RU2012136065A - Микромеханический пассивный регулятор потока - Google Patents

Микромеханический пассивный регулятор потока Download PDF

Info

Publication number
RU2012136065A
RU2012136065A RU2012136065/14A RU2012136065A RU2012136065A RU 2012136065 A RU2012136065 A RU 2012136065A RU 2012136065/14 A RU2012136065/14 A RU 2012136065/14A RU 2012136065 A RU2012136065 A RU 2012136065A RU 2012136065 A RU2012136065 A RU 2012136065A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
membrane
specified
substrate
additional
cavity
Prior art date
Application number
RU2012136065/14A
Other languages
English (en)
Inventor
Эрик ШАППЕЛЬ
Original Assignee
Дебиотех С.А.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Дебиотех С.А. filed Critical Дебиотех С.А.
Publication of RU2012136065A publication Critical patent/RU2012136065A/ru

Links

Classifications

    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M5/00—Devices for bringing media into the body in a subcutaneous, intra-vascular or intramuscular way; Accessories therefor, e.g. filling or cleaning devices, arm-rests
    • A61M5/14—Infusion devices, e.g. infusing by gravity; Blood infusion; Accessories therefor
    • A61M5/168—Means for controlling media flow to the body or for metering media to the body, e.g. drip meters, counters ; Monitoring media flow to the body
    • A61M5/16877—Adjusting flow; Devices for setting a flow rate
    • A61M5/16881—Regulating valves
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M5/00—Devices for bringing media into the body in a subcutaneous, intra-vascular or intramuscular way; Accessories therefor, e.g. filling or cleaning devices, arm-rests
    • A61M5/14—Infusion devices, e.g. infusing by gravity; Blood infusion; Accessories therefor
    • A61M5/142—Pressure infusion, e.g. using pumps
    • A61M5/145—Pressure infusion, e.g. using pumps using pressurised reservoirs, e.g. pressurised by means of pistons
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M5/00—Devices for bringing media into the body in a subcutaneous, intra-vascular or intramuscular way; Accessories therefor, e.g. filling or cleaning devices, arm-rests
    • A61M5/14—Infusion devices, e.g. infusing by gravity; Blood infusion; Accessories therefor
    • A61M5/168—Means for controlling media flow to the body or for metering media to the body, e.g. drip meters, counters ; Monitoring media flow to the body
    • A61M5/16804—Flow controllers
    • A61M5/16813—Flow controllers by controlling the degree of opening of the flow line
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0015—Diaphragm or membrane valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0055—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
    • F16K99/0057—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids the fluid being the circulating fluid itself, e.g. check valves
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0694—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means or flow sources of very small size, e.g. microfluidics
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M39/00—Tubes, tube connectors, tube couplings, valves, access sites or the like, specially adapted for medical use
    • A61M39/22—Valves or arrangement of valves
    • A61M39/24—Check- or non-return valves
    • A61M2039/2413—Check- or non-return valves designed to reduce and or shut-off the flow when a certain maximum flow limit is exceeded
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M2205/00—General characteristics of the apparatus
    • A61M2205/02—General characteristics of the apparatus characterised by a particular materials
    • A61M2205/0244—Micromachined materials, e.g. made from silicon wafers, microelectromechanical systems [MEMS] or comprising nanotechnology
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M27/00—Drainage appliance for wounds or the like, i.e. wound drains, implanted drains
    • A61M27/002—Implant devices for drainage of body fluids from one part of the body to another
    • A61M27/006—Cerebrospinal drainage; Accessories therefor, e.g. valves
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61M—DEVICES FOR INTRODUCING MEDIA INTO, OR ONTO, THE BODY; DEVICES FOR TRANSDUCING BODY MEDIA OR FOR TAKING MEDIA FROM THE BODY; DEVICES FOR PRODUCING OR ENDING SLEEP OR STUPOR
    • A61M5/00—Devices for bringing media into the body in a subcutaneous, intra-vascular or intramuscular way; Accessories therefor, e.g. filling or cleaning devices, arm-rests
    • A61M5/14—Infusion devices, e.g. infusing by gravity; Blood infusion; Accessories therefor
    • A61M5/142—Pressure infusion, e.g. using pumps
    • A61M5/14244—Pressure infusion, e.g. using pumps adapted to be carried by the patient, e.g. portable on the body
    • A61M5/14276—Pressure infusion, e.g. using pumps adapted to be carried by the patient, e.g. portable on the body specially adapted for implantation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
    • F16K2099/008—Multi-layer fabrications
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0082—Microvalves adapted for a particular use
    • F16K2099/0086—Medical applications
    • F16K2099/0088—Implanted devices
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7781—With separate connected fluid reactor surface
    • Y10T137/7784—Responsive to change in rate of fluid flow
    • Y10T137/7787—Expansible chamber subject to differential pressures
    • Y10T137/7791—Pressures across flow line valve
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/86493—Multi-way valve unit
    • Y10T137/86718—Dividing into parallel flow paths with recombining
    • Y10T137/86734—With metering feature

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Vascular Medicine (AREA)
  • Anesthesiology (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Hematology (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Safety Valves (AREA)
  • Control Of Fluid Pressure (AREA)

Abstract

1. Регулятор потока, содержащий входной порт для текучей среды, выполненный с возможностью присоединения к резервуару с текучей средой, и выходной порт для текучей среды, выполненный с возможностью присоединения к месту доставки, при этом указанный регулятор содержит жесткую подложку и гибкую мембрану, плотно соединенные между собой в предварительно определенных зонах соединения, при этом подложка и/или мембрана имеют углубление, которое образует, когда мембрана находится в исходном положении, полость между мембраной и подложкой, причем подложка и/или мембрана имеют сквозное отверстие, примыкающее к указанной полости и сообщающееся с указанным выходным портом, два дополнительных сквозных отверстия, примыкающих к указанной полости и сообщающихся с указанным входным портом, а также по меньшей мере два выступа внутри указанной полости, при этом высота каждого из указанных выступов такова, что, когда мембрана находится в исходном положении, между свободным концом выступа и противоположной стенкой полости образован зазор, причем каждый из выступов центрирован относительно одного из дополнительных сквозных отверстий и образует клапан в указанном зазоре, а выступы имеют ширину, большую, чем ширина указанного центрированного сквозного отверстия, при этом гибкая мембрана способна входить в контакт по меньшей мере с первой частью подложки в пределах указанной полости и с частью, включающей первый из указанных клапанов, в случае, когда давление, превышающее первое заданное пороговое значение, приложено к поверхности мембраны, расположенной напротив подложки, в результате чего высота указанного зазора уменьша

Claims (19)

1. Регулятор потока, содержащий входной порт для текучей среды, выполненный с возможностью присоединения к резервуару с текучей средой, и выходной порт для текучей среды, выполненный с возможностью присоединения к месту доставки, при этом указанный регулятор содержит жесткую подложку и гибкую мембрану, плотно соединенные между собой в предварительно определенных зонах соединения, при этом подложка и/или мембрана имеют углубление, которое образует, когда мембрана находится в исходном положении, полость между мембраной и подложкой, причем подложка и/или мембрана имеют сквозное отверстие, примыкающее к указанной полости и сообщающееся с указанным выходным портом, два дополнительных сквозных отверстия, примыкающих к указанной полости и сообщающихся с указанным входным портом, а также по меньшей мере два выступа внутри указанной полости, при этом высота каждого из указанных выступов такова, что, когда мембрана находится в исходном положении, между свободным концом выступа и противоположной стенкой полости образован зазор, причем каждый из выступов центрирован относительно одного из дополнительных сквозных отверстий и образует клапан в указанном зазоре, а выступы имеют ширину, большую, чем ширина указанного центрированного сквозного отверстия, при этом гибкая мембрана способна входить в контакт по меньшей мере с первой частью подложки в пределах указанной полости и с частью, включающей первый из указанных клапанов, в случае, когда давление, превышающее первое заданное пороговое значение, приложено к поверхности мембраны, расположенной напротив подложки, в результате чего высота указанного зазора уменьшается до нуля, препятствуя протеканию текучей среды через указанный первый клапан, при этом гибкая мембрана способна входить в контакт по меньшей мере со второй частью подложки в пределах указанной полости и с частью, включающей второй из указанных клапанов, в случае, когда давление, превышающее второе заданное пороговое значение, приложено к поверхности мембраны, расположенной напротив подложки, в результате препятствуя протеканию текучей среды через второй клапан, причем расположение и размеры выступов и дополнительных сквозных отверстий таковы, что скорость потока текучей среды пассивно регулируется по меньшей мере в диапазоне входных давлений, изменяющихся между указанными первым и вторым заданными пороговыми значениями.
2. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что включает n дополнительных выступов в указанной полости, при этом подложка и/или мембрана содержат по меньшей мере n дополнительных сквозных отверстий, примыкающих к указанной полости, сообщающихся с входным портом и образующих n клапанов, причем каждый i-й клапан расположен таким образом, чтобы текучая среда могла протекать через него в случае, когда давление, меньшее, чем i-e заданное пороговое значение, приложено к поверхности мембраны, расположенной напротив подложки, а указанные n клапанов выполнены таким образом, чтобы скорость потока текучей среды пассивно регулировалась по меньшей мере в диапазоне входных давлений, изменяющихся приблизительно между указанным первым и указанным (n+2)-м заданными пороговыми значениями.
3. Регулятор по п.1 или 2, отличающийся тем, что включает пластину основания, плотно присоединенную к поддерживающей пластине в предварительно определенных зонах соединения, при этом пластина основания содержит сквозные отверстия, сообщающиеся с указанными дополнительными сквозными отверстиями подложки и со входным портом для текучей среды, образуя путь прохождения текучей среды от входа до выхода, состоящий из входного порта, присоединенного к резервуару с текучей средой, указанных сквозных отверстий в пластине основания, указанных дополнительных сквозных отверстий в подложке, указанного клапана, указанной полости и указанного сквозного отверстия, сообщающегося с выходным портом.
4. Регулятор по п.1 или 2, отличающийся тем, что включает по меньшей мере один ограничитель потока, сообщающийся по меньшей мере с одним из указанных дополнительных сквозных отверстий в подложке, причем ограничитель потока имеет гидравлическое сопротивление, превышающее в заданном диапазоне давлений гидравлические сопротивления остальных частей пути прохождения текучей среды.
5. Регулятор по п.3, отличающийся тем, что зона контакта между подложкой и пластиной основания содержит плоскость каналов, в которой образован по меньшей мере один канал, при этом указанные дополнительные сквозные отверстия подложки и указанные сквозные отверстия пластины основания сообщаются по меньшей мере через указанный канал, имеющий в заданном диапазоне входных давлений гидравлическое сопротивление, превышающее гидравлические сопротивления остальных частей пути прохождения текучей среды.
6. Регулятор по п.5, отличающийся тем, что зона контакта между подложкой и слоем основания представляет собой слой кремния на изоляторе.
7. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере один указанный клапан представляет собой запорный клапан и/или обратный клапан.
8. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что зоны соединения между мембраной и подложкой образуют m гибких частей мембраны и m полостей между указанными m гибкими частями мембраны и указанной подложкой, при этом указанные m полостей сообщаются между собой и с общим сквозным отверстием, соединенным с выходом, каждая из указанных m полостей содержит по меньшей мере один выступ, одно сквозное отверстие, соединенное со входом, и, таким образом, по меньшей мере один клапан, причем каждый j-й клапан выполнен так, чтобы текучая среда могла протекать через него в случае, когда давление, меньшее, чем j-e заданное пороговое значение, приложено к поверхности мембраны, расположенной напротив указанной подложки, а m клапанов выполнены таким образом, чтобы скорость потока текучей среды пассивно регулировалась по меньшей мере в диапазоне входных давлений, изменяющихся приблизительно между указанным первым и указанным (m+2)-м заданными пороговыми значениями.
9. Регулятор по п.8, отличающийся тем, что толщина и/или диаметр каждой из m гибких частей указанной мембраны, и/или высота и диаметр каждого из m выступов, и/или высота каждой из указанных m полостей, и/или диаметр каждого из m сквозных отверстий являются переменными.
10. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что содержит в указанной полости по меньшей мере один сплошной, именно, лишенный сквозного отверстия выступ, и/или по меньшей мере одну ступеньку, причем указанный сплошной выступ и/или указанная ступенька не образуют часть указанных клапанов, при этом указанный выступ и/или указанная ступенька ограничивают прогибание и напряжение в мембране в случае, если приложено давление, превышающее заданное пороговое значение.
11. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что включает дополнительную пластину, плотно присоединенную к мембране в предварительно определенных зонах соединения, причем указанная дополнительная пластина и/или мембрана имеет углубление, образующее дополнительную полость между мембраной и дополнительной пластиной, при этом дополнительная пластина имеет сквозное отверстие, соединяющее резервуар под избыточным давлением с дополнительной полостью, а также по меньшей мере один выступ перед указанными сквозными отверстиями в мембране, при этом указанный выступ закрывает указанное сквозное отверстие в мембране в заданном диапазоне давление, предотвращая тем самым обратный поток в сквозном отверстии.
12. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что содержит дополнительную пластину, плотно присоединенную к мембране в предварительно определенных зонах соединения, причем указанная дополнительная пластина и/или мембрана имеет углубление, образующее дополнительную полость между мембраной и дополнительной пластиной, при этом дополнительная пластина содержит по меньшей мере один выступ, предотвращающий прогибание мембраны в направлении указанного выступа, и сквозное отверстие, соединенное с указанной дополнительной полостью, при этом указанный регулятор потока содержит гидравлический переключатель, имеющий по меньшей мере три порта, включающих первый порт, сообщающийся с резервуаром с текучей средой, второй порт, сообщающийся со сквозными отверстиями подложки основания, и третий порт, сообщающийся со сквозным отверстием в дополнительной пластине, при этом текучая среда протекает только от резервуара к сквозным отверстиям подложки основания, когда переключатель находится в первом положении, обеспечивающим сообщение между первым и вторым портами, в то время как третий порт закрыт, предотвращая приложение давления в резервуаре в указанной полости между мембраной и дополнительной пластиной и, тем самым, предотвращая прогибание мембраны, при котором закрываются указанные клапаны, при этом все порты переключателя сообщаются друг с другом, когда переключатель находится во втором положении, а дополнительная полость, таким образом, подвергается воздействию давления в резервуаре, что позволяет текучей среде протекать от резервуара к сквозным отверстиям подложки основания и обеспечивает смещение мембраны и, тем самым, закрытие клапанов при изменении давления в резервуаре.
13. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что содержит тонкий эластичный полимерный слой над поверхностью мембраны, расположенной напротив подложки.
14. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что содержит эластичную съемную пленку на стороне пластины основания, расположенной напротив подложки, и/или над поверхностью мембраны, расположенной напротив подложки, при этом указанная пленка имеет щели, выборочно открывающие или закрывающие один или более указанных клапанов в зависимости от положения пленки.
15. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что поверхность мембраны и/или поверхность подложки в указанной полости, включая указанные выступы, содержит противосвязующий слой.
16. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что поверхности, контактирующие с текучей средой, покрыты гидрофильными и/или антикоррозионными веществами.
17. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что содержит актюатор, выполненный с возможностью оказывать давление на мембрану.
18. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что мембрана снабжена тензометрическими датчиками.
19. Регулятор по п.1, отличающийся тем, что содержит фильтр.
RU2012136065/14A 2010-02-12 2011-02-07 Микромеханический пассивный регулятор потока RU2012136065A (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP10153449.3 2010-02-12
EP20100153449 EP2359886A1 (en) 2010-02-12 2010-02-12 Micromechanic passive flow regulator
PCT/IB2011/050514 WO2011098946A1 (en) 2010-02-12 2011-02-07 Micromechanic passive flow regulator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2012136065A true RU2012136065A (ru) 2014-03-20

Family

ID=42537757

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012136065/14A RU2012136065A (ru) 2010-02-12 2011-02-07 Микромеханический пассивный регулятор потока

Country Status (8)

Country Link
US (2) US8790318B2 (ru)
EP (2) EP2359886A1 (ru)
JP (1) JP5726907B2 (ru)
CN (1) CN102762242B (ru)
BR (1) BR112012019771A2 (ru)
CA (1) CA2789644A1 (ru)
RU (1) RU2012136065A (ru)
WO (1) WO2011098946A1 (ru)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7806001B1 (en) * 2007-06-05 2010-10-05 Orbital Research Inc. Multi-diaphragm pressure sensors
EP2359886A1 (en) 2010-02-12 2011-08-24 Debiotech S.A. Micromechanic passive flow regulator
US20150258273A1 (en) * 2011-08-31 2015-09-17 Forrest W. Payne Electrochemically-Actuated Microfluidic Devices
CA2886629A1 (en) * 2012-10-01 2014-04-10 Niclas ROXHED A cerebrospinal fluid shunt for treatment of hydrocephalus
US9572712B2 (en) 2012-12-17 2017-02-21 Novartis Ag Osmotically actuated fluidic valve
US9295389B2 (en) 2012-12-17 2016-03-29 Novartis Ag Systems and methods for priming an intraocular pressure sensor in an intraocular implant
US9528633B2 (en) 2012-12-17 2016-12-27 Novartis Ag MEMS check valve
EP2754935A1 (en) * 2013-01-10 2014-07-16 Debiotech S.A. Adjustable passive flow regulator
EP2956190A4 (en) * 2013-02-15 2016-08-24 Repro Med Systems Inc UNIVERSAL MULTI-FLOW TUBUS KIT
US20150057594A1 (en) 2013-08-24 2015-02-26 Alcon Research, Ltd. Bubble-free microfluidic valve systems and methods
US9283114B2 (en) 2013-08-24 2016-03-15 Novartis Ag Systems and methods for priming a microfluidic chamber
JP5850210B1 (ja) * 2014-05-13 2016-02-03 株式会社村田製作所 バルブ、流体制御装置
CN104315232B (zh) * 2014-08-20 2018-01-09 中国检验检疫科学研究院 微流体微阀驱动装置
US9527731B2 (en) * 2014-10-15 2016-12-27 Nxp Usa, Inc. Methodology and system for wafer-level testing of MEMS pressure sensors
CN104728492A (zh) * 2015-01-27 2015-06-24 东南大学 一种微型被动流量调节阀及其制作工艺
US11020572B2 (en) 2015-07-08 2021-06-01 Debiotech S.A. System and method for cleaning a filter
WO2017139678A1 (en) 2016-02-12 2017-08-17 Nitto Denko Corporation Pressure sensitive graphene-based valve element
WO2017195475A1 (ja) * 2016-05-09 2017-11-16 株式会社村田製作所 バルブ、流体制御装置および血圧計
WO2018064775A1 (en) * 2016-10-07 2018-04-12 Xinyu Liu A microfluidic analytical platform for autonomous immunoassays
WO2018112072A1 (en) * 2016-12-13 2018-06-21 The Board Of Regents Of The University Of Texas System Apparatus, systems, and methods for vascular tissue perfusion
US10709879B2 (en) * 2017-03-29 2020-07-14 Wisconsin Alumni Research Foundation Cerebrospinal-fluid shunt valve system
WO2018184717A2 (de) * 2017-04-06 2018-10-11 Christoph Miethke Gmbh & Co. Kg Flussreduktor
RU2656038C1 (ru) * 2017-07-21 2018-05-30 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Устройство для регулирования потока контрольного газа
CN107818931B (zh) * 2017-09-30 2021-10-19 厦门市三安光电科技有限公司 半导体微元件的转移方法及转移装置
EP3593832A1 (en) 2018-07-11 2020-01-15 Debiotech S.A. Drug delivery system
BR112020023442A2 (pt) 2018-07-11 2021-02-23 Debiotech S.A. sistema de distribuição de fármacos
CN109821100B (zh) * 2019-03-01 2021-04-30 浙江师范大学 一种逐级增压式气动输液装置
CN110132539B (zh) * 2019-06-12 2024-01-26 桂林电子科技大学 非接触式测量轴对称流体薄膜形态的实验平台
KR20220039780A (ko) * 2019-07-26 2022-03-29 램 리써치 코포레이션 반도체 프로세싱 장비를 위한 비엘라스토머 (non-elastomeric), 비폴리머 (non-polymeric), 비금속 멤브레인 밸브들
CN116322872A (zh) * 2020-05-28 2023-06-23 米奈特朗尼克斯神经有限公司 过滤系统和与过滤系统一起使用的过滤歧管
EP4274514A1 (en) * 2021-01-08 2023-11-15 Novoheart International Limited Low pressure valve assemblies
CN113251207B (zh) * 2021-05-13 2022-09-23 哈尔滨工业大学 一种基于pdms材料的气动梭阀及控制方法
WO2023158618A1 (en) * 2022-02-17 2023-08-24 Aita Bio Inc. Mems micropump with piezoelectric active valve that remains closed following micropump power loss
TWI800431B (zh) * 2022-07-26 2023-04-21 郭凡慶 腦積水流量調節裝置

Family Cites Families (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3288142A (en) 1964-04-27 1966-11-29 Hakim Salomon Hydrocephalus shunt with spring biased one-way valves
US3401719A (en) 1966-03-31 1968-09-17 Sylvania Electric Prod Multiple bleed valve cartridge assembly
US3768508A (en) 1972-01-24 1973-10-30 R Schulte Valve for controllable release of entrapped body fluids
US3779274A (en) * 1972-11-21 1973-12-18 Robertshaw Controls Co Pressure regulator
US4625759A (en) 1982-11-19 1986-12-02 Alan R. Krasberg Gas reclaim back pressure regulator
US4551128A (en) 1983-05-11 1985-11-05 Salomon Hakim Cerebrospinal fluid shunt valve
EP0156974B1 (en) 1983-12-08 1989-08-30 Cordis Corporation Three-stage valve for the flow control of body fluids
US4647013A (en) * 1985-02-21 1987-03-03 Ford Motor Company Silicon valve
US4646781A (en) 1985-05-07 1987-03-03 Pacesetter Infusion, Ltd. Diaphragm valve for medication infusion pump
US4781673A (en) 1985-12-20 1988-11-01 Kabushiki Kaisha Nihon M.D.M. Brain ventricle shunt system with flow-rate switching mechanism
US4846215A (en) * 1988-06-07 1989-07-11 Marathon Oil Company Back pressure regulator
US5009251A (en) * 1988-11-15 1991-04-23 Baxter International, Inc. Fluid flow control
US5192265A (en) 1990-12-10 1993-03-09 Hsc Research & Development Limited Partnership Adjustable-resistance anti-siphon device
US5163920A (en) * 1991-01-30 1992-11-17 Infusaid Inc. Flow regulator damper element
DE4223067C2 (de) * 1992-07-14 1997-08-07 Univ Dresden Tech Mikromechanischer Durchflußbegrenzer in Mehrschichtenstruktur
EP0733169B1 (en) * 1993-10-04 2003-01-08 Research International, Inc. Micromachined fluid handling apparatus comprising a filter and a flow regulator
WO1998014707A1 (fr) 1996-10-03 1998-04-09 Westonbridge International Limited Dispositif fluidique micro-usine et procede de fabrication
US5725017A (en) 1997-01-27 1998-03-10 Medtronic, Inc. In-line pressure check valve for drug-delivery systems
US6126628A (en) 1997-04-22 2000-10-03 Johnson & Johnson Professional, Inc. Fluid flow limiting device
DE19737781A1 (de) * 1997-08-29 1999-03-11 Robert Schoenfeld Regler zur Regelung eines mindestens einer Hydrostatik- oder Aerostatiktasche einer Lagerung, Gewindespindelmutter, oder einer Führung zugeführten Medienstromes
US6203523B1 (en) 1998-02-02 2001-03-20 Medtronic Inc Implantable drug infusion device having a flow regulator
DE19816283A1 (de) * 1998-04-11 1999-10-14 Festo Ag & Co Mengenverstärkereinrichtung für Fluidströme
EP1076767B1 (de) * 1998-05-08 2002-02-06 Infineon Technologies AG Mikroventil
US5988211A (en) * 1998-07-06 1999-11-23 Randolph W. Cornell I.V. flow controller
US6173735B1 (en) * 1999-04-29 2001-01-16 Perry Equipment Corporation Method and apparatus for regulating gas flow
US6179586B1 (en) 1999-09-15 2001-01-30 Honeywell International Inc. Dual diaphragm, single chamber mesopump
US6830229B2 (en) * 2001-05-22 2004-12-14 Lockheed Martin Corporation Two-stage valve suitable as high-flow high-pressure microvalve
JP3756429B2 (ja) * 2001-07-12 2006-03-15 Ｓｍｃ株式会社 流量制御弁
US7367968B2 (en) * 2003-09-05 2008-05-06 Codman & Shurtleff, Inc. Implantable pump with adjustable flow rate
US6986365B2 (en) * 2003-09-30 2006-01-17 Redwood Microsystems High-flow microvalve
US20060206049A1 (en) * 2005-03-14 2006-09-14 Rodgers M S MEMS flow module with piston-type pressure regulating structure
US8251981B2 (en) 2004-06-07 2012-08-28 Medtronic, Inc. Regulator
US7832429B2 (en) * 2004-10-13 2010-11-16 Rheonix, Inc. Microfluidic pump and valve structures and fabrication methods
US8211060B2 (en) 2005-05-10 2012-07-03 Palyon Medical (Bvi) Limited Reduced size implantable pump
JP5329952B2 (ja) 2005-06-30 2013-10-30 コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ 弁装置
JP4325607B2 (ja) * 2005-10-05 2009-09-02 パナソニック電工株式会社 マイクロレギュレータ
DE102005058080B4 (de) 2005-12-06 2008-01-03 Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Überwachungseinheit zur Fluiddosierung und Mikrodosieranordnung
US8147774B2 (en) 2006-07-05 2012-04-03 Aida Engineering, Ltd. Micro passage chip and fluid transferring method
FR2905429A1 (fr) * 2006-09-04 2008-03-07 Debiotech Sa Dispositif de delivrance d'un liquide comportant une pompe et une valve
US9046192B2 (en) 2007-01-31 2015-06-02 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Membrane-based fluid control in microfluidic devices
WO2009098314A1 (fr) 2008-02-09 2009-08-13 Debiotech S.A. Regulateur de flux passif pour infusion de medicaments
EP2153855A1 (en) * 2008-08-16 2010-02-17 Debiotech S.A. Passive fluid flow regulator for constant flow rate drug delivery and corresponding drug infusion device
EP2359886A1 (en) 2010-02-12 2011-08-24 Debiotech S.A. Micromechanic passive flow regulator
US8276618B2 (en) 2010-05-18 2012-10-02 Mindray Medical Sweden Ab Flow restrictor and method for reducing resistance of a flow
US8858491B2 (en) * 2012-05-23 2014-10-14 Alcon Research, Ltd. Pre-biased membrane valve

Also Published As

Publication number Publication date
US9867935B2 (en) 2018-01-16
US20150005717A1 (en) 2015-01-01
JP5726907B2 (ja) 2015-06-03
EP2533833A1 (en) 2012-12-19
CN102762242A (zh) 2012-10-31
EP2533833B1 (en) 2019-04-03
US20120316492A1 (en) 2012-12-13
JP2013519422A (ja) 2013-05-30
WO2011098946A1 (en) 2011-08-18
CN102762242B (zh) 2015-07-29
US8790318B2 (en) 2014-07-29
EP2359886A1 (en) 2011-08-24
CA2789644A1 (en) 2011-08-18
BR112012019771A2 (pt) 2016-05-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2012136065A (ru) Микромеханический пассивный регулятор потока
MX2009001504A (es) Valvula microfluidica con un miembro de libre flotacion y su metodo de fabricacion.
CN101213392B (zh) 阀装置
WO2008094672A3 (en) Membrane-based fluid control in microfluidic devices
MX2015004098A (es) Dispositivo de registro de presion dinamica para accionadores internamente registrados y dispositivos de proteccion de sobre-presion.
WO2020041357A3 (en) Pressure regulation system, pressure release valves thereof, passive pressurized fluid reservoirs, and applications of same
IN2012DN01255A (ru)
WO2009152414A3 (en) Fluid admission system for providing a pressure-balanced valve
CN105144013A (zh) 流体控制阀
SG144829A1 (en) Valve seal
BR112015014944A2 (pt) válvula de retenção de excedente autorregulável
WO2010042362A3 (en) Automatic transmission having hydraulic valves with flow force compensation
WO2008084767A1 (ja) 圧力制御装置
EP2037048A3 (en) Flow control apparatus for heavy construction equipment
WO2009108059A3 (en) Tubular member having self-adjusting valves controlling the flow of fluid into or out of the tubular member
WO2009139997A3 (en) Diaphragm assemblies for use with fluid control devices
WO2011088228A3 (en) Pressure regulator having pressure registration flow modifier
KR20090013239A (ko) 유체 압력 조절기
US20150048267A1 (en) Anti cavitation control valve
US20160281747A1 (en) Actuator device
WO2006015220A3 (en) Pressure independent control valve
ES2953359T3 (es) Cabezal de impresión con unidad de control microneumática
WO2009090430A3 (en) Flow control device using a diaphragm
CN108603497A (zh) 主动式调压室
US10100849B2 (en) Oil exchange in hydraulically operated and electro-hydraulically operated hydraulic valves

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20140210