Claims (3)
1. Способ нанесения на металлические детали комплексного защитного покрытия, состоящего из множества микрослоев, включающий такие операции, как обезжиривание детали, размещение детали в вакуумной камере, откачку камеры до вакуума, предварительную очистку в среде инертного газа, ионную очистку/травление поверхности, осаждение слоев конденсацией с ионной бомбардировкой, охлаждение в вакууме, затем в среде инертного газа, отличающийся тем, что обезжиривание поверхности детали выполняют путем ультразвуковой мойки с ПАВ с последующей протиркой органическими растворителями, размещение детали выполняют в точке фокусирования потоков не менее чем двух вакуумных дуговых источников плазмы, при этом вакуумирование камеры производят до давление не выше 5·10-5 мм рт.ст., а предварительную очистку выполняют в среде ионизированного инертного газа, кроме того ионную очистку/травление поверхности выполняют путем подачи на подложку сначала напряжения в диапазоне 200-500 В, затем повышают его плавно или ступенчато до 1-1,5 кВ, причем контролируют температуру изделия не выше 90% допустимой для обрабатываемого сплава детали, при этом при вращении детали осуществляют от трех до пяти колебаний температуры, приводящих к равномерному распределению температуры вглубь детали за счет чередования отключения и включения источника напряжения, чем обеспечивают равномерный прогрев и очистку детали, не превышая допустимой температуры, для нанесения микрослоев покрытия сплавы распыляют одновременно с одного или нескольких источников, выполняя вращение детали, причем для создания нитридных, оксидных и карбидных композиций используют газ высокой чистоты соответствующего состава, а напряжение на подложке в ходе напыления поддерживают в диапазоне от 0,01 до 0,15 кВ при длительности от 80% до 99% от времени нанесения микрослоя, а затем ступенчато в диапазоне 0,2-1 кВ при длительности от 1% до 20% от длительности напыления микрослоя соответственно, также охлаждение покрываемой детали выполняют сначала в вакууме при давлении не выше 5·10-5 мм рт.ст. до температуры 100-250°С, а затем в инертной или контролируемой атмосфере газа, подаваемого при пониженных давлениях диапазона 5·10-5 мм рт.ст. - 5·10-2 мм рт.ст.1. The method of applying a complex protective coating consisting of many microlayers to metal parts, including operations such as degreasing the part, placing the part in a vacuum chamber, pumping the chamber to vacuum, preliminary cleaning in an inert gas medium, ion cleaning / etching of the surface, deposition of layers condensation with ion bombardment, cooling in vacuum, then in an inert gas medium, characterized in that the part is degreased by ultrasonic washing with a surfactant, followed by bright organic solvents, the placement of the part is performed at the focusing point of the flows of at least two vacuum arc plasma sources, while the chamber is evacuated to a pressure of no higher than 5 · 10 -5 mm Hg, and preliminary cleaning is performed in an ionized inert gas medium, in addition, ionic cleaning / etching of the surface is performed by first applying a voltage in the range of 200-500 V to the substrate, then increasing it smoothly or stepwise to 1-1.5 kV, moreover, the product temperature is controlled not higher than 90% permissible for the alloy of the alloy being machined, while rotating the part, three to five temperature fluctuations are carried out, leading to a uniform temperature distribution deep into the part due to alternating switching off and on of the voltage source, which ensures uniform heating and cleaning of the part, not exceeding the permissible temperature, for applying microlayers of the coating alloys are sprayed simultaneously from one or more sources, rotating the part, and gas is used to create nitride, oxide and carbide compositions high purity of the corresponding composition, and the voltage on the substrate during deposition is maintained in the range from 0.01 to 0.15 kV with a duration of 80% to 99% of the time of deposition of the microlayer, and then stepwise in the range of 0.2-1 kV for a duration from 1% to 20% of the duration of the deposition of the microlayer, respectively, also the cooling of the coated part is performed first in vacuum at a pressure of not higher than 5 · 10 -5 mm RT.article to a temperature of 100-250 ° C, and then in an inert or controlled atmosphere of the gas supplied at reduced pressures in the range of 5 · 10 -5 mm Hg - 5 · 10 -2 mm RT.article
2. Способ нанесения по п.1, отличающийся тем, что в качестве инертной или контролируемой атмосферы используют азот, аргон или кислород или их смеси.2. The application method according to claim 1, characterized in that nitrogen, argon or oxygen or mixtures thereof are used as an inert or controlled atmosphere.
3. Способ нанесения по п.1, отличающийся тем, что для нанесения микрослоев могут использоваться сплавы на основе сочетаний Cr, Ni, W, Nb, Zr, Ti, Al, Mo.
3. The application method according to claim 1, characterized in that for the application of microlayers alloys based on combinations of Cr, Ni, W, Nb, Zr, Ti, Al, Mo can be used.