RU1805137C - Способ получени отражающего покрыти - Google Patents
Способ получени отражающего покрытиInfo
- Publication number
- RU1805137C RU1805137C SU904835456A SU4835456A RU1805137C RU 1805137 C RU1805137 C RU 1805137C SU 904835456 A SU904835456 A SU 904835456A SU 4835456 A SU4835456 A SU 4835456A RU 1805137 C RU1805137 C RU 1805137C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- metal
- sublayer
- reflective
- production
- magnesium
- Prior art date
Links
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
Использование: технологи получени высокоотражающих металлических покрытий (П), стойких к оптическому излучению. Сущность изобретени : осаждение отражающего П осуществл ют в установке катодного распылени , снабженной чейками Пеннинга. На подложки, охлаждаемые жидким азотом, последовательно нанос т подслой магни толщиной 1,5 ±0,1 нм и металл отражающего П. Способ обеспечивает повышение лучевой стойкости П при предельном дл металлических пленок коэффициенте отражени . 1 табл.
Description
i Изобретение относитс к технологии получени металлических покрытий и может использовано дл нанесени адгези- оннЬ-прочных, высокоотражающих покрытий; стойких к оптическому излучению.
Целью изобретени вл етс повышение лучевой стойкости отражающего метал- лич|еского покрыти на прозрачной подложке.
(Пример. Осаждение отражающего покЬыти осуществл ют методом катодного расрылени с использованием чейки Пен- .
.Подложки из стекла КУ-1 помещают в вакуумную камеру, которую откачивают и обе гаживают с помощью термического нагрета . После достижени давлени в камере (6,6& - 6б,5) Па включают систему охлаж- с использованием жидкого азота. ПодИожки при этом наход тс при температур жидкого азота. Затем включаетс подача инертного газа (криптона). По достижении в кайере давлени (2,66 - 7,98). 10 Па после- довйтельно подают электропитание (напр - ность импульса t с. Зона облучени
жение 3 - 5 кВ) на две независимые секции дл катодного распылени магни и меди (или серебра) и осаждают последовательно подслой магни толщиной 1,5 нм и основной слой меди (или серебра) толщиной 0,2 .- 15 мкм.
Перемещение кассеты с подложками от секции к секции производ т с помощью механичёского привода. Толщину подсло и металлического покрыти регулируют no времени распылени материала.
Экспериментально было установлено, что Мд образует максимально прочные св зи на границе раздела подложка (кварц) - отражающее покрытие при толщине 1,5 ± 0,1 нм.
Способ нанесени подсло позвол ет получить сплошную пленку даже при толщи не моноатомного сло и получить плотно упакованный аморфный материал.
Полученные образцы были подвергнуты лазерному облучению со стороны подложки . Длина волны Я 1,055 мкм. длитель j
ность импульса t с. Зона облучени
жение 3 - 5 кВ) на две независимые секции дл катодного распылени магни и меди (или серебра) и осаждают последовательно подслой магни толщиной 1,5 нм и основной слой меди (или серебра) толщиной 0,2 .- 15 мкм. ;
Перемещение кассеты с подложками от . секции к секции производ т с помощью ме ; ханичёского привода. Толщину подсло и металлического покрыти регулируют no ; времени распылени материала.
Экспериментально было установлено, : что Мд образует максимально прочные св зи на границе раздела подложка (кварц) - отражающее покрытие при толщине 1,5 ± 0,1 нм.
Способ нанесени подсло позвол ет получить сплошную пленку даже при толщине моноатомного сло и получить плотно упакованный аморфный материал.
Полученные образцы были подвергнуты лазерному облучению со стороны подложки . Длина волны Я 1,055 мкм. длитель j
ел С
00
о ел
оэ VI
ограничивалось диафрагмой площадью S. Величины энергии лазерного излучени EI, Е2. отраженного соответственно от входной (ненапыленной) и напыленной граней образца , измер ли калориметрами типа ИМО- 2Н.
Коэффициент отражени R рассчитывали по формуле:
,,6
ИЛучевую стойкость W определ ли по формуле:
W 29,6
Einp
, Дж/см
где Einp - значение EL при котором наблюдаетс разрушение покрыти .
Результаты испытаний образцов приведены в таблице.
Таким образом, отражающее металлическое покрытие с подслоем, изготовленное согласно изобретению, отличаетс высокой адгезией, предельным дл металлических
пленок коэффициентом отражени и повышенной лучевой стойкостью, что значительно улучшает технические характеристики изделий (зеркала, призмы), увеличивает ресурс их работы.
Claims (1)
- Формула из обретениСпособ получени отражающего покрыти , включающий осаждение в вакууме металла покрыти на прозрачную подложку методом катодного распылени , о т. л и ч ающийс тем/что, с целью повышени лучевой стойкости покрыти , перед осаждением металла покрыти на подложку нанос т подслой магни толщиной 1,5 ± 0,1 нм, причем нанесение подсло осуществл ютметодом катодного распылени в чейке Пеннинга.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU904835456A RU1805137C (ru) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | Способ получени отражающего покрыти |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU904835456A RU1805137C (ru) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | Способ получени отражающего покрыти |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU1805137C true RU1805137C (ru) | 1993-03-30 |
Family
ID=21518844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU904835456A RU1805137C (ru) | 1990-06-07 | 1990-06-07 | Способ получени отражающего покрыти |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU1805137C (ru) |
-
1990
- 1990-06-07 RU SU904835456A patent/RU1805137C/ru active
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Панов В. А. Справочник конструктора оп-гико-механических приборов. Л.: МашиносУроение, 1980, с. 541 - 547, * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4322276A (en) | Method for producing an inhomogeneous film for selective reflection/transmission of solar radiation | |
| US6210542B1 (en) | Process for producing thin film, thin film and optical instrument including the same | |
| JP2003500783A (ja) | ハイブリッドディスクの製造方法およびハイブリッドディスク | |
| NL8903147A (nl) | Bekleed glasmateriaal en werkwijze voor het bekleden ervan. | |
| EP1669992B1 (en) | Production process of optical information recording medium | |
| JPH08510009A (ja) | 接着促進層を有するプラスチック−金属積層体フィルム | |
| JPH0381121B2 (ru) | ||
| Thornton et al. | Thermal stability studies of sputter-deposited multilayer selective absorber coatings | |
| US4172156A (en) | Method of depositing a reflection reducing coating on substrates of organic material | |
| JP3558301B2 (ja) | 高耐食性Ａｇ−Ｍｇ合金の薄膜 | |
| RU1805137C (ru) | Способ получени отражающего покрыти | |
| JP2838525B2 (ja) | 反射鏡 | |
| JP2889880B2 (ja) | 積層体、積層体に使用する化合物および積層体を備えた光情報キャリヤ | |
| JP2002339084A (ja) | 金属膜および金属膜被覆部材 | |
| JPH0320457A (ja) | アルミナ被覆Ａｌ・Ａｌ合金部材の製造方法 | |
| EP0646660B1 (en) | Production of carriers for surface plasmon resonance | |
| EP0647727B1 (en) | Production of carriers for surface plasmon resonance | |
| JP2000081505A (ja) | 反射鏡及び反射鏡の製造方法 | |
| US6262847B1 (en) | Optical element, method for producing optical element, and optical system having the optical element | |
| EP0646659B1 (en) | Production of carriers for surface plasmon resonance | |
| US5009761A (en) | Method of producing an optical component, and components formed thereby | |
| SU1390205A1 (ru) | Способ получени отражающего покрыти | |
| US5955153A (en) | Production of carriers for surface plasmon resonance | |
| RU1793406C (ru) | Способ нанесени просветл ющего покрыти | |
| WO1984002875A1 (en) | A method of producing an optical component, and components formed thereby |