RU2013150078A

RU2013150078A - Искровое испарение углерода

Info

Publication number: RU2013150078A
Application number: RU2013150078/07A
Authority: RU
Inventors: Юрген РАММ; Бено ВИДРИГ; Курт РУМ
Original assignee: Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах
Priority date: 2011-04-11
Filing date: 2012-03-26
Publication date: 2015-05-20
Also published as: TW201300561A; BR112013026134A2; AR085985A1; MX2013011828A; US20140054165A1; CA2833048A1; US9905399B2; RU2594022C2; KR101879896B1; WO2012139707A1; WO2012139707A8; BR112013026134B1; MY161798A; CN103748655A; JP5716129B2; CA2833048C; EP2697817A1; EP2697817B1; KR20140019796A; DE102011016681A1

Abstract

1. Способ осуществления импульсного прерывистого искрового разряда, который осуществляется посредством разряда по меньшей мере одного конденсатора, и соответствующим током разряда управляют посредством периодического подключения и отключения конденсатора, причем при отключенном конденсаторе в течение временных интервалов отключения не подают ток от источника питания, отличающийся тем, что в течение временных интервалов подключения ток разряда при достижении предварительно установленной величины кратковременно прерывают, и это приводит в пределах импульса к образованию подимпульсов.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере первое множество временных интервалов отключения выбирают настолько короткими, что по истечении соответствующего времени подключения конденсатора без труда происходит повторное зажигание искрового разряда.3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что первое зажигание искрового разряда осуществляют посредством устройства зажигания, предпочтительно посредством DC источника постоянного напряжения, после зажигания искры конденсатор впервые подключают, и к моменту времени первого подключения с помощью средств для зарядки конденсатор имеет первое зарядовое состояние, и искровой разряд затем приводят в действие при отключенном DC источнике постоянного напряжения.4. Способ по п.3, отличающийся тем, что второе множество временных интервалов отключения в зависимости от средств для зарядки по меньшей мере одного конденсатора выбираются настолько длинными, что конденсатор по истечении второго множества временных интервалов отключения по существу достигает первого зарядов

Claims

1. Способ осуществления импульсного прерывистого искрового разряда, который осуществляется посредством разряда по меньшей мере одного конденсатора, и соответствующим током разряда управляют посредством периодического подключения и отключения конденсатора, причем при отключенном конденсаторе в течение временных интервалов отключения не подают ток от источника питания, отличающийся тем, что в течение временных интервалов подключения ток разряда при достижении предварительно установленной величины кратковременно прерывают, и это приводит в пределах импульса к образованию подимпульсов.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере первое множество временных интервалов отключения выбирают настолько короткими, что по истечении соответствующего времени подключения конденсатора без труда происходит повторное зажигание искрового разряда.

3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что первое зажигание искрового разряда осуществляют посредством устройства зажигания, предпочтительно посредством DC источника постоянного напряжения, после зажигания искры конденсатор впервые подключают, и к моменту времени первого подключения с помощью средств для зарядки конденсатор имеет первое зарядовое состояние, и искровой разряд затем приводят в действие при отключенном DC источнике постоянного напряжения.

4. Способ по п.3, отличающийся тем, что второе множество временных интервалов отключения в зависимости от средств для зарядки по меньшей мере одного конденсатора выбираются настолько длинными, что конденсатор по истечении второго множества временных интервалов отключения по существу достигает первого зарядового состояния.

5. Способ осуществления катодного испарения, отличающийся тем, что искровое испарение приводится в действие посредством искрового разряда согласно любому из пп.1-4.

6. Способ нанесения покрытия на подложки, который имеет следующие этапы:

- предоставление подложек,

- помещение подложки в вакуумную камеру,

- откачка вакуумной камеры,

- выполнение катодного искрового испарения по п.5.

7. Способ по п. 6, отличающийся тем, что изготавливают не содержащие водорода и/или содержащие водород, и/или не содержащие металла, и/или содержащие металл углеродные слои.