RU2002113168A - Регулятор массового расхода на основе эффекта кориолиса - Google Patents

Регулятор массового расхода на основе эффекта кориолиса

Info

Publication number
RU2002113168A
RU2002113168A RU2002113168/28A RU2002113168A RU2002113168A RU 2002113168 A RU2002113168 A RU 2002113168A RU 2002113168/28 A RU2002113168/28 A RU 2002113168/28A RU 2002113168 A RU2002113168 A RU 2002113168A RU 2002113168 A RU2002113168 A RU 2002113168A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
flow tube
housing
flow
measuring transducer
sensor
Prior art date
Application number
RU2002113168/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2272257C2 (ru
Inventor
Майкл Дж. БАРДЖЕР (US)
Майкл Дж. БАРДЖЕР
Джозеф К. ДИЛЛ (US)
Джозеф К. ДИЛЛ
Джеффри Л. УАЙТЛИ (US)
Джеффри Л. УАЙТЛИ
Тимоти У. СКОТТ (US)
Тимоти У. СКОТТ
Original Assignee
Эмерсон Электрик Ко. (Us)
Эмерсон Электрик Ко.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эмерсон Электрик Ко. (Us), Эмерсон Электрик Ко. filed Critical Эмерсон Электрик Ко. (Us)
Publication of RU2002113168A publication Critical patent/RU2002113168A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2272257C2 publication Critical patent/RU2272257C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/78Direct mass flowmeters
    • G01F1/80Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
    • G01F1/84Coriolis or gyroscopic mass flowmeters
    • G01F1/8409Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/78Direct mass flowmeters
    • G01F1/80Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
    • G01F1/84Coriolis or gyroscopic mass flowmeters
    • G01F1/8404Coriolis or gyroscopic mass flowmeters details of flowmeter manufacturing methods
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/78Direct mass flowmeters
    • G01F1/80Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
    • G01F1/84Coriolis or gyroscopic mass flowmeters
    • G01F1/8409Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details
    • G01F1/8422Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details exciters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/78Direct mass flowmeters
    • G01F1/80Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
    • G01F1/84Coriolis or gyroscopic mass flowmeters
    • G01F1/8409Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details
    • G01F1/8427Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/78Direct mass flowmeters
    • G01F1/80Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
    • G01F1/84Coriolis or gyroscopic mass flowmeters
    • G01F1/8409Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details
    • G01F1/8436Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details signal processing
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/78Direct mass flowmeters
    • G01F1/80Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
    • G01F1/84Coriolis or gyroscopic mass flowmeters
    • G01F1/8409Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details
    • G01F1/844Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details microfluidic or miniaturised flowmeters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/78Direct mass flowmeters
    • G01F1/80Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
    • G01F1/84Coriolis or gyroscopic mass flowmeters
    • G01F1/8409Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details
    • G01F1/844Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details microfluidic or miniaturised flowmeters
    • G01F1/8445Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details microfluidic or miniaturised flowmeters micromachined flowmeters
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/78Direct mass flowmeters
    • G01F1/80Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
    • G01F1/84Coriolis or gyroscopic mass flowmeters
    • G01F1/845Coriolis or gyroscopic mass flowmeters arrangements of measuring means, e.g., of measuring conduits
    • G01F1/8468Coriolis or gyroscopic mass flowmeters arrangements of measuring means, e.g., of measuring conduits vibrating measuring conduits
    • G01F1/8472Coriolis or gyroscopic mass flowmeters arrangements of measuring means, e.g., of measuring conduits vibrating measuring conduits having curved measuring conduits, i.e. whereby the measuring conduits' curved center line lies within a plane
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05DSYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00Control of flow
    • G05D7/06Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means

Claims (20)

1. Емкостный измерительный преобразователь для средства измерения массового расхода, содержащего расходомерную трубку и устройство привода для создания вибрации расходомерной трубки, включающий по меньшей мере одну проводящую пластину, выполненную с возможностью подключения к первому электрическому потенциалу и с возможностью размещения около расходомерной трубки, подключенной ко второму электрическому потенциалу, с зазором между расходомерной трубкой и проводящей пластиной, так что емкость между проводящей пластиной и расходомерной трубкой изменяется вследствие движения проводящей пластины и расходомерной трубки относительно друг друга, когда расходомерная трубка вибрирует.
2. Емкостный измерительный преобразователь по п.1, отличающийся тем, что расходомерная трубка подключена к потенциалу земли.
3. Емкостный измерительный преобразователь по п.1, отличающийся тем, что он содержит по меньшей мере две указанные проводящие пластины, первую и вторую, причем эти первая и вторая пластины лежат в плоскости, касательной по отношению к направлению движения вибрирующей расходомерной трубки.
4. Емкостный измерительный преобразователь по п.3, отличающийся тем, что первая и вторая пластины помещены бок о бок друг с другом так, что между ними сформирован однородный зазор.
5. Емкостный измерительный преобразователь по п.4, отличающийся тем, что первая и вторая пластины находятся под одинаковым потенциалом, а расходомерная трубка - под потенциалом земли.
6. Емкостный измерительный преобразователь по п.5, отличающийся тем, что первая и вторая пластины в целом прямоугольные, а зазор проходит в целом параллельно расходомерной трубке.
7. Емкостный измерительный преобразователь по п.5, отличающийся тем, что первая и вторая пластины в целом треугольные, а зазор проходит под углом относительно расходомерной трубки.
8. Емкостный измерительный преобразователь по п.5, отличающийся тем, что первая и вторая пластины имеют в целом пилообразную форму, и зазор между ними имеет в целом пилообразную форму.
9. Емкостный измерительный преобразователь по п.1, отличающийся тем, что по меньшей мере одна проводящая пластина сформирована на печатной плате.
10. Емкостный измерительный преобразователь по п.9, отличающийся тем, что печатная плата является многослойной и содержит защитный слой и обратный слой, выполненный с возможностью припаивания к блоку датчика.
11. Датчик массового расхода на основе эффекта Кориолиса, содержащий расходомерную трубку, корпус, в котором расположена расходомерная трубка, устройство привода, помещенное вне корпуса для создания вибрации потока, и по меньшей мере один измерительный преобразователь, расположенный относительно расходомерной трубки так, чтобы измерять кручение расходомерной трубки, возникающее вследствие действия силы Кориолиса.
12. Датчик по п.11, отличающийся тем, что указанный по меньшей мере один измерительный преобразователь расположен в указанном корпусе.
13. Датчик по п.11, отличающийся тем, что он дополнительно содержит магнит, присоединенный к расходомерной трубке, а устройство привода содержит электромагнитную катушку.
14. Датчик по п.13, отличающийся тем, что электромагнитная катушка выполнена в виде мощного индуктора.
15. Датчик по п.13, отличающийся тем, что магнит выполнен в виде нередкоземельного магнита.
16. Датчик по п.15, отличающийся тем, что магнит выполнен в виде магнита из кобальта и самария с покрытием никелем.
17. Устройство для измерения массового расхода, содержащее кожух, имеющий первый и второй концы, корпус для пропускания потока, первый уплотняющий элемент, расположенный относительно первого конца кожуха и корпуса для пропускания потока так, что корпус для пропускания потока и первый конец кожуха соединены герметичным образом, узел интерфейса пользователя и второй уплотняющий элемент, расположенный относительно второго конца кожуха и узла интерфейса пользователя так, что узел интерфейса пользователя и второй конец кожуха соединены герметичным образом.
18. Устройство по п.17, отличающееся тем, что узел интерфейса пользователя содержит один из первого и второго узлов интерфейса пользователя.
19. Устройство по п.17, отличающееся тем, что узел интерфейса пользователя соответствует стандарту IP-65/NEMA 4Х.
20. Устройство по п.17, отличающееся тем, что оно содержит корпус датчика, расположенный в указанном кожухе, и расходомерную трубку, расположенную в корпусе датчика, при этом расходомерная трубка обеспечивает первую ступень герметизации текучей среды, корпус датчика обеспечивает вторую ступень герметизации текучей среды, а корпус для пропускания потока и первый конец кожуха, а также узел интерфейса пользователя и второй конец кожуха обеспечивают третью ступень герметизации текучей среды.
RU2002113168/28A 1999-11-01 2000-10-30 Датчик массового расхода на основе эффекта кориолиса RU2272257C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/430,881 1999-11-01
US09/430,881 US6526839B1 (en) 1998-12-08 1999-11-01 Coriolis mass flow controller and capacitive pick off sensor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2002113168A true RU2002113168A (ru) 2004-03-27
RU2272257C2 RU2272257C2 (ru) 2006-03-20

Family

ID=23709469

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2002113168/28A RU2272257C2 (ru) 1999-11-01 2000-10-30 Датчик массового расхода на основе эффекта кориолиса

Country Status (15)

Country Link
US (2) US6526839B1 (ru)
EP (1) EP1226407B1 (ru)
JP (3) JP3904926B2 (ru)
KR (3) KR20070012864A (ru)
CN (1) CN1176352C (ru)
AR (3) AR026329A1 (ru)
AU (1) AU778137B2 (ru)
BR (1) BR0015173A (ru)
CA (3) CA2571653C (ru)
HK (1) HK1051720A1 (ru)
MX (1) MXPA02004348A (ru)
MY (1) MY136531A (ru)
PL (2) PL195922B1 (ru)
RU (1) RU2272257C2 (ru)
WO (1) WO2001036918A2 (ru)

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100350438C (zh) * 2001-02-07 2007-11-21 格伦雷茨家族信托公司 具有电容检测器的控制系统
US6606917B2 (en) * 2001-11-26 2003-08-19 Emerson Electric Co. High purity coriolis mass flow controller
US20030098069A1 (en) 2001-11-26 2003-05-29 Sund Wesley E. High purity fluid delivery system
US7117751B2 (en) * 2004-01-02 2006-10-10 Emerson Electric Co. Coriolis mass flow sensor having optical sensors
JP3812844B2 (ja) * 2004-09-17 2006-08-23 株式会社オーバル 三次モード振動式コリオリ流量計
DE102004057088B3 (de) * 2004-11-25 2006-06-01 Krohne Ag Coriolis-Massendurchflußmeßgerät und Verfahren zur Herstellung eines Meßrohrs für ein Coriolis-Massendurchflußmeßgerät
DE102005017698B4 (de) * 2005-04-07 2007-02-08 Festo Ag & Co. Sensorvorrichtung mit einem Durchflusssensor und einem Schaltausgang
US7392709B2 (en) * 2005-05-16 2008-07-01 Endress + Hauser Flowtec Ag Inline measuring device with a vibration-type measurement pickup
US8781759B2 (en) * 2005-08-18 2014-07-15 Micro Motion, Inc. Meter electronics and methods for processing sensor signals for a multi-phase flow material in a flowmeter
EP2682721B1 (en) * 2005-10-06 2021-03-17 Micro Motion Inc. Magnet assembly
US7325461B2 (en) 2005-12-08 2008-02-05 Endress + Hauser Flowtec Ag Measurement transducer of vibration-type
CN101501457B (zh) * 2006-07-28 2013-06-19 微动公司 三拾取传感器流量计
GB2456937B (en) 2006-10-24 2011-07-13 Bradley Fixtures Corp Capacitive sensing for washroom fixture
JP5086814B2 (ja) * 2008-01-07 2012-11-28 株式会社キーエンス 流量計
US7930115B2 (en) * 2008-10-15 2011-04-19 Honeywell International Inc. Low-power flow meter and related method
CA2744521C (en) * 2008-12-10 2017-02-07 Micro Motion, Inc. Method and apparatus for vibrating a flow tube of a vibrating flow meter
DE102009030904A1 (de) * 2009-06-26 2010-12-30 Krohne Ag Durchflussmessgerät und Verfahren zu dessen Herstellung
US20120197446A1 (en) * 2010-12-01 2012-08-02 Glaudel Stephen P Advanced feed-forward valve-control for a mass flow controller
WO2013119198A1 (en) * 2012-02-06 2013-08-15 Micro Motion, Inc. Vibrating meter with a synthetically wrapped case
SG11201504552QA (en) * 2012-12-17 2015-07-30 Micro Motion Inc Improved case for a vibrating meter
MX363154B (es) * 2013-04-18 2019-03-13 Micro Motion Inc Verificación de un sensor de medidor para un medidor vibratorio.
US10209112B2 (en) * 2014-04-07 2019-02-19 Micro Motion, Inc. Apparatus and method for detecting asymmetric flow in vibrating flowmeters
GB2539504B (en) * 2015-06-19 2019-04-17 Aqua21 Ltd Absorption Sensor for Measuring Substance Concentration
JP6471078B2 (ja) * 2015-10-26 2019-02-13 日立オートモティブシステムズ株式会社 多結晶材表面の加工方法およびそれを用いて加工された多結晶材の接合方法
US11067423B2 (en) 2016-11-30 2021-07-20 Micro Motion, Inc. Temperature compensation of a test tone used in meter verification
JP7216425B2 (ja) * 2017-11-30 2023-02-01 株式会社フジキン 流量制御装置
US11860016B2 (en) * 2018-03-30 2024-01-02 Lam Research Corporation MEMS-based Coriolis mass flow controller
CN108871480B (zh) * 2018-07-04 2021-03-19 韩泽方 动密封铰链管式科里奥利质量流量计
CN110727294A (zh) * 2018-07-17 2020-01-24 北京七星华创流量计有限公司 流体传感器及质量流量控制器
RU187534U1 (ru) * 2018-12-14 2019-03-12 Общество с ограниченной ответственностью "ЭлМетро Групп" Массовый кориолисовый расходомер с узлом контроля наличия разрежения в его корпусе
US20210178507A1 (en) 2019-12-13 2021-06-17 Norsk Titanium As Volumetric plasma gas flow measurement and control system for metal-based wire-plasma arc additive manufacturing applications
DE102019135303B4 (de) * 2019-12-19 2024-03-14 Endress + Hauser Flowtec Ag Messaufnehmer eines Messgerätes zum Erfassen eines Massedurchflusses, einer Viskosität, einer Dichte und/oder einer davon abgeleiteten Größe eines fließfähigen Mediums
US11333538B2 (en) * 2020-04-22 2022-05-17 Saudi Arabian Oil Company Systems and methods for fluid flow measurement with mass flow and electrical permittivity sensors

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4726227A (en) * 1984-10-22 1988-02-23 United Technologies Corporation Angular velocity sensor having low temperature sensitivity
US4747312A (en) * 1986-02-21 1988-05-31 Fischer & Porter Co. Double-loop Coriolis type mass flowmeter
DE3632800A1 (de) 1986-09-26 1988-04-07 Flowtec Ag Nach dem coriolisprinzip arbeitendes massendurchflussmessgeraet
US4911006A (en) * 1986-10-03 1990-03-27 Micro Motion Incorporated Custody transfer meter
GB8809715D0 (en) 1988-04-25 1988-06-02 Pa Consulting Services Fluid mass flow & density sensor
US4876898A (en) * 1988-10-13 1989-10-31 Micro Motion, Inc. High temperature coriolis mass flow rate meter
US5080131A (en) * 1989-09-26 1992-01-14 Lintec Co., Ltd. Mass flow controller
DE4027936A1 (de) 1990-09-04 1992-03-05 Rota Yokogawa Gmbh & Co Kg Massedosierautomat
AU1410692A (en) 1991-02-05 1992-09-07 Donald Reed Cage Improved coriolis mass flow rate meter
US5497665A (en) * 1991-02-05 1996-03-12 Direct Measurement Corporation Coriolis mass flow rate meter having adjustable pressure and density sensitivity
US5448921A (en) 1991-02-05 1995-09-12 Direct Measurement Corporation Coriolis mass flow rate meter
EP0664879B1 (en) 1992-10-16 2000-01-05 Unit Instruments, Inc. Thermal mass flow controller having orthogonal thermal mass flow sensor
FR2698962B1 (fr) 1992-12-07 1995-02-10 Commissariat Energie Atomique Procédé et dispositif de mesure sans contact de la tension et de la vitesse de défilement d'un fil.
GB9404416D0 (en) * 1994-03-08 1994-04-20 Turner Intellect Property Ltd Device for finding concealed studs
IL112218A0 (en) 1995-01-02 1995-03-30 Netzer Yishay A method and apparatus for measuring linear displacements
DE19601349A1 (de) * 1996-01-17 1997-07-24 Danfoss As Durchflußmesser für kleine Mengen
DE19605923C2 (de) 1996-02-17 2001-09-13 Danfoss As Durchflußmesser
ES2140196T3 (es) * 1996-04-27 2000-02-16 Flowtec Ag Captador de caudal masico de coriolis.
US5854430A (en) 1996-05-07 1998-12-29 Endress + Hauser Flowtec Ag Coriolis mass flow sensor
US5987999A (en) * 1998-07-01 1999-11-23 Micro Motion, Inc. Sensitivity enhancing balance bar
US6249752B1 (en) * 1998-07-16 2001-06-19 Micro Motion, Inc. Vibrating conduit parameter sensors, operating methods and computer program productors utilizing real normal modal decomposition
KR100846692B1 (ko) 1998-12-08 2008-07-16 에머슨 일렉트릭 컴파니 코리올리 질량 유동 제어기

Also Published As

Publication number Publication date
KR20020049006A (ko) 2002-06-24
PL200852B1 (pl) 2009-02-27
PL355608A1 (en) 2004-05-04
CA2389433A1 (en) 2001-05-25
JP4522985B2 (ja) 2010-08-11
WO2001036918A3 (en) 2002-03-21
BR0015173A (pt) 2002-06-18
AR054942A2 (es) 2007-07-25
CN1176352C (zh) 2004-11-17
EP1226407A2 (en) 2002-07-31
JP2007041010A (ja) 2007-02-15
CA2389433C (en) 2007-08-14
PL195922B1 (pl) 2007-11-30
AU1442801A (en) 2001-05-30
CA2571655A1 (en) 2001-05-25
MY136531A (en) 2008-10-31
KR100798530B1 (ko) 2008-01-28
KR20070012864A (ko) 2007-01-29
US6526839B1 (en) 2003-03-04
RU2272257C2 (ru) 2006-03-20
CN1415069A (zh) 2003-04-30
WO2001036918A2 (en) 2001-05-25
AR054943A2 (es) 2007-07-25
CA2571653A1 (en) 2001-05-25
CA2571653C (en) 2012-05-22
EP1226407B1 (en) 2017-08-02
JP2007041009A (ja) 2007-02-15
HK1051720A1 (en) 2003-08-15
JP2003527578A (ja) 2003-09-16
US7032462B2 (en) 2006-04-25
AU778137B2 (en) 2004-11-18
US20030140712A1 (en) 2003-07-31
JP3904926B2 (ja) 2007-04-11
AR026329A1 (es) 2003-02-05
KR20070012865A (ko) 2007-01-29
MXPA02004348A (es) 2002-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2002113168A (ru) Регулятор массового расхода на основе эффекта кориолиса
RU2001116081A (ru) Регулятор массового расхода на основе эффекта Кориолиса
CN108616797B (zh) 直驱式激励器以及屏幕发声装置
CN108881523A (zh) 电子显示设备以及电子设备
US9130445B1 (en) Electromechanical transducer with non-circular voice coil
CN206402080U (zh) 线性振动马达
CN205319919U (zh) 振动电机
JP5039650B2 (ja) 流量計
JP2007271615A (ja) 超音波流量測定装置
CN110274641A (zh) 电磁流量计
CN102246006A (zh) 用于评估传感器的电路系统及方法
CN109032257A (zh) 电子显示设备以及电子设备
JP2016019225A (ja) 水晶振動子
CN103023266B (zh) 线性振动器
US11326937B2 (en) Energy harvesting apparatus and methods for detecting a vibratory signal
KR101197671B1 (ko) 진동 발생기
US5256920A (en) Acoustic transducer
JP2003133880A (ja) マイクロエレクトロメカニカルコンポーネント
KR101452737B1 (ko) 리니어 모터
US6272922B1 (en) Fluid-gauging systems
WO2016020835A1 (en) Electromechanical transducer with non-circular voice coil
US5119343A (en) Transducers for acoustic logging tool
CN101272108B (zh) 正方形振子面内复合模态直线超声电机
US2715192A (en) Transducer
CN105181114B (zh) 双悬臂振动传感器