RU2005113299A - Система управления потоком - Google Patents
Система управления потоком Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005113299A RU2005113299A RU2005113299/06A RU2005113299A RU2005113299A RU 2005113299 A RU2005113299 A RU 2005113299A RU 2005113299/06 A RU2005113299/06 A RU 2005113299/06A RU 2005113299 A RU2005113299 A RU 2005113299A RU 2005113299 A RU2005113299 A RU 2005113299A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- sludge
- fluid
- reservoir
- control system
- flow control
- Prior art date
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 39
- 239000010802 sludge Substances 0.000 claims 29
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 6
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims 4
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims 2
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 claims 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B57/00—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
- B24B57/02—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents for feeding of fluid, sprayed, pulverised, or liquefied grinding, polishing or lapping agents
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
- G05D7/00—Control of flow
- G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
- G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
- G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
- G05D7/0676—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on flow sources
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/206—Flow affected by fluid contact, energy field or coanda effect [e.g., pure fluid device or system]
- Y10T137/218—Means to regulate or vary operation of device
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Catching Or Destruction (AREA)
Claims (27)
1. Система управления потоком, содержащая по существу жесткий сосуд, имеющий первый и второй концы, при этом первый конец жесткого сосуда имеет вход и выход, резервуар для обрабатываемой жидкости, расположенный в жестком сосуде и находящийся в жидкостном соединении с входом и выходом, и подвижный элемент, расположенный в жестком сосуде, причем движение подвижного элемента в первом направлении заставляет обрабатываемую жидкость проходить во вход, и движение подвижного элемента во втором направлении заставляет обрабатываемую жидкость выталкиваться через выход.
2. Система управления потоком по п.1, в которой жесткий сосуд содержит цилиндр.
3. Система управления потоком по п.1, в которой резервуар для обрабатываемой жидкости включает камеру, расположенную в жестком сосуде и находящуюся в жидкостном соединении с входом и выходом.
4. Система управления потоком по п.2, в которой подвижный элемент включает плунжер, расположенный в цилиндре с возможностью скольжения.
5. Система управления потоком по п.4, которая дополнительно содержит поршень, присоединенный к плунжеру, для привода плунжера.
6. Система управления потоком по п.5, которая дополнительно содержит шаговый двигатель, подвижно присоединенный к поршню для привода плунжера.
7. Система управления потоком по п.1, в которой вход и выход имеют входной и выходной обратные клапаны соответственно.
8. Система управления потоком по п.4, в которой плунжер изготовлен из PFA.
9. Система управления потоком по п.3, в которой камера изготовлена из PFA.
10. Система управления потоком по п.1, которая дополнительно содержит резервуар с ведущей жидкостью, расположенный в жестком сосуде.
11. Система управления потоком по п.10, в которой подвижный элемент содержит диафрагму, отделяющую резервуар с ведущей жидкостью от резервуара с обрабатываемой жидкостью
12. Система управления потоком по п.11, в которой диафрагма изготовлена из PFA.
13. Система управления потоком по п.11, которая дополнительно содержит насос, находящийся в жидкостном соединении с резервуаром рабочей жидкости, для выборочного дозирования рабочей жидкости в и из резервуара для рабочей жидкости так, что истечение рабочей жидкости из резервуара для рабочей жидкости перемещает диафрагму в первом направлении для направления обрабатываемой жидкости к входу, и течение рабочей жидкости в резервуар для рабочей жидкости перемещает диафрагму во втором направлении для выталкивания обрабатываемой жидкости из выхода.
14. Система управления потоком, содержащая по существу жесткий сосуд, выход обрабатываемой жидкости, образованный в жестком сосуде, эластичный резервуар для обрабатываемой жидкости, расположенный в жестком сосуде и находящийся в жидкостном соединении с выходом для обрабатываемой жидкости, и резервуар для рабочей жидкости, расположенный в жестком сосуде, по существу, окружая резервуар для обрабатываемой жидкости, при этом в жестком сосуде выполнен вход для рабочей жидкости, так что рабочая жидкость, поступившая в резервуар для рабочей жидкости, сжимает резервуар для обрабатываемой жидкости для выталкивания обрабатываемой жидкости из него через выход для обрабатываемой жидкости.
15. Система управления потоком по п.14, которая дополнительно содержит насос, присоединенный к входу для рабочей жидкости для перекачивания рабочей жидкости в резервуар для рабочей жидкости.
16. Система управления потоком по п.14, которая дополнительно содержит фильтр, присоединенный к выходу для обрабатываемой жидкости.
17. Система управления потоком по п.14, которая дополнительно содержит мешалку для перемешивания обрабатываемой жидкости, содержащейся в резервуаре для обрабатываемой жидкости.
18. Система управления потоком по п.17, в которой мешалка выполнена в виде ультразвуковой мешалки.
19. Система управления потоком по п.14, в которой резервуар для рабочей жидкости включает съемный мешок.
20. Система управления потоком, содержащая по существу жесткий сосуд, выход обрабатываемой жидкости, образованный в жестком сосуде, средства для удержания обрабатываемой жидкости внутри жесткого сосуда, средства для дозировки обрабатываемой жидкости из жесткого сосуда через выход для обрабатываемой жидкости.
21. Способ управления потоком шлама в инструмент СМР, включающий обеспечение резервуара для шлама, содержащего шлам, присоединение инструмента СМР к выходу для шлама, находящегося в жидкостном соединении с резервуаром для шлама, и сжатие резервуара для шлама для выталкивания шлама из резервуара для шлама в инструмент СМР при требуемой скорости потока.
22. Способ по п.21, при котором обеспечение резервуара для шлама, содержащего шлам, включает в себя присоединение источника шлама ко входу для шлама, находящегося в жидкостном соединении с резервуаром для шлама, открытие входного клапана, присоединенного к входу для шлама, закрытие выходного клапана, присоединенного к выходу для шлама, и перекачивания определенного объема шлама из источника шлама в резервуар для шлама.
23. Способ по п.22, при котором сжатие резервуара для шлама включает в себя закрытие впускного клапана, и открытие выпускного клапана.
24. Способ по п.21, при котором резервуар для шлама и подвижный элемент располагают в жестком сосуде, и сжатие резервуара для шлама включает движение подвижного элемента в первом направлении.
25. Способ по п.21, при котором резервуар для шлама расположен в жестком сосуде, и сжатие резервуара для шлама включает накачивание рабочей жидкости в жесткий сосуд.
26. Способ по п.22, при котором резервуар для шлама и подвижный элемент располагают в жестком сосуде, сжатие резервуара для шлама включает движение подвижного элемента в первом направлении, движение подвижного элемента во втором направлении для выталкивания шлама из резервуара для шлама в инструмент СМР и введение определенного объема шлама из источника шлама в резервуар для шлама включает движение подвижного элемента во втором направлении.
27. Способ по п.21, при котором обеспечение резервуара для шлама, содержащего шлам, включает обеспечение съемного мешка, содержащего шлам.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US10/065,275 | 2002-09-30 | ||
| US10/065,275 US7204679B2 (en) | 2002-09-30 | 2002-09-30 | Flow control system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005113299A true RU2005113299A (ru) | 2005-09-20 |
| RU2313004C2 RU2313004C2 (ru) | 2007-12-20 |
Family
ID=32028515
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005113299A RU2313004C2 (ru) | 2002-09-30 | 2003-09-10 | Система управления потоком |
Country Status (18)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7204679B2 (ru) |
| EP (4) | EP2347858A3 (ru) |
| JP (1) | JP4372010B2 (ru) |
| KR (1) | KR100649468B1 (ru) |
| CN (2) | CN101491889B (ru) |
| AR (2) | AR041382A1 (ru) |
| AT (1) | ATE485919T1 (ru) |
| AU (1) | AU2003266022B2 (ru) |
| BR (1) | BR0314955A (ru) |
| CA (1) | CA2500543C (ru) |
| DE (1) | DE60334712D1 (ru) |
| DK (2) | DK2343156T3 (ru) |
| HK (2) | HK1129628A1 (ru) |
| MX (1) | MXPA05003444A (ru) |
| MY (1) | MY135346A (ru) |
| PL (3) | PL206361B1 (ru) |
| RU (1) | RU2313004C2 (ru) |
| WO (1) | WO2004030860A2 (ru) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008526539A (ja) * | 2005-01-18 | 2008-07-24 | 周正才 | 事前混合式研磨材スラリージェット用のブラスト装置 |
| US7735563B2 (en) * | 2005-03-10 | 2010-06-15 | Hydril Usa Manufacturing Llc | Pressure driven pumping system |
| JP2008539146A (ja) * | 2005-04-25 | 2008-11-13 | アドバンスド テクノロジー マテリアルズ，インコーポレイテッド | 化学試薬及び組成を保存・分配する装置及びプロセス |
| KR100806841B1 (ko) * | 2006-09-11 | 2008-02-22 | 세메스 주식회사 | 슬러리 공급장치에서의 버블 댐퍼 |
| KR20100017695A (ko) * | 2007-05-09 | 2010-02-16 | 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 | 재료 혼합과 분배를 위한 시스템 및 방법 |
| EP2223332A4 (en) * | 2007-12-06 | 2012-07-11 | Foresight Proc Llc | SYSTEMS AND METHODS FOR DELIVERING COMBINATIONS OF TREATMENT MATERIAL CONTAINING FLUID |
| US20100243087A1 (en) * | 2009-03-03 | 2010-09-30 | Millipore Corporation | System and pump apparatus for processing fluid samples |
| CN102460640A (zh) | 2009-06-10 | 2012-05-16 | 高级技术材料公司 | 流体处理系统和方法 |
| US8308854B2 (en) * | 2009-12-15 | 2012-11-13 | Thermo Finnigan Llc | Helium reclamation systems and methods for a gas chromatograph |
| RU2459978C1 (ru) * | 2011-07-26 | 2012-08-27 | Общество с ограниченной ответственностью "Купер" | Насосная установка регулируемая, диафрагменная |
| KR20130090209A (ko) * | 2012-02-03 | 2013-08-13 | 삼성전자주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
| US9921193B2 (en) * | 2013-03-14 | 2018-03-20 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Bottle pressurization delivery system |
| US9770804B2 (en) | 2013-03-18 | 2017-09-26 | Versum Materials Us, Llc | Slurry supply and/or chemical blend supply apparatuses, processes, methods of use and methods of manufacture |
| US9695674B2 (en) * | 2014-04-04 | 2017-07-04 | Onesubsea Ip Uk Limited | Subsea dosing pump |
| US9689529B2 (en) * | 2014-05-08 | 2017-06-27 | Baker Hughes Incorporated | Oil injection unit |
| JP6622578B2 (ja) * | 2015-12-08 | 2019-12-18 | 不二越機械工業株式会社 | ワーク加工装置およびこれに用いる薬液収納バッグ |
| CN107096901A (zh) * | 2017-05-02 | 2017-08-29 | 重庆天运汽车配件有限公司 | 一种离心浇铸均匀进液装置 |
| US11251047B2 (en) * | 2017-11-13 | 2022-02-15 | Applied Materials, Inc. | Clog detection in a multi-port fluid delivery system |
| JP7194996B2 (ja) * | 2019-03-13 | 2022-12-23 | 株式会社松井製作所 | 流体研磨装置 |
| JP7407439B2 (ja) * | 2019-10-24 | 2024-01-04 | 兵神装備株式会社 | 流体圧送装置 |
| TWI742924B (zh) * | 2020-11-13 | 2021-10-11 | 國立勤益科技大學 | 自動擠膏拋光刀把 |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR945469A (fr) | 1946-03-22 | 1949-05-05 | Passch & Larsen Petersen | Procédé pour prélever une quantité déterminée de beurre ou autre matière plastique aspirées dans une cuve et appareil pour la mise en oeuvre de ce procédé |
| SU97285A1 (ru) | 1952-09-26 | 1953-11-30 | В.В. Залесский | Насос дл перекачки жидкостей с плохими смазывающими свойствами |
| SU125162A1 (ru) | 1959-06-15 | 1959-11-30 | В.М. Данич | Устройство дл подачи абразивных паст в рабочую зону полировального станка |
| US3635607A (en) * | 1970-04-20 | 1972-01-18 | Novelty Tool Co Inc | Vacuum pump |
| US3756456A (en) * | 1972-05-22 | 1973-09-04 | Graco Inc | Apparatus and method for a metering system |
| SU591609A1 (ru) | 1976-04-26 | 1978-02-05 | Московское Научно-Производственное Объединение По Механизированному Строительному Инструменту И Отделочным Машинам (Объединение "Вниисми") | Поршневой растворонасос |
| SU723215A2 (ru) | 1978-04-04 | 1980-03-25 | Предприятие П/Я В-8662 | Гидро - или пневмоприводной насос |
| SU767528A1 (ru) | 1978-07-06 | 1980-09-30 | Предприятие П/Я В-8644 | Способ непрерывного дозировани жидкости |
| US4488853A (en) * | 1980-08-28 | 1984-12-18 | New Process Industries, Inc. | Fluid pressure ratio transformer system |
| US4863066A (en) * | 1986-06-02 | 1989-09-05 | Technicon Instruments Corporation | System for dispensing precisely metered quantities of a fluid and method of utilizing the system |
| FR2608225B1 (fr) | 1986-12-10 | 1989-02-17 | Imaje Sa | Cellule a multiples fonctions comportant une chambre a volume variable, et circuit d'alimentation fluide d'une tete d'impression a jet d'encre qui en est equipe |
| US4950134A (en) * | 1988-12-27 | 1990-08-21 | Cybor Corporation | Precision liquid dispenser |
| US5056036A (en) * | 1989-10-20 | 1991-10-08 | Pulsafeeder, Inc. | Computer controlled metering pump |
| FR2706857B1 (ru) * | 1993-06-25 | 1995-10-27 | Dussau Distribution Sarl | |
| US5753515A (en) * | 1996-07-02 | 1998-05-19 | Eastman Kodak Company | Syringe pump apparatus for remote delivery of reactants |
| NL1004637C2 (nl) | 1996-11-28 | 1998-05-29 | Daniel Van Beek | Doseerinrichting. |
| US5971722A (en) * | 1997-09-05 | 1999-10-26 | Baxter International Inc | Electrochemical syringe pump having a sealed storage reservoir for a charge transfer medium |
| US6293849B1 (en) * | 1997-10-31 | 2001-09-25 | Ebara Corporation | Polishing solution supply system |
| US5945346A (en) * | 1997-11-03 | 1999-08-31 | Motorola, Inc. | Chemical mechanical planarization system and method therefor |
| US6107203A (en) * | 1997-11-03 | 2000-08-22 | Motorola, Inc. | Chemical mechanical polishing system and method therefor |
| US6109881A (en) * | 1998-01-09 | 2000-08-29 | Snodgrass; Ocie T. | Gas driven pump for the dispensing and filtering of process fluid |
| US6254453B1 (en) * | 1999-09-30 | 2001-07-03 | International Business Machines Corporation | Optimization of chemical mechanical process by detection of oxide/nitride interface using CLD system |
| US6544109B1 (en) * | 2000-08-31 | 2003-04-08 | Micron Technology, Inc. | Slurry delivery and planarization systems |
-
2002
- 2002-09-30 US US10/065,275 patent/US7204679B2/en active Active
-
2003
- 2003-09-10 BR BR0314955A patent/BR0314955A/pt not_active Application Discontinuation
- 2003-09-10 PL PL388177A patent/PL206361B1/pl unknown
- 2003-09-10 WO PCT/US2003/028397 patent/WO2004030860A2/en active Search and Examination
- 2003-09-10 EP EP20100012714 patent/EP2347858A3/en not_active Withdrawn
- 2003-09-10 DK DK10012713.3T patent/DK2343156T3/en active
- 2003-09-10 DK DK03799281.5T patent/DK1545835T3/da active
- 2003-09-10 EP EP20100012713 patent/EP2343156B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-10 PL PL388178A patent/PL206362B1/pl unknown
- 2003-09-10 CN CN2009100045957A patent/CN101491889B/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-10 CA CA002500543A patent/CA2500543C/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-10 EP EP20030799281 patent/EP1545835B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-10 DE DE60334712T patent/DE60334712D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-10 EP EP20080170886 patent/EP2108482A1/en not_active Withdrawn
- 2003-09-10 PL PL375436A patent/PL206360B1/pl unknown
- 2003-09-10 JP JP2004541523A patent/JP4372010B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-10 CN CNB038254808A patent/CN100528485C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-09-10 MX MXPA05003444A patent/MXPA05003444A/es active IP Right Grant
- 2003-09-10 AU AU2003266022A patent/AU2003266022B2/en not_active Expired
- 2003-09-10 AT AT03799281T patent/ATE485919T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-09-10 RU RU2005113299A patent/RU2313004C2/ru active
- 2003-09-10 KR KR1020057005550A patent/KR100649468B1/ko active IP Right Grant
- 2003-09-24 AR ARP030103480 patent/AR041382A1/es active IP Right Grant
- 2003-09-26 MY MYPI20033686A patent/MY135346A/en unknown
-
2006
- 2006-06-08 HK HK09108929A patent/HK1129628A1/xx not_active IP Right Cessation
- 2006-06-08 HK HK06106579A patent/HK1086523A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-04-24 AR ARP090101466 patent/AR071409A2/es active IP Right Grant
Also Published As
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2005113299A (ru) | Система управления потоком | |
| RU2003118438A (ru) | Пенообразующее устройство | |
| CA2479673A1 (en) | Water-powered sump pump | |
| WO2005111482A3 (en) | Needle valve for flow control | |
| JPH0694143A (ja) | 逆洗用ユニット | |
| FR2745858B1 (fr) | Perfectionnenents apportes aux pompes doseuses | |
| CA2600802A1 (en) | Liquid additive injection pump with mixing chamber and one way valve | |
| GR3021021T3 (en) | Pump for viscous material | |
| CN1083064C (zh) | 高效过流自吸活塞 | |
| JP2003523822A (ja) | 自動液体ディスペンサ | |
| CA2118979A1 (en) | Sampling pump | |
| US7628294B2 (en) | Pump, dispenser and corresponding process for dispensing a liquid or viscous mass | |
| US6634869B2 (en) | Piston pump with piston spring-biased to filter piston | |
| KR101044376B1 (ko) | 펌프 장치 | |
| JPH07174075A (ja) | 液圧駆動式膜ポンプ | |
| US6206657B1 (en) | Air-operated pumps with removable cartridges for groundwater sampling and other applications | |
| CN219993907U (zh) | 供水组件及冲牙器 | |
| RU2815768C2 (ru) | Устройство для введения жидких удобрений в поливную воду | |
| RU71146U1 (ru) | Диафрагменный насос | |
| SU1758285A1 (ru) | Способ нагнетани жидкости поршневым насосом и поршневой насос | |
| RU39837U1 (ru) | Насосно-очистное устройство | |
| AU596169B2 (en) | Method of and means for preventing contamination in liquids flowing from mains fo a consumer device | |
| JP2516013Y2 (ja) | 小型定量送液ポンプ | |
| RU97121408A (ru) | Установка для нагнетания газожидкостной смеси | |
| JP2004218474A (ja) | ポンプ装置 |