RU2011143240A - Магниторезистивный преобразователь - Google Patents

Магниторезистивный преобразователь Download PDF

Info

Publication number
RU2011143240A
RU2011143240A RU2011143240/28A RU2011143240A RU2011143240A RU 2011143240 A RU2011143240 A RU 2011143240A RU 2011143240/28 A RU2011143240/28 A RU 2011143240/28A RU 2011143240 A RU2011143240 A RU 2011143240A RU 2011143240 A RU2011143240 A RU 2011143240A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
thin
nanomagnets
strips
film
magnetoresistive
Prior art date
Application number
RU2011143240/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2483393C1 (ru
Inventor
Сергей Иванович Касаткин
Андрей Михайлович Муравьев
Владимир Викторович Амеличев
Original Assignee
Учреждение Российской академии наук Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Учреждение Российской академии наук Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН filed Critical Учреждение Российской академии наук Институт проблем управления им. В.А. Трапезникова РАН
Priority to RU2011143240/28A priority Critical patent/RU2483393C1/ru
Publication of RU2011143240A publication Critical patent/RU2011143240A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2483393C1 publication Critical patent/RU2483393C1/ru

Links

Landscapes

  • Measuring Magnetic Variables (AREA)
  • Hall/Mr Elements (AREA)

Abstract

1. Магниторезистивный преобразователь, содержащий подложку с диэлектрическим слоем, на котором расположены соединенные в мостовую схему немагнитными низкорезистивными перемычками четыре параллельно расположенные в ряд относительно друг друга тонкопленочные магниторезистивные полоски, содержащие каждая верхний и нижний защитные слои, между которыми расположены две ферромагнитные пленки с осью легкого намагничивания вдоль длины тонкопленочной магниторезистивной полоски, между которыми расположен разделительный слой, поверх тонкопленочных магниторезистивных полосок расположен первый изолирующий слой, на котором сформирован проводник управления с рабочими частями, расположенными над тонкопленочными магниторезистивными полосками вдоль каждой полоски, отличающийся тем, что на поверхности первого изолирующего слоя расположены четыре наномагнита в виде прямоугольных магнитожестких полосок и расположенных вдоль них, содержащих каждая вспомогательный слой хрома с нанесенной поверх него магнитожесткой пленкой с коэрцитивной силой, не менее чем втрое превышающей поле магнитной анизотропии ферромагнитной пленки, и защитный слой, при этом наномагниты расположены в один ряд с расстоянием, равным ширине полоски наномагнита, а период повторения наномагнитов равен удвоенному периоду повторения тонкопленочных магниторезистивных полосок, причем тонкопленочные магниторезистивные полоски расположены симметрично между соседними наномагнитами или относительно ширины магнитожесткой полоски магнита.2. Магниторезистивный преобразователь по п.1, отличающийся тем, что между наномагнитами и проводником у�

Claims (2)

1. Магниторезистивный преобразователь, содержащий подложку с диэлектрическим слоем, на котором расположены соединенные в мостовую схему немагнитными низкорезистивными перемычками четыре параллельно расположенные в ряд относительно друг друга тонкопленочные магниторезистивные полоски, содержащие каждая верхний и нижний защитные слои, между которыми расположены две ферромагнитные пленки с осью легкого намагничивания вдоль длины тонкопленочной магниторезистивной полоски, между которыми расположен разделительный слой, поверх тонкопленочных магниторезистивных полосок расположен первый изолирующий слой, на котором сформирован проводник управления с рабочими частями, расположенными над тонкопленочными магниторезистивными полосками вдоль каждой полоски, отличающийся тем, что на поверхности первого изолирующего слоя расположены четыре наномагнита в виде прямоугольных магнитожестких полосок и расположенных вдоль них, содержащих каждая вспомогательный слой хрома с нанесенной поверх него магнитожесткой пленкой с коэрцитивной силой, не менее чем втрое превышающей поле магнитной анизотропии ферромагнитной пленки, и защитный слой, при этом наномагниты расположены в один ряд с расстоянием, равным ширине полоски наномагнита, а период повторения наномагнитов равен удвоенному периоду повторения тонкопленочных магниторезистивных полосок, причем тонкопленочные магниторезистивные полоски расположены симметрично между соседними наномагнитами или относительно ширины магнитожесткой полоски магнита.
2. Магниторезистивный преобразователь по п.1, отличающийся тем, что между наномагнитами и проводником управления расположен дополнительный изолирующий слой.
RU2011143240/28A 2011-10-27 2011-10-27 Магниторезистивный преобразователь RU2483393C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011143240/28A RU2483393C1 (ru) 2011-10-27 2011-10-27 Магниторезистивный преобразователь

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2011143240/28A RU2483393C1 (ru) 2011-10-27 2011-10-27 Магниторезистивный преобразователь

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011143240A true RU2011143240A (ru) 2013-05-10
RU2483393C1 RU2483393C1 (ru) 2013-05-27

Family

ID=48788467

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011143240/28A RU2483393C1 (ru) 2011-10-27 2011-10-27 Магниторезистивный преобразователь

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2483393C1 (ru)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60158681A (ja) * 1984-01-27 1985-08-20 Hitachi Ltd 磁気抵抗素子
US5196821A (en) * 1992-03-09 1993-03-23 General Motors Corporation Integrated magnetic field sensor
RU2139602C1 (ru) * 1998-04-02 1999-10-10 Войсковая часть 35533 Магниторезистивный датчик
RU2175797C1 (ru) * 2000-11-08 2001-11-10 Институт проблем управления РАН Магниторезистивный датчик
FR2830621B1 (fr) * 2001-10-09 2004-05-28 Commissariat Energie Atomique Structure pour capteur et capteur de champ magnetique
RU2216823C1 (ru) * 2002-04-09 2003-11-20 Войсковая часть 35533 Магниторезистивный датчик
JP2005534198A (ja) * 2002-07-26 2005-11-10 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 磁気抵抗層システムおよび該層システムを備えたセンサ素子

Also Published As

Publication number Publication date
RU2483393C1 (ru) 2013-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FR2963153B1 (fr) Element magnetique inscriptible
JP2011523506A5 (ru)
KR970063046A (ko) 자기저항 효과 헤드
JP7099731B2 (ja) 多層磁気変調構造を有する低ノイズ磁気抵抗センサ
FR2973163B1 (fr) Dispositif constitue de différentes couches minces et utilisation d'un tel dispositif
CN113167840B (zh) 磁传感器及磁传感器的制造方法
JP2018006598A5 (ru)
WO2008081797A1 (ja) 磁気検出装置
RU2436200C1 (ru) Магниторезистивный датчик
JP2013080551A5 (ru)
JP2013073980A (ja) 磁気メモリ素子
JP2022150856A (ja) 磁気センサ
RU2011143240A (ru) Магниторезистивный преобразователь
JP2015197388A (ja) フラックスゲート型磁気センサ
RU2366038C1 (ru) Магниторезистивная головка-градиометр
JP4110468B2 (ja) 磁気インピーダンス素子
JP2007093350A (ja) 磁気検出素子
RU2433422C1 (ru) Высокочастотный магниточувствительный наноэлемент
JP2011123944A (ja) Tmrリード・ヘッドの製造方法及びtmr積層体
RU2433507C1 (ru) Магниторезистивный датчик
RU2391747C1 (ru) Высокочастотный магниточувствительный наноэлемент
JP2005012215A5 (ru)
RU2601360C1 (ru) Магниторезистивный элемент
JP2017194367A5 (ru)
RU156559U1 (ru) Магниторезистивный преобразователь

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20181028