RU2662516C1 - METHOD FOR PRODUCING A WEAR-RESISTANT GRADIENT COATING OF THE Ti-Al SYSTEM ON A STEEL PART IN VACUUM - Google Patents

METHOD FOR PRODUCING A WEAR-RESISTANT GRADIENT COATING OF THE Ti-Al SYSTEM ON A STEEL PART IN VACUUM Download PDF

Info

Publication number
RU2662516C1
RU2662516C1 RU2017126320A RU2017126320A RU2662516C1 RU 2662516 C1 RU2662516 C1 RU 2662516C1 RU 2017126320 A RU2017126320 A RU 2017126320A RU 2017126320 A RU2017126320 A RU 2017126320A RU 2662516 C1 RU2662516 C1 RU 2662516C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
wear
vacuum
arc discharge
resistant
Prior art date
Application number
RU2017126320A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Владимир Васильевич Будилов
Камиль Нуруллаевич Рамазанов
Рашид Денисламович Агзамов
Эдуард Леонидович Варданян
Алмаз Юнирович Назаров
Original Assignee
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" filed Critical федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет"
Priority to RU2017126320A priority Critical patent/RU2662516C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2662516C1 publication Critical patent/RU2662516C1/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
    • C23C8/38—Treatment of ferrous surfaces

Abstract

FIELD: technological processes.
SUBSTANCE: invention relates to the production of wear-resistant coatings and can be used to expand the range of machine parts and tools. Method for producing a wear-resistant gradient coating of the Ti-Al system on a steel part in a vacuum includes depositing an intermetallic compound coating of the Ti-Al system from a vacuum arc discharge plasma for 180 minutes at a pressure of 1.5*10-1 Pa in an inert gas in the form of argon and currents of arc evaporators in the range of 60–120 A and subsequent nitriding in an arc discharge by means of a plasma source with an incandescent cathode for 60 min at a pressure of 2*10-1 Pa in a reaction gas in the form of nitrogen, the current of a incandescent cathode 100 A, and the current of an arc discharge of the plasma source 50 A and the temperature of the part 550 °C.
EFFECT: provides the wear-resistant gradient coating, increasing the mechanical properties and adhesion strength of the coating.
1 cl, 5 dwg, 1 tbl, 1 ex

Description

Изобретение относится к области получения износостойких покрытий и может быть использовано для расширения ассортимента деталей машин и инструмента, на которые наносят износостойкое покрытия.The invention relates to the field of obtaining wear-resistant coatings and can be used to expand the assortment of machine parts and tools on which wear-resistant coatings are applied.

Известен способ получения покрытий на основе Ti3Al-интерметаллических композиционных материалов, в котором процесс разделен на два этапа: сначала наносят чистый Al на подложку из Ti6Al4V с использованием плазменного напыления и затем осуществляют лазерное азотирование Al-покрытия в атмосфере азота. (Z.D. Liu, Х.С. Zhang, F.Z. Xuan, Z.D. Wang, S.T. Tu. In situ synthesis of TiN/Ti3Al intermetallic matrix composite coatingson Ti6Al4V alloy. // Z.D. Liu et al. / Materials and Design 37 (2012), 268-273 p.).A known method for producing coatings based on Ti3Al-intermetallic composite materials, in which the process is divided into two stages: first, pure Al is applied to a Ti6Al4V substrate using plasma spraying and then laser nitriding of the Al-coating is carried out in a nitrogen atmosphere. (ZD Liu, H.S. Zhang, FZ Xuan, ZD Wang, ST Tu. In situ synthesis of TiN / Ti3Al intermetallic matrix composite coatingson Ti6Al4V alloy. // ZD Liu et al. / Materials and Design 37 (2012), 268 -273 p.).

Недостатком способа является разделение процесса на два этапа в двух установках за счет этого увеличивается время получения покрытия и ухудшается качество покрытия.The disadvantage of this method is the separation of the process into two stages in two installations, due to this, the time for obtaining the coating increases and the quality of the coating deteriorates.

Известен способ нанесения износостойкого покрытия на основе нитрида или карбонитрида титана, содержащего алюминий и легирующий компонент молибден. Покрытие наносят вакуумно-плазменным методом двумя противоположно расположенными составными катодами, содержащими титан и алюминий, и размещенным между ними составным катодом, содержащим титан и молибден TiAlMoN (патент РФ №2269596, МПК С23С 14/06, опубл. 10.02.2006).A known method of applying a wear-resistant coating based on titanium nitride or titanium carbonitride containing aluminum and an alloying component of molybdenum. The coating is applied by a vacuum-plasma method with two oppositely positioned composite cathodes containing titanium and aluminum, and a composite cathode between them containing titanium and molybdenum TiAlMoN placed between them (RF patent No. 2269596, IPC С23С 14/06, publ. 02/10/2006).

Недостатком способа является использование составных катодов: во-первых, необходимость изготовления составных катодов, во-вторых, процентное соотношение Ti и Al будет постоянно, и его невозможно будет менять в ходе процесса напыления.The disadvantage of this method is the use of composite cathodes: firstly, the need to manufacture composite cathodes, and secondly, the percentage ratio of Ti and Al will be constant, and it will not be possible to change during the deposition process.

Известен способ нанесения защитного износостойкого покрытия на режущий инструмент. Износостойкое ионно-плазменное покрытие на основе сложного нитрида титана, алюминия и хрома ((TixAlyCrz)N, нанесенное на металлическое изделие. Для нанесения покрытия используется "несбалансированный" магнетронный источник (патент РФ №2405060, МПК С23С 14/06, С23С 14/35, опубл. 15.10.2009).A known method of applying a protective wear-resistant coating on a cutting tool. Wear-resistant ion-plasma coating based on complex titanium, aluminum and chromium nitride ((TixAlyCrz) N, deposited on a metal product. A "unbalanced" magnetron source is used for coating (RF patent No. 2405060, IPC С23С 14/06, С23С 14/35 published on 10/15/2009).

Недостатком способа является использование покрытия на основе сложного нитрида титана, алюминия и хрома, которые приводят к удорожанию и усложнению реализации способа.The disadvantage of this method is the use of coatings based on complex titanium nitride, aluminum and chromium, which lead to a rise in price and complication of the implementation of the method.

Наиболее близким по технической сущности и достигаемому результату является способ, при котором на титановый сплав наносят порошок алюминия и расплавляют в атмосфере азота. При этом происходит поверхностное легирование с образованием нитридов титан алюминия (

Figure 00000001
J. de la Fuente, J.J. de Damborenea' (Ti, Al) (Ti, Al N) coatings produced by laser surface alloying //
Figure 00000002
et al. rMaterials Letters 53 2002 44-51 p.).The closest in technical essence and the achieved result is a method in which an aluminum powder is applied to a titanium alloy and melted in a nitrogen atmosphere. In this case, surface doping occurs with the formation of titanium aluminum nitrides (
Figure 00000001
J. de la Fuente, JJ de Damborenea '(Ti, Al) (Ti, Al N) coatings produced by laser surface alloying //
Figure 00000002
et al. rMaterials Letters 53 2002 44-51 p.).

Недостатком способа является образование на поверхности не равномерного слоя покрытия.The disadvantage of this method is the formation on the surface of an uneven coating layer.

Задача изобретения заключается в получении равномерных износостойких покрытий.The objective of the invention is to obtain uniform wear-resistant coatings.

Технический результат заключается в получении градиентных износостойких покрытий, обеспечивающих повышение механических свойств, адгезионной прочности покрытия.The technical result consists in obtaining gradient wear-resistant coatings, providing increased mechanical properties, adhesive strength of the coating.

Поставленная задача решается и технический результат достигается тем, что в способе получения износостойкого градиентного покрытия системы Ti-Al на стальной детали в вакууме, включающий осаждение интерметаллидного покрытия системы Ti-Al из плазмы вакуумно-дугового разряда в течение 180 мин при давлении Р=1.5*10-1 Па в среде инертного газа в виде аргона и токах дуговых испарителей в диапазоне 60-120 А и последующие азотирование в дуговом разряде посредством плазменного источника с накальным катодом в течение 60 мин при давлении 2*10-1 Па в среде реакционного газа в виде азота, токе накального катода 100 А и токе дугового разряда плазменного источника 50 А и температуре детали 550°С.The problem is solved and the technical result is achieved by the fact that in the method of obtaining a wear-resistant gradient coating of the Ti-Al system on a steel part in vacuum, including the deposition of the intermetallic coating of the Ti-Al system from a vacuum-arc discharge plasma for 180 min at a pressure of P = 1.5 * 10 -1 Pa in an inert gas medium in the form of argon and arc evaporator currents in the range of 60-120 A and subsequent nitriding in an arc discharge by means of a plasma source with a filament cathode for 60 min at a pressure of 2 * 10 -1 Pa in the reaction medium gas in the form of nitrogen, a filament cathode current of 100 A and an arc discharge current of a plasma source of 50 A and a part temperature of 550 ° C.

Существо изобретения поясняется чертежами.The invention is illustrated by drawings.

На фиг. 1 изображена вакуумная установка.In FIG. 1 shows a vacuum installation.

На фиг. 2 изображен первый этап нанесения покрытия.In FIG. 2 shows a first coating step.

На фиг. 3 изображена деталь после нанесения покрытия.In FIG. 3 shows the part after coating.

На фиг. 4 изображен второй этап азотирование.In FIG. 4 shows a second nitriding step.

На фиг. 5 изображена деталь после азотирования.In FIG. 5 shows the part after nitriding.

Пример конкретной реализации способаAn example of a specific implementation of the method

Устройство, реализующее способ содержит: вакуумную камеру 1, в которой установлены электродуговые испарители (катоды) 2, накальный катод 3. В центре вакуумной камеры 1 установлен стол, на котором установлена обрабатываемая деталь 4 (фиг. 1). На первом этапе обрабатываемую деталь 4 бомбардируют потоками ионов металла 5 (фиг. 2), образуя покрытие 6 (фиг. 3), на втором этапе обрабатываемую деталь 4 бомбардируют потоками ионов газа азота 7 (фиг. 4). В результате получают градиентное покрытие 8 (фиг. 5).A device that implements the method comprises: a vacuum chamber 1, in which electric arc evaporators (cathodes) 2 are installed, a glow cathode 3. In the center of the vacuum chamber 1 there is a table on which the workpiece 4 is mounted (Fig. 1). At the first stage, the workpiece 4 is bombarded with metal ion flows 5 (Fig. 2), forming a coating 6 (Fig. 3), at the second stage, the workpiece 4 is bombarded with nitrogen gas flows of nitrogen 7 (Fig. 4). The result is a gradient coating 8 (Fig. 5).

Способ осуществляется следующим образом.The method is as follows.

В вакуумной камере 1 устанавливают обрабатываемую деталь 4. В вакуумной камере 1 создают рабочее давление Р=1.5*10-1 Па. Токи дуговых испарителей устанавливают в диапазоне I=60-120 А. Далее происходит процесс осаждения многослойного композиционного покрытия системы Ti-Al в среде инертного газа Ar в течение 180 мин. На втором этапе в вакуумной камере создают давление Р=2*10-1 Па и подают реакционный газ азот (N2). Ток накального катода составляет Iнакал=100 А, ток дугового разряда плазменного источника Iдуги=50 А, температура детали t=550°C, при этом происходит азотирование образца, продолжительность процесса в течение в течении 60 мин.In the vacuum chamber 1 set the workpiece 4. In the vacuum chamber 1 create a working pressure P = 1.5 * 10 -1 PA. The currents of the arc evaporators are set in the range I = 60-120 A. Next, the process of deposition of the multilayer composite coating of the Ti-Al system in an inert gas Ar for 180 minutes. At the second stage, a pressure of P = 2 * 10 -1 Pa is created in the vacuum chamber and nitrogen (N 2 ) is fed into the reaction gas. The current of the filament cathode is I glow = 100 A, the arc discharge current of the plasma source of the I arc = 50 A, the temperature of the part is t = 550 ° C, while the sample is nitrided, the process lasts for 60 minutes.

ПримерExample

В вакуумной камере обрабатывалась деталь из стали марки 12Х18Н10Т. Для подтверждения получения градиентного покрытия был сделан анализ химических элементов по глубине (табл. 1). Из (табл. 1) видно, что элементы покрытия Ti и Al доходили до глубины 23 мкм. А толщина покрытия после нанесения составляет 8-9 мкм. Из этого можно сделать вывод, что покрытие диффундировало в глубину материала детали, тем самым образуя градиентное покрытие.A part made of steel grade 12X18H10T was processed in a vacuum chamber. To confirm the receipt of the gradient coating, an analysis of the chemical elements in depth was made (Table 1). It can be seen from (Table 1) that the Ti and Al coating elements reached a depth of 23 μm. And the coating thickness after application is 8-9 microns. From this we can conclude that the coating diffused into the depth of the material of the part, thereby forming a gradient coating.

Figure 00000003
Figure 00000003

Итак, заявляемое изобретение позволяет получать градиентные покрытия, за счет этого увеличивается износостойкость, увеличивается адгезионная прочность, механические свойства покрытия.So, the claimed invention allows to obtain gradient coatings, due to this, increased wear resistance, increased adhesive strength, mechanical properties of the coating.

Claims (1)

Способ получения износостойкого градиентного покрытия системы Ti-Al на стальной детали в вакууме, включающий осаждение интерметаллидного покрытия системы Ti-Al из плазмы вакуумно-дугового разряда в течение 180 мин при давлении 1,5*10-1 Па в среде инертного газа в виде аргона и токах дуговых испарителей в диапазоне 60-120 А и последующее азотирование в дуговом разряде посредством плазменного источника с накальным катодом в течение 60 мин при давлении 2*10-1 Па в среде реакционного газа в виде азота, токе накального катода 100А и токе дугового разряда плазменного источника 50А и температуре детали 550°С.A method of obtaining a wear-resistant gradient coating of the Ti-Al system on a steel part in vacuum, including the deposition of an intermetallic coating of the Ti-Al system from a vacuum-arc discharge plasma for 180 min at a pressure of 1.5 * 10 -1 Pa in an inert gas medium in the form of argon and arc evaporator currents in the range of 60-120 A and subsequent nitriding in an arc discharge by means of a plasma source with a filament cathode for 60 min at a pressure of 2 * 10 -1 Pa in a reaction gas medium in the form of nitrogen, a filament cathode current of 100 A and an arc discharge current pla alternating source 50A and a temperature of 550 ° C details.
RU2017126320A 2017-07-21 2017-07-21 METHOD FOR PRODUCING A WEAR-RESISTANT GRADIENT COATING OF THE Ti-Al SYSTEM ON A STEEL PART IN VACUUM RU2662516C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017126320A RU2662516C1 (en) 2017-07-21 2017-07-21 METHOD FOR PRODUCING A WEAR-RESISTANT GRADIENT COATING OF THE Ti-Al SYSTEM ON A STEEL PART IN VACUUM

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2017126320A RU2662516C1 (en) 2017-07-21 2017-07-21 METHOD FOR PRODUCING A WEAR-RESISTANT GRADIENT COATING OF THE Ti-Al SYSTEM ON A STEEL PART IN VACUUM

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2662516C1 true RU2662516C1 (en) 2018-07-26

Family

ID=62981560

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2017126320A RU2662516C1 (en) 2017-07-21 2017-07-21 METHOD FOR PRODUCING A WEAR-RESISTANT GRADIENT COATING OF THE Ti-Al SYSTEM ON A STEEL PART IN VACUUM

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2662516C1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2686749C1 (en) * 2018-09-26 2019-04-30 Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Центральный научно-исследовательский институт технологии машиностроения", АО "НПО "ЦНИИТМАШ" Vacuum-arc method of coating application on circulating pump impeller
RU2689474C1 (en) * 2018-11-19 2019-05-28 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" METHOD OF PRODUCING COATING BASED ON INTERMETALLIDES OF Ti-Al SYSTEM SYNTHESIZED IN NITROGEN MEDIUM

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2022058C1 (en) * 1992-07-09 1994-10-30 Научно-производственное предприятие "Новатех" Process of application of complex-alloyed facing on articles by ion-plasma method in reactive medium
US5363400A (en) * 1990-12-06 1994-11-08 Innovatique S.A. Method of treating metals by deposition of materials and furnace for implementing said method
RU2543643C1 (en) * 2013-07-17 2015-03-10 Публичное акционерное общество "ФЭД" Multi layered wear-resistant coating
US20170001326A1 (en) * 2009-05-15 2017-01-05 The Gillette Company Llc Razor blade coating

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5363400A (en) * 1990-12-06 1994-11-08 Innovatique S.A. Method of treating metals by deposition of materials and furnace for implementing said method
RU2022058C1 (en) * 1992-07-09 1994-10-30 Научно-производственное предприятие "Новатех" Process of application of complex-alloyed facing on articles by ion-plasma method in reactive medium
US20170001326A1 (en) * 2009-05-15 2017-01-05 The Gillette Company Llc Razor blade coating
RU2543643C1 (en) * 2013-07-17 2015-03-10 Публичное акционерное общество "ФЭД" Multi layered wear-resistant coating

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Лопатин И.В. Генерация объемной плазмы в разрядах низкого давления с полым катодом для азотирования поверхности металлов, авто диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук, Томск, 2013, с.17, абзац 1 снизу, с.18, рис.14, рис.15, с.8, абзац 2 снизу, рис.1. *
Лопатин И.В. Генерация объемной плазмы в разрядах низкого давления с полым катодом для азотирования поверхности металлов, автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук, Томск, 2013, с.17, абзац 1 снизу, с.18, рис.14, рис.15, с.8, абзац 2 снизу, рис.1. *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2686749C1 (en) * 2018-09-26 2019-04-30 Акционерное общество "Научно-производственное объединение "Центральный научно-исследовательский институт технологии машиностроения", АО "НПО "ЦНИИТМАШ" Vacuum-arc method of coating application on circulating pump impeller
RU2689474C1 (en) * 2018-11-19 2019-05-28 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" METHOD OF PRODUCING COATING BASED ON INTERMETALLIDES OF Ti-Al SYSTEM SYNTHESIZED IN NITROGEN MEDIUM

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3900592A (en) Method for coating a substrate to provide a titanium or zirconium nitride or carbide deposit having a hardness gradient which increases outwardly from the substrate
KR101494039B1 (en) Cutting tool and method for producing the same
RU2489514C1 (en) METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT COATING BASED ON INTERMETALLIC COMPOUND OF Ti-Al SYSTEM
US20070111032A1 (en) Surface-coated article, production method therefor, machine tool, and machine tool apparatus
JPS6319590B2 (en)
RU2662516C1 (en) METHOD FOR PRODUCING A WEAR-RESISTANT GRADIENT COATING OF THE Ti-Al SYSTEM ON A STEEL PART IN VACUUM
RU2012113242A (en) METHOD FOR PRELIMINARY PROCESSING OF SUBSTRATES FOR METHOD OF APPLICATION OF COATING BY DEPOSITION OF VAPORS
US20120251838A1 (en) Coated article and method for manufacturing same
Silva et al. Performance of carbide tools coated with DLC in the drilling of SAE 323 aluminum alloy
JP2012097303A (en) Hard coating formed member and method for forming hard coating
WO2017099112A1 (en) Intermediate layer formed between substrate and dlc layer and film formation method therefor
Drábik et al. Influence of plasma pretreatment on the performance of industrial tungsten carbide coatings deposited at low temperature on 100Cr6 bearing steel substrates
RU2689474C1 (en) METHOD OF PRODUCING COATING BASED ON INTERMETALLIDES OF Ti-Al SYSTEM SYNTHESIZED IN NITROGEN MEDIUM
JP6463078B2 (en) Manufacturing method of coated tool
JP5418917B2 (en) Manufacturing method of surface coated parts with excellent film adhesion
JP5720996B2 (en) Coated member with excellent film adhesion and method for producing the same
JP2004137541A (en) Dlc gradient structural hard film, and its manufacturing method
JP6155204B2 (en) Hard coating and method for forming the same
RU2694857C1 (en) Method of applying wear-resistant coating by ion-plasma method
JP4815925B2 (en) Coated sintered alloy
JPH0770735A (en) Improvement of abrasion resistance of surface of workpiece and workpiece processed thereby
RU2677043C1 (en) METHOD FOR OBTAINING WEAR-RESISTANT COATING BASED ON INTERMETALLIDE OF Ti-Al SYSTEM
KR100920725B1 (en) Thin film deposition apparatus, thin film deposition process and coated tool thereof
US10265776B2 (en) Cutting tool
US20220033960A1 (en) Sputtering Target and Method for Producing Same