RU2000118774A - Медь(1) органические соединения и способ осаждения медной пленки с их использованием - Google Patents
Медь(1) органические соединения и способ осаждения медной пленки с их использованиемInfo
- Publication number
- RU2000118774A RU2000118774A RU2000118774/04A RU2000118774A RU2000118774A RU 2000118774 A RU2000118774 A RU 2000118774A RU 2000118774/04 A RU2000118774/04 A RU 2000118774/04A RU 2000118774 A RU2000118774 A RU 2000118774A RU 2000118774 A RU2000118774 A RU 2000118774A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- copper
- organic compounds
- depositing
- copper film
- film
- Prior art date
Links
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims 3
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 title claims 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 title 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 2
- 125000004435 hydrogen atoms Chemical class [H]* 0.000 claims 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 2
- 125000004178 (C1-C4) alkyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000004104 aryloxy group Chemical group 0.000 claims 1
- VMQMZMRVKUZKQL-UHFFFAOYSA-N cu+ Chemical compound [Cu+] VMQMZMRVKUZKQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims 1
Claims (2)
1. Медь(I)органическое соединение формулы (I):
в котором R1, R2 и R3 каждый независимо представляют собой C1-8 алкильную, C1-8 алкокси, арильную или арилокси группу,
R4 и R5 каждый независимо представляют собой водород, фтор, CnF2n+1 или CnH2n+1 группу,
n представляет собой целое число в диапазоне от 1 до 6,
R6 представляет собой водород, фтор или C1-4 алкильную группу, и
m равно 1 или 2, если m равно 1, C≡C представляет собой
C≡C и если m равно 2, C≡C представляет собой С= С.
в котором R1, R2 и R3 каждый независимо представляют собой C1-8 алкильную, C1-8 алкокси, арильную или арилокси группу,
R4 и R5 каждый независимо представляют собой водород, фтор, CnF2n+1 или CnH2n+1 группу,
n представляет собой целое число в диапазоне от 1 до 6,
R6 представляет собой водород, фтор или C1-4 алкильную группу, и
m равно 1 или 2, если m равно 1, C≡C представляет собой
C≡C и если m равно 2, C≡C представляет собой С= С.
2. Соединение по п. 1, которое выбирают из соединений следующих формул
3. Способ осаждения медной пленки на подложке, который включает испарение соединения, указанного в п. 1, и введения полученных паров в контакт с подложкой.
3. Способ осаждения медной пленки на подложке, который включает испарение соединения, указанного в п. 1, и введения полученных паров в контакт с подложкой.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1999-13236 | 1999-04-15 | ||
| KR1019990013236A KR100298125B1 (ko) | 1999-04-15 | 1999-04-15 | 구리의 화학 증착에 유용한 유기 구리 전구체 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2181725C2 RU2181725C2 (ru) | 2002-04-27 |
| RU2000118774A true RU2000118774A (ru) | 2002-08-10 |
Family
ID=19580072
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2000118774/04A RU2181725C2 (ru) | 1999-04-15 | 1999-12-07 | Медь(i)органические соединения и способ осаждения медной пленки с их использованием |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1102872A4 (ru) |
| JP (1) | JP2002542397A (ru) |
| KR (1) | KR100298125B1 (ru) |
| CN (1) | CN1194117C (ru) |
| RU (1) | RU2181725C2 (ru) |
| TW (1) | TW524881B (ru) |
| WO (1) | WO2000063461A1 (ru) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| UA78180C2 (ru) * | 1997-10-03 | 2007-03-15 | Меріаль | Кольцевой вирус свиньи, вакцины и диагностические реагенты |
| KR100358045B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2002-10-25 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 구리 금속 배선 형성 방법 |
| KR100338112B1 (ko) * | 1999-12-22 | 2002-05-24 | 박종섭 | 반도체 소자의 구리 금속 배선 형성 방법 |
| KR100347838B1 (ko) * | 2000-03-07 | 2002-08-07 | 학교법인 포항공과대학교 | 액상 유기구리 전구체의 열적 안정성 향상방법 |
| DE10228050A1 (de) * | 2002-06-24 | 2004-01-15 | Merck Patent Gmbh | Dikupfer(I)oxolat-Komplexe als Precursor-Substanzen zur metallischen Kupferabscheidung |
| DE10319454A1 (de) * | 2003-04-29 | 2004-11-18 | Merck Patent Gmbh | Dikupfer(I)oxalat-Komplexe als Precursor zur metallischen Kupferabscheidung |
| WO2006035784A1 (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Ulvac, Inc. | 銅含有膜形成方法 |
| DE102009023952A1 (de) | 2009-06-04 | 2010-12-09 | DüRR DENTAL AG | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Zahnfarben |
| KR101719526B1 (ko) * | 2010-11-17 | 2017-04-04 | 주식회사 유피케미칼 | 다이아자다이엔계 금속 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 박막 형성 방법 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5187300A (en) * | 1991-02-04 | 1993-02-16 | Air Products And Chemicals, Inc. | Volatile precursors for copper CVD |
| US5144049A (en) * | 1991-02-04 | 1992-09-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Volatile liquid precursors for the chemical vapor deposition of copper |
| US5358743A (en) * | 1992-11-24 | 1994-10-25 | University Of New Mexico | Selective and blanket chemical vapor deposition of Cu from (β-diketonate)Cu(L)n by silica surface modification |
| JP3282392B2 (ja) * | 1994-08-10 | 2002-05-13 | 三菱マテリアル株式会社 | 蒸気圧の高い有機金属化学蒸着による銅薄膜形成用有機銅化合物 |
| US5744192A (en) * | 1996-11-08 | 1998-04-28 | Sharp Microelectronics Technology, Inc. | Method of using water vapor to increase the conductivity of cooper desposited with cu(hfac)TMVS |
| US6090963A (en) * | 1998-11-10 | 2000-07-18 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Alkene ligand precursor and synthesis method |
-
1999
- 1999-04-15 KR KR1019990013236A patent/KR100298125B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-12-07 EP EP99959960A patent/EP1102872A4/en not_active Withdrawn
- 1999-12-07 CN CNB998026484A patent/CN1194117C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1999-12-07 WO PCT/KR1999/000743 patent/WO2000063461A1/en active Application Filing
- 1999-12-07 RU RU2000118774/04A patent/RU2181725C2/ru not_active IP Right Cessation
- 1999-12-07 JP JP2000612535A patent/JP2002542397A/ja active Pending
- 1999-12-15 TW TW088122014A patent/TW524881B/zh not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2000182777A5 (ru) | ||
| EP1383187A3 (en) | Nonaqueous electrolytic solution and nonaqueous secondary battery using the same | |
| PT988412E (pt) | Revestimentos de superficies | |
| EP1202373A3 (en) | Nonaqueous electrolytic solution and nonaqueous secondary battery | |
| JP2002151272A5 (ru) | ||
| JP2004002298A5 (ja) | オリゴフルオレニレン化合物及び有機発光素子 | |
| ATE340800T1 (de) | Vorlaeuferverbindungen für chemische dampfphasenabscheidung | |
| KR970015712A (ko) | 유기 전기루미네슨스기기에 사용되는 빛-방출물질 및 빛-방출물질을 적용한 유기 전기루미네슨스 기기 | |
| EP1492173A3 (en) | Light emitting device containing a rare earth complex as luminescent medium | |
| JP2005533341A5 (ru) | ||
| JP2000344691A5 (ru) | ||
| EP1191614A3 (en) | Luminescence device and metal coordination compound therefor | |
| EP1420475A3 (en) | Non-aqueous electrolyte and lithium battery using the same | |
| RU2000118774A (ru) | Медь(1) органические соединения и способ осаждения медной пленки с их использованием | |
| KR930006038A (ko) | 구리 필름을 화학 증착시키는 유기 금속 구리 착물 | |
| EP1072669A3 (en) | Organic electroluminescent device | |
| EP1826196A3 (en) | Vinyl ether compounds | |
| RU94016181A (ru) | Кремнийорганические соединения, образующие клеткоподобную структуру, и способы их получения | |
| KR880004129A (ko) | 유기 금속 화합물 | |
| RU2007123147A (ru) | Композиции, содержащие четырехуглеродные силаны "ласточкин хвост" | |
| JP2003151775A5 (ru) | ||
| KR940011539A (ko) | 베타(β)-디케톤, 이의 제조방법 및 피브이씨(PVC) 안정화제로서의 이의 용도 | |
| CA2529117A1 (en) | Organic electroluminescent devices based on phenyl anthracene derivatives | |
| RU93046499A (ru) | Способ увеличения относительной плотности полиамидов | |
| EP0879841A3 (en) | Silicon compound, method for making the same, and electroluminescent device using the same |