLOGY
    • B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55—Specular reflectivity
    • G01N21/552—Attenuated total reflection
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
    • G01N21/77—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
    • G01N21/7703—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator using reagent-clad optical fibres or optical waveguides
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
    • G01N21/77—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
    • G01N21/7703—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator using reagent-clad optical fibres or optical waveguides
    • G01N21/7746—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator using reagent-clad optical fibres or optical waveguides the waveguide coupled to a cavity resonator
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/08—Optical fibres; light guides

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Clinical Laboratory Science (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Optical Measuring Cells (AREA)
  • Optical Integrated Circuits (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Claims (20)

1. Оптический волновод, содержащий первую подложку (10), включающую в себя первую оптическую направляющую структуру (12), заделанную заподлицо с поверхностью (11) первой подложки (10), вторую подложку (20), включающую в себя вторую оптическую направляющую структуру (22), заделанную заподлицо с поверхностью (21) второй подложки (20), причем эти две подложки (10; 20) собраны вместе путем наложения одна на другую своими поверхностями (11, 21) таким образом, что две указанные оптические направляющие структуры (12, 22) обращены одна к другой и вытянуты в одном и том же направлении (z), при этом между первой и второй оптическими направляющими структурами (12, 22) образован канал (30), направленный вдоль указанного направления (z), причем больший размер (dr) канала (30), в поперечном сечении, ориентирован по существу параллельно указанной поверхности (11) первой подложки (10) и указанной поверхности (22) второй подложки (20), и указанный канал предназначен для вмещения текучей среды.
2. Оптический волновод по п. 1, в котором канал (30) перекрывает первую оптическую направляющую структуру (12), вторую оптическую направляющую структуру (12), или указанные первую и вторую оптические направляющие структуры (12, 22).
3. Оптический волновод по п. 1, в котором первая оптическая направляющая структура (12) и вторая оптическая направляющая структура (22) выбраны из следующих компонентов: сердцевина планарного оптического волновода и сердцевина полоскового оптического волновода.
4. Оптический волновод по п. 1, дополнительно содержащий по меньшей мере один резервуар (40), примыкающий сбоку к каналу (30) и непрерывно связанный с ним по существу по всей длине канала (30).
5. Оптический волновод по п. 1, характеризующийся тем, что он имеет прямолинейную форму, или змеевидную форму, или спиральную форму, или в нем скомбинированы указанные три формы попарно или по три.
6. Оптический волновод по п. 1, характеризующийся тем, что он образует кольцевую резонансную структуру или резонансную структуру Фабри-Перо, заканчивающуюся брэгговскими отражателями или отражателями (51) другого типа.
7. Оптический волновод по п. 1, в котором канал (30) имеет гидрофильную или гидрофобную внутреннюю поверхность.
8. Оптический волновод п. 4, в котором резервуар (40) имеет гидрофильную или гидрофобную внутреннюю поверхность.
9. Оптический волновод по п. 1, в котором первая подложка (10) и вторая подложка (20) выполнены из стекла.
10. Оптический датчик для анализа текучей среды, содержащий оптический волновод (60) по п. 4, два резервуара (40), по одному с каждой стороны канала, средство (61) для впуска текучих сред в канал, причем указанное средство (61) соединено с одним из резервуаров (40), и средство (62) для выпуска текучей среды из канала, причем указанное средство (62) соединено с другим резервуаром (40).
11. Спектрометр, содержащий оптический датчик по п. 10, источник (64) света, соединенный с одним концом оптического волновода (60), и анализатор (66) спектра, соединенный с другим концом оптического волновода (60).
12. Способ изготовления оптического волновода с каналом, содержащий шаги, на которых:
- формируют в первой подложке (100) первую оптическую направляющую структуру (104) заподлицо с поверхностью указанной первой подложки и формируют во второй подложке (200) вторую оптическую направляющую структуру (204) заподлицо с поверхностью указанной второй подложки (200);
- формируют канал (103), перекрывающий первую подложку (100), или вторую подложку (200), или первую и вторую подложки (100, 200), причем указанный канал предназначен для вмещения текучей среды;
- переворачивают одну подложку (100) из указанных первой подложки и второй подложки;
- собирают вместе указанную первую подложку (100) с указанной второй подложкой (200), выравнивая их поверхности таким образом, что обе оптические направляющие структуры (104, 204) накладываются одна на другую, причем они вытянуты в одном и том же направлении, при этом указанный канал (103) образуется между первой оптической направляющей структурой (104) и второй оптической направляющей структурой (204) и канал (103) направлен вдоль указанного направления, причем в поперечном сечении больший размер канала (103) ориентирован по существу параллельно указанной поверхности первой подложки (100) и указанной поверхности второй подложки (200).
13. Способ по п. 12, в котором шаг формирования канала (103) выполняют перед или после шага формирования первой оптической направляющей структуры (104), а также перед или после шага формирования второй оптической направляющей структуры (204).
14. Способ по п. 12, в котором после шагов формирования первой оптической направляющей структуры (104), второй оптической направляющей структуры (204) и канала (103), но перед шагом переворачивания одной из подложек, выполняют шаг, на котором формируют по меньшей мере один резервуар (107, 207), прилегающий сбоку к каналу (103) и непрерывно связанный с каналом по существу по всей длине канала.
15. Способ по п. 13, в котором шаг формирования первой оптической направляющей структуры (104) и шаг формирования второй оптической направляющей структуры (204) содержат шаги, на которых выполняют ионный обмен, ионную имплантацию или диффузию, формирование фотоизображения, или также локальную модификацию коэффициента преломления первой и второй подложек.
16. Способ по п. 13, который дополнительно содержит шаг обработки, на котором выполняют обработку для придания гидрофильности или гидрофобности внутренней поверхности канала и/или внутренней поверхности резервуара.
RU2015125469A 2012-11-27 2013-11-26 Оптический волновод с наноканалом и оптофлюидный датчик с таким оптическим волноводом RU2654924C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR1261285A FR2998677B1 (fr) 2012-11-27 2012-11-27 Guide d'onde optique a nano-canal et capteur optofluidique utilisant un tel guide d'onde optique
FR1261285 2012-11-27
PCT/EP2013/074708 WO2014082988A1 (fr) 2012-11-27 2013-11-26 Guide d'onde optique a nano-canal et capteur optofluidique utilisant un tel guide d'onde optique

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2015125469A true RU2015125469A (ru) 2017-01-10
RU2654924C2 RU2654924C2 (ru) 2018-05-23

Family

ID=47628238

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015125469A RU2654924C2 (ru) 2012-11-27 2013-11-26 Оптический волновод с наноканалом и оптофлюидный датчик с таким оптическим волноводом

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9285304B2 (ru)
EP (1) EP2925443B1 (ru)
JP (1) JP6216800B2 (ru)
CN (1) CN104853844B (ru)
FR (1) FR2998677B1 (ru)
RU (1) RU2654924C2 (ru)
WO (1) WO2014082988A1 (ru)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9711930B2 (en) * 2015-12-01 2017-07-18 Seagate Technology Llc Optical signal waveguide dispersion filter
JP7117869B2 (ja) * 2018-03-22 2022-08-15 株式会社日立製作所 分析装置
CN109765178B (zh) 2018-05-30 2020-04-21 京东方科技集团股份有限公司 一种微流控器件、驱动方法及微流控检测系统
CN109884063B (zh) * 2019-04-24 2021-08-20 杭州翔毅科技有限公司 一种用于液体传感器的采集结构
RU2729979C1 (ru) * 2019-07-03 2020-08-13 Общество с ограниченной ответственностью "Лаборатория Роботов" Устройство для оптического сканирования
CN112763945B (zh) * 2020-12-21 2022-05-27 浙江大学 一种双螺旋状平面波导磁场传感器及其制作方法
US11835764B2 (en) * 2022-01-31 2023-12-05 Globalfoundries U.S. Inc. Multiple-core heterogeneous waveguide structures including multiple slots

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3481644D1 (de) * 1984-12-10 1990-04-19 Prutec Ltd Verfahren zum optischen nachweis von parametern von substanzen in einem fluessigen analyt.
US6310995B1 (en) * 1998-11-25 2001-10-30 University Of Maryland Resonantly coupled waveguides using a taper
JP2001108611A (ja) * 1999-10-12 2001-04-20 System Instruments Kk 光導波路分光器のための光結合法及びこれを用いた測定法
JP4441994B2 (ja) * 2000-06-28 2010-03-31 凸版印刷株式会社 光配線層の製造方法及び光・電気配線基板
JP2004510182A (ja) * 2000-09-22 2004-04-02 マサチューセッツ　インスティテュート　オブ　テクノロジー 導波路形マイクロ共振子の共振特性を変える方法
US7016560B2 (en) * 2001-02-28 2006-03-21 Lightwave Microsystems Corporation Microfluidic control for waveguide optical switches, variable attenuators, and other optical devices
JP2004069395A (ja) * 2002-08-02 2004-03-04 Nec Corp マイクロチップ、マイクロチップの製造方法および成分検出方法
US20040202429A1 (en) * 2003-04-10 2004-10-14 Lambda Crossing Ltd. Planar optical component for coupling light to a high index waveguide, and method of its manufacture
US7444045B2 (en) * 2003-10-14 2008-10-28 3M Innovative Properties Company Hybrid sphere-waveguide resonators
JP3816072B2 (ja) * 2003-10-28 2006-08-30 ローム株式会社 光導波路型センサおよびそれを用いた測定装置
US7519257B2 (en) * 2004-11-24 2009-04-14 Cornell Research Foundation, Inc. Waveguide structure for guiding light in low-index material
US7894696B2 (en) * 2005-06-28 2011-02-22 California Institute Of Technology Integrated optical modulator
US7248361B2 (en) * 2005-12-22 2007-07-24 Palo Alto Research Center Incorporated Fluorescence reader based on anti-resonant waveguide excitation
WO2007108214A1 (ja) * 2006-03-17 2007-09-27 Kyushu University, National University Corporation 分析素子およびこれを用いた分析装置
US20090015906A1 (en) 2006-05-18 2009-01-15 Kimerling Lionel C Extrinsic gain laser and optical amplification device
US7609932B1 (en) * 2006-07-06 2009-10-27 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Slot waveguide structure
US7565046B2 (en) 2006-12-13 2009-07-21 Massachusetts Institute Of Technology Mode transformers for low index high confinement waveguides
FR2942873B1 (fr) 2009-03-06 2016-07-01 Commissariat A L'energie Atomique Dispositif de mesure de la distance focale d'une lentille thermique
DE102009049479B4 (de) * 2009-06-08 2024-07-04 Sms Group Gmbh Einbindung eines Lichtwellenleiters eines Messsensors in ein Bauteil
RU97833U1 (ru) * 2010-07-01 2010-09-20 Эверхост Инвестменс Лимитед Устройство для изготовления многослойного оптического волновода
JP2014081321A (ja) * 2012-10-18 2014-05-08 Fujikura Ltd 流路デバイス及び分析方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20150300943A1 (en) 2015-10-22
US9285304B2 (en) 2016-03-15
FR2998677A1 (fr) 2014-05-30
EP2925443B1 (fr) 2017-05-10
WO2014082988A1 (fr) 2014-06-05
JP6216800B2 (ja) 2017-10-18
CN104853844B (zh) 2017-12-12
JP2015535604A (ja) 2015-12-14
RU2654924C2 (ru) 2018-05-23
CN104853844A (zh) 2015-08-19
FR2998677B1 (fr) 2016-01-29
EP2925443A1 (fr) 2015-10-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2015125469A (ru) Оптический волновод с наноканалом и оптофлюидный датчик с таким оптическим волноводом
CN107924027B (zh) 用于光耦合的集成靶点波导器件和系统
Mao et al. Tunable liquid gradient refractive index (L-GRIN) lens with two degrees of freedom
Angelini et al. Focusing and extraction of light mediated by Bloch surface waves
Zhang et al. Ultra-sensitive chemical and biological analysis via specialty fibers with built-in microstructured optofluidic channels
US9703055B2 (en) AAO-based light guiding structure and fabrication thereof
US11491484B2 (en) Microfluidic apparatus, method of detecting substance in microfluidic apparatus, and light extraction apparatus
EA201000086A1 (ru) Оптическая кювета
CN106773101B (zh) 一种基于光栅对耦合激发bsw实现无衍射光束的光学芯片
Benéitez et al. Mid-IR sensing platform for trace analysis in aqueous solutions based on a germanium-on-silicon waveguide chip with a mesoporous silica coating for analyte enrichment
JP2009063601A (ja) マイクロチップ、マイクロチップの製造方法および成分検出方法
RU2013142956A (ru) Коллиматор света и осветительный прибор, содержащий такой коллиматор света
DE102014011041A1 (de) Optische Durchflussmesshohlfaser, Verfahren zu ihrer Herstellung und ihre Verwendung
TW202004241A (zh) 聚合物光波導及複合光波導
EP2592454A4 (en) OPTICAL MODULE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
JPWO2013080432A1 (ja) ケミカルセンサ、ケミカルセンサモジュール、化学物質検出装置及び化学物質検出方法
TWI544246B (zh) Light guide and light guide method
Omran et al. Visible laser on silicon optofluidic microcavity
CN102565935A (zh) 谐振耦合双向传输光子晶体波导及制作方法
Damrongsak et al. Optical performance of fluorescent collectors integrated with microlens arrays
CN206601536U (zh) 一种基于光栅对耦合激发bsw实现无衍射光束的光学芯片
CN101359094A (zh) 电磁波传播结构
JP2006105796A (ja) 光分岐回路及びセンサ
SE1350785A2 (en) Optical waveguide gas sensor
CN109541741A (zh) 一种空心光纤