RU2010113570A - Измерительное устройство для измерения параметров сфокусированного лазерного пучка - Google Patents
Измерительное устройство для измерения параметров сфокусированного лазерного пучка Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010113570A RU2010113570A RU2010113570/28A RU2010113570A RU2010113570A RU 2010113570 A RU2010113570 A RU 2010113570A RU 2010113570/28 A RU2010113570/28 A RU 2010113570/28A RU 2010113570 A RU2010113570 A RU 2010113570A RU 2010113570 A RU2010113570 A RU 2010113570A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- measuring device
- lens
- laser beam
- lenses
- adapter
- Prior art date
Links
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/4257—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors applied to monitoring the characteristics of a beam, e.g. laser beam, headlamp beam
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
- G01J1/0411—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings using focussing or collimating elements, i.e. lenses or mirrors; Aberration correction
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/02—Details
- G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
- G01J1/0407—Optical elements not provided otherwise, e.g. manifolds, windows, holograms, gratings
- G01J1/0448—Adjustable, e.g. focussing
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lens Barrels (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
1. Измерительное устройство для измерения сфокусированного лазерного пучка, содержащее: ! - линзовую систему увеличения, по меньшей мере, с двумя линзами (10, 12), расположенными одна за другой вдоль траектории лазерного пучка, причем линзы единственной или каждой пары имеют совпадающие фокальные точки, ! - электронный датчик (14) изображения для фиксации увеличенного изображения лазерного пучка, расположенный за линзовой системой увеличения в ее фокальной точке, ! - адаптер (42) для присоединения измерительного устройства к лазерной системе, генерирующей лазерный пучок, при этом адаптер охватывает траекторию лазерного пучка и образует опорную поверхность (46) для лазерной системы, выступающую вдоль оси (16) лазерного пучка, и ! - средства (98) продольной юстировки, обеспечивающие возможность совместной юстировки положения линз (10, 12) линзовой системы увеличения и датчика (14) изображения вдоль оси пучка относительно базовой точки измерительного устройства, заданной на адаптере. ! 2. Измерительное устройство по п.1, отличающееся тем, что часть линз или все линзы (10, 12) линзовой системы увеличения установлены одна за другой по направлению лазерного пучка в линзовый тубус (68), помещенный в приемную полость (66) направляющей детали (56) с возможностью перемещения вдоль оси указанного тубуса и зафиксированный от поворота вокруг указанной оси, при этом адаптер (42) присоединен к направляющей детали. ! 3. Измерительное устройство по п.2, отличающееся тем, что адаптер (42) выполнен как компонент, отдельный от направляющей детали (56), и присоединен к ней с возможностью отсоединения и замены. ! 4. Измерительное устройство по п.2 или 3, отличающе
Claims (18)
1. Измерительное устройство для измерения сфокусированного лазерного пучка, содержащее:
- линзовую систему увеличения, по меньшей мере, с двумя линзами (10, 12), расположенными одна за другой вдоль траектории лазерного пучка, причем линзы единственной или каждой пары имеют совпадающие фокальные точки,
- электронный датчик (14) изображения для фиксации увеличенного изображения лазерного пучка, расположенный за линзовой системой увеличения в ее фокальной точке,
- адаптер (42) для присоединения измерительного устройства к лазерной системе, генерирующей лазерный пучок, при этом адаптер охватывает траекторию лазерного пучка и образует опорную поверхность (46) для лазерной системы, выступающую вдоль оси (16) лазерного пучка, и
- средства (98) продольной юстировки, обеспечивающие возможность совместной юстировки положения линз (10, 12) линзовой системы увеличения и датчика (14) изображения вдоль оси пучка относительно базовой точки измерительного устройства, заданной на адаптере.
2. Измерительное устройство по п.1, отличающееся тем, что часть линз или все линзы (10, 12) линзовой системы увеличения установлены одна за другой по направлению лазерного пучка в линзовый тубус (68), помещенный в приемную полость (66) направляющей детали (56) с возможностью перемещения вдоль оси указанного тубуса и зафиксированный от поворота вокруг указанной оси, при этом адаптер (42) присоединен к направляющей детали.
3. Измерительное устройство по п.2, отличающееся тем, что адаптер (42) выполнен как компонент, отдельный от направляющей детали (56), и присоединен к ней с возможностью отсоединения и замены.
4. Измерительное устройство по п.2 или 3, отличающееся тем, что средства (98) продольной юстировки связаны с линзовым тубусом (68) и с направляющей деталью (56).
5. Измерительное устройство по п.2 или 3, отличающееся тем, что содержит средства (52) поперечной юстировки, связанные с адаптером (42) и с направляющей деталью (56) и обеспечивающие юстировку, по меньшей мере, первой линзы (10) линзовой системы увеличения относительно базовой точки в поперечном направлении, перпендикулярном направлению лазерного пучка.
6. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что адаптер (42) содержит основную часть (44) в форме детали, охватывающей траекторию пучка и снабженной на одном из своих концов сопрягающими средствами для сопряжения с лазерной системой.
7. Измерительное устройство по п.6, отличающееся тем, что сопрягающие средства выполнены с возможностью установки на лазерную систему с формированием радиального прижимающего усилия.
8. Измерительное устройство по п.6, отличающееся тем, что основная часть (44) адаптера (42) присоединена другим своим концом к регулировочному блоку (52), обеспечивающему юстировку, по меньшей мере, первой линзы (10) линзовой системы увеличения относительно адаптера (46) в направлении, поперечном траектории лазерного пучка.
9. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что линзовая система увеличения образована двумя линзами (10, 12) или четырьмя линзами (24, 26, 28, 30).
10. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что все линзы (10, 12) линзовой системы увеличения являются положительными линзами.
11. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что линзовая система увеличения содержит, по меньшей мере, одну отрицательную линзу (24, 28), причем, по меньшей мере, последняя линза (30) указанной системы является положительной линзой.
12. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что, по меньшей мере, одна линза (10, 12) линзовой системы увеличения имеет плоскую поверхность, а ее криволинейная поверхность обращена к участку лазерного пучка, имеющему меньшую расходимость.
13. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что средства (98) продольной юстировки обеспечивают совместную юстировку линзовой системы увеличения и датчика изображения в пределах, по меньшей мере, трех рэлеевских длин лазерного пучка.
14. Измерительное устройство по п.2 или 3, отличающееся тем, что направляющая деталь (56) имеет форму трубки.
15. Измерительное устройство по п.2 или 3, отличающееся тем, что линзовый тубус (68) выступает одним своим концом из направляющей детали (56) и выполнен с возможностью механического сопряжения в зоне указанного конца с камерой (74), в которой находится датчик изображения.
16. Измерительное устройство по п.2 или 3, отличающееся тем, что между линзовым тубусом (68) и направляющей деталью (56) установлено упругое смещающее средство (104) для создания смещающего усилия, действующего на линзовый тубус в осевом направлении в сторону направляющей детали.
17. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что датчик изображения является частью камеры, которая присоединена к измерительному устройству с возможностью отсоединения и замены.
18. Измерительное устройство по любому из пп.1-3, отличающееся тем, что выполнено с возможностью переноса в руках.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP07017968A EP2037238B1 (de) | 2007-09-13 | 2007-09-13 | Messgerät zur Vermessung eines Laserstrahls |
| EP07017968.4 | 2007-09-13 | ||
| PCT/EP2008/007575 WO2009036932A1 (de) | 2007-09-13 | 2008-09-12 | Messgerät zur vermessung eines fokussierten laserstrahls |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010113570A true RU2010113570A (ru) | 2011-10-20 |
| RU2474795C2 RU2474795C2 (ru) | 2013-02-10 |
Family
ID=39059375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010113570/28A RU2474795C2 (ru) | 2007-09-13 | 2008-09-12 | Измерительное устройство для измерения параметров сфокусированного лазерного пучка |
Country Status (14)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8351028B2 (ru) |
| EP (1) | EP2037238B1 (ru) |
| JP (1) | JP5554710B2 (ru) |
| KR (1) | KR101255796B1 (ru) |
| CN (1) | CN101821595B (ru) |
| BR (1) | BRPI0815425B1 (ru) |
| CA (1) | CA2699629C (ru) |
| DE (1) | DE502007001924D1 (ru) |
| ES (1) | ES2333369T3 (ru) |
| IN (1) | IN2010KN00855A (ru) |
| MX (1) | MX2010002894A (ru) |
| RU (1) | RU2474795C2 (ru) |
| TW (1) | TW200920334A (ru) |
| WO (1) | WO2009036932A1 (ru) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102010029089B4 (de) * | 2010-05-18 | 2019-08-29 | Carl Zeiss Ag | Optisches System zur Kalibrierung einer Lichtquelle |
| CN102384782A (zh) * | 2010-09-06 | 2012-03-21 | 杭州法珀激光科技有限公司 | 手持式激光光束分析仪 |
| FR2974176B1 (fr) | 2011-04-14 | 2014-01-17 | Centre Nat Rech Scient | Analyseur spatial de faisceau laser a reglage automatique |
| CN105606213B (zh) * | 2015-12-05 | 2018-02-13 | 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 | 一种激光微脉冲峰值功率测试装置 |
| DE102016009475B4 (de) * | 2016-08-05 | 2019-06-19 | Primes GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung | Strahlleistungsmessung mit Aufweitung |
| EP3642664A1 (de) * | 2017-06-23 | 2020-04-29 | JENOPTIK Optical Systems GmbH | Verfahren zur unterstützung einer justage eines strahlaufweiters, justageunterstützungsvorrichtung und strahlaufweiter |
| KR20230132637A (ko) * | 2018-07-05 | 2023-09-15 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 포토마스크 펠리클 접착제 잔류물 제거 |
| US11243114B2 (en) * | 2018-09-17 | 2022-02-08 | Trumpf Lasersystems For Semiconductor Manufacturing Gmbh | Method for determining at least one beam propagation parameter of a laser beam |
| TWI729403B (zh) * | 2019-05-31 | 2021-06-01 | 致茂電子股份有限公司 | 光電元件特性測量裝置 |
| CN116907369B (zh) * | 2023-09-06 | 2023-12-12 | 太原科技大学 | 一种螺旋焊管管径激光检测系统及其使用方法 |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB909336A (en) * | 1959-11-13 | 1962-10-31 | Leitz Ernst Gmbh | Improvements in or relating to tubular guide arrangements |
| JPS6079127U (ja) * | 1983-11-07 | 1985-06-01 | 長田電機工業株式会社 | レ−ザ−用パワ−メ−タ |
| JPH01168843U (ru) | 1988-05-19 | 1989-11-28 | ||
| JPH0222658A (ja) * | 1988-07-08 | 1990-01-25 | Mitsubishi Electric Corp | 電子ビーム露光方法 |
| JPH071201B2 (ja) * | 1989-01-17 | 1995-01-11 | 株式会社オプトアート | 光ビーム測定装置 |
| US5194993A (en) * | 1991-09-24 | 1993-03-16 | Eastman Kodak Company | Adjustable mount for cylindrical lens |
| FR2698182B1 (fr) * | 1992-11-13 | 1994-12-16 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de contrôle du centrage d'un faisceau lumineux, application à l'introduction de ce faisceau dans une fibre optique. |
| JPH071201A (ja) | 1993-02-28 | 1995-01-06 | Sanshin Kogyo Kk | 円筒部材の加工方法 |
| CN2293794Y (zh) * | 1997-04-28 | 1998-10-07 | 中国科学技术大学 | 可调式半导体激光准直头 |
| JP2000234916A (ja) * | 1999-02-15 | 2000-08-29 | Konica Corp | 光ビーム形状計測装置及びアライメント測定装置 |
| JP2001004491A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-01-12 | Sankyo Seiki Mfg Co Ltd | 光ビームの検査装置 |
| US6922232B2 (en) | 2002-09-24 | 2005-07-26 | Infineon Technologies North America Corp. | Test system for laser diode far-field pattern measurement |
| RU40103U1 (ru) * | 2004-01-08 | 2004-08-27 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Производственное объединение "Уральский оптико-механический завод" | Устройство для определения углового рассогласования пучков лазерного излучения |
| JP3935168B2 (ja) * | 2004-08-26 | 2007-06-20 | シャープ株式会社 | レンズ鏡筒装置 |
| TW200608475A (en) | 2004-08-26 | 2006-03-01 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Method of picking up sectional image of laser light |
| US20060254115A1 (en) * | 2004-11-22 | 2006-11-16 | Thomas Mark A | Optical sight with side focus adjustment |
| JP4524403B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2010-08-18 | 三菱電機株式会社 | フーリエ変換光学装置及び光制御型フェーズドアレイアンテナ装置 |
| JP4049171B2 (ja) * | 2005-07-08 | 2008-02-20 | コニカミノルタオプト株式会社 | 鏡胴ユニット並びに撮像装置 |
| US7463342B2 (en) * | 2007-05-02 | 2008-12-09 | Angstrom, Inc. | Optical tracking device using micromirror array lenses |
-
2007
- 2007-09-13 DE DE502007001924T patent/DE502007001924D1/de active Active
- 2007-09-13 ES ES07017968T patent/ES2333369T3/es active Active
- 2007-09-13 EP EP07017968A patent/EP2037238B1/de active Active
-
2008
- 2008-09-12 BR BRPI0815425-2A patent/BRPI0815425B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2008-09-12 CA CA2699629A patent/CA2699629C/en active Active
- 2008-09-12 MX MX2010002894A patent/MX2010002894A/es active IP Right Grant
- 2008-09-12 JP JP2010524407A patent/JP5554710B2/ja active Active
- 2008-09-12 CN CN200880106717.7A patent/CN101821595B/zh active Active
- 2008-09-12 IN IN855KON2010 patent/IN2010KN00855A/en unknown
- 2008-09-12 TW TW097135025A patent/TW200920334A/zh unknown
- 2008-09-12 RU RU2010113570/28A patent/RU2474795C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2008-09-12 KR KR1020107008066A patent/KR101255796B1/ko active IP Right Grant
- 2008-09-12 US US12/677,776 patent/US8351028B2/en active Active
- 2008-09-12 WO PCT/EP2008/007575 patent/WO2009036932A1/de active Application Filing
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101821595A (zh) | 2010-09-01 |
| IN2010KN00855A (ru) | 2015-08-28 |
| KR101255796B1 (ko) | 2013-04-17 |
| JP5554710B2 (ja) | 2014-07-23 |
| BRPI0815425B1 (pt) | 2019-04-09 |
| US20100253937A1 (en) | 2010-10-07 |
| CN101821595B (zh) | 2014-11-26 |
| JP2010539459A (ja) | 2010-12-16 |
| DE502007001924D1 (de) | 2009-12-17 |
| RU2474795C2 (ru) | 2013-02-10 |
| US8351028B2 (en) | 2013-01-08 |
| TW200920334A (en) | 2009-05-16 |
| EP2037238B1 (de) | 2009-11-04 |
| ES2333369T3 (es) | 2010-02-19 |
| CA2699629C (en) | 2016-04-19 |
| KR20100063118A (ko) | 2010-06-10 |
| WO2009036932A1 (de) | 2009-03-26 |
| BRPI0815425A2 (pt) | 2016-08-09 |
| CA2699629A1 (en) | 2009-03-26 |
| EP2037238A1 (de) | 2009-03-18 |
| MX2010002894A (es) | 2010-04-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2010113570A (ru) | Измерительное устройство для измерения параметров сфокусированного лазерного пучка | |
| EP2994786B1 (en) | Optoelectronic component | |
| HK1125180A1 (en) | Zoom lens system | |
| EP2136549A3 (en) | Camera module | |
| JP2003005096A (ja) | 内視鏡装置 | |
| CN104360463A (zh) | 三远心同轴照明成像光学系统 | |
| JP6057595B2 (ja) | 内視鏡 | |
| JP2007199336A (ja) | 地上用望遠鏡の変倍光学系 | |
| CN105487326A (zh) | 用于组装照相机的方法 | |
| US10146063B2 (en) | Focal length extender for telescopic imaging systems | |
| JP6188988B1 (ja) | ステレオ撮像ユニット | |
| JP5087386B2 (ja) | 顕微鏡 | |
| JP2013192798A (ja) | 内視鏡システム | |
| JP5036023B2 (ja) | 撮影装置および接眼レンズ | |
| JP2010002856A (ja) | レンズ鏡筒、レンズ鏡筒の製造方法、及び光学機器 | |
| KR100868276B1 (ko) | 현미경용 멀티 미디어 영상 카메라 장치 | |
| TW200728884A (en) | Lens module with parallel driving suspension device | |
| TW201608713A (zh) | 用於可ｐｃｂ安裝的相機模組之可ｐｃｂ安裝的透鏡配接器 | |
| JP2001215589A (ja) | 一眼レフカメラ用レンズユニット | |
| KR101490162B1 (ko) | 촬영 위치 조절이 가능한 입체 현미경 어댑터 | |
| KR20150006106A (ko) | 빔 확장형 광섬유 연결장치 | |
| JPH07301769A (ja) | 光軸補正用レンズの支持機構 | |
| TW200928543A (en) | High magnification lens module and digital imaging apparatus | |
| RU2190245C1 (ru) | Светосильный объектив | |
| JP2010243933A (ja) | 双眼光学系及び双眼鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200913 |