RU2010117367A

RU2010117367A - Многоступенчатый, модульный вакуумный насос

Info

Publication number: RU2010117367A
Application number: RU2010117367/06A
Authority: RU
Inventors: Найджел Пол ШОФИЛД (GB); Найджел Пол ШОФИЛД; Стефен ДАУДЕЗУЭЛЛ (GB); Стефен ДАУДЕЗУЭЛЛ
Original assignee: Эдвардс Лимитед (Gb); Эдвардс Лимитед
Priority date: 2007-10-04
Filing date: 2008-10-01
Publication date: 2011-11-10
Also published as: WO2009044197A2; CN101815873B; BRPI0816844A2; US9279426B2; CN101815873A; WO2009044197A3; JP5496895B2; CA2698452A1; KR20100093036A; RU2470186C2; EP2193276A2; US20100226808A1; KR101458935B1; GB0719394D0; JP2010540832A; EP2193276B1

Abstract

1. Многоступенчатый, модульный вакуумный насос, содержащий: ! два корпусных элемента, выполненных с возможностью герметичного соединения друг с другом с образованием группы камер, проходящей в продольном направлении от впускной области насоса к выпускной области насоса; ! средство уплотнения, расположенное между двумя корпусными элементами для предотвращения перемещения текучей среды в вакуумный насос и из него, в месте соединения указанных двух корпусных элементов; и ! группу отдельных, удлиненных каналов, расположенных между средством уплотнения и группой камер, для защиты средства уплотнения от текучей среды, проходящей через камеры, при этом каждый канал выполнен с возможностью принятия барьерной текучей среды, имеющей давление, отличное от давления барьерной текучей среды, принимаемой смежным каналом. ! 2. Насос по п.1, в котором группа каналов, по существу, коллинеарна. ! 3. Насос по п.1, в котором камеры являются насосными камерами, а каждый корпусной элемент является полуоболочечным статорным элементом. ! 4. Насос по п.1, в котором камеры являются передаточными камерами, при этом первый корпусной элемент является полуоболочечным статорным элементом, а второй корпусной элемент является крышкой. ! 5. Насос по п.1, в котором группа каналов проходит от выпускной области вакуумного насоса к впускной области вакуумного насоса. ! 6. Насос по п.1, в котором группа каналов проходит от выпускной области вакуумного насоса к впускному участку вакуумного насоса. ! 7. Насос по п.1, в котором, по меньшей мере, один из отдельных каналов выполнен с возможностью подачи продувочного газа непосредственно в насосную камеру или пе

Claims

1. Многоступенчатый, модульный вакуумный насос, содержащий:

два корпусных элемента, выполненных с возможностью герметичного соединения друг с другом с образованием группы камер, проходящей в продольном направлении от впускной области насоса к выпускной области насоса;

средство уплотнения, расположенное между двумя корпусными элементами для предотвращения перемещения текучей среды в вакуумный насос и из него, в месте соединения указанных двух корпусных элементов; и

группу отдельных, удлиненных каналов, расположенных между средством уплотнения и группой камер, для защиты средства уплотнения от текучей среды, проходящей через камеры, при этом каждый канал выполнен с возможностью принятия барьерной текучей среды, имеющей давление, отличное от давления барьерной текучей среды, принимаемой смежным каналом.

2. Насос по п.1, в котором группа каналов, по существу, коллинеарна.

3. Насос по п.1, в котором камеры являются насосными камерами, а каждый корпусной элемент является полуоболочечным статорным элементом.

4. Насос по п.1, в котором камеры являются передаточными камерами, при этом первый корпусной элемент является полуоболочечным статорным элементом, а второй корпусной элемент является крышкой.

5. Насос по п.1, в котором группа каналов проходит от выпускной области вакуумного насоса к впускной области вакуумного насоса.

6. Насос по п.1, в котором группа каналов проходит от выпускной области вакуумного насоса к впускному участку вакуумного насоса.

7. Насос по п.1, в котором, по меньшей мере, один из отдельных каналов выполнен с возможностью подачи продувочного газа непосредственно в насосную камеру или передаточный канал вакуумного насоса.

8. Насос по п.1, дополнительно содержащий, по меньшей мере, одну торцевую крышку, присоединенную к, по меньшей мере, одному из корпусных элементов; средство уплотнения, расположенное между торцевой крышкой и корпусным элементом для предотвращения перемещения текучей среды в насос и из него; и канал торцевой крышки, расположенный между средством уплотнения и камерами и выполненный с возможностью принятия барьерной текучей среды для защиты средства уплотнения от текучей среды, проходящей через камеры.

9. Насос по п.8, в котором канал торцевой крышки сообщается по текучей среде с, по меньшей мере, одним смежным каналом на корпусном элементе и принимает барьерную текучую среду из него.

10. Насос по п.9, в котором канал торцевой крышки сообщается по текучей среде со смежными каналами на противоположных сторонах камер корпусного элемента, при этом канал торцевой крышки выполнен с возможностью принятия барьерной текучей среды из смежного канала на одной стороне камер и ее переноса к смежному каналу на противоположной стороне камер.

11. Насос по п.8, в котором канал торцевой крышки сообщается по текучей среде с, по меньшей мере, одним смежным каналом на корпусном элементе и переносит барьерную текучую среду к нему.

12. Насос по п.1, в котором средство уплотнения представляет собой уплотнительное кольцо.

13. Насос по п.1, в котором средство уплотнения представляет собой контур уплотнителя.

14. Насос по п.1, в котором давление, под которым барьерная текучая среда принимается в группу каналов, увеличивается от одного канала к смежному каналу по всей группе.