JP5329952B2 - 弁装置 - Google Patents

弁装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5329952B2
JP5329952B2 JP2008519051A JP2008519051A JP5329952B2 JP 5329952 B2 JP5329952 B2 JP 5329952B2 JP 2008519051 A JP2008519051 A JP 2008519051A JP 2008519051 A JP2008519051 A JP 2008519051A JP 5329952 B2 JP5329952 B2 JP 5329952B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
membrane
flow path
valve device
substrate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008519051A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2008545102A (ja
Inventor
デン ベイハールト,アドリアニュス,ウェー,デー,エム ファン
ヒール,ロナルド,セー デ
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Koninklijke Philips NV
Koninklijke Philips Electronics NV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Koninklijke Philips NV, Koninklijke Philips Electronics NV filed Critical Koninklijke Philips NV
Publication of JP2008545102A publication Critical patent/JP2008545102A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5329952B2 publication Critical patent/JP5329952B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • F16K7/16Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15CFLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
    • F15C5/00Manufacture of fluid circuit elements; Manufacture of assemblages of such elements integrated circuits
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/126Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm the seat being formed on a rib perpendicular to the fluid line
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0003Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0015Diaphragm or membrane valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0034Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0055Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
    • F16K99/0057Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids the fluid being the circulating fluid itself, e.g. check valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15CFLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
    • F15C3/00Circuit elements having moving parts
    • F15C3/04Circuit elements having moving parts using diaphragms
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K15/00Check valves
    • F16K15/14Check valves with flexible valve members
    • F16K15/144Check valves with flexible valve members the closure elements being fixed along all or a part of their periphery
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0082Microvalves adapted for a particular use
    • F16K2099/0084Chemistry or biology, e.g. "lab-on-a-chip" technology
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0034Operating means specially adapted for microvalves

Description

本発明は、弁装置に係る。より特には、本発明は、膜に基づく流体システム(membrane based fluid systems)において使用されるよう構成される弁装置に係る。
膜に基づく流体システムは、例えば生物流体である流体を処理するよう使用される。かかるシステムにおいて流体は、頻繁に、ポンプでくみ上げられ(pumped)、単離され(isolated)、混合され、ルートされ(routed)、結合され(merged)、分裂され、及び/又は保存される。かかる流体処理を可能にするよう、弁装置が利用され、流体の流路を介する流体の流れを遮断及び/又は許可し得る。一般的には、膜に基づく流体システムは、一方向弁装置、溢れ弁(overflow valve)装置、及び二方向弁装置に対して必要とされる。
膜に基づく流体システムの例は、例えばUS6382923(特許文献1)、US6663359(特許文献2)、US51781812(特許文献3)、US6416293(特許文献4)、US4865584(特許文献5)、及びUS4470760(特許文献6)において見受けられる。かかるシステムにおいては、異なる弁装置が提案される。しかしながら、かかる弁装置は、構造が複雑である。特に、かかる弁は、単一層基板における実施には適していない。
US2004/0209354(特許文献7)、US2002/0155010(特許文献8)、US2004/0155213(特許文献9)、及びUS2004/0148777(特許文献10)においては、基板システムにおける逆止め(one−way)弁の複数の例が記載される。かかる逆止め弁も構造が複雑であり、各逆止め弁装置は複数層の基板を有する。更には、開示されている弁構造は、逆止め弁としてのみ使用され得る。
US63829231 US66633592 US51781812 US64162933 US48655844 US44707605 US2004/0209354 US2002/0155010 US2004/0155213 US2004/0148777
本発明は、比較的単純な構造を有する弁装置を与えることを目的とする。該弁装置は、単一層基板及び膜を有する膜に基づく流体システムにおいて実施され得る。
この目的は、基板及び膜を有する弁装置を有して達成される。該膜は、基板に対して少なくとも弁範囲の周囲で接合され、該基板は、弁範囲において終わる第1の流路と第2の流路とを有する。第1の流路は、弁範囲において第1の流路端部表面(channel end surface)を有し、第2の流路は、弁範囲において第2の流路端部表面を有する。第1の流路端部表面の範囲は、第2の流路端部表面の範囲より実質的に大きい。
弁範囲は、基板及び膜が互いに対して接合されていない範囲である。この範囲において、可撓性膜は、基板から押され/持ち上げられ得、基板と膜との間には空間がある。この空間を介して、第1及び第2の流路は連通し、流体は、第1の流路から第2の流路へ、又はその逆に流れ得る。しかしながら、膜が平常位置である弁範囲における基板に対して位置する際には、第1及び第2の流路間の流体連通は遮断され、この第1及び第2の流路間の流れがないことは、可能である。
第1及び第2の流路の第1及び第2の流路端部表面は夫々、弁範囲内及び膜が位置する基板の側部の平面において位置する流路の端部表面である。
実質的により大きいということは、第1の流路端部表面の範囲が第2の流路端部表面の範囲の少なくとも1.5倍、望ましくは第2の流路端部表面の範囲の少なくとも2.5倍、より望ましくは第2の流路端部表面の範囲の少なくとも5倍である、ことを意味する。
この構造を有する弁装置は、第1の流路における圧力が一定のレベルまで上昇される際に可撓性である膜が基板から持ち上げられるため、第1の流路から第2の流路まで流体をポンプすることを可能にする。続いて流体は、基板と膜との間における弁範囲において(一時的な)空間を介して流れる。
通常、一定の力は、弁範囲において膜を基板から持ち上げるよう必要とされる。第1の流路端部表面が第2の流路端部表面より実質的に大きいため、弁を開く力は、流体が第1の流路において加圧される際により容易に得られる。「常用」流体圧力を有して第1の流路のみが基板から膜を持ち上げるよう十分な力を作るよう力レベルが選択され得るため、一方向弁は、得られる。
弁を開くよう必要とされる力のレベルはまた、システムの通常の使用に対して高すぎない加圧レベルに対応するよう選択され得る。かかる構造において、弁装置は、溢れ弁として使用され得る。
また、両流路から流体が弁範囲を通ってポンプされ得るよう力レベルを選択することは、可能である。したがって、弁範囲を通る流れを得るよう、同一の開放力レベルを有する更なる圧力が第1の流路より第2の流路において必要とされる、ことは明確である。
一実施例では、弁範囲の外側における第1の流路及び/又は第2の流路の長手方向壁の少なくとも一部分は、膜によって形成される。かかる流路は、基板において容易に作られ得る。例えば、長手方向溝は、基板において与えられ得、該溝は膜によって覆われる。一実施例では、第1及び第2の流路はいずれも、そのようにして構成される。他の実施例では、単一層基板は、基板の各側部に1つである2つの膜が備えられ得る。続いて各膜は、第1又は第2の流路の一方の長手方向壁の一部を形成し得る。弁範囲に対向する膜の側部上に位置する流路は、続いて、基板を通る穴を有して弁範囲に接続され得る。かかる穴はまた、基板において容易に作られ得る。
一実施例では、弁装置は、プランジャを有し、該プランジャは、基板の対向する側部上における弁範囲の少なくとも一部において膜に対して押し付けられ得る。プランジャは、基板に対して膜を押し付け、故に弁を開くよう必要とされる最小限の力を設定するよう使用され得る。したがって、弁装置は、プランジャを膜に対して押し付けるよう構成される加圧装置を有し得る。加圧装置を使用することによって、最小限の力は、設定され得る。
一実施例では、加圧装置は、調整可能であり得るか、あるいは調整可能であり得ない、受動装置であり得る。例えば、加圧装置は、プランジャを膜に対して押すスプリング要素を有し得る。かかるスプリング要素は、リーフスプリングであり得るか、あるいは、機械スプリング、空気スプリング、電気スプリング、又は磁気スプリング等である他の適切なスプリングが使用され得る。
他の実施例では、加圧装置は、能動装置であり得、プランジャ上及び膜上に与えられる圧力を能動的に制御し得る。
一実施例では、プランジャは、膜に対して押し付けられるよう構成されるリムを有する。該リムは、第1の部分及び第2の部分において弁範囲を分割するよう設計される。第1の流路端部表面は、第1の部分において位置決めされ、第2の流路端部表面は、第2の部分において位置決めされる。プランジャ上のリムを与えることによって、より高い局所的圧力が膜上に与えられ得る。これは、弁範囲における基板に対する膜のより優れた密封を与え、弁装置が閉じられる際、即ちバルブを開くための設定圧力に到達しないうちは、漏れを防ぐ。かかるリムを有し、閉じられた弁から開かれた弁までの移動及びその逆の移動は、実質的により明確である(sharper)。本発明は更に、請求項1乃至11のうちいずれか一項記載の弁装置を1つ又はそれより多く有する膜に基づく流体システムに係る。
本発明に従った弁装置の更なる利点及び特徴は、添付の図面を参照して以下に記載される。
図1及び図2は、全体的に参照符号10で示される本発明に従った弁装置の第1の実施例を示す。弁装置11は、基板12及び可撓性膜13を有し、該可撓性膜の表面範囲の大部分は、基板12と接合される。本発明の一実施例では、基板12及び可撓性膜13は、接着層14を有して互いに対して接続される。しかしながら、基板12と可撓性膜13との間の接続が流体気密である限り、両面接着テープ、溶接等である適切な接続手段が使用され得、漏れ又は混入は発生し得ない。
弁範囲15において、弁機構を可能にするよう互いに対して接着されない。図1におけるこの弁範囲15は破線の円であるが、この弁範囲15は、適切な形状を有し得る。
基板12の下方側において、第1の溝及び第2の溝が与えられる。該溝は、第1の流路16及び第2の流路17を形成するよう膜13によって覆われる弁範囲15の外側にある。かかる流路16,17は、基板13の側部の1つにおいて溝を機械加工又はモールドすることが比較的容易であるため、容易に構築され得る。流路16,17の長手方向壁の一部を形成する膜13はまた、膜13が弁機構に対して既に使用されたため、容易に使用され得る。
弁範囲15内において、流路16は、流路端部表面19を有する流路端部チャンバ18を有する。この流路端部表面19は、基板12の下部表面の平面に位置する流路端部チャンバ18の表面範囲である。この流路端部表面19は、故に、流路16における流体圧力が上昇する際に膜13上に圧力をかける表面範囲である。流路端部表面19は、実質的に馬蹄形である。
同様に、流路17は、弁範囲15内において、流路端部表面21を有する流路端部チャンバ20を有する。この流路端部表面21も同様に、流路17における流体圧力が上昇する際に弁範囲15における膜13上に圧力をかける表面範囲である。
弁装置10は更に、プランジャ22を有する。プランジャ22は、概略的にヘリカルスプリングとして示される加圧装置23によって基板12に対向する側部上において膜13に対して押し付けられる。弁装置10の本発明の一実施例において、加圧装置23は、受動装置であり、この加圧装置23が制御装置等によって調整されない膜13上への一定の力を加えることを意図する。一実施例では、受動装置は、位置決めスクリュ等によって調整され得る。受動加圧装置23が適用される際、リーフスプリングの使用は、かかる加圧装置が摩擦又はバックラッシュの欠如により円滑な機能を与えるため、望ましい。
加圧装置23は、弁範囲15において膜13に対してプランジャ22を押し付ける。結果的に膜13が基板12に対して押し付けられ、通常は、即ちポンプ圧力が流路16,17の一方において加えられない際、流体は、基板12と膜14との間において流れ得ない。
第1の流路16における流体圧力が上昇する際、流路端部表面19の範囲によって増大されるこの流体圧力は、膜13上に力を加える。この力が膜13上にプランジャによって加えられる力より大きい場合、膜13及びプランジャ22は、基板12から持ち上げられ得、弁範囲15において基板12と膜13との間に空間が存在するようになる。流体は、流路16から流路17までこの空間を通って流れ得る。弁を開くよう必要とされる弁開放力は、膜13の弾性及びプランジャ22によって加えられる力に依存する。この力は故に、上述された通り調整可能であるスプリング力によって設定される。流路端部表面19の馬蹄形は、圧力がプランジャ22のヘッド部表面にわたってある程度均等に分割されるため、有利である、ことが留意される。一般的には、流路端部表面19,21の中心の一方又は両方が膜13に接触するプランジャ22の表面の中心と同一の線にあることは、有利である。
また、第2の流路17における流体圧力が上昇する場合、流路端部表面21の範囲によって増大されるこの圧力は、プランジャ22によって加えられる力より大きくあり得る力を与える。この力がより大きい際、弁は開き得、流体は流路17から流路16まで流れ得る。しかしながら、流路端部表面21が流路端部表面19より実質的に小さいため、弁装置を開くよう流路17において必要とされる流体圧力は、同様に流路16において必要とされる流体圧力より実質的に大きい。
設定される力に依存して、弁装置10は、逆止め弁又は溢れ弁として使用され得る。流路16における通常のポンプ流体圧力が弁を開くよう十分である圧力を与えるが、流路17における同一の通常のポンプ流体圧力が弁を開くよう十分である圧力を与えない範囲内に設定される力が位置する際、弁は、逆止め弁として使用され得る。弁を開くよう必要とされる圧力が流路16,17の両方に対する通常のポンプ流体圧力を超える場合、弁装置10は、溢れ弁として使用され得る。また、流路16及び流路17の両方における通常のポンプ流体圧力が弁を開くよう十分であることは、可能である。かかる場合、弁装置10は、二方向弁として使用され得る。
図3及び4は、本発明に従った弁装置の第2の実施例を示す。かかる図中、図1及び2中の弁装置の部分と同一の部分は、同一の参照符号を有して示される。
一般的に、図3及び4中の弁装置10の構造は、図1及び2中の弁装置の構造に対応する。以下においては、差異のみが記載される。
流路17は、一般的に、膜13に対向して位置する基板12の側部上にある。同様に、流路は、長手方向側部において開く溝によって作られ、該溝は、膜24によって覆われる。しかしながら、この膜24はまた、溝を閉じるよう適切である他の要素であってもよい。流路17は、基板12において例えばモールド又はドリルあけされ得る貫通路(through going channel)25を介して基板の対向する側部(即ち、膜13が位置付けられる側部)と流体連通する。この他の実施例はまた、製造が比較的容易であり、2つの流路が交差し得るようにする(基板12の各側部上に1つ)。このようにして、より複雑な流体処理及び単一層基板上の流れを与えることは、可能である。
プランジャ22は、流路17の流路端部表面21を取り囲む連続的なリム24を有する。リム24は、プランジャ22のヘッド部表面から突出する。この突出するリム24は、基板12上における膜13の更に優れた密封、及び弁装置10の更に優れた封鎖を与える。本発明の一実施例において、リムは、流路17の流路端部表面21を取り囲む。リムが連続的ではなく、弁範囲15の一側から他側へとわたることも可能である。いずれの場合においてもリムは、弁範囲15を2つの部分に実質的に分割すべきである。流路端部表面19,21の一方は、一方の部分に位置すべきであり、他方の流路端部表面21,19は、他方の部分に位置すべきである。
本発明が意図するリムは、基板12上における膜13の密封を向上させる突出するエッジ部等を有し得る。
図3及び4中の実施例の加圧装置23は、作動可能(actuable)であり、例えば制御装置を使用することによって、プランジャ22が膜13に対して押し付けられるよう有する力は、変更され得る。これは、例えば流体処理工程の進捗に依存して、弁装置10の特徴を切り替えることを可能にする。加圧装置は、例えば空気圧又はハイドロリックシリンダ、あるいは機械又は電気機械装置であり得る。
例えば弁装置が逆止め(一方向)弁として使用される際、弁を開くよう必要とされる力レベルは、変更され得、例えば特定の流体チャンバが満たされることが既知である際に、逆止め弁が開かれて過剰な流体が放出され得るよう力レベルが低下され得る。かかる場合、流体が弁を通過し得る前に、流体圧力を「通常以上の」レベルまで上昇させる必要はない。
二方向弁の場合においても、弁を開く力レベルは、環境に依存し得る。例えば流路17から流路16間での流体の流れが所望される場合、プランジャ22の圧力は、一時的に低減され得る。
更には、作動可能な加圧装置は、処理要求に依存して異なる弁装置モード(一方向、溢れ、及び二方向)間の切替えを、かかるモードに特有であるレベルまで開放力レベルを設定することによって、可能にする。
本発明の概念内における多くの修正及び代替案が可能であることは、当業者にとって明らかである。かかる修正及び代替案は、添付の請求項に記載される本発明の範囲内であると見なされる。
本発明に従った弁装置の第1の実施例の下面図である。 図1中の第1の実施例の側部断面図である。 本発明に従った弁装置の第2の実施例の下面図である。 図3中の第2の実施例の側部断面図である。

Claims (11)

  1. 弁装置であって、
    基板と、弾性膜とを有し、
    前記膜は、前記基板に対して少なくとも弁範囲の周囲で接合され、
    前記基板は、前記弁範囲において終わる第1の流路と第2の流路とを有し、前記第1の流路は、前記弁範囲において第1の流路端部表面を有し、前記第2の流路は、前記弁範囲において第2の流路端部表面を有し、
    前記第1の流路端部表面の範囲は、前記弁装置を開くために前記第1の流路において必要な流体圧力が、前記第2の流路において必要な流体圧力よりも大きくなるように前記第2の端部表面の範囲より大きく、
    プランジャを更に有し、
    前記プランジャは、前記基板に対向する側部上において前記弁範囲の少なくとも一部分において前記膜に対して押し付けられ得るとともに、
    前記プランジャは、前記膜に対して押し付けられるよう構成されるリムを有し、
    前記リムは、前記弁範囲を第1の部分と第2の部分とにおいて分割するよう設計され、
    前記第1の流路端部表面は、前記第1の部分において位置決めされ、前記第2の流路端部表面は、前記第2の部分において位置決めされる、
    弁装置。
  2. 前記第1の流路及び/又は前記第2の流路の長手方向壁の少なくとも一部分は、前記膜によって形成される、
    請求項1記載の弁装置。
  3. 前記弁装置は、受動弁装置である、
    請求項1又は2記載の弁装置。
  4. 前記弁装置は、溢れ弁である、
    請求項1又は2記載の弁装置。
  5. 前記弁装置は、加圧装置を有し、
    該加圧装置は、前記膜に対して前記プランジャを押し付けるよう構成される、
    請求項1乃至4のうちいずれか一項記載の弁装置。
  6. 前記加圧装置が前記膜に対して前記プランジャを押し付け得るよう有する力は、調整可能である、
    請求項記載の弁装置。
  7. 前記加圧装置は、前記力を調整するよう作動可能である、
    請求項又は記載の弁装置。
  8. 前記加圧装置は、スプリングを有する、
    請求項乃至のうちいずれか一項記載の弁装置。
  9. 前記スプリングは、リーフスプリングである、請求項に記載の弁装置。
  10. 前記リムは、連続的であり、前記第1及び第2の流路端部表面のうち一方を取り囲むよう設計される、
    請求項1乃至9のうちいずれか一項記載の弁装置。
  11. 膜に基づく流体システムであって、
    請求項1乃至10のうちいずれか一項記載の弁装置を1つ又はそれより多く有する、
    膜に基づく流体システム。
JP2008519051A 2005-06-30 2006-06-26 弁装置 Active JP5329952B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP05105930.1 2005-06-30
EP05105930 2005-06-30
PCT/IB2006/052078 WO2007004105A1 (en) 2005-06-30 2006-06-26 Valve device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2008545102A JP2008545102A (ja) 2008-12-11
JP5329952B2 true JP5329952B2 (ja) 2013-10-30

Family

ID=37309810

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008519051A Active JP5329952B2 (ja) 2005-06-30 2006-06-26 弁装置

Country Status (5)

Country Link
US (2) US9416883B2 (ja)
EP (1) EP1904772B1 (ja)
JP (1) JP5329952B2 (ja)
CN (1) CN101213392B (ja)
WO (1) WO2007004105A1 (ja)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7832429B2 (en) * 2004-10-13 2010-11-16 Rheonix, Inc. Microfluidic pump and valve structures and fabrication methods
JP5033317B2 (ja) * 2005-07-08 2012-09-26 アルプス電気株式会社 バルブ機構
DE102007035721B4 (de) 2007-07-30 2019-02-07 Robert Bosch Gmbh Mikroventil, Verfahren zum Herstellen eines Mikroventils sowie Mikropumpe
EP2359886A1 (en) 2010-02-12 2011-08-24 Debiotech S.A. Micromechanic passive flow regulator
EP2479466A1 (en) 2011-01-21 2012-07-25 Biocartis SA Micro-Pump or normally-off micro-valve
US8740177B2 (en) 2011-07-05 2014-06-03 Rain Bird Corporation Eccentric diaphragm valve
WO2014094879A1 (en) * 2012-12-21 2014-06-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Pump arrangement comprising a safety valve arrangement
EP2754935A1 (en) * 2013-01-10 2014-07-16 Debiotech S.A. Adjustable passive flow regulator
EP3222351A1 (en) * 2016-03-23 2017-09-27 Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL) Microfluidic network device
EP3261102A1 (en) 2016-06-23 2017-12-27 Rain Bird Corporation Universal solenoid
US10502327B1 (en) 2016-09-23 2019-12-10 Facebook Technologies, Llc Co-casted fluidic devices
US10514111B2 (en) 2017-01-23 2019-12-24 Facebook Technologies, Llc Fluidic switching devices
US10980120B2 (en) 2017-06-15 2021-04-13 Rain Bird Corporation Compact printed circuit board
US10648573B2 (en) 2017-08-23 2020-05-12 Facebook Technologies, Llc Fluidic switching devices
US10422362B2 (en) 2017-09-05 2019-09-24 Facebook Technologies, Llc Fluidic pump and latch gate
US10591933B1 (en) * 2017-11-10 2020-03-17 Facebook Technologies, Llc Composable PFET fluidic device
US11503782B2 (en) 2018-04-11 2022-11-22 Rain Bird Corporation Smart drip irrigation emitter
US11441702B1 (en) * 2019-05-09 2022-09-13 Facebook Technologies, Llc Fluidic valve
US11231055B1 (en) 2019-06-05 2022-01-25 Facebook Technologies, Llc Apparatus and methods for fluidic amplification
US11098737B1 (en) 2019-06-27 2021-08-24 Facebook Technologies, Llc Analog fluidic devices and systems
US11371619B2 (en) 2019-07-19 2022-06-28 Facebook Technologies, Llc Membraneless fluid-controlled valve
EP3845790B1 (en) * 2019-12-30 2024-04-17 Imec VZW Microfluidic device for controlling pneumatic microvalves
US11721465B2 (en) 2020-04-24 2023-08-08 Rain Bird Corporation Solenoid apparatus and methods of assembly
TW202346564A (zh) * 2022-01-23 2023-12-01 香港商新發病毒診斷(香港)有限公司 微流體閥

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US963045A (en) * 1907-06-24 1910-07-05 Safety Car Heatin & Lighting Company Safety-vent for expansion-drums.
US2186833A (en) * 1939-03-11 1940-01-09 George A Iler Valve
US2563665A (en) * 1948-04-30 1951-08-07 Comptoir Textiles Artificiels Valve
US3582037A (en) * 1969-10-29 1971-06-01 Brown & Sharpe Mfg Pneumatic logic element construction
US3620244A (en) * 1970-08-06 1971-11-16 Robertshaw Controls Co Vacuum regulator and pneumatically operated fuel control system utilizing the same
GB2102890B (en) * 1981-06-26 1984-09-12 Lucas Ind Plc Fuel pumping apparatus
US4828545A (en) * 1984-02-08 1989-05-09 Omni-Flow, Inc. Pressure responsive multiple input infusion system
US4756508A (en) * 1985-02-21 1988-07-12 Ford Motor Company Silicon valve
US4657062A (en) * 1985-03-08 1987-04-14 Tuerk Robert P Roll tarp locking assembly
US5178182A (en) * 1986-03-04 1993-01-12 Deka Products Limited Partnership Valve system with removable fluid interface
US5857486A (en) * 1996-09-24 1999-01-12 1219737 Ontario Inc. Pressure relief or back pressure valve
GB9715742D0 (en) * 1997-07-26 1997-10-01 Knorr Bremse Systeme Gas compressors
WO2000029770A2 (en) * 1998-11-16 2000-05-25 California Institute Of Technology Parylene micro check valve and fabrication method thereof
US6056269A (en) * 1999-01-15 2000-05-02 Hewlett-Packard Company Microminiature valve having silicon diaphragm
US6382923B1 (en) * 1999-07-20 2002-05-07 Deka Products Ltd. Partnership Pump chamber having at least one spacer for inhibiting the pumping of a gas
US6416293B1 (en) * 1999-07-20 2002-07-09 Deka Products Limited Partnership Pumping cartridge including a bypass valve and method for directing flow in a pumping cartridge
ES2291363T3 (es) * 2000-11-02 2008-03-01 Biacore Ab Valvula integralmente asociada con un conjunto de transporte de liquido microflujo.
US6742544B2 (en) * 2001-03-07 2004-06-01 Symyx Technologies, Inc. Injection valve array
US20020155010A1 (en) 2001-04-24 2002-10-24 Karp Christoph D. Microfluidic valve with partially restrained element
WO2002097422A1 (en) 2001-05-31 2002-12-05 Electron-Bio, Inc. A micro valve apparatus using micro bead and method for controlling the same
US6715733B2 (en) * 2001-08-08 2004-04-06 Agilent Technologies, Inc. High temperature micro-machined valve
US6883774B2 (en) * 2002-10-21 2005-04-26 Lockheed Martin Corporation Microelectromechanical high pressure gas microvalve
KR101216828B1 (ko) * 2002-12-30 2013-01-04 더 리전트 오브 더 유니버시티 오브 캘리포니아 병원균 검출과 분석을 위한 방법과 기구
DE102004022275A1 (de) * 2004-05-06 2005-12-01 Robert Bosch Gmbh Druckregelventil
US7314208B1 (en) * 2004-09-30 2008-01-01 Sandia Corporation Apparatus and method for selectively channeling a fluid

Also Published As

Publication number Publication date
US20100078584A1 (en) 2010-04-01
US9551427B2 (en) 2017-01-24
CN101213392B (zh) 2012-06-27
EP1904772A1 (en) 2008-04-02
WO2007004105A1 (en) 2007-01-11
JP2008545102A (ja) 2008-12-11
EP1904772B1 (en) 2015-06-17
CN101213392A (zh) 2008-07-02
US9416883B2 (en) 2016-08-16
US20160258543A1 (en) 2016-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5329952B2 (ja) 弁装置
US6581899B2 (en) Valve for use in microfluidic structures
US6247908B1 (en) Micropump
DK1065378T3 (da) Elastomere mikropumpe- og mikroventilsystemer
JP5027930B2 (ja) 安全弁を含むポンプ装置
WO2002070932A3 (en) Microvalve
WO2002043615A3 (en) Microfabricated elastomeric valve and pump systems
DE10238600A1 (de) Peristaltische Mikropumpe
WO2004084274A3 (en) Piezoelectric actuator and pump using same
ATE516058T1 (de) Elliptische membran für ventile
EP1030989B1 (en) Diaphragm valve for a fluid circuit
WO2020041342A3 (en) Cartridge systems, capacitive pumps and multi-throw valves and pump-valve systems and applications of same
CN101608610A (zh) 一种微型泵
JP2020532722A5 (ja)
DE4138491C2 (de) Mikromechanisches Ventil für mikromechanische Dosiereinrichtungen
KR20150118781A (ko) 에너지 저장장치용 안전변
KR102337975B1 (ko) 밸브 장치
DE60014094D1 (de) Homogenisierungsventil
JP4770382B2 (ja) 液体移送装置
JP2005090639A (ja) 薬液弁
JP2007178006A (ja) 薬液弁
EP1557565A3 (en) Microfabricated elastomeric valve and pump systems
WO2007143992A1 (en) A pump
SE0303442D0 (sv) Hydraulventil

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090624

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110906

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20111201

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20111208

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120302

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120717

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20121015

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20121022

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20121217

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130702

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130725

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5329952

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250