RU1809337C - Способ изготовлени датчика абсолютного давлени - Google Patents

Abstract

Использование: контрольно-измерительна  техника. Сущность: с целью повышени  точности измерени  за смет уменьшени  давлени  остаточных газов в опорной полости датчика при использовании в качестве геттера сплава циркони  и алюмини , активировку геттера провод т после размещени  геттера в капсуле, нанос т на него сплошной слой порошка из сплава алюмини  с никелем, а после откачки опорной-полости датчика обрабатываемого геттер расфокусированным лазерным лучом до разрыхлени  сло  порошка сплава алюмини  с никелем и осуществл ют герметизацию опорной полости датчика. 1 ил.

Description

Изобретение относитс  к контрольно-измерительной технике и может быть использовано при изготовлении и вакууми- ровании датчиков малого абсолютного давлени , обладающих высокими точностными и эксплуатационными характеристиками.

Цель изобретени  - повышение точности измерени  за счет уменьшени  давлени  остаточных газов в опорной полости датчика абсолютного давлени .

Предлагаемое изобретение обеспечит также создание датчиков абсолютного давлени  с малыми диапазонами измерени  (менее 1 мм рт.ст.) и повысит производительность труда при их изготовлении.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что усовершенствуетс  способ изготовлени  датчика абсолютного давлени , включающий размещение геттера в капсуле, установку капсулы в опорной полости датчика, откачку опорной полости датчика, активировку геттера и последующую герметизацию опорной полости датчика.

Отличительным признаком способа изготовлени  датчика абсолютного давлени , включающего размещение геттера в капсуле , установку капсулы в опорной полости датчика, откачку опорной полости датчика, активировку геттера и последующую герметизацию опорной полости датчика,  вл етс  то„ что при использовании в качестве геттера сплава циркони  и алюмини , до установки капсулы в датчик провод т активировку геттера, после чего на него нанос т сплошной слой порошка из сплава алюмини  с никелем, закрепл ют капсулу в датчике, провод т откачку опорной полости датчика и обрабатывают геттер расфокусированным лазерным лучом до разрыхлени  сло  порошка сплава алюмини  с никелем, затем герметизируют опорную полость датчика.

Предлагаемый способ изготовлени  датчика абсолютного давлени  по сн етс  .представленным чертежом и осуществл етс  следующим образом.

Предварительно в геттерную капсулу 1 помещают прессованную таблетку 2 из гетел

00

о ю

ы

Сл)

XI

терного сплава Zr-AI (16 мае. %) с толщиной поверхностного зернистого сло  пор дка 40 мкм. Далее капсулу 1 с таблеткой 2 размещают в камере вакуумной установки, где при температуре 900°С и вакууме 10 мм рт.ст. провод т активировку геттерного состава Zr-AI. Затем на активированный состав Zr-AI провод т формирование дополнительного геттерного сло  на основе порошкообразной композиции AI-Ni. Формирование второго сло  осуществл ют за счет напылени  состава AI-Ni на поверхность таблетки 2. Толщина напыленного сло  3 составл ет пор дка 30 мкм. Далее закрепл ют геттерный узел в опорной полости 4 датчика и устанавливают последний в вакуумном боксе. Откачка воздуха из опорной полости 4 осуществл етс  через ниппельное отверстие 5 в герметизирующей крышке 6. После включени  в работу откач- ной системы и достижени  определенного разр жени  в вакуумном боксе (например, достижение давлени  разр жени  пор дка 10-1 мм рт.ст.) на корпус капсулы 1 подаетс  тепловой импульс, источником которого  вл етс  расфокусированный (под размер проточки 7) лазерный луч. Воздействие луча на капсулу 1 осуществл ют в направлении, обозначенном стрелкой А, в течение 10- 20 сек, обеспечива  нагрев дополнительного сло  3 при этом до температуры 250°С.

Одновременно с откачкой остаточного давлени  из опорной полости 4 из нее также удал ютс  посторонние примеси, которые находились на поверхности геттерной защитной пленки 3. Наличие данных примесей объ сн етс  временным интервалом хранени  геттерного узла (крышки 7 и геттера 2 и слое 3) от момента изготовлени  до момента начала его работы в опорной полости 4.

После окончани  действи  теплового импульса откачное отверстие 5 в герметизирующей крышке б завариваетс , тем самым опорна  полость 4 изолируетс  от воздействи  окружающей среды. Направление сварного луча обозначено на чертеже стрелкой Б. Из-за дополнительного газовыделени  внутри опорной полости 4, вызванного заваркой отверсти  6, давление в полости может несколько возрасти, однако, т.к. геттер находитс  в активном состо нии (данное состо ние обеспечено геттерным составом 2, открытым дл  газопоглощени  за счет активации и последующего разрыхлени  защитного сло  3), он ; компенсирует указанное

дополнительное газовыделение, снижа  ос .таточное давление внутри опорной полости

4 до величины - мм рт.ст. Последнее обсто тельство исключает из процесса измерени  воздействие на чувствительный элемент 7 остаточного давлени , за счет чего в конечном счете повышаетс  точность и надежность измерени  датчика абсолютного давлени .

Предложенный способ изготовлени  датчика абсолютного давлени  обладает следующими технико-экономическими преимуществами:

а) точность измерени  малого абсолютного давлени  улучшаетс  в 1,5-2 раза за счет снижени  на пор док величины остаточного давлени  в опорной полости датчика (если в устройстве-прототипе данна 

величина составл ет 10 мм рт.ст,, то в за вл емом приборе эта величина равна 10 4-10 5ммрт.ст.);

б) значительно снижаетс  врем  герметизации и вакуумировани  опорных полоСТей при изготовлении датчиков (если врем  нагрева сборки дл  активации геттерного узла по способу-прототипу составл ет пор дка 3-5 мин., то по предлагаемому способу данное врем  снижаетс  до 20 сек);

в) существенно расшир етс  диапазон используемых высокоэффективных геттер- ных материалов, температура которых лежит в пределах 700-1000°С.

Claims (1)

1. Формула изобретени 

   Способ изготовлени  датчика абсолютного давлени , содержащий операции размещени  геттера в капсуле, установки капсулы в опорной полости датчика, откачки

   опорной полости датчика, активировки геттера и герметизации опорной полости датчика , отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности измерени  за счет уменьшени  давлени  остаточных газов в

   опорной полости датчика при использовании в качестве геттера сплава циркони  и алюмини , активировку геттера провод т после размещени  геттера в капсуле, нанос т на него сплошной слой порошка из сплава алюмини  с никелем, а после откачки опорной полости датчика обрабатывают геттер расфокусированным лазерным лучом до разрыхлени  сло  порошка сплава алюмини  с никелем и осуществл ют герметизацию опорной полости датчика,