RU2008131391A - Способ получения мелкодисперсного очищенного порошка тугоплавких металлов и устройство для его осуществления - Google Patents
Способ получения мелкодисперсного очищенного порошка тугоплавких металлов и устройство для его осуществления Download PDFInfo
- Publication number
- RU2008131391A RU2008131391A RU2008131391/02A RU2008131391A RU2008131391A RU 2008131391 A RU2008131391 A RU 2008131391A RU 2008131391/02 A RU2008131391/02 A RU 2008131391/02A RU 2008131391 A RU2008131391 A RU 2008131391A RU 2008131391 A RU2008131391 A RU 2008131391A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- powder
- cathode
- plasma
- starting material
- targets
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Manufacture Of Metal Powder And Suspensions Thereof (AREA)
Abstract
1. Способ получения мелкодисперсного очищенного порошка тугоплавких металлов, включающий подачу порошка исходного материала в столб плазмы вакуумной электронно-плазменной печи через установленную внутри катода водоохлаждаемую трубку, нагрев и/или расплавление исходного материала в плазменном столбе, отличающийся тем, что нагретые и/или расплавленные очищенные частицы порошка приводят в соприкосновение с группой из по меньшей мере двух охлаждаемых мишеней, разделяют при необходимости по фракциям и накапливают в по меньшей мере одной приемной емкости. ! 2. Устройство для получения мелкодисперсного очищенного порошка тугоплавких металлов, содержащее вакуумную камеру с размещенными в ней анодом и полым плазменным катодом, имеющим канал для подачи плазмообразующего газа, механизм крепления катода к катододержателю и установленную внутри катода водоохлаждаемую трубку для подачи порошка исходного материала в столб плазмы, отличающееся тем, что устройство снабжено группой из по меньшей мере двух охлаждаемых мишеней, выполненных каждая в виде тела вращения с самостоятельным механизмом перемещения и управления скоростью и направлением вращения и покрытых слоем материала, совпадающего по химическому составу с исходным, узлом слежения за зазором между мишенями и по меньшей мере одной приемной емкостью для конечного порошка. ! 3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что по меньшей мере одна мишень снабжена возбудителем высокочастотных механических колебаний.
Claims (3)
1. Способ получения мелкодисперсного очищенного порошка тугоплавких металлов, включающий подачу порошка исходного материала в столб плазмы вакуумной электронно-плазменной печи через установленную внутри катода водоохлаждаемую трубку, нагрев и/или расплавление исходного материала в плазменном столбе, отличающийся тем, что нагретые и/или расплавленные очищенные частицы порошка приводят в соприкосновение с группой из по меньшей мере двух охлаждаемых мишеней, разделяют при необходимости по фракциям и накапливают в по меньшей мере одной приемной емкости.
2. Устройство для получения мелкодисперсного очищенного порошка тугоплавких металлов, содержащее вакуумную камеру с размещенными в ней анодом и полым плазменным катодом, имеющим канал для подачи плазмообразующего газа, механизм крепления катода к катододержателю и установленную внутри катода водоохлаждаемую трубку для подачи порошка исходного материала в столб плазмы, отличающееся тем, что устройство снабжено группой из по меньшей мере двух охлаждаемых мишеней, выполненных каждая в виде тела вращения с самостоятельным механизмом перемещения и управления скоростью и направлением вращения и покрытых слоем материала, совпадающего по химическому составу с исходным, узлом слежения за зазором между мишенями и по меньшей мере одной приемной емкостью для конечного порошка.
3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что по меньшей мере одна мишень снабжена возбудителем высокочастотных механических колебаний.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008131391/02A RU2389584C2 (ru) | 2008-07-29 | 2008-07-29 | Способ получения мелкодисперсного очищенного порошка тугоплавких металлов и устройство для его осуществления |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2008131391/02A RU2389584C2 (ru) | 2008-07-29 | 2008-07-29 | Способ получения мелкодисперсного очищенного порошка тугоплавких металлов и устройство для его осуществления |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2008131391A true RU2008131391A (ru) | 2010-02-20 |
| RU2389584C2 RU2389584C2 (ru) | 2010-05-20 |
Family
ID=42126545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2008131391/02A RU2389584C2 (ru) | 2008-07-29 | 2008-07-29 | Способ получения мелкодисперсного очищенного порошка тугоплавких металлов и устройство для его осуществления |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2389584C2 (ru) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105345019B (zh) * | 2015-11-26 | 2017-07-14 | 上海交通大学 | 3d打印用金属粉末高效电弧放电制备装置 |
| RU2751607C1 (ru) * | 2020-06-09 | 2021-07-15 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Новые Дисперсные Материалы" | Способ получения мелкодисперсного порошка |
-
2008
- 2008-07-29 RU RU2008131391/02A patent/RU2389584C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2389584C2 (ru) | 2010-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8387561B2 (en) | Method and apparatus for cathodic arc ion plasma deposition | |
| KR102244897B1 (ko) | 부품, 밴드형 물질, 또는 도구의 표면에 코팅을 형성하는 장치 | |
| US9127354B2 (en) | Filtered cathodic arc deposition apparatus and method | |
| CN100482031C (zh) | 一种大气压介质阻挡辉光放电等离子体发生方法及装置 | |
| JP2015120981A (ja) | ワイヤ放電イオンプラズマ電子エミッタを含む溶解炉 | |
| JP5245129B2 (ja) | 石英ガラスルツボの製造方法 | |
| CN104588675B (zh) | 球形稀有金属粉末制备装置及方法 | |
| JP5740485B2 (ja) | 乾式コーティング装置 | |
| RU2008131391A (ru) | Способ получения мелкодисперсного очищенного порошка тугоплавких металлов и устройство для его осуществления | |
| CN101903969A (zh) | 线性电子源和使用线性电子源的蒸发器以及电子源的应用 | |
| CN102260850A (zh) | 一种少液滴电弧靶及带少液滴电弧靶的等离子涂层系统 | |
| JP2012525495A (ja) | 高圧蒸発による高速コーティングのための方法及び装置 | |
| CN204849009U (zh) | 一种电子轰击蒸发源 | |
| RU2008149292A (ru) | Способ получения сферических гранул жаропрочных и химически активных металлов и сплавов, устройство для его осуществления и устройство для изготовления исходной расходуемой заготовки для реализации способа | |
| JP6577804B2 (ja) | マグネトロンスパッタ法による成膜装置および成膜方法 | |
| Kuzmichev et al. | Evaporators with induction heating and their applications | |
| CN1327006C (zh) | 用附加阴极辉光放电冶炼高氮钢的方法 | |
| US20100221450A1 (en) | Method for Producing a Carbon-Containing Material by Carbon Electron-Beam Vaporisation in a Vacuum and a Subsequent Condensation Thereof on a Substrate and a Device for Carrying Out Said Method | |
| JP2004503680A (ja) | 炭素及び炭素系材料の製造 | |
| CN210458344U (zh) | 一种陶瓷真空镀铜舱室内置坩埚 | |
| CN112708858B (zh) | 磁控液体阴极电弧等离子体蒸发离化源、镀膜装置及方法 | |
| CN102560427A (zh) | 一种真空镀膜设备中的冷却挡板装置 | |
| CN111958090A (zh) | 一种等离子电弧增材装置及增材方法 | |
| RU2653399C2 (ru) | Способ нанесения покрытия из аморфного оксида алюминия реактивным испарением алюминия в разряде низкого давления | |
| CN202543316U (zh) | 一种真空镀膜设备中的冷却挡板装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20110730 |