RU2008107990A - Способ нанесения слоя, устойчивого к царапанью - Google Patents
Способ нанесения слоя, устойчивого к царапанью Download PDFInfo
- Publication number
- RU2008107990A RU2008107990A RU2008107990/02A RU2008107990A RU2008107990A RU 2008107990 A RU2008107990 A RU 2008107990A RU 2008107990/02 A RU2008107990/02 A RU 2008107990/02A RU 2008107990 A RU2008107990 A RU 2008107990A RU 2008107990 A RU2008107990 A RU 2008107990A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- substrate
- nitride
- boron
- target
- ion
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/46—Sputtering by ion beam produced by an external ion source
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/22—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
- C03C17/225—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
- C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
- C23C14/0647—Boron nitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/067—Borides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/28—Other inorganic materials
- C03C2217/281—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/28—Other inorganic materials
- C03C2217/283—Borides, phosphides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/78—Coatings specially designed to be durable, e.g. scratch-resistant
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/10—Deposition methods
- C03C2218/15—Deposition methods from the vapour phase
- C03C2218/154—Deposition methods from the vapour phase by sputtering
- C03C2218/156—Deposition methods from the vapour phase by sputtering by magnetron sputtering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
1. Способ вакуумного осаждения по меньшей мере одного тонкого слоя на основе бора на подложку, отличающийся тем, что ! выбирают по меньшей мере один агент распыления, химически активный или неактивный к бору, ! создают, с помощью по меньшей мере одного линейного источника ионов, находящегося внутри установки, имеющей промышленные размеры, коллимированный пучок ионов, содержащий в основном указанный агент распыления, ! направляют указанный пучок по меньшей мере на одну мишень на основе бора, ! помещают по меньшей мере часть поверхности указанной подложки напротив указанной мишени так, чтобы указанный материал, распыленный ионной бомбардировкой мишени, или материал, получающийся в результате реакции указанного распыленного материала по меньшей мере с одним из агентов распыления, осаждался на указанной части поверхности. ! 2. Способ по п.1, отличающийся тем, что производят относительное перемещение между источником ионного осаждения и подложкой. ! 3. Способ по п.1, отличающийся тем, что линейный источник ионов создает коллимированный пучок ионов с энергией, составляющей от 0,2 до 10 кэв, предпочтительно от 1 до 5 кэв, в частности около 1,5 кэв. ! 4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в установке создается давление в диапазоне от 10-5 до 8·10-3 торр. ! 5. Способ по п.1, отличающийся тем, что пучок ионов и мишень образуют угол α, составляющий от 90 до 30°, предпочтительно от 60 до 45°. ! 6. Способ по п.1, отличающийся тем, что распыляемый материал осаждают с помощью по меньшей мере указанного линейного источника ионного осаждения одновременно или последовательно на две разные части поверхности подложки. ! 7. Способ по п.1, отличающийся тем, что расп
Claims (19)
1. Способ вакуумного осаждения по меньшей мере одного тонкого слоя на основе бора на подложку, отличающийся тем, что
выбирают по меньшей мере один агент распыления, химически активный или неактивный к бору,
создают, с помощью по меньшей мере одного линейного источника ионов, находящегося внутри установки, имеющей промышленные размеры, коллимированный пучок ионов, содержащий в основном указанный агент распыления,
направляют указанный пучок по меньшей мере на одну мишень на основе бора,
помещают по меньшей мере часть поверхности указанной подложки напротив указанной мишени так, чтобы указанный материал, распыленный ионной бомбардировкой мишени, или материал, получающийся в результате реакции указанного распыленного материала по меньшей мере с одним из агентов распыления, осаждался на указанной части поверхности.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что производят относительное перемещение между источником ионного осаждения и подложкой.
3. Способ по п.1, отличающийся тем, что линейный источник ионов создает коллимированный пучок ионов с энергией, составляющей от 0,2 до 10 кэв, предпочтительно от 1 до 5 кэв, в частности около 1,5 кэв.
4. Способ по п.1, отличающийся тем, что в установке создается давление в диапазоне от 10-5 до 8·10-3 торр.
5. Способ по п.1, отличающийся тем, что пучок ионов и мишень образуют угол α, составляющий от 90 до 30°, предпочтительно от 60 до 45°.
6. Способ по п.1, отличающийся тем, что распыляемый материал осаждают с помощью по меньшей мере указанного линейного источника ионного осаждения одновременно или последовательно на две разные части поверхности подложки.
7. Способ по п.1, отличающийся тем, что распыленный материал осаждают с помощью по меньшей мере указанного линейного источника ионного осаждения по меньшей мере на часть не содержащей покрытия поверхности подложки.
8. Способ по п.1, отличающийся тем, что распыленный материал осаждают с помощью по меньшей мере указанного линейного источника ионного осаждения по меньшей мере на часть подложки, по меньшей мере частично покрытой по меньшей мере одним другим слоем.
9. Способ по п.1, отличающийся тем, что помимо указанного агента распыления вводят дополнительный агент, причем указанный дополнительный агент является химически активным к указанному распыленному материалу, и этот дополнительный агент получен путем инжекции газа, включающего указанный дополнительный агент, например, вблизи подложки.
10. Способ по п.9, отличающийся тем, что введенный дополнительный агент содержит азот, аргон, использующийся один или в смеси, возможно с неосновной фракцией CH4 и/или с H2.
11. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют мишень, содержащую материал, выбранный из семейства аморфного бора, бора с кубической кристаллической решеткой, бора с гексагональной кристаллической решеткой, алюминия, кремния, аморфного нитрида бора, нитрида бора с гексагональной кристаллической решеткой, нитрида бора с кубической кристаллической решеткой, нитрида кремния, нитрида алюминия, смешанного нитрида по меньшей мере этих веществ, причем этот материал используется один или в смеси.
12. Способ по п.11, отличающийся тем, что мишень поляризуют, чтобы направить энергию агента распыления на цель.
13. Способ по любому из п.11 или 12, отличающийся тем, что поляризованная мишень закрепляется на катоде магнетрона.
14. Способ по п.12, отличающийся тем, что поблизости помещают устройство нейтрализации ионов, при необходимости образованное катодом магнетрона, расположенным вблизи.
15. Способ по п.1, отличающийся тем, что используют второй источник ионов, пучок ионов которого направлен на подложку.
16. Подложка, в частности стеклянная, покрытая по меньшей мере на части поверхности блоком тонких слоев, содержащим поочередно n функциональных слоев A, обладающих способностью отражать инфракрасное и/или солнечное излучение, в частности, на основе серебра, и (n+1) покрытий B (n≥1), причем указанные покрытия B содержат слой или суперпозицию слоев из диэлектрического материала, в частности, на основе нитрида кремния или смеси кремния и алюминия, или оксинитрида кремния, или оксида цинка, или оксида олова, или оксида титана, так, что каждый из функциональных слоев A находится между двумя покрытиями B, причем блок содержит также по меньшей мере один металлический слой C, отражающий в видимой области, в частности, на основе титана, нихрома, циркония, возможно, азотированного или оксидированного, расположенный выше и/или ниже функционального слоя, отличающаяся тем, что последний слой блока покрыт по меньшей мере одним завершающим слоем на основе материала, выбранного из семейства аморфного нитрида бора, нитрида бора с гексагональной кристаллической решеткой, нитрида бора с кубической кристаллической решеткой, нитрида кремния, нитрида алюминия, смешанного нитрида по меньшей мере этих веществ, причем этот материал используется один или в смеси, а этот завершающий слой осаждается способом по любому из пп.1-15.
17. Подложка, в частности стеклянная, покрытая по меньшей мере на части поверхности покрытием, являющимся противоотражательным или зеркальным в области видимого света или инфракрасного солнечного излучения, сделанным из блока тонких слоев (A) из диэлектрического материала с коэффициентами отражения поочередно высоким и низким, отличающаяся тем, что последний слой блока покрыт по меньшей мере одним завершающим слоем на основе материала, выбранного из семейства аморфного нитрида бора, нитрида бора с гексагональной кристаллической решеткой, нитрида бора с кубической кристаллической решеткой, нитрида кремния, нитрида алюминия, смешанного нитрида по меньшей мере этих веществ, причем этот материал используется один или в смеси, и этот завершающий слой осажден способом по любому из пп.1-15.
18. Подложка, в частности стеклянная, отличающаяся тем, что она содержит по меньшей мере один слой на основе материала, выбранного из семейства аморфного нитрида бора, нитрида бора с гексагональной кристаллической решеткой, нитрида бора с кубической кристаллической решеткой, нитрида кремния, нитрида алюминия, смешанного нитрида по меньшей мере этих веществ, причем этот материал используется один или в смеси, а этот завершающий слой осажден способом по любому из пп.1-15.
19. Подложка по любому из пп.16-18, отличающаяся тем, что она предназначена для автомобильной промышленности, в частности для окон в крыше автомобиля, боковых стекол, ветрового стекла, заднего стекла, зеркала заднего вида, или для простого остекления или двойного стеклопакета, предназначенного для зданий, в частности для внутреннего или наружного остекления зданий, прилавков, витрин магазина, которые могут быть гнутыми, для защитного остекления объектов типа панелей, противоослепляющих экранов компьютеров, оборудования из стекла, в том числе фотогальванических систем, экранов для визуального отображения информации, для подоконных стен, самоочищающихся систем.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0552404 | 2005-08-01 | ||
FR0552404A FR2889202B1 (fr) | 2005-08-01 | 2005-08-01 | Procede de depot d'une couche anti-rayure |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2008107990A true RU2008107990A (ru) | 2009-09-10 |
Family
ID=36129801
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2008107990/02A RU2008107990A (ru) | 2005-08-01 | 2006-07-26 | Способ нанесения слоя, устойчивого к царапанью |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090017314A1 (ru) |
EP (1) | EP1913170A2 (ru) |
JP (1) | JP2009503268A (ru) |
KR (1) | KR20080032132A (ru) |
CN (1) | CN101233259A (ru) |
FR (1) | FR2889202B1 (ru) |
RU (1) | RU2008107990A (ru) |
WO (1) | WO2007015023A2 (ru) |
Families Citing this family (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2950878B1 (fr) | 2009-10-01 | 2011-10-21 | Saint Gobain | Procede de depot de couche mince |
KR101366042B1 (ko) * | 2012-04-24 | 2014-02-24 | (주)뉴옵틱스 | 폴 타입 안테나가 포함된 이온빔 소스의 위치제어를 이용한 이온 처리 장치 |
US20180085995A1 (en) * | 2013-01-04 | 2018-03-29 | New York University | 3d manufacturing using multiple material deposition and/or fusion sources simultaneously with single or multi-flute helical build surfaces |
CN103147055A (zh) * | 2013-03-04 | 2013-06-12 | 电子科技大学 | 一种直列多靶磁控溅射镀膜装置 |
WO2014158340A1 (en) * | 2013-03-12 | 2014-10-02 | Waters Technologies Corporation | Matching thermally modulated variable restrictors to chromatography separation columns |
US9110230B2 (en) | 2013-05-07 | 2015-08-18 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with retained optical properties |
US9359261B2 (en) | 2013-05-07 | 2016-06-07 | Corning Incorporated | Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film |
US9684097B2 (en) | 2013-05-07 | 2017-06-20 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with retained optical properties |
US9366784B2 (en) | 2013-05-07 | 2016-06-14 | Corning Incorporated | Low-color scratch-resistant articles with a multilayer optical film |
US9703011B2 (en) | 2013-05-07 | 2017-07-11 | Corning Incorporated | Scratch-resistant articles with a gradient layer |
US10160688B2 (en) | 2013-09-13 | 2018-12-25 | Corning Incorporated | Fracture-resistant layered-substrates and articles including the same |
CN103540900B (zh) * | 2013-10-22 | 2016-01-13 | 中国科学院金属研究所 | 一种磁控电弧离子镀复合沉积工艺和沉积装置 |
DE102014104799B4 (de) * | 2014-04-03 | 2021-03-18 | Schott Ag | Substrat mit einer Beschichtung zur Erhöhung der Kratzfestigkeit, Verfahren zu dessen Herstellung und dessen Verwendung |
US9335444B2 (en) | 2014-05-12 | 2016-05-10 | Corning Incorporated | Durable and scratch-resistant anti-reflective articles |
US11267973B2 (en) | 2014-05-12 | 2022-03-08 | Corning Incorporated | Durable anti-reflective articles |
US9790593B2 (en) | 2014-08-01 | 2017-10-17 | Corning Incorporated | Scratch-resistant materials and articles including the same |
US10703674B2 (en) * | 2014-10-24 | 2020-07-07 | Agc Glass Europe | Ion implantation process and ion implanted glass substrates |
WO2017048700A1 (en) | 2015-09-14 | 2017-03-23 | Corning Incorporated | High light transmission and scratch-resistant anti-reflective articles |
DE102015116644B4 (de) | 2015-10-01 | 2022-05-25 | Schott Ag | Substrate mit kratzfesten Beschichtungen mit verbesserter Reinigungsfähigkeit, Verfahren zu deren Herstellung sowie deren Verwendung |
CN108399350A (zh) * | 2017-02-04 | 2018-08-14 | 上海箩箕技术有限公司 | 指纹成像模组和电子设备 |
CH713453A1 (de) * | 2017-02-13 | 2018-08-15 | Evatec Ag | Verfahren zur Herstellung eines Substrates mit einer bordotierten Oberfläche. |
TWI821234B (zh) | 2018-01-09 | 2023-11-11 | 美商康寧公司 | 具光改變特徵之塗覆製品及用於製造彼等之方法 |
WO2020037042A1 (en) | 2018-08-17 | 2020-02-20 | Corning Incorporated | Inorganic oxide articles with thin, durable anti-reflective structures |
US20220011478A1 (en) | 2020-07-09 | 2022-01-13 | Corning Incorporated | Textured region of a substrate to reduce specular reflectance incorporating surface features with an elliptical perimeter or segments thereof, and method of making the same |
KR20220076179A (ko) * | 2020-11-30 | 2022-06-08 | 삼성전자주식회사 | 비정질 질화 붕소막 및 이를 포함하는 반사 방지 코팅 구조체 |
CN113274559A (zh) * | 2021-05-16 | 2021-08-20 | 王燕 | 一种检验科用抑菌注射器针头及其表面处理方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0610338B2 (ja) * | 1985-08-30 | 1994-02-09 | 日本電信電話株式会社 | ホウ素薄膜の形成方法 |
JPH01136963A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-30 | Olympus Optical Co Ltd | 窒化ホウ素薄膜の形成方法 |
JPH0397847A (ja) * | 1989-09-07 | 1991-04-23 | Nissin Electric Co Ltd | 窒化ホウ素膜の形成方法 |
US5637353A (en) * | 1990-09-27 | 1997-06-10 | Monsanto Company | Abrasion wear resistant coated substrate product |
FR2728559B1 (fr) * | 1994-12-23 | 1997-01-31 | Saint Gobain Vitrage | Substrats en verre revetus d'un empilement de couches minces a proprietes de reflexion dans l'infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire |
-
2005
- 2005-08-01 FR FR0552404A patent/FR2889202B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-07-26 WO PCT/FR2006/050750 patent/WO2007015023A2/fr active Application Filing
- 2006-07-26 US US11/997,323 patent/US20090017314A1/en not_active Abandoned
- 2006-07-26 KR KR1020087002540A patent/KR20080032132A/ko not_active Application Discontinuation
- 2006-07-26 EP EP06794501A patent/EP1913170A2/fr not_active Withdrawn
- 2006-07-26 CN CNA2006800283146A patent/CN101233259A/zh active Pending
- 2006-07-26 JP JP2008524554A patent/JP2009503268A/ja active Pending
- 2006-07-26 RU RU2008107990/02A patent/RU2008107990A/ru not_active Application Discontinuation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101233259A (zh) | 2008-07-30 |
JP2009503268A (ja) | 2009-01-29 |
WO2007015023A3 (fr) | 2007-03-22 |
FR2889202A1 (fr) | 2007-02-02 |
FR2889202B1 (fr) | 2007-09-14 |
EP1913170A2 (fr) | 2008-04-23 |
WO2007015023A2 (fr) | 2007-02-08 |
US20090017314A1 (en) | 2009-01-15 |
KR20080032132A (ko) | 2008-04-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2008107990A (ru) | Способ нанесения слоя, устойчивого к царапанью | |
RU2008120706A (ru) | Способ обработки подложки | |
RU2006130800A (ru) | Способ очистки подложки | |
KR101167369B1 (ko) | 브러슁된 금속 외관을 가진 코팅된 비금속성 시트, 및 이를 위한 코팅 및 이의 제조 방법 | |
Jamali | Investigation and review of mirrors reflectance in parabolic trough solar collectors (PTSCs) | |
CN101466649B (zh) | 具有低维护性能的光催化涂层 | |
KR101860282B1 (ko) | 적외선 반사 필름 | |
US5563734A (en) | Durable low-emissivity solar control thin film coating | |
JP6045043B2 (ja) | 焼入れ可能及び焼入れ不可能な透明ナノコンポジット層 | |
EP0341844A2 (en) | Protected silvered substrates and mirrors containing the same | |
AU2016332816B2 (en) | Near infrared reflective coatings | |
RU2004136588A (ru) | Изделие из стекла с отражающим солнцезащитным покрытием | |
KR20020005038A (ko) | 기판용 경화성 긁힘 방지 코팅 | |
RU2006141003A (ru) | Способ вакуумного напыления | |
CN105584158A (zh) | 电磁辐射屏蔽装置 | |
EA028233B1 (ru) | Солнцезащитное остекление | |
AU2003274021A1 (en) | Method for vapor-depositing strip-shaped substrates with a transparent barrier layer made of aluminum oxide | |
MY148663A (en) | Glass article having a zinc oxide coating and method for making same | |
JP2007533856A5 (ru) | ||
WO2016171620A1 (en) | A multilayer coating | |
JPS63205609A (ja) | 熱線反射膜 | |
EP1865344A1 (en) | High reflection mirror and process for producing the same | |
KR20150030366A (ko) | 폴리카보네이트의 내마모성 및 자외선에 대한 내후성 향상을 위한 코팅막 증착 방법 및 이 방법에 의한 코팅막이 증착된 폴리카보네이트 | |
KR101796382B1 (ko) | 플라스틱 소재의 내스크래치 특성 향상 및 자외선 차단을 위한 고경도 투명 코팅막 | |
MX2024001287A (es) | Panel de vidrio recubierto. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FA92 | Acknowledgement of application withdrawn (lack of supplementary materials submitted) |
Effective date: 20101214 |