RU2011128104A - Компенсация колебаний анода в рентгеновских трубках с вращающимся анодом - Google Patents
Компенсация колебаний анода в рентгеновских трубках с вращающимся анодом Download PDFInfo
- Publication number
- RU2011128104A RU2011128104A RU2011128104/07A RU2011128104A RU2011128104A RU 2011128104 A RU2011128104 A RU 2011128104A RU 2011128104/07 A RU2011128104/07 A RU 2011128104/07A RU 2011128104 A RU2011128104 A RU 2011128104A RU 2011128104 A RU2011128104 A RU 2011128104A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electron beam
- focal spot
- specified
- position sensor
- rotating anode
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
- H01J35/08—Anodes; Anti cathodes
- H01J35/10—Rotary anodes; Arrangements for rotating anodes; Cooling rotary anodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/14—Arrangements for concentrating, focusing, or directing the cathode ray
- H01J35/153—Spot position control
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05G—X-RAY TECHNIQUE
- H05G1/00—X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
- H05G1/08—Electrical details
- H05G1/26—Measuring, controlling or protecting
- H05G1/30—Controlling
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
Abstract
1. Система для измерения и компенсации повторяющегося отклонения (∆z) реального положения от желаемого положения фокального пятна пучка электронов (FS), причем указанный пучок электронов (EB) излучается электронным эмиттером катода рентгеновской трубки (С) в области мишени (АТ) вращающегося анодного диска рентгеновской трубки (RA), где указанная система включает в себя датчик положения (WS), адаптированный для определения повторяющегося отклонения, по меньшей мере, за один его период, элемент отклонения пучка (BD) с интегрированным устройством управления, адаптированный для отклонения указанного пучка электронов (EB) на основании результатов измерения, полученных с датчика положения (WS), таким образом, что путь фокального пятна пучка электронов описывает определенную траекторию, причем указанная система адаптирована для измерения и компенсации периодического колебания угла наклона вращающегося анодного диска (RA) рентгеновской трубки относительно идеальной плоскости вращения, которая ориентирована по нормали к вращающемуся валу (S), на котором вращающийся анодный диск (RA) закреплен под наклоном в связи с погрешностью в процессе производства, где указанный датчик положения (WS) адаптирован для определения отклонений указанного угла наклона во времени.2. Система по п.1,в которой указанный датчик положения (WS) включает в себя средства измерения для определения амплитуды отклонения (∆z), на которую положение фокального пятна (FS) отклоняется в направлении оси вращения (z) вращающегося вала (S) вращающегося анодного диска.3. Система по п.2,в которой указанный датчик положения (WS) используется как емкостный или оптический датч
Claims (13)
1. Система для измерения и компенсации повторяющегося отклонения (∆z) реального положения от желаемого положения фокального пятна пучка электронов (FS), причем указанный пучок электронов (EB) излучается электронным эмиттером катода рентгеновской трубки (С) в области мишени (АТ) вращающегося анодного диска рентгеновской трубки (RA), где указанная система включает в себя датчик положения (WS), адаптированный для определения повторяющегося отклонения, по меньшей мере, за один его период, элемент отклонения пучка (BD) с интегрированным устройством управления, адаптированный для отклонения указанного пучка электронов (EB) на основании результатов измерения, полученных с датчика положения (WS), таким образом, что путь фокального пятна пучка электронов описывает определенную траекторию, причем указанная система адаптирована для измерения и компенсации периодического колебания угла наклона вращающегося анодного диска (RA) рентгеновской трубки относительно идеальной плоскости вращения, которая ориентирована по нормали к вращающемуся валу (S), на котором вращающийся анодный диск (RA) закреплен под наклоном в связи с погрешностью в процессе производства, где указанный датчик положения (WS) адаптирован для определения отклонений указанного угла наклона во времени.
2. Система по п.1,
в которой указанный датчик положения (WS) включает в себя средства измерения для определения амплитуды отклонения (∆z), на которую положение фокального пятна (FS) отклоняется в направлении оси вращения (z) вращающегося вала (S) вращающегося анодного диска.
3. Система по п.2,
в которой указанный датчик положения (WS) используется как емкостный или оптический датчик, который обеспечивает информацию для определения амплитуды отклонения (∆z) фокального пятна (FS).
4. Система по п.2,
в которой указанный датчик положения (WS) используется как датчик тока для измерения числа рассеянных электронов, пролетающих через щелевую диафрагму указанного датчика, причем из этого номера затем определяется амплитуда отклонения (∆z) фокального пятна (FS).
5. Система по п.2,
в которой указанный датчик положения (WS) сконфигурирован таким образом, чтобы получать указанную амплитуду отклонения (∆z) с помощью сравнения каждого рентгеновского изображения, генерируемого системой рентгеновского излучения, к которой принадлежит указанная рентгеновская трубка (XT), по меньшей мере, с одним изображением с неподвижно закрепленной камеры, из чего может быть определена амплитуда отклонения (∆z) фокального пятна (FS).
6. Система по любому из пп.1-5,
в которой интегральное устройство управления элемента отклонения пучка (BD) сконфигурировано таким образом, чтобы направлять указанный поток электронов (EB) таким образом, чтобы фокальное пятно (FS) электронного пучка в области мишени на генерирующей рентгеновское излучение поверхности вращающегося анодного диска (RA) оставалось в рамках плоскости (PCXB) центрального веерного пучка рентгеновского излучения (CXB), где указанная плоскость задается плоскостью, которая направлена практически по нормали к оси вращения вращающегося вала (S), в которой находится среднее во времени положение фокального пятна (FS).
7. Рентгеновская трубка (XT) с вращающимся анодом, включающая систему по любому из пп.1-6.
8. Способ измерения и компенсации повторяющегося отклонения (∆z) реального положения от желаемого положения фокального пятна (FS) пучка электронов, причем указанный пучок электронов (EB) излучается электронным эмиттером катода (C) рентгеновской трубки в область мишени (AT) вращающегося анодного диска (RA) рентгеновской трубки, где указанный способ включает в себя этапы определения повторяющегося отклонения за последний его период и отклонения указанного пучка электронов (EB) на основании результатов измерений, полученных на этапе измерений, таким образом, что путь фокального пятна пучка электронов описывает определенную траекторию, адаптированный для измерения и компенсации периодического колебания угла наклона вращающегося анодного диска (RA) рентгеновской трубки относительно идеальной оси вращения, которая ориентирована по нормали ко вращающемуся валу (S), на котором вращающийся анодный диск (RA) закреплен под наклоном в связи с погрешностью в процессе производства, при этом указанный датчик положения адаптирован для определения отклонений указанного угла наклона во времени.
9. Способ по п.8,
в котором указанный пучок электронов (EB) отклоняется таким образом, чтобы фокальное пятно (FS) электронного пучка в области мишени на генерирующей рентгеновское излучение поверхности вращающегося анодного диска (RA) оставалось в рамках плоскости (PCXB) центрального веерного пучка рентгеновского излучения (CXB), при этом указанная плоскость задается плоскостью, которая направлена практически по нормали к оси вращения вращающегося вала (S), в которой находится среднее во времени положение фокального пятна (FS).
10. Способ по п.9,
в котором указанный пучок электронов (EB), направляется так, что путь фокального пятна пучка электронов описывает эллиптическую траекторию.
11. Способ по п.9,
в котором указанный пучок электронов (EB) направляется таким образом, что путь фокального пятна пучка электронов описывает определенную траекторию, таким образом, чтобы компенсировать вибрацию установки и эффекты, связанные с изгибом анодного диска, помимо компенсации периодического колебания угла наклона вращающегося анодного диска.
12. Способ по любому из пп.8-11,
в котором указанный этап измерения используется в процессе производства системы для осуществления указанного способа и, оптимально, повторяется в процессе работы, чтобы сделать возможной повторную калибровку указанной системы.
13. Продукт программного обеспечения для использования способа по любому из пп.8-12 при запуске устройства обработки данных системы по любому из пп.1-6.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP08170899.2 | 2008-12-08 | ||
| EP08170899 | 2008-12-08 | ||
| PCT/IB2009/055436 WO2010067260A1 (en) | 2008-12-08 | 2009-12-01 | Compensation of anode wobble for x-ray tubes of the rotary-anode type |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2011128104A true RU2011128104A (ru) | 2013-01-20 |
| RU2529497C2 RU2529497C2 (ru) | 2014-09-27 |
Family
ID=41786162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011128104/07A RU2529497C2 (ru) | 2008-12-08 | 2009-12-01 | Компенсация колебаний анода в рентгеновских трубках с вращающимся анодом |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8761342B2 (ru) |
| EP (1) | EP2374144B1 (ru) |
| JP (1) | JP5540008B2 (ru) |
| CN (1) | CN102246256B (ru) |
| RU (1) | RU2529497C2 (ru) |
| WO (1) | WO2010067260A1 (ru) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5134606B2 (ja) * | 2009-09-28 | 2013-01-30 | 株式会社日立メディコ | Ｘ線ｃｔ装置 |
| CN105609396B (zh) * | 2010-12-22 | 2019-03-15 | 伊克斯拉姆公司 | 校直和聚焦x射线源内的电子束 |
| DE102012213605B4 (de) * | 2012-08-01 | 2015-09-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum asynchronen Betrieb einer Drehanode mit reduziertem Brennfleckwackeln und zugehörige Röntgenstrahleranordnung |
| US20140177794A1 (en) * | 2012-12-24 | 2014-06-26 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | System and method for focal spot deflection |
| DE102013107736A1 (de) * | 2013-07-19 | 2015-01-22 | Ge Sensing & Inspection Technologies Gmbh | Röntgenprüfvorrichtung für die Materialprüfung und Verfahren zur Erzeugung hochaufgelöster Projektionen eines Prüflings mittels Röntgenstrahlen |
| WO2015032664A1 (en) * | 2013-09-05 | 2015-03-12 | Koninklijke Philips N.V. | X-ray detection |
| TWI480912B (zh) * | 2014-02-20 | 2015-04-11 | Metal Ind Res & Dev Ct | 輻射產生設備 |
| TWI483282B (zh) * | 2014-02-20 | 2015-05-01 | 財團法人金屬工業研究發展中心 | 輻射產生設備 |
| CN106796860B (zh) | 2014-10-06 | 2019-03-15 | 皇家飞利浦有限公司 | 用于x射线产生装置的调整布置结构 |
| JP7171190B2 (ja) * | 2014-11-11 | 2022-11-15 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | 線源－検出器装置 |
| WO2016191274A1 (en) * | 2015-05-22 | 2016-12-01 | Empire Technology Development Llc | X-ray imaging system |
| DE102017203932A1 (de) * | 2017-03-09 | 2018-09-13 | Siemens Healthcare Gmbh | Röntgenstrahler und Verfahren zur Kompensation einer Brennfleckbewegung |
| EP3413691A1 (en) | 2017-06-08 | 2018-12-12 | Koninklijke Philips N.V. | Apparatus for generating x-rays |
| CN110664420B (zh) * | 2019-10-11 | 2023-04-07 | 上海联影医疗科技股份有限公司 | 焦点校正方法、装置、计算机设备和计算机可读存储介质 |
| CN117174557B (zh) * | 2023-11-03 | 2024-01-09 | 上海超群检测科技股份有限公司 | 高能微焦点x射线管 |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3022968A1 (de) * | 1980-06-19 | 1981-12-24 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Messgeraet fuer den optischen brennfleck |
| JPS5879900U (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-30 | 株式会社東芝 | 回転陽極形ｘ線管装置 |
| US5581591A (en) * | 1992-01-06 | 1996-12-03 | Picker International, Inc. | Focal spot motion control for rotating housing and anode/stationary cathode X-ray tubes |
| JPH0638956A (ja) * | 1992-05-22 | 1994-02-15 | Toshiba Corp | Ｘ線ｃｔ装置 |
| US5469429A (en) * | 1993-05-21 | 1995-11-21 | Kabushiki Kaisha Toshiba | X-ray CT apparatus having focal spot position detection means for the X-ray tube and focal spot position adjusting means |
| US5550889A (en) * | 1994-11-28 | 1996-08-27 | General Electric | Alignment of an x-ray tube focal spot using a deflection coil |
| DE19611228C1 (de) * | 1996-03-21 | 1997-10-23 | Siemens Ag | Vorrichtung zur Bestimmung der Elektronenverteilung eines auf einen Brennfleck einer Anode eines Röntgenstrahlers konzentrierten Elektronenbündels |
| JP3754512B2 (ja) * | 1996-12-11 | 2006-03-15 | 株式会社東芝 | 回転陽極型ｘ線管 |
| DE19810346C1 (de) * | 1998-03-10 | 1999-10-07 | Siemens Ag | Röntgenröhre und deren Verwendung |
| DE10063442A1 (de) * | 2000-12-20 | 2002-07-04 | Philips Corp Intellectual Pty | Verfahren und Röntgeneinrichtung zur Ermittlung eines Satzes von Projektionsabbildungen eines Untersuchungsobjektes |
| US6980623B2 (en) * | 2003-10-29 | 2005-12-27 | Ge Medical Systems Global Technology Company Llc | Method and apparatus for z-axis tracking and collimation |
| US7286644B2 (en) * | 2004-04-28 | 2007-10-23 | Varian Medical Systems Technologies, Inc. | Systems, methods and devices for x-ray device focal spot control |
| DE102004052911B4 (de) * | 2004-11-02 | 2010-04-08 | Siemens Ag | Röntgenstrahler mit einem Strahlergehäuse, Röntgeneinrichtung mit einem derartigen Röntgenstrahler und Computertomographiegerät mit einer derartigen Röntgeneinrichtung |
| JP2009536432A (ja) | 2006-05-05 | 2009-10-08 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 発振アノードを備えたｘ線管 |
| US7945024B2 (en) * | 2006-08-16 | 2011-05-17 | General Electric Company | Method for reducing X-ray tube power de-rating during dynamic focal spot deflection |
-
2009
- 2009-12-01 US US13/131,883 patent/US8761342B2/en active Active
- 2009-12-01 CN CN200980149182.6A patent/CN102246256B/zh active Active
- 2009-12-01 EP EP09774974.1A patent/EP2374144B1/en active Active
- 2009-12-01 WO PCT/IB2009/055436 patent/WO2010067260A1/en active Application Filing
- 2009-12-01 RU RU2011128104/07A patent/RU2529497C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2009-12-01 JP JP2011539152A patent/JP5540008B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP5540008B2 (ja) | 2014-07-02 |
| JP2012511235A (ja) | 2012-05-17 |
| WO2010067260A1 (en) | 2010-06-17 |
| EP2374144B1 (en) | 2016-10-12 |
| EP2374144A1 (en) | 2011-10-12 |
| CN102246256B (zh) | 2015-02-11 |
| CN102246256A (zh) | 2011-11-16 |
| US8761342B2 (en) | 2014-06-24 |
| RU2529497C2 (ru) | 2014-09-27 |
| US20110235784A1 (en) | 2011-09-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2011128104A (ru) | Компенсация колебаний анода в рентгеновских трубках с вращающимся анодом | |
| US7001071B2 (en) | Method and device for setting the focal spot position of an X-ray tube by regulation | |
| JP4819403B2 (ja) | 距離測定装置 | |
| US20100020938A1 (en) | Device and method for x-ray tube focal spot size and position control | |
| JP3959063B2 (ja) | 荷電粒子ビームカラムのアライメント方法および装置 | |
| KR20130135265A (ko) | X선 소스에서 전자빔을 정렬하고 집속하는 방법 | |
| US8614428B2 (en) | Charged particle beam writing method and charged particle beam writing apparatus | |
| JP6742061B2 (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| JP2008146060A (ja) | オートフォーカス装置及びその方法 | |
| CN112433365B (zh) | 一种基于锥镜的光束指向控制系统的偏差修正方法 | |
| US6586753B2 (en) | Electron beam apparatus and electron beam adjusting method | |
| US8923484B2 (en) | Motion correction system and method for an x-ray tube | |
| JPWO2005121902A1 (ja) | 電子ビーム位置変動測定方法、電子ビーム位置変動測定装置、電子ビーム記録装置 | |
| WO2018042531A1 (ja) | 計測装置及び計測方法 | |
| JP2013118060A (ja) | 荷電粒子ビーム装置 | |
| WO2020008492A1 (ja) | 走査電子顕微鏡 | |
| JP2009206001A (ja) | 荷電粒子線装置 | |
| US7425702B2 (en) | Charged particle beam apparatus | |
| JP2013164409A (ja) | ポジショニングシステム、および、その方法とそれを使用する照準パターン | |
| JP4928971B2 (ja) | 走査形電子顕微鏡 | |
| CN116686062B (zh) | 初级带电粒子束电流测量 | |
| CN115497793A (zh) | 扫描电镜及其控制方法、控制装置和存储介质 | |
| JP2018098395A (ja) | 荷電粒子装置、荷電粒子描画装置および荷電粒子ビーム制御方法 | |
| JP2012053331A (ja) | 静電潜像計測装置および静電潜像計測方法 | |
| JP7295815B2 (ja) | 荷電粒子ビーム装置および荷電粒子ビームの調整方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20171202 |