RU2014102968A - Система для измерения входного электрического тока - Google Patents

Система для измерения входного электрического тока Download PDF

Info

Publication number
RU2014102968A
RU2014102968A RU2014102968/28A RU2014102968A RU2014102968A RU 2014102968 A RU2014102968 A RU 2014102968A RU 2014102968/28 A RU2014102968/28 A RU 2014102968/28A RU 2014102968 A RU2014102968 A RU 2014102968A RU 2014102968 A RU2014102968 A RU 2014102968A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
current
voltage
source
input terminal
circuit
Prior art date
Application number
RU2014102968/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2610221C2 (ru
Inventor
Кор ВЕРБУРГ
Роберт МОССЕЛЬ
Каустубх Прабодх ПАДХЬЕ
КОК Эрик ДЕ
Вим ВИС
Original Assignee
МЭППЕР ЛИТОГРАФИ АйПи Б.В.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by МЭППЕР ЛИТОГРАФИ АйПи Б.В. filed Critical МЭППЕР ЛИТОГРАФИ АйПи Б.В.
Publication of RU2014102968A publication Critical patent/RU2014102968A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2610221C2 publication Critical patent/RU2610221C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/14—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/2403—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by moving plates, not forming part of the capacitor itself, e.g. shields
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G01R19/0092—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof measuring current only
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7049—Technique, e.g. interferometric
    • G03F9/7053—Non-optical, e.g. mechanical, capacitive, using an electron beam, acoustic or thermal waves

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Measurement Of Current Or Voltage (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Measuring Instrument Details And Bridges, And Automatic Balancing Devices (AREA)

Abstract

1. Измерительная система для измерения входного электрического тока (Ics) от источника тока (CS) и генерирования сигнала измерения тока, содержащая схему (70) измерения тока, имеющую первый входной зажим (72), связанный с источником тока, и выходной зажим (74) для предоставления сигнала измерения тока,в которой схема измерения тока дополнительно содержит один или более зажимов (75, 76; 85, 86) источника питания, выполненных с возможностью принимать одно или более напряжений от источника питания (77a, 77b) для питания схемы измерения тока, ив которой схема измерения тока дополнительно содержит первый источник напряжения (VD; 20), связанный с одним или более зажимами источника питания, причем первый источник напряжения, предоставляющий напряжение возмущения одному или более зажимам источника питания, причем напряжение возмущения, представляющее напряжение на первом входном зажиме.2. Измерительная система по п. 1, дополнительно содержащая дифференцирующую схему (79), выполненную с возможностью вычитать напряжение, генерируемое первым источником напряжения (VD), из сигнала на выходном зажиме (74) схемы измерения тока, чтобы генерировать сигнал измерения тока.3. Измерительная система по п. 1 или 2, в которой первый источник напряжения (VD) связан с первым входным зажимом (72) схемы (70) измерения тока для возбуждения нагрузки (71), чтобы формировать источник тока (CS).4. Измерительная система по п. 3, в которой нагрузка (71) содержит емкостный датчик (40) для генерирования тока (Ics), который изменяется в зависимости от расстояния между емкостным датчиком и мишенью (2).5. Измерительная система по п. 3, в которой нагрузка (71) связана с первым входным зажимом (72) сх

Claims (18)

1. Измерительная система для измерения входного электрического тока (Ics) от источника тока (CS) и генерирования сигнала измерения тока, содержащая схему (70) измерения тока, имеющую первый входной зажим (72), связанный с источником тока, и выходной зажим (74) для предоставления сигнала измерения тока,
в которой схема измерения тока дополнительно содержит один или более зажимов (75, 76; 85, 86) источника питания, выполненных с возможностью принимать одно или более напряжений от источника питания (77a, 77b) для питания схемы измерения тока, и
в которой схема измерения тока дополнительно содержит первый источник напряжения (VD; 20), связанный с одним или более зажимами источника питания, причем первый источник напряжения, предоставляющий напряжение возмущения одному или более зажимам источника питания, причем напряжение возмущения, представляющее напряжение на первом входном зажиме.
2. Измерительная система по п. 1, дополнительно содержащая дифференцирующую схему (79), выполненную с возможностью вычитать напряжение, генерируемое первым источником напряжения (VD), из сигнала на выходном зажиме (74) схемы измерения тока, чтобы генерировать сигнал измерения тока.
3. Измерительная система по п. 1 или 2, в которой первый источник напряжения (VD) связан с первым входным зажимом (72) схемы (70) измерения тока для возбуждения нагрузки (71), чтобы формировать источник тока (CS).
4. Измерительная система по п. 3, в которой нагрузка (71) содержит емкостный датчик (40) для генерирования тока (Ics), который изменяется в зависимости от расстояния между емкостным датчиком и мишенью (2).
5. Измерительная система по п. 3, в которой нагрузка (71) связана с первым входным зажимом (72) схемы (70) измерения тока посредством кабеля (30), содержащего провод (31) датчика и экранирующий проводник (32), при этом провод датчика соединен последовательно между нагрузкой (71) и первым входным зажимом, а экранирующий проводник связан с первым источником напряжения (VD, 20).
6. Измерительная система по п. 1 или 2, в которой выходной зажим первого источника напряжения (VD) связан через один или более конденсаторов (78a, 78b) с одним или более зажимами (75, 76) источника питания схемы (70) измерения тока.
7. Измерительная система по п. 1 или 2, в которой схема (70) измерения тока содержит преобразователь ток-напряжение.
8. Измерительная система по п. 1 или 2, в которой схема (70) измерения тока содержит операционный усилитель (80), зажим (82) отрицательного входа операционного усилителя, служащий в качестве первого входного зажима (72) схемы измерения тока, и выходной зажим (84) операционного усилителя, служащий в качестве выходного зажима (74) схемы измерения тока, операционный усилитель, дополнительно содержащий зажим (83) положительного входа и один или более зажимов (85, 86) источника питания, при этом зажим положительного входа операционного усилителя связан с одним или более зажимами (85, 86) источника питания операционного усилителя (80).
9. Измерительная система по п. 8, в которой зажим (83) положительного входа операционного усилителя (80) связан с одним или более зажимами (85, 86) источника питания операционного усилителя (80) через один или более конденсаторов (93, 94).
10. Измерительная система по п. 1 или 2, в которой первый источник напряжения (VD; 20) генерирует напряжение с треугольной формой волны.
11. Измерительная система по п. 1 или 2, в которой источник тока генерирует ток с по существу прямоугольной формой волны.
12. Способ измерения входного электрического тока (Ics) от источника тока (CS) и генерирования сигнала измерения тока, содержащий этапы, на которых:
предоставляют входной ток первому входному зажиму (72) схемы (70) измерения тока, причем схема измерения тока, имеет один или более зажимов (75, 76; 85, 86) источника питания, выполненных с возможностью принимать одно или более напряжений источника питания от источника (77a, 77b) питания для питания схемы измерения тока, и
предоставляют напряжение возмущения (VD) одному или более зажимам источника питания, напряжение возмущения, представляющее напряжение на первом входном зажиме, и
генерируют выходной сигнал на выходном зажиме (74) схемы (70) измерения тока, представляющий входной электрический ток на первом входном зажиме (72) схемы измерения тока.
13. Способ по п. 12, дополнительно содержащий этап, на котором вычитают напряжение возмущения (VD) из выходного сигнала на выходном зажиме (74) схемы измерения тока, чтобы генерировать сигнал измерения тока.
14. Способ по п. 12 или 13, дополнительно содержащий этап, на котором возбуждают нагрузку (71) с помощью напряжения, чтобы генерировать входной электрический ток (Ics) на первом входном зажиме (72) схемы (70) измерения тока.
15. Способ по п. 14, в котором нагрузка (71) содержит емкостный датчик (40) для генерирования тока (Ics), который изменяется в зависимости от расстояния между емкостным датчиком и мишенью (2).
16. Способ по п. 14 или 15, дополнительно содержащий этап, на котором связывают нагрузку (71) с первым входным зажимом (72) схемы (70) измерения тока посредством кабеля (30), содержащего провод (31) датчика и экранирующий проводник (32), при этом провод датчика соединен последовательно между нагрузкой (71) и первым входным зажимом, а экранирующий проводник запитывают по существу тем же напряжением, которое используется для возбуждения нагрузки.
17. Способ по п. 12 или 13, в котором напряжение возмущения (VD) предоставляют одному или более зажимам источника питания через один или более конденсаторов (78a, 78b).
18. Способ по п. 12 или 13, в котором напряжение возмущения (VD) изолируют от напряжений (77a, 77b) источника питания посредством одного или более индукторов (95, 96).
RU2014102968A 2011-06-30 2012-07-02 Система для измерения входного электрического тока RU2610221C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201161503555P 2011-06-30 2011-06-30
US61/503,555 2011-06-30
PCT/EP2012/062854 WO2013001100A1 (en) 2011-06-30 2012-07-02 System for measuring an input electrical current

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014102968A true RU2014102968A (ru) 2015-08-10
RU2610221C2 RU2610221C2 (ru) 2017-02-08

Family

ID=46420210

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014102968A RU2610221C2 (ru) 2011-06-30 2012-07-02 Система для измерения входного электрического тока

Country Status (8)

Country Link
US (3) US9400195B2 (ru)
EP (2) EP2726822B1 (ru)
JP (2) JP2014527616A (ru)
KR (3) KR101875415B1 (ru)
CN (2) CN103649688B (ru)
RU (1) RU2610221C2 (ru)
TW (2) TWI568990B (ru)
WO (2) WO2013001098A2 (ru)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2735868B1 (en) * 2012-11-26 2015-11-25 University College Cork Nanowire electrode sensor
US9423418B2 (en) * 2013-02-25 2016-08-23 Google Technology Holdings LLC Capacitive sensor
EP2781234A1 (en) * 2013-03-20 2014-09-24 Fresenius Medical Care Deutschland GmbH Tube for extra-corporeal circuit with double connector
US20140292354A1 (en) * 2013-03-27 2014-10-02 Texas Instruments Incorporated Capacitive sensor
US9739816B2 (en) 2013-11-27 2017-08-22 Analog Devices, Inc. Capacitive sensor with differential shield
CN103884901B (zh) * 2014-04-04 2016-06-08 哈尔滨理工大学 一种基于fp电压传感器的高电压测量系统及测量方法
US9983228B2 (en) * 2014-09-24 2018-05-29 Keithley Instruments, Llc Triaxial DC-AC connection system
US11280810B2 (en) * 2016-05-31 2022-03-22 Telecom Italia S.P.A. Meter apparatus for measuring parameters of electrical quantity
US10139435B2 (en) * 2016-11-11 2018-11-27 Fluke Corporation Non-contact voltage measurement system using reference signal
CN108195490B (zh) * 2018-01-31 2019-10-11 北京他山科技有限公司 具有分时、分区域屏蔽功能的传感器、电子皮肤和机器人
CN108808685B (zh) * 2018-03-26 2020-12-11 北京航天发射技术研究所 一种电源电压数字式补偿系统及方法
US11493394B2 (en) * 2018-03-30 2022-11-08 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Capacitance detection device
US11448559B2 (en) * 2018-03-30 2022-09-20 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Capacitance detection device for detecting the capacitance of a sensor element
DE102018003268A1 (de) * 2018-04-19 2019-11-07 Technische Universität Chemnitz Einrichtung zur Bestimmung der elektrischen Kapazität
US10551416B2 (en) * 2018-05-09 2020-02-04 Fluke Corporation Multi-sensor configuration for non-contact voltage measurement devices
US11141767B2 (en) * 2018-07-30 2021-10-12 Raytheon Technologies Corporation Forging assembly having capacitance sensors
US10763808B2 (en) * 2018-10-01 2020-09-01 Keithley Instruments, Llc Source measure unit with guard drive circuit
US10837803B2 (en) * 2019-04-12 2020-11-17 Kla Corporation Inspection system with grounded capacitive sample proximity sensor
JP7281124B2 (ja) * 2019-07-29 2023-05-25 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 角度センサ、マウント装置、及び測定方法
US11874423B2 (en) 2019-10-25 2024-01-16 Witricity Corporation Circuit for object detection and vehicle position determination
CN114121374B (zh) * 2020-08-27 2023-01-13 华为技术有限公司 一种同轴电缆和终端
US11784482B2 (en) * 2020-10-20 2023-10-10 Apple Inc. Electrical connection monitoring using cable shielding
EP4285462A1 (en) * 2021-01-26 2023-12-06 WiTricity Corporation Wire-wound structures for electromagnetic sensing of objects
US11750041B2 (en) * 2021-01-26 2023-09-05 Witricity Corporation Wire-wound structures for electromagnetic sensing of objects
EP4050353A1 (en) * 2021-02-25 2022-08-31 Infineon Technologies AG An apparatus and a method for measuring a device current of a device under test
CN114812618B (zh) * 2021-12-24 2023-03-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 频点噪声抑制系统
CN116338142B (zh) * 2023-02-28 2024-02-27 浙江大学 一种超重力实验中水合物储层表面变形测量装置和方法

Family Cites Families (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3101024A (en) 1959-10-05 1963-08-20 Lanston Ind Inc All-purpose photographic mechanical reproduction camera
US3713022A (en) * 1971-12-17 1973-01-23 Systomation Inc Capacitance measurement by phase-controlled sampling
JPS5728266A (en) * 1980-07-28 1982-02-15 Hitachi Ltd Digital ammeter
SU1160321A1 (ru) * 1982-03-05 1985-06-07 Гомельский Государственный Университет Устройство дл измерени амплитудных значений переменных электрических сигналов
US4538069A (en) * 1983-10-28 1985-08-27 Control Data Corporation Capacitance height gage applied in reticle position detection system for electron beam lithography apparatus
US5489888A (en) 1990-11-07 1996-02-06 Precitec Gmbh Sensor system for contactless distance measuring
US5539323A (en) * 1993-05-07 1996-07-23 Brooks Automation, Inc. Sensor for articles such as wafers on end effector
CH689190A5 (fr) 1993-10-19 1998-11-30 Hans Ulrich Meyer Instrument de mesure de longueurs ou d'angles.
DE9421121U1 (de) * 1994-11-10 1995-04-27 Horst Siedle Kg, 78120 Furtwangen Vorrichtung zur Bestimmung einer jeweiligen örtlichen Position eines Körpers durch kapazitive Abtastung
US5730165A (en) * 1995-12-26 1998-03-24 Philipp; Harald Time domain capacitive field detector
JP2000504110A (ja) * 1996-02-02 2000-04-04 ビーアイシーシー パブリック リミテッド カンパニー 静電容量トランスデューサ装置およびケーブル
US6014030A (en) * 1996-05-03 2000-01-11 National Semiconductor Corp. Current-level monitor with hierarchical precision
JP3158063B2 (ja) * 1997-01-21 2001-04-23 北斗電子工業株式会社 非接触電圧計測方法及び装置
WO1999028756A1 (fr) 1997-12-02 1999-06-10 Advantest Corporation Procede permettant de mesurer une intensite en appliquant une tension, et dispositif a cet effet
US5963023A (en) * 1998-03-21 1999-10-05 Advanced Micro Devices, Inc. Power surge management for high performance integrated circuit
DE19836054A1 (de) * 1998-08-10 2000-02-17 Bosch Gmbh Robert Meßschaltung
FR2790095B1 (fr) 1999-02-18 2001-04-06 Siemens Automotive Sa Dispositif de mesure de courant et procede correspondant
DE19916915B4 (de) * 1999-04-14 2005-08-11 Infineon Technologies Ag Schaltnetzteil und Verfahren zur Ermittlung der Versorgungsspannung in einem Schaltnetzteil
KR100654472B1 (ko) * 2001-09-06 2006-12-05 동경 엘렉트론 주식회사 센서 용량 검출 장치 및 센서 용량 검출 방법
US7005864B2 (en) * 2002-10-21 2006-02-28 Synchrony, Inc. Capacitive position sensing system with resonant amplification
TWI304158B (en) * 2003-01-15 2008-12-11 Asml Netherlands Bv Detection assembly and lithographic projection apparatus provided with such a detection assembly
JP4067053B2 (ja) 2003-03-13 2008-03-26 キヤノン株式会社 静電容量センサ式計測装置
DE60308161T2 (de) * 2003-06-27 2007-08-09 Asml Netherlands B.V. Lithographischer Apparat und Verfahren zur Herstellung eines Artikels
TW200510736A (en) 2003-07-01 2005-03-16 Chrysalis Tech Inc Capacitive position sensor and sensing methodology
AU2004306783A1 (en) * 2003-10-10 2005-04-21 That Corporation Low-power integrated-circuit signal processor with wide dynamic range
JP2005156492A (ja) * 2003-11-28 2005-06-16 Agilent Technol Inc 可動機構、測定装置、静電容量式距離測定装置、および、位置決め装置
US6989679B2 (en) 2004-06-03 2006-01-24 General Electric Company Non-contact capacitive sensor and cable with dual layer active shield
JP4613523B2 (ja) 2004-06-16 2011-01-19 ダイキン工業株式会社 電流測定装置
US7746048B2 (en) * 2005-11-11 2010-06-29 L&L Engineering, Llc Non-linear PWM controller for DC-to-DC converters
GB2436619B (en) 2005-12-19 2010-10-06 Toumaz Technology Ltd Sensor circuits
CN101490642A (zh) 2006-07-18 2009-07-22 Iee国际电子工程股份公司 输入设备
US8063886B2 (en) 2006-07-18 2011-11-22 Iee International Electronics & Engineering S.A. Data input device
US7764067B2 (en) * 2007-12-27 2010-07-27 Caterpillar Inc High voltage cable testing method
US8212546B2 (en) * 2008-03-20 2012-07-03 Entropic Communications, Inc. Wideband CMOS RMS power detection scheme
US20090295366A1 (en) * 2008-03-20 2009-12-03 Cehelnik Thomas G E-field sensor arrays for interactive gaming, computer interfaces, machine vision, medical imaging, and geological exploration
NL1036623A1 (nl) 2008-03-26 2009-09-29 Asml Netherlands Bv Lithographic apparatus and device manufacturing method.
CN101881791B (zh) 2009-04-30 2015-08-05 日置电机株式会社 电压检测装置
JP2011053201A (ja) 2009-04-30 2011-03-17 Hioki Ee Corp 電圧検出装置および線間電圧検出装置
JP5340817B2 (ja) 2009-06-11 2013-11-13 日置電機株式会社 電圧検出装置
CN101762736A (zh) * 2009-11-09 2010-06-30 天津南大强芯半导体芯片设计有限公司 一种镜像电流检测电路
US20110261344A1 (en) 2009-12-31 2011-10-27 Mapper Lithography Ip B.V. Exposure method

Also Published As

Publication number Publication date
TW201319523A (zh) 2013-05-16
TWI564543B (zh) 2017-01-01
KR102236200B1 (ko) 2021-04-06
CN103649688B (zh) 2017-02-22
RU2610221C2 (ru) 2017-02-08
KR102152297B1 (ko) 2020-09-07
JP2017201306A (ja) 2017-11-09
US9400195B2 (en) 2016-07-26
WO2013001098A3 (en) 2013-03-07
TW201307804A (zh) 2013-02-16
US20130003034A1 (en) 2013-01-03
CN103635780A (zh) 2014-03-12
KR20140058525A (ko) 2014-05-14
USRE48901E1 (en) 2022-01-25
WO2013001100A4 (en) 2013-02-14
WO2013001098A2 (en) 2013-01-03
WO2013001100A1 (en) 2013-01-03
KR20200105964A (ko) 2020-09-09
EP2726822B1 (en) 2016-11-09
EP2726823A1 (en) 2014-05-07
JP2014527616A (ja) 2014-10-16
CN103649688A (zh) 2014-03-19
EP2726822A2 (en) 2014-05-07
JP6463793B2 (ja) 2019-02-06
EP2726823B1 (en) 2017-06-21
KR101875415B1 (ko) 2018-07-06
US9644995B2 (en) 2017-05-09
WO2013001098A4 (en) 2013-05-02
KR20180081155A (ko) 2018-07-13
US20130009626A1 (en) 2013-01-10
TWI568990B (zh) 2017-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2014102968A (ru) Система для измерения входного электрического тока
JP2014527616A5 (ru)
US8222886B2 (en) Voltage detecting apparatus and line voltage detecting apparatus having a detection electrode disposed facing a detected object
WO2013038176A3 (en) Apparatus and method for current measurement
RU2008139456A (ru) Устройство и способ измерения электрической мощности
CN102998575B (zh) 漏电检测装置
WO2016073123A3 (en) High-current sensing scheme using drain-source voltage
RU2012143506A (ru) Измерительное устройство для индикации переменного тока
WO2012171685A3 (de) Ladevorrichtung und verfahren zum laden eines elektrischen energiespeichers
EP2722677A3 (en) Active shunt ammeter apparatus and method
JP2010025918A (ja) 電圧検出装置および線間電圧検出装置
JP6106909B2 (ja) 電流センサ
SA113340388B1 (ar) نظام محول لأداة قياس
RU2010136196A (ru) Способ учета электрической энергии и устройство для его осуществления
JP5313033B2 (ja) 電圧検出装置および線間電圧検出装置
TW200708742A (en) Circuit for testing surge current
RU152974U1 (ru) Высоковольтное цифровое устройство для измерения тока
RU2606927C1 (ru) Измеритель напряженности электростатического поля
RU137955U1 (ru) Высоковольтное цифровое устройство для измерения тока
RU162879U1 (ru) Измеритель переменного тока
CN104122451A (zh) 一种蓄电池直流内阻测量方法
MD351Y (en) Admittance meter
ATE218711T1 (de) Schaltungsanordnung zur genauen erfassung eines aus getakteten elektrischen eingangsgrössen abgeleiteten gleichstromes
RU2256184C1 (ru) Измерительный преобразователь переменного тока
RU137944U1 (ru) Высоковольтное цифровое устройство для измерения тока