RU2005109124A - Устройства и способы для контроля высвобождения вещества - Google Patents
Устройства и способы для контроля высвобождения вещества Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005109124A RU2005109124A RU2005109124/12A RU2005109124A RU2005109124A RU 2005109124 A RU2005109124 A RU 2005109124A RU 2005109124/12 A RU2005109124/12 A RU 2005109124/12A RU 2005109124 A RU2005109124 A RU 2005109124A RU 2005109124 A RU2005109124 A RU 2005109124A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- ceramic
- ceramic material
- thermal expansion
- coefficient
- substance
- Prior art date
Links
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract 11
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract 16
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims 19
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims 5
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims 4
- 230000006378 damage Effects 0.000 claims 4
- 229910017563 LaCrO Inorganic materials 0.000 claims 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910003289 NiMn Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims 2
- 241000877463 Lanio Species 0.000 claims 1
- 229910020068 MgAl Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A62—LIFE-SAVING; FIRE-FIGHTING
- A62C—FIRE-FIGHTING
- A62C37/00—Control of fire-fighting equipment
- A62C37/08—Control of fire-fighting equipment comprising an outlet device containing a sensor, or itself being the sensor, i.e. self-contained sprinklers
- A62C37/10—Releasing means, e.g. electrically released
- A62C37/11—Releasing means, e.g. electrically released heat-sensitive
- A62C37/16—Releasing means, e.g. electrically released heat-sensitive with thermally-expansible links
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A62—LIFE-SAVING; FIRE-FIGHTING
- A62C—FIRE-FIGHTING
- A62C37/00—Control of fire-fighting equipment
- A62C37/36—Control of fire-fighting equipment an actuating signal being generated by a sensor separate from an outlet device
- A62C37/46—Construction of the actuator
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K13/00—Other constructional types of cut-off apparatus; Arrangements for cutting-off
- F16K13/04—Other constructional types of cut-off apparatus; Arrangements for cutting-off with a breakable closure member
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
- F16K17/40—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves with a fracturing member, e.g. fracturing diaphragm, glass, fusible joint
- F16K17/403—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves with a fracturing member, e.g. fracturing diaphragm, glass, fusible joint with a fracturing valve member
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A62—LIFE-SAVING; FIRE-FIGHTING
- A62C—FIRE-FIGHTING
- A62C37/00—Control of fire-fighting equipment
- A62C37/36—Control of fire-fighting equipment an actuating signal being generated by a sensor separate from an outlet device
- A62C37/38—Control of fire-fighting equipment an actuating signal being generated by a sensor separate from an outlet device by both sensor and actuator, e.g. valve, being in the danger zone
- A62C37/40—Control of fire-fighting equipment an actuating signal being generated by a sensor separate from an outlet device by both sensor and actuator, e.g. valve, being in the danger zone with electric connection between sensor and actuator
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S137/00—Fluid handling
- Y10S137/91—Destructible or deformable element constructed of specific material
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/1624—Destructible or deformable element controlled
- Y10T137/1632—Destructible element
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/1624—Destructible or deformable element controlled
- Y10T137/1632—Destructible element
- Y10T137/1692—Rupture disc
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/1624—Destructible or deformable element controlled
- Y10T137/1632—Destructible element
- Y10T137/1692—Rupture disc
- Y10T137/1744—Specific weakening point
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Emergency Management (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Public Health (AREA)
- Safety Valves (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Medicinal Preparation (AREA)
- Multiple-Way Valves (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Fire-Extinguishing By Fire Departments, And Fire-Extinguishing Equipment And Control Thereof (AREA)
- Crushing And Grinding (AREA)
- Diaphragms And Bellows (AREA)
Claims (30)
1. Устройство для контроля высвобождения вещества, содержащее корпус, имеющий вход для соединения с источником вещества, выход и проход, простирающийся между ними, причем проход закрыт керамическим элементом и снабжен средствами для приложения электрического импульса к элементу для разрушения элемента и, таким образом, соединения входа и выхода.
2. Устройство по п.1, в котором керамический элемент конфигурируется для создания средств для облегчения разрушения элемента при приложении электрического импульса.
3. Устройство по п.2, в котором элемент имеет первую и вторую противоположные стороны, а средства для облегчения разрушения включают в себя бороздку на первой поверхности элемента.
4. Устройство по п.3, в котором первая поверхность располагается ближе к выходу.
5. Устройство по п.4, в котором керамический элемент представляет собой диск.
6. Устройство по п.5, в котором бороздка представляет собой кольцевую бороздку, концентричную с диском и расположенную по периферии элемента.
7. Устройство по любому из предыдущих пунктов, в котором керамический элемент включает керамический материал, содержащий оксид металла и имеющий диэлектрическую прочность, равную или более низкую, чем 105 В·м-1.
8. Устройство по п.7, в котором керамический элемент содержит композит ZrO2/MgO, MgO, MgAl2O4, Al2O3 или Y2O3.
9. Устройство по п.7, в котором керамический элемент содержит LaCrO3, LaCoO3, LaNiO4 или NiMn2O4.
10. Устройство по любому из пп.1-6, в котором керамический элемент содержит два керамических материала, расположенных с формированием двух отдельных слоев, первый керамический материал образует первый слой элемента и имеет относительно высокий коэффициент теплового расширения, а второй керамический материал образует второй слой элемента и имеет относительно низкий коэффициент теплового расширения.
11. Устройство по п.10, в котором первый керамический материал имеет коэффициент теплового расширения, который является на 5% или менее большим, чем коэффициент теплового расширения второго керамического материала.
12. Устройство по п.10, в котором первый слой элемента находится ближе к входу.
13. Устройство по п.12, в котором первый керамический материал содержит Al2O3, композит ZrO2/Y2O3, композит ZrO2/MgO или MgO.
14. Устройство по п.12, в котором второй керамический материал имеет электрическое удельное сопротивление, равное или меньшее, чем 2·102 Ом·м.
15. Устройство по п.12, в котором второй керамический материал содержит La2NiO4, ZnO, LaCrO3, LaCoO3 или NiMn2O4.
16. Устройство по любому из пп.1-6, в котором керамический элемент представляет собой композит из керамического материала и углерода.
17. Устройство по п.16, в котором керамический материал имеет электрическое удельное сопротивление, равное или меньшее, чем 2·102 Ом·м.
18. Устройство по п.17, в котором керамический материал включает в себя LaCrO3, SiC или La2NiO4.
19. Устройство по п.16, в котором углерод представляет собой углерод в форме графита.
20. Устройство для гашения огня, содержащее контейнер, содержащий среду для гашения огня, находящуюся под давлением, устройство по любому из предыдущих пунктов для контроля высвобождения среды для гашения огня.
21. Способ контроля высвобождения вещества, включающий в себя стадии удерживания вещества в контейнере, присоединения контейнера к устройству, содержащему корпус, имеющий вход для присоединения к источнику вещества, выход и проход, простирающийся между ними, причем проход закрыт керамическим элементом, и приложения электрического импульса к керамическому элементу для разрушения элемента и таким образом соединения входа и выхода.
22. Способ по п.21, дополнительно включающий стадию конфигурирования элемента для создания средств для облегчения разрушения элемента при приложении электрического импульса.
23. Способ по п.22, в котором элемент имеет первую и вторую противоположные стороны и, обеспечивая средства для облегчения разрушения элемента, включает формирование бороздки на первой поверхности элемента.
24. Способ по п.23, в котором первая поверхность находится ближе к выходу.
25. Способ по любому из пп.21-24, в котором керамический элемент представляет собой диск.
26. Способ по п.25, в котором бороздка представляет собой кольцевую бороздку, концентричную с диском и расположенную по периферии диска.
27. Способ по любому из пп.21-24, дополнительно включающий стадии формирования керамического элемента из керамического материала, содержащего оксид металла и имеющего диэлектрическую прочность, равную или меньшую, чем 105 В·м-1.
28. Способ по любому из пп.21-24, дополнительно включающий в себя стадию формирования керамического элемента, содержащего два отдельных слоя из двух различных керамических материалов, первый керамический материал образует первый слой элемента и имеет относительно высокий коэффициент теплового расширения, а второй керамический материал образует второй слой элемента и имеет относительно низкий коэффициент теплового расширения.
29. Способ по п.28, в котором первый керамический материал имеет коэффициент теплового расширения, который является на 5% или менее большим, чем коэффициент теплового расширения второго керамического материала.
30. Способ по любому из пп.21-24, дополнительно включающий в себя стадию формирования керамического элемента из композита из керамического материала и углерода.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB0407142.9 | 2004-03-30 | ||
| GB0407142A GB2412583B (en) | 2004-03-30 | 2004-03-30 | Devices and methods for controlling the release of a substance |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005109124A true RU2005109124A (ru) | 2006-10-10 |
| RU2386463C2 RU2386463C2 (ru) | 2010-04-20 |
Family
ID=32247511
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005109124A RU2386463C2 (ru) | 2004-03-30 | 2005-03-29 | Устройства и способы для контроля высвобождения вещества |
| RU2010102697/12A RU2010102697A (ru) | 2004-03-30 | 2010-01-27 | Устройства и способы для контроля высвобождения вещества |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2010102697/12A RU2010102697A (ru) | 2004-03-30 | 2010-01-27 | Устройства и способы для контроля высвобождения вещества |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7281544B2 (ru) |
| EP (1) | EP1582789B1 (ru) |
| CN (1) | CN1692969B (ru) |
| AT (1) | ATE489574T1 (ru) |
| BR (1) | BRPI0501108B1 (ru) |
| DE (1) | DE602005024883D1 (ru) |
| ES (1) | ES2355391T3 (ru) |
| GB (1) | GB2412583B (ru) |
| HK (1) | HK1085148A1 (ru) |
| RU (2) | RU2386463C2 (ru) |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20090314501A1 (en) * | 2006-10-30 | 2009-12-24 | Fogtec Brandschutz Gmbh & Co. Kg | Frost-Proof Container for Extinguishing Fluid |
| US20100170573A1 (en) * | 2009-01-06 | 2010-07-08 | Draper Don R | Pressure relief mechanism having a rupture disk |
| KR101180996B1 (ko) * | 2009-11-27 | 2012-09-07 | 기아자동차주식회사 | 자동차용 고압 가스 연료탱크의 화재안전장치 |
| DE102010063997B3 (de) * | 2010-12-22 | 2012-06-06 | Sgl Carbon Se | Beschichtete Keramikberstsicherung |
| EP2747087A1 (de) * | 2012-12-22 | 2014-06-25 | AREVA GmbH | Rohrabsperreinrichtung und Vorrichtung zur Notversorgung der in einem Reaktorbehälter eines Kernkraftwerks angeordneten Brennstäbe mit Kühlflüssigkeit mit einer solchen Rohrabsperreinrichtung |
| US8919367B2 (en) * | 2013-02-18 | 2014-12-30 | Disposal Guard Inc. | Apparatus and method for blocking sewer gas |
| US9261200B2 (en) | 2013-03-15 | 2016-02-16 | Kidde Technologies, Inc. | Valve mechanism with frangible plug |
| RU2566491C1 (ru) * | 2014-06-17 | 2015-10-27 | ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ВСЕРОССИЙСКИЙ ОРДЕНА "ЗНАК ПОЧЕТА" НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПРОТИВОПОЖАРНОЙ ОБОРОНЫ МИНИСТЕРСТВА РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ПО ДЕЛАМ ГРАЖДАНСКОЙ ОБОРОНЫ, ЧРЕЗВЫЧАЙНЫМ СИТУАЦИЯМ И ЛИКВИДАЦИИ ПОСЛЕДСТВИЙ СТИХИЙНЫХ БЕДСТВИЙ" (ФГБУ ВНИИПО МЧС России) | Способ приведения в действие установки для тушения пожара (варианты) и устройство для его реализации (варианты) |
| GB2531266A (en) * | 2014-10-13 | 2016-04-20 | Graviner Ltd Kidde | Frangible diaphragm for use in a valve mechanism |
| GB2531265A (en) | 2014-10-13 | 2016-04-20 | Graviner Ltd Kidde | A frangible plug for use in a valve mechanism |
| EP3371492B1 (en) | 2015-11-06 | 2021-07-07 | Oklahoma Safety Equipment Company, Inc. | Rupture disc device and method of assembly thereof |
| GB201520374D0 (en) * | 2015-11-19 | 2016-01-06 | Moog Controls Ltd | A method for releasing a fluid from a pressure vessel assembly |
| US20180100601A1 (en) * | 2016-10-08 | 2018-04-12 | Zepto Life Technology, LLC | Electrolytic membrane valve |
| US20180135770A1 (en) * | 2016-11-11 | 2018-05-17 | Honeywell International Inc. | Apparatus and methods for thermally activated micro-valve |
| CN108211186A (zh) * | 2017-11-22 | 2018-06-29 | 李洪军 | 一种智能预警灭火系统 |
| CN111978252A (zh) * | 2019-05-21 | 2020-11-24 | 复旦大学 | 手性苯并吗吩烷类衍生物及其制备方法和在药学上的应用 |
| IT202000023368A1 (it) | 2020-10-05 | 2022-04-05 | Bind Fire S R L | Valvola di rilascio per impianti antincendio, impianto antincendio e relativo metodo di azionamento |
| IT202000026257A1 (it) * | 2020-11-04 | 2022-05-04 | Bind Fire S R L | Valvola di rilascio attivata dal calore per impianti antincendio, impianto antincendio e relativo metodo di azionamento |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3670925A (en) * | 1969-10-28 | 1972-06-20 | Atlas Chem Ind | Explosively activated glass valve |
| DE2032957A1 (de) * | 1970-07-03 | 1972-01-05 | Daimler Benz Ag | Verschluß für Druckgasbehälter, insbesondere zum Füllen von Sicherheits-Gaskissen in Kraftwagen |
| US3780752A (en) * | 1971-03-01 | 1973-12-25 | Du Pont | Explosively actuated valve |
| US4199029A (en) * | 1978-04-10 | 1980-04-22 | Fike Metal Products Corporation | Multiple, independently actuatable fire suppression devices each having individual actuating power source |
| ES247812Y (es) * | 1980-01-04 | 1981-01-16 | Valvula de apertura rapida | |
| US4905722A (en) * | 1988-06-24 | 1990-03-06 | Bs&B Safety Systems, Inc. | Composite rupture disk assembly |
| RU2092204C1 (ru) * | 1991-05-20 | 1997-10-10 | Всероссийский научно-исследовательский институт противопожарной обороны МВД РФ | Запорно-пусковое устройство для установок пожаротушения |
| US5144973A (en) * | 1991-11-29 | 1992-09-08 | Safety Assurance Corporation | Safety valve for compressed gas cylinders |
| US5631634A (en) * | 1995-01-11 | 1997-05-20 | Oklahoma Safety Equipment Co. | Flow and pressure sensor |
| DE19736247A1 (de) * | 1997-08-20 | 1999-02-25 | Temic Bayern Chem Airbag Gmbh | Bauteil mit einem Körper aus einem spröden Werkstoff |
| US5979477A (en) * | 1998-02-04 | 1999-11-09 | Trebor International, Inc. | High purity, non-contaminating, burst disk |
| DE19945856B4 (de) | 1999-09-24 | 2005-12-29 | Robert Bosch Gmbh | Sprinklervorrichtung mit einem Ventil für Löschflüssigkeit |
| KR100342703B1 (ko) * | 2000-02-21 | 2002-07-04 | 길종진 | 스프링클러장치 및 그 제어방법 |
| DE10240096B3 (de) * | 2002-08-30 | 2004-02-05 | Trw Airbag Systems Gmbh & Co. Kg | Verschlußelement für Druckbehälter |
-
2004
- 2004-03-30 GB GB0407142A patent/GB2412583B/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-03-04 DE DE200560024883 patent/DE602005024883D1/de active Active
- 2005-03-04 ES ES05251333T patent/ES2355391T3/es active Active
- 2005-03-04 EP EP20050251333 patent/EP1582789B1/en not_active Not-in-force
- 2005-03-04 AT AT05251333T patent/ATE489574T1/de not_active IP Right Cessation
- 2005-03-14 US US11/079,436 patent/US7281544B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2005-03-29 BR BRPI0501108A patent/BRPI0501108B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2005-03-29 RU RU2005109124A patent/RU2386463C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2005-03-30 CN CN2005100676335A patent/CN1692969B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-05-08 HK HK06105373A patent/HK1085148A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2010
- 2010-01-27 RU RU2010102697/12A patent/RU2010102697A/ru not_active Application Discontinuation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1582789B1 (en) | 2010-11-24 |
| HK1085148A1 (en) | 2006-08-18 |
| ES2355391T3 (es) | 2011-03-25 |
| DE602005024883D1 (de) | 2011-01-05 |
| CN1692964A (zh) | 2005-11-09 |
| GB2412583B (en) | 2007-09-26 |
| GB0407142D0 (en) | 2004-05-05 |
| RU2010102697A (ru) | 2011-08-10 |
| BRPI0501108B1 (pt) | 2015-12-29 |
| US7281544B2 (en) | 2007-10-16 |
| EP1582789A1 (en) | 2005-10-05 |
| US20050217724A1 (en) | 2005-10-06 |
| BRPI0501108A (pt) | 2005-11-01 |
| RU2386463C2 (ru) | 2010-04-20 |
| CN1692969B (zh) | 2011-07-27 |
| GB2412583A (en) | 2005-10-05 |
| ATE489574T1 (de) | 2010-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2005109124A (ru) | Устройства и способы для контроля высвобождения вещества | |
| US5218259A (en) | Coating surrounding a piezoelectric solid state motor stack | |
| CN209461436U (zh) | 结合层结构 | |
| WO2006019805A3 (en) | Composite gas separation modules having a layer of particles with a uniform binder metal distribution | |
| US6943482B2 (en) | Monolithic multilayer actuator in a housing | |
| CN102132432A (zh) | 层叠型压电元件及使用该层叠型压电元件的喷射装置以及燃料喷射系统 | |
| KR20020091150A (ko) | 세라믹 막을 결합하기 위한 결합체 | |
| JPH074218B2 (ja) | 細胞融合装置 | |
| US10637078B2 (en) | Fuel cell | |
| TWI824849B (zh) | 半導體製造裝置用構件 | |
| KR20240023224A (ko) | 반도체 제조 장치용 부재 | |
| WO2024121910A1 (ja) | 半導体製造装置用部材 | |
| KR20230113132A (ko) | 반도체 제조 장치용 부재 | |
| US20230115033A1 (en) | Member for semiconductor manufacturing apparatus | |
| WO2024089762A1 (ja) | ウエハ載置台 | |
| JP7248780B2 (ja) | セラミックヒータ | |
| WO2024023919A1 (ja) | 半導体製造装置用部材 | |
| JP3433957B2 (ja) | 圧電ソリッドステートモータをカプセル化する方法 | |
| CN108291689B (zh) | 一种从压力容器组件中释放流体的方法 | |
| JP2003264983A (ja) | 圧電ソリッドステートモータ | |
| KR20230107114A (ko) | 반도체 제조 장치용 부재 | |
| JP2005317727A (ja) | 静電チャック | |
| CN117967911A (zh) | 防止低温设备结露结冰的装置 | |
| Krstić | Unified model for fracture of brittle solids |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20140330 |