RU2489514C1 - METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT COATING BASED ON INTERMETALLIC COMPOUND OF Ti-Al SYSTEM - Google Patents
METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT COATING BASED ON INTERMETALLIC COMPOUND OF Ti-Al SYSTEM Download PDFInfo
- Publication number
- RU2489514C1 RU2489514C1 RU2012111735/02A RU2012111735A RU2489514C1 RU 2489514 C1 RU2489514 C1 RU 2489514C1 RU 2012111735/02 A RU2012111735/02 A RU 2012111735/02A RU 2012111735 A RU2012111735 A RU 2012111735A RU 2489514 C1 RU2489514 C1 RU 2489514C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- layer
- titanium
- cathodes
- intermetallic
- intermetallic compound
- Prior art date
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области машиностроении, в частности к получению износо-, ударо-, тепло-, трещино- и коррозионностойких покрытий, и может быть использовано для повышения надежности и долговечности широкого ассортимента деталей машин и инструмента.The invention relates to mechanical engineering, in particular to the production of wear-, impact-, heat-, crack- and corrosion-resistant coatings, and can be used to increase the reliability and durability of a wide range of machine parts and tools.
Известен способ нанесения нанокомпозитного однослойного покрытия Ti1-xAlxN на установке вакуумного напыления типа «Квант» с помощью магнетрона с составной мишенью из сплава титана (57 ат.%) и алюминия (43 ат.%) диаметром 120 мм, работающего от источника постоянного тока, оснащенного системой защиты от микродуг. Для получения покрытия со столбчатой структурой нагрев образцов в вакуумной камере перед напылением и поддержание температуры в процессе напыления покрытия осуществляется с использованием молибденового нагревателя, с глобулярной структурой - дополнительной подачи постоянного потенциала смещения Us=-200 В на нагретые до температуры 623 К подложки (см. В.П. Сергеев, М.В. Федорищев, А.В. Воронов, О.В. Сергеев, В.П. Яновский, С.Г. Псахье. Трибомеханические свойства и структура нанокомпозитных покрытий Ti1-xAlxN // Известия Томского политехнического университета. 2006. Т.309. №2. С.149-153).A known method of applying a nanocomposite single-layer coating Ti 1-x Al x N on a quantum-type vacuum deposition apparatus using a magnetron with a composite target of an alloy of titanium (57 at.%) And aluminum (43 at.%) With a diameter of 120 mm, operating from DC source equipped with a micro-arc protection system. To obtain a coating with a columnar structure, the samples are heated in a vacuum chamber before spraying and the temperature is maintained during spraying of the coating using a molybdenum heater, with a globular structure - an additional supply of a constant bias potential U s = -200 V on substrates heated to a temperature of 623 K (cm V.P. Sergeev, M.V. Fedorishchev, A.V. Voronov, O.V. Sergeev, V.P. Yanovsky, S.G. Psahye Tribomechanical properties and structure of nanocomposite coatings Ti 1-x Al x N // News of Tomsk Polytechnic University Niversitets. 2006. T. 309. No. 2. S.149-153).
Недостатком известного способа является то, что процесс распыления составной мишени наиболее чувствителен к изменению технологических параметров процесса. При отклонении от последних может неконтролируемо изменяться скорость распыления легкоплавкого элемента Al, входящего в состав в мишени, что приведет к не повторяемости свойств покрытия и мишени, неконтролируемому изменению свойств осаждаемого покрытия.The disadvantage of this method is that the sputtering process of the composite target is most sensitive to changes in the process parameters. When deviating from the latter, the sputtering rate of the fusible Al element, which is a part of the target, can change uncontrollably, which will lead to non-repeatability of the coating and target properties, to an uncontrolled change in the properties of the deposited coating.
Известен способ нанесения износостойкого покрытия на основе нитрида или карбонитрида титана, содержащего алюминий и легирующий компонент молибден. Покрытие наносят вакуумно-плазменным методом двумя противоположно расположенными составными катодами, содержащими титан и алюминий, и размещенным между ними составным катодом, содержащим титан и молибден TiAlMoN (патент РФ №2269596, МПК С23С 14/06, 10.02.2006).A known method of applying a wear-resistant coating based on titanium nitride or titanium carbonitride containing aluminum and an alloying component of molybdenum. The coating is applied by a vacuum-plasma method with two oppositely positioned composite cathodes containing titanium and aluminum, and a composite cathode between them containing titanium and molybdenum TiAlMoN placed between them (RF patent No. 2269596, IPC С23С 14/06, 02/10/2006).
Недостатком известного аналога является использование составных катодов: во-первых необходимость изготовления составных катодов, во-вторых процентное соотношение Ti и Al будет постоянно, и его невозможно будет менять в ходе процесса напыления.A disadvantage of the known analogue is the use of composite cathodes: firstly, the need to manufacture composite cathodes, and secondly, the percentage ratio of Ti and Al will be constant, and it will not be possible to change during the deposition process.
Наиболее близким к заявляемому изобретению по совокупности существенных признаков является способ получения износостойкого покрытия, включающий очистку поверхности инструмента и вакуумно-плазменное нанесение многослойного покрытия с использованием реакционного газа. Помещают инструмент в вакуумную камеру установки, оснащенной магнетронами, электродуговыми испарителями и нагревателем, проводят очистку поверхности в три этапа, на первом - в тлеющем разряде при бесконтактном нагреве поверхности инструмента нагревателем до 100°C, на втором - в плазме магнетронного разряда, на третьем - проводят ионную очистку электродуговым испарителем в среде инертного газа, нагревая поверхность инструмента на 300-350°C. Затем на подложку наносят нижний слой титана электродуговым испарителем титанового катода в среде инертного газа и чередующиеся слои из двухкомпонентного нитрида титана и трехкомпонентного нитрида титана и алюминия в газовой смеси инертного и реакционного газов. Первым наносят слой нитрида титана, а последним - слой нитрида титана и алюминия. Слои нитрида титана получают магнетронным распылением титановой мишени, а слои нитрида титана и алюминия получают при одновременном электродуговом испарении алюминиевого катода и магнетронном распылении титановой мишени (патент РФ №2429311, МПК С23С 14/06, 20.09.2011). Данный способ принят за прототип.Closest to the claimed invention in terms of essential features is a method of obtaining a wear-resistant coating, including cleaning the surface of the tool and vacuum-plasma deposition of a multilayer coating using a reaction gas. The tool is placed in a vacuum chamber of a facility equipped with magnetrons, electric arc evaporators and a heater, the surface is cleaned in three stages, in the first stage in a glow discharge when the surface of the tool is contactlessly heated by a heater to 100 ° C, in the second one in a magnetron discharge plasma, and in the third conduct ion cleaning by an electric arc evaporator in an inert gas medium, heating the surface of the tool at 300-350 ° C. Then, a lower layer of titanium is applied to the substrate by an electric arc evaporator of a titanium cathode in an inert gas medium and alternating layers of two-component titanium nitride and three-component titanium and aluminum nitride in a gas mixture of inert and reaction gases. The first is a layer of titanium nitride, and the last is a layer of titanium nitride and aluminum. Layers of titanium nitride are obtained by magnetron sputtering of a titanium target, and layers of titanium and aluminum nitride are obtained by simultaneous electric arc evaporation of an aluminum cathode and magnetron sputtering of a titanium target (RF patent No. 2429311, IPC С23С 14/06, 09/20/2011). This method is adopted as a prototype.
Недостатком известного способа, принятого за прототип, является неравномерность толщины покрытия на изделиях сложной формы, малая скорость роста покрытия, отсутствие возможности формирования покрытия нужного состава.The disadvantage of this method, adopted as a prototype, is the unevenness of the coating thickness on products of complex shape, low growth rate of the coating, the inability to form a coating of the desired composition.
Технический результат и задача, на решение которой направлено заявляемое изобретение, - формирование различных интерметаллидных фаз в покрытии, равномерность толщины покрытий на деталях сложной формы, за счет ассистирования процесса напыления плазменным источником с накальным катодом, нанесения покрытия двумя электродуговыми испарителями из титана и алюминия.The technical result and the problem to which the claimed invention is directed is the formation of various intermetallic phases in the coating, the uniformity of the thickness of the coatings on parts of complex shape, due to the assisting of the deposition process by a plasma source with a filament cathode, and coating by two electric arc evaporators made of titanium and aluminum.
Поставленная задача и технический результат достигаются тем, что в способе получения износостойкого покрытия, включающий размещение обрабатываемой детали в вакуумной камере установки, содержащей плазменный источник с накальным катодом и два электродуговых испарителя в виде катодов из алюминия и титана, расположенных в одной плоскости напротив друг друга, ионную очистку поверхности детали плазменным источником с накальным катодом, ионную очистку электродуговым испарителем в среде инертного газа при нагреве поверхности до температуры 300-350°C, нанесение на поверхность детали нижнего слоя титана посредством титанового катода, нанесение слоя на основе нитрида интерметаллида системы Ti-Al посредством двух катодов, нанесение слоя на основе интерметаллида системы Ti-Al посредством двух катодов, при этом нанесение слоев покрытия осуществляют при ассистировании плазменным источником с накальным катодом, а при нанесении слоя на основе интерметаллида изменение его фазового состава осуществляют путем изменения расположения обрабатываемой детали в вакуумной камере.The task and technical result are achieved by the fact that in the method of obtaining a wear-resistant coating, comprising placing the workpiece in a vacuum chamber of an installation containing a plasma source with a filament cathode and two electric arc evaporators in the form of aluminum and titanium cathodes located in the same plane opposite each other, ion cleaning of the surface of the part by a plasma source with a filament cathode; ion cleaning by an electric arc evaporator in an inert gas medium when the surface is heated to temperatures 300-350 ° C, applying a lower titanium layer to the part surface using a titanium cathode, applying a Ti-Al system intermetallic nitride-based layer using two cathodes, applying a Ti-Al system intermetallic-based layer using two cathodes, while applying coating layers they are carried out when assisted by a plasma source with a filament cathode, and when a layer based on an intermetallic is applied, a change in its phase composition is carried out by changing the location of the workpiece in a vacuum chamber.
Кроме того, согласно изобретению в качестве слоя на основе интерметаллида системы Ti-Al может быть слой из фазы TiAl.In addition, according to the invention, a TiAl phase layer can be used as a Ti-Al intermetallic layer.
Кроме того, согласно изобретению в качестве слоя на основе интерметаллида системы Ti-Al может быть слой из фазы Ti3Al.In addition, according to the invention, a Ti 3 Al phase layer can be used as a layer based on an intermetallic compound of the Ti-Al system.
Кроме того, согласно изобретению в качестве слоя на основе интерметаллида системы Ti-Al может быть слой из фазы TiAl3.In addition, according to the invention, as a layer based on an intermetallic compound of the Ti-Al system, there may be a layer from the TiAl 3 phase.
На фигуре изображена схема реализации способа получения покрытия на основе интерметаллида системы Ti-Al. Схема содержит подложку 1, электродуговые испарители (катоды Ti и Al) 2, аноды 3, источник ионов газа 4, вакуумную камеру 5, источники питания 6. А так же приведены зоны образования определенного фазового состава: А) Ti3Al, Б) TiAl, В) TiAl3.The figure shows a diagram of an implementation of a method for producing a coating based on an intermetallic system of Ti-Al. The circuit contains a substrate 1, electric arc evaporators (Ti and Al cathodes) 2,
Пример конкретной реализации способаAn example of a specific implementation of the method
В вакуумной камере устанавливают обрабатываемые детали по кольцевой траектории, например обрезные матрицы из инструментальной стали Р6М5. Затем в камере создают рабочее давление, равное 2·10-4 мм рт.ст. На первом этапе проводят ионную чистку плазменным источником с накальным катодом в среде Ar, при этом детали нагреваются до температуры 300…350°C. Очистку проводят в течение 30 минут. Далее проводят ионную очистку электродуговым испарителем в среде инертного газа при нагреве поверхности до температуры 400…450°C. Далее в среде инертного газа при том же давлении наносят первый слой из Ti дуговым испарителем с титановым катодом для лучшей адгезии в течение 5 минут. Следующий слой на основе нитрида интерметаллида системы Ti-Al наносят в среде реакционного газа азота при давлении 6·10-4 мм рт.ст. Формирование нитрида интерметаллида системы Ti-Al происходит при одновременном распылении двух дуговых испарителей с титановым и алюминиевым катодами, расположенными в одной плоскости противоположно друг другу. Следующим наносят покрытие на основе интерметаллида системы Ti-Al в среде инертного газа Ar при давлении 2·10-3 мм рт.ст.In the vacuum chamber, the machined parts are installed along an annular path, for example, cutting matrices from tool steel P6M5. Then in the chamber create a working pressure equal to 2 · 10 -4 mm RT.article. At the first stage, ion cleaning is carried out by a plasma source with a filament cathode in an Ar medium, while the parts are heated to a temperature of 300 ... 350 ° C. Cleaning is carried out within 30 minutes. Next, ion cleaning is carried out by an electric arc evaporator in an inert gas medium when the surface is heated to a temperature of 400 ... 450 ° C. Then, in an inert gas medium, at the same pressure, the first layer of Ti is applied by an arc evaporator with a titanium cathode for better adhesion for 5 minutes. The next layer based on the intermetallic nitride of the Ti-Al system is applied in the atmosphere of the reaction gas of nitrogen at a pressure of 6 · 10 -4 mm Hg The formation of the Ti-Al system intermetallic nitride occurs when two arc evaporators with titanium and aluminum cathodes located in the same plane opposite each other are sprayed simultaneously. The following is a coating based on an intermetallic compound of the Ti-Al system in an inert gas Ar at a pressure of 2 · 10 -3 mm Hg
Итак, заявляемое изобретение позволяет наносить покрытия на основе интерметаллида системы Ti-Al (TiAl, Ti3Al, TiAl3) необходимого фазового состава, получать покрытия толщиной до 100 мкм с однородным составом по всему объему и равномерным по всей поверхности детали независимо от ее конфигурации.So, the claimed invention allows to apply coatings based on an intermetallic Ti-Al system (TiAl, Ti 3 Al, TiAl 3 ) of the required phase composition, to obtain coatings up to 100 μm thick with a uniform composition throughout the volume and uniform over the entire surface of the part, regardless of its configuration .
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012111735/02A RU2489514C1 (en) | 2012-03-22 | 2012-03-22 | METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT COATING BASED ON INTERMETALLIC COMPOUND OF Ti-Al SYSTEM |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012111735/02A RU2489514C1 (en) | 2012-03-22 | 2012-03-22 | METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT COATING BASED ON INTERMETALLIC COMPOUND OF Ti-Al SYSTEM |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2489514C1 true RU2489514C1 (en) | 2013-08-10 |
Family
ID=49159530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2012111735/02A RU2489514C1 (en) | 2012-03-22 | 2012-03-22 | METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT COATING BASED ON INTERMETALLIC COMPOUND OF Ti-Al SYSTEM |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2489514C1 (en) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2677043C1 (en) * | 2017-12-05 | 2019-01-15 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT COATING BASED ON INTERMETALLIDE OF Ti-Al SYSTEM |
| RU2689474C1 (en) * | 2018-11-19 | 2019-05-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | METHOD OF PRODUCING COATING BASED ON INTERMETALLIDES OF Ti-Al SYSTEM SYNTHESIZED IN NITROGEN MEDIUM |
| RU2693988C1 (en) * | 2018-09-17 | 2019-07-08 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Алтайский государственный аграрный университет" (ФГБОУ ВО Алтайский ГАУ) | Method for surfacing iron aluminide on steel surface |
| RU2697749C1 (en) * | 2018-08-20 | 2019-08-19 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method of increasing resistance of metal cutting tool |
| RU2699474C1 (en) * | 2019-01-28 | 2019-09-05 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тольяттинский государственный университет" | Method of facing of titanium and titanium alloys of heat-resistant and wear-resistant coatings based on titanium aluminides |
| RU2699700C1 (en) * | 2019-03-27 | 2019-09-09 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method of depositing amorphous-crystalline coating on metal cutting tool |
| RU2700344C1 (en) * | 2019-02-05 | 2019-09-16 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method of hardening of cutting tool by deposition of multilayer coatings of system ti-al |
| RU2745919C1 (en) * | 2019-11-18 | 2021-04-02 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | High-speed tool reinforcement method from high-speed steel |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2269598C2 (en) * | 2004-03-05 | 2006-02-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Method for depositing wear-resistant coating on cutting tool |
| RU2296812C1 (en) * | 2005-11-03 | 2007-04-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Method of forming multi-layer coat for cutting tools |
| RU2414527C1 (en) * | 2009-11-03 | 2011-03-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Procedure for cutting tool multi-layer coating |
| RU2429311C1 (en) * | 2010-01-11 | 2011-09-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский государственный технический университет" | Method of obtaining complex nitride-based coating |
-
2012
- 2012-03-22 RU RU2012111735/02A patent/RU2489514C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2269598C2 (en) * | 2004-03-05 | 2006-02-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Method for depositing wear-resistant coating on cutting tool |
| RU2296812C1 (en) * | 2005-11-03 | 2007-04-10 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Method of forming multi-layer coat for cutting tools |
| RU2414527C1 (en) * | 2009-11-03 | 2011-03-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" | Procedure for cutting tool multi-layer coating |
| RU2429311C1 (en) * | 2010-01-11 | 2011-09-20 | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Пермский государственный технический университет" | Method of obtaining complex nitride-based coating |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2677043C1 (en) * | 2017-12-05 | 2019-01-15 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT COATING BASED ON INTERMETALLIDE OF Ti-Al SYSTEM |
| RU2697749C1 (en) * | 2018-08-20 | 2019-08-19 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method of increasing resistance of metal cutting tool |
| RU2693988C1 (en) * | 2018-09-17 | 2019-07-08 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Алтайский государственный аграрный университет" (ФГБОУ ВО Алтайский ГАУ) | Method for surfacing iron aluminide on steel surface |
| RU2689474C1 (en) * | 2018-11-19 | 2019-05-28 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | METHOD OF PRODUCING COATING BASED ON INTERMETALLIDES OF Ti-Al SYSTEM SYNTHESIZED IN NITROGEN MEDIUM |
| RU2699474C1 (en) * | 2019-01-28 | 2019-09-05 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тольяттинский государственный университет" | Method of facing of titanium and titanium alloys of heat-resistant and wear-resistant coatings based on titanium aluminides |
| RU2700344C1 (en) * | 2019-02-05 | 2019-09-16 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method of hardening of cutting tool by deposition of multilayer coatings of system ti-al |
| RU2699700C1 (en) * | 2019-03-27 | 2019-09-09 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | Method of depositing amorphous-crystalline coating on metal cutting tool |
| RU2745919C1 (en) * | 2019-11-18 | 2021-04-02 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" | High-speed tool reinforcement method from high-speed steel |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2489514C1 (en) | METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT COATING BASED ON INTERMETALLIC COMPOUND OF Ti-Al SYSTEM | |
| JP5856148B2 (en) | PVD hybrid method for depositing mixed crystal layers | |
| Constantin et al. | Magnetron sputtering technique used for coatings deposition; technologies and applications | |
| RU2533576C1 (en) | Method of obtaining multi-layered multifunctional coating | |
| US9624571B2 (en) | Method for manufacturing a metal-borocarbide layer on a substrate | |
| US10378095B2 (en) | TiB2 layers and manufacture thereof | |
| RU2012113242A (en) | METHOD FOR PRELIMINARY PROCESSING OF SUBSTRATES FOR METHOD OF APPLICATION OF COATING BY DEPOSITION OF VAPORS | |
| Lackner | Industrially-scaled large-area and high-rate tribological coating by pulsed laser deposition | |
| Grudinin et al. | Chromium films deposition by hot target high power pulsed magnetron sputtering: Deposition conditions and film properties | |
| RU2429311C1 (en) | Method of obtaining complex nitride-based coating | |
| RU2689474C1 (en) | METHOD OF PRODUCING COATING BASED ON INTERMETALLIDES OF Ti-Al SYSTEM SYNTHESIZED IN NITROGEN MEDIUM | |
| CN103628024A (en) | Technology for depositing titanium nitride film on surface of 4Cr13 stainless steel vernier caliper | |
| EP2829635B1 (en) | Method for controlled production of diffusion based coatings by vacuum cathodic arc systems | |
| RU2433209C1 (en) | Method for obtaining wear-resistant and thermodynamically resistant multi-layer coating on basis of high-melting metals and their compounds | |
| RU2361013C1 (en) | Method of wear-resistant coating receiving | |
| RU2677043C1 (en) | METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT COATING BASED ON INTERMETALLIDE OF Ti-Al SYSTEM | |
| RU2599073C1 (en) | Method of ion-plasma application of multilayer coating on articles from aluminium alloys | |
| RU2549813C1 (en) | Fabrication of refractory nanocomposite coating of surface of refractory nickel alloys | |
| RU2699700C1 (en) | Method of depositing amorphous-crystalline coating on metal cutting tool | |
| JP2011225982A (en) | Coating member excellent in coating film adhesion, and method for producing the same | |
| RU2694857C1 (en) | Method of applying wear-resistant coating by ion-plasma method | |
| RU2662516C1 (en) | METHOD FOR PRODUCING A WEAR-RESISTANT GRADIENT COATING OF THE Ti-Al SYSTEM ON A STEEL PART IN VACUUM | |
| RU2769142C1 (en) | METHOD FOR OBTAINING COATINGS BASED ON THE Ti-Al SYSTEM, SYNTHESIZED IN A MEDIUM OF REACTION GASES | |
| RU2428516C2 (en) | Procedure for production of nano structured gradient oxide coating of catalytic material by method of magnetron sputtering | |
| RU2697749C1 (en) | Method of increasing resistance of metal cutting tool |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20140323 |