PL117388B1 - Thyristor with amplifying gate equipped with boosting gate for switch-offjj ventil'nojj skhemojj,sposobstvujuhhejj wykljucheniju - Google Patents

Thyristor with amplifying gate equipped with boosting gate for switch-offjj ventil'nojj skhemojj,sposobstvujuhhejj wykljucheniju Download PDF

Info

Publication number
PL117388B1
PL117388B1 PL1976189905A PL18990576A PL117388B1 PL 117388 B1 PL117388 B1 PL 117388B1 PL 1976189905 A PL1976189905 A PL 1976189905A PL 18990576 A PL18990576 A PL 18990576A PL 117388 B1 PL117388 B1 PL 117388B1
Authority
PL
Poland
Prior art keywords
cathode
gate
thyristor
electrode
anode
Prior art date
Application number
PL1976189905A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Westinghouse Electric Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Westinghouse Electric Corporation filed Critical Westinghouse Electric Corporation
Publication of PL117388B1 publication Critical patent/PL117388B1/pl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D64/00Electrodes of devices having potential barriers
    • H10D64/20Electrodes characterised by their shapes, relative sizes or dispositions 
    • H10D64/27Electrodes not carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched, e.g. gates
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D18/00Thyristors
    • H10D18/60Gate-turn-off devices 
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D62/00Semiconductor bodies, or regions thereof, of devices having potential barriers
    • H10D62/10Shapes, relative sizes or dispositions of the regions of the semiconductor bodies; Shapes of the semiconductor bodies
    • H10D62/102Constructional design considerations for preventing surface leakage or controlling electric field concentration
    • H10D62/103Constructional design considerations for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse-biased devices
    • H10D62/104Constructional design considerations for preventing surface leakage or controlling electric field concentration for increasing or controlling the breakdown voltage of reverse-biased devices having particular shapes of the bodies at or near reverse-biased junctions, e.g. having bevels or moats
    • H10W42/00
    • H10W76/138
    • H10W90/00
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/30Technical effects
    • H01L2924/301Electrical effects
    • H01L2924/3011Impedance

Landscapes

  • Thyristors (AREA)

Description

Przedmiotem wynalazku jest tyrystor z bramka wzmacniajaca wyposazony w bramke wspomaga¬ jaca wylaczanie. ¦ Wynalazek dotyczy przyrzadów pólprzewodniko¬ wych, a w szczególnosci tyrystorów z bramka wzmacniajaca majacych mozliwosci bramkowego wspomagania wylaczania. Glównym ograniczeniem tyrystorów mocy byla wartosc dl/dt tzn. szybkosc wzrostu pradu — czyli wlaczanie jako funkcja czasu. Trudnosc stanowi fakt, ze tylko mala czesc przyrzadu odpowiada na sygnal sterujacy i wstep¬ nie wchodzi w stan przewodzenia.Dzialanie przyrzadu jest zalezne od dyfuzji nos¬ ników wlaczajacych pozostale aktywne obszary, która wymaga znacznego czasu. Poczatkowo, w stanie wlaczania, napiecie anoda-katoda spada na¬ tychmiast do okolo 10% wartosci napiecia w sta¬ nie zablokowanym i prad plynie tylko przez te czesci przyrzadu, które sa w stanie przewodzenia, przez to osiaga bardzo duze gestosci i powoduje lokalne nagrzewanie oraz obniza jakosc przyrzadu.Aby uniknac takich efektów oraz mozliwego uszkodzenia tyrystora, typowy zewnetrzny obwód zawiera element indukcyjny ograniczajacy wzrost pradu przy przelaczaniu tyrystora, co jednak po¬ woduje straty mocy i ogólnie ogranicza mozliwosci obwodu.Tyrystory z bramka wzmacniajaca zostaly opra¬ cowane dla uzyskania wiekszej wartosci dl/dt oraz dla zredukowania wymagan na wytrzymalosc pradowa elementów obwodu bramki. Pomocniczy lub pilotujacy tyrystor o ksztalcie pierscieniowym, umieszczony najlepiej centralnie wzgledem glów¬ nego tyrystora, znajduje sie w tej samej plytce 5 pólprzewodnika. Tyrystor pilotujacy i tyrystor glówny maja wspólne obszary anoda-emiter, ano- da-baza i katoda-baza, a obszary katoda-emiter tyrystorów pilotujacego i glównego sasiaduja wzdluz tej samej glównej powierzchni plytki pól- 10 przewodnika. Elektroda bramki j4st umieszczona najlepiej w srodku tyrystora pilotujacego po prze¬ ciwnej stronie wzgledem tyrystora glównego, a elektroda ladujaca lezy na glównej powierzchni plytki pólprzewodnika, po obu stronach zlacza 15 p-n miedzy obszarami katody-emitera J katody- -bazy tyrystora pilotujacego.Tego typu tyrystory moga byc wykorzystywane do szybkiego przelaczania duzych mocy bez za¬ uwazalnych strat rmocy. Konstrukcja ich zapewniai 20 zwiejkszenie wartosci dv/dt przez przewodzenie pradu anodowego bez potrzeby polaryzowania zla¬ cza katodowego w (kierunku przewodzenia oraz przez wytwarzanie bocznego przeplywu pradu, który szybciej polaryzuje zlacze katodowe w kie^ 25 runku przewodzenia.Tyrystory znane sa równiez z dlugich czasów wylaczania, to znaczy czasów potrzebnych do usta¬ lenia wysokiej impedancji tyrystora, czyli stanu zablokowanego, przy przelaczaniu ze stanu prze- 30 wodzenia, o niskiej impedancji. W -prostych struk- 117 3883 turach tyrystorowych powrót do stanu zablokowa¬ nego moze nastapic tylko przez redukcje pradu anoda-katoda do wartosci mniejszej od pradu pod¬ trzymania, przez taki okres czasu, który umozliwi powrót do stanu normalnego warstwy zubozonej w centrum zlacza hloteujaco-przewodzacego, gdy przylozone jest napiecie w kierunku przewodze¬ nia. W ten sposób czas wylaczania zalezy bezpo¬ srednio od czasu dyfuzji nosników — tak dziur jak i elektronów — przez obszary bazowe i od czasów zycia nosników wewnatrz tych obszarów.Tam, gdzie istniala potrzeba osiagniecia krótkie¬ go czasu wylaczania, stosowano dzielona strukture elektrody bramki, obszaru katody-emitera i elek¬ trody katody. Ujemny sygnal sterujacy przykla¬ dany byl do elektrody lub elektrod bramki, o strukturze dzielonej, dla spowodowania przeply¬ wu pradu od katody oraz wstecznej polaryzacji zlacza katodowego pomiedzy obszarami katody- -bazy i katody-emitera. W ten sposób gestosc pra¬ dów w przyrzadzie byla zmniejszana po gwaltow¬ nym spadku do zera pradu obciazenia, w celu unikniecia ponownego wlaczenia przyrzadu przez nagle, ponowne dolaczenie napiecia obciazenia, na przyklad przy duzych czestotliwosciach pr^.cy, 10 do 20 kHz albo tez stan zablokowania o duzej impedancji mógl zostac ponownie wytworzony w tyrystorze, przy ciaglym przeplywie pradu obcia¬ zenia, w warunkach niskiej czestotliwosci lub pra¬ cy stalopradowej. Tyrystory sterowane w pierwszy sposób sa ogólnie zwane tyrystorami z pomocnicza bramka ' wylaczajaca albo GATT, a tyrystory ste¬ rowane w drugi ze sposobów nazywane sa zazwy¬ czaj zaworami sterowanymi bramka albo GCS.Szybko przelaczajace tyrystory mocy sterowane w oba z podanych sposobów potrzebuja zarówno bramki wzmacniajacej ' dla szybkiego wlaczania tyrystora bez duzych strat mocy, jak i bramki po¬ mocniczej dla szybkiego i bezstratnego wylacza¬ nia. Znane konwencjonalne tyrystory z bramka wzmacniajaca nie moga zapewnic wystarczajaco szybkiego wlaczania jak i wylaczania.W tyrystorach z bramkami wzmacniajacymi dla ich wlaczania niemozliwe jest skuteczne przepro¬ wadzanie wylaczania wspomaganego bramka bez wykorzystania oddzielonych bramek dla wlaczania i wylaczania. Obecnie znane bramki wzmacniajace charakteryzuja sie wysoka rezystancja skrosna (np. 10 do 25Q) w kierunku, w którym prad musi plynac w stanie odciecia. Prad wylaczania musi miec polaryzacje przeciwna wzgledem pradu bram¬ ki przy wlaczaniu, a zlacze katodowe miedzy ob¬ szarami katoda-emiter i katoda-baza tyrystora pi¬ lotujacego spolaryzowane . jest zaporowo. Prad musi wiec przeplywac poprzez obszar katoda-baza pod obszarem katoda-emiter, aby dotrzec do elek¬ trody bramki. Wypadkowa, duza rezystancja bar¬ dzo zmniejsza efektywnosc pradu wylaczania bramki. Ponadto w przyrzadzie wystapic moga zaklócenia spowodowana niejednorodnoscia zjawis¬ ka lawinowego w zlaczu katodowym miedzy ob¬ szarami katoda-emiter i katoda-baza tyrystora pi¬ lotujacego.Stosownie do tego korzysta sie z drugiej od¬ dzielnej bramki wylaczajacej, która bocznikuje 388 4 prad bramki pomocniczej obejscia tyrystora pilo- tujacegao. Dioda jest uzyta do utworzenia nisko- omowego przejscia przez druga bramke, omijaja¬ cego tyrystor pilotujacy w przypadku wylaczania. 5 a z drugiej strony, alby uchronic prad bramki przed ominieciem tyrystora pilotujacego w przy¬ padku wlaczania. Dioda jest zazwyczaj wtopiona w elektrode ladunkowa, co zapewnia dzialanie tej elektrody na przemian z bramka wylaczajaca, 10 Wtopienie diody w elektrode ladunkowa uwaza sie za konieczne dla jej wlasciwego usytuowania oraz dla zapewnienia niskorezystancyjnego przej¬ scia przy wylaczaniu. Dlatego trzeba bylo przed¬ siewziac dodatkowe czynnosci zwiazane z wytwo- 15 rzeniem tych specjalnych tyrystorów o krótkich czasach wlaczania i wylaczania, a nadto dla tych przyrzadów wymagane byly specjalne zestawy do montazu i zamykania w obudowie.Wedlug wynalazku tyrystor z bramka wzmac- 20 niajaca, wyposazony w bramke wspomagajaca wy¬ laczanie, zawiera plytke pólprzewodnikowa z po¬ lozonymi naprzeciw siebie, glównymi powierzch¬ niami pierwsza i druga. Tyrystor obejmuje glówne obszary katody-emitera, katcdy-bazy, anody-bazy 25 i ancdy-emitera oraz pilotujacy obtszar katody- -emitera. Elektrody katody i anody sa przymoco¬ wane dla utworzenia kontaktu omowego odpo¬ wiednio z glównym obszarem katody-emitera i obszarem anody-emitera. Elektroda bramki jest 30 przymocowana dla utworzenia kontaktu omowego z obszarem katody-bazy w sasiedztwie ale cdda- lonym od pilotujacego obszaru katody-emitera i od glównego obszaru -katody-emitera.Elektroda ladunkowa jest przymocowana na 35 pierwszej, glównej powierzchni i jest umieszczona w sasiedztwie elektrod bramki i katody dla wy¬ tworzenia kontaktu omowego z pilotujacym obsza¬ rem katody-emitera i obszarem katody-ibazy, po¬ miedzy glównym obszarem katody-emitera a pilo- 40 tujacym obszarem katody-emitera. Zestaw obudo¬ wujacy jest przystosowany do wmontowania ty¬ rystora z bramka wzmacniajaca. Wedlug wynalaz¬ ku zestaw obudowujacy zawiera zespól lokalizu¬ jacy dla usytuowania i zamocowania kontaktu 45 bramki, tworzacego kontakt omowy z elektroda bramki i przystosowanego do usytuowania i za¬ mocowania diody wspólpracujacej z elektroda bramki dla wytworzenia kontaktu omowego z kon¬ taktem bramki zespolu lokalizujacego i elektroda 90 ladunkowa tyrystora, oraz diode uformowana w drugiej plytce pólprzewodnikowej, której domiesz¬ kowane obszary katody i anody tworza miedzy soba zlacze p-n i przylegaja odpowiednio do prze¬ ciwleglych, glównych powierzchni drugiej plytki 55 pólprzewodnika. Ta dioda jest przymocowana do zespolu lokalizujacego w zestawie obudowujacym w okreslonym polozeniu wzgledem kontaktu bram¬ ki. Obszar katody tej diody tworzy kontakt omowy z kontaktem bramki zestawu obudowujacego, ob- 60 szar anody tworzy kontakt omowy z elektroda anody zamocowana na glównej powierzchni dru¬ giej plytki pólprzewodnikowej i przystosowana do tworzenia kontaktu omowego z elektroda ladun¬ kowa tyrystora. gg Przedmiot wynalazku jest uwidoczniony w przy-5 kladzie wykonania na rysunku, na którym fig. 1 przedstawia znany tyrystor z bramka wzmacnia¬ jaca, wyposazony w bramke wspomagajaca wy¬ laczanie, w przekroju poprzecznym i w widoku z przodu, fig. 2 — tyrystor z bramka wzmacniajaca, wyposazony w bramka wspomagajaca wylaczanie, wedlug wynalazku, w przekroju poprzecznym i w widoku z przodu i fig. 3 — powiekszony fragment fig. 2.Przedstawiony na fig. 1 tyrystor obejmuje tyry^ stor pilotujacy 2 o ksztalcie pierscieniowym, umie¬ szczony centralnie wzgledem glównego tyrystora 1, przy czym oba tyrystory wykonane sa w tej sa¬ mej plytce pólprzewodnikowej.Oiba tyrystory maja wspólne obszary anoda- -emiter 3, anoda-foaza 4 i katoda-baza 5, a obszary katoda-emiter 6 i 7 tyrystorów sasiaduja ze soba wzdluz tej samej glównej powierzchni plytki pól¬ przewodnikowej. Elektroda bramki 8 umieszczona jest w srodku pierscienia tyrystora pilotujacego 2.Na zlacze p-n miedzy obszarami katoda-emiter 6 i katoda-baza 5 tyrystora pilotujacego na glówna powierzchnie plytki pólprzewodnikowej nalozona jest elektroda ladunkowa 9* Tyrystor pilotujacy 2 wlaczany jest przez sy¬ gnal sterujacy przylozony do bramki 8, który wplywa do tyrystora, jak to pokazuja strzalki 19, polaryzujace w kierunku przewodzenia zlacze ka¬ todowe miedzy obszarami katoda-emiter 5 i kato¬ da-baza 6 oraz wlaczajac tyrystor 2 od strony we¬ wnetrznej krawedzi katcdy-emitera, gdzie wstrzy¬ kiwany jest prad bramki. Prad anodowy, jak po¬ kazano strzalka 11, tyrystora pilotujacego 2 wy¬ korzystywany jest jako prad bramki przy wla¬ czaniu tyrystora glównego 1, Prad ten przeplywa przez elektrode ladujaca 9 i obszar katoda-baza 5 do boczników katodowych 12 wzdluz wewnetrznej krawedzi obszaru katoda-emiter 7 glównego tyry¬ stora 1, jak wskazuja strzalki 13. Zasadnicza czesc glównego tyrystora 1, zwlaszcza jesli jego struk¬ tura jest wewnetrznie dzielona, zostaje w ten spo¬ sób wstepnie przelaczona do stanu przewodzenia.Z elektroda ladunkowa 9 stopiona, jest dioda 14.Zgodnie-z fig. 2 i 3 tyrystor z bramka wzmac¬ niajaca wyposazony w bramke wspomagajaca wylaczanie sklada sie z tyrystora ze wzmacnia¬ jaca bramka 20, zestawu obudowujacego 21 przy¬ stosowanego do umieszczenia tyrystora 20 i diody 22. Zestaw obudowujacy 21 zawiera zespól loka¬ lizujacy 23, do którego przymocowana jest dioda 22 tworzaca kontakt omowy z tyrystorem 20.Tyrystor 20 jest wprowadzony w pierwsza plyt¬ ke pólprzewodnikowa 24 o pierwszej i drugiej glównych powierzchniach 25 i 26. Plytka pólprze¬ wodnikowa 24 jest krazkiem z monokrystalicznego krzemu o grubosci okolo 0,2 do 0,5 mm.Tyrystor z bramka wzmacniajaca 20 ma pier¬ wszy 27, drugi 28, trzeci 29 i czwarty 30 obszary domieszkowe o przemiennym typie przewodnosci rozmieszczone w plytce 24 od pierwszej glównej powierzchni 25 do drugiej 26. Zlacza p-n katodo¬ we 31, blokujace 32 i anodowe 33 sa wiec utwo¬ rzone miedzy obszarami odpowiednio 27 i 28, 28 i 29 oraz 29 i 30. W ten sposób uformowany zo¬ staje glówny tyrystor 34. 388 6 Obszary domieszkowe 27 i 30 przylegaja odpo¬ wiednio do pierwszej 25 i drugiej 26 powierzchni * stanowiac obszary odpowiednio katoda-emiter i anoda-emiter glównego tyrystora 34. Obszary do- 5 mleszkowane 28 i 29 znajduja sie wewnatrz plytki 24 przylegajac do glównego obszaru katody-emi- tera i anody-emitera, tworzac obszary odpowiednio katody-bazy i anody-bazy tyrystora 34. Obszar do¬ mieszkowany 28 przylega takze do pierwszej, glów- 10 nej powierzchni 25 centralnie i zewnetrznie wokól obszaru katody-emitera tyrystora glównego 34, a takze do obszaru kaiody-emitera najlepiej w spo¬ sób nieciagly, dla u/tworzenia boczników katodo¬ wych (nie pokazane). 15 Tyrystor z bramka wzmacniajaca 20 obejmuje równiez piaty obszar domieszkowany 35 przylega¬ jacy do pierwszej glównej powierzchni 25, umie¬ szczony w sasiedztwie pierwszego obszaru domie¬ szkowanego 27 o przeciwnym typie przewodnosci 20 niz drugi obszar domieszkowany 28. Zlacze p-n 36 jest wiec utworzone pomiedzy drugim obszarem domieszkowanym 28 i piatym obszarem domiesz¬ kowanym 35. W ten sposób z obszarów katody-ba¬ zy, anody-bazy i anody-emitera, wspólnych z glów- M nym tyrystorem 34, uformowany zostaje tyrystor pilotujacy 37, Zazwyczaj opisane wyzej obszary domieszko¬ wane wytwarzane sa w plytce pólprzewodnika 24 standardowa technika dyfuzji. Mozna takze je uzyskac w procesie wzrostu epitaksjalnego lufo kombinujac obie te metody. Po wytworzeniu w plytce pólprzewodnikowej 24 obszarów domieszko¬ wanych, plytka ta zostaje umieszczona na elek¬ trodzie anody 38, przy czym druga glówna po¬ wierzchnia 26 plytki styka sie z glówna po¬ wierzchnia elektrody. Zazwyczaj elektroda anody 38 wykonana jest z molibdenu lub wolframu, ma ksztalt kolowy, jest co najmniej tak duza jak plytka pólprzewodnika 24 i ma 1,3 do 2 mm gru¬ bosci. Elektroda anody 38 jest wtopiona w druga glówna powierzchnie 26 plytki pólprzewodnika 24 przez podgrzanie dokladnie zlaczonych elektrody 38 i plytki 24 w obojetnej atmosferze np. w argo¬ nie, do temperatury okolo 680°C. W ten sposób elektroda 38 stanowi pozadany niskoomowy* kon¬ takt z obszarem anody-emitera na calej drugiej . powierzchni 26.Tyrystor z bramka wzmacniajaca 20 zawiera 50 równiez elektrode katody 39, elektrode bramki 40 i elektrode ladunkowa 41. Elektroda katody 39 przytwierdzona jest na pierwszej glównej po¬ wierzchni 25 dajac pozadany niskoomowy kontakt z obszarem katody-emitera tyrystora glównego 34, 55 w postaci pierwszego obszaru domieszkowanego 27.Elektroda 39 jest korzystnie elektroda wymodelo¬ wana w okreslony wzór, dla umozliwienia uksztal¬ towania elektrody ladujacej 41 w taki sposób, aby wnikala w obszary hiepokryte elektroda katody. 60 Znana tego rodzaju konstrukcje okresla sie mia¬ nem „platek sniegu". Elektroda katody 39 zapew¬ nia równiez kontakt omowy z obszarem katody- -bazy w postaci drugiego obszaru domieszkowa¬ nego 28, przy bocznikach katodowych 28A oraz 65 przy zewnetrznych obrzezach obszaru katody-emi-117 388 7 8 tera, co nie zostalo pokazane, dla zapewnienia zdolnosci szybkiego wlaczania.Elektroda bramki 40 jest przymocowana na pierwszej glównej powierzchni 25 dla zapewnienia korzystnie niiskoomowego kontaktu z obszarem katody-bazy 28 i umieszczona jest w sasiedztwie obszaru katody-emitera 35 po przeciwnej stronie niz glówny obszar katody-emitera 27. Elektroda ladujaca 41 przymocowana jest do pierwszej glów¬ nej powierzchni 25 i umieszczona w sasiedztwie elektrod katody i anody 39 i 40 aby zapewnic mo¬ zliwe niskoomowy kontakt z obszarem pilotujacym katody-emitera 35 i obszarem katody-bazy 28 po¬ miedzy obszarami katody-emitera zasadniczym i pilotujacym 27 i 35. Elektroda ladujaca 41 jest struktura zlozona, z promieniscie rozchodzacymi sie czesciami zachodzacymi na obszar katody-emi¬ tera 27 i wchodzacymi w przerwy elektrody ka¬ tody 39. Promieniscie rozchodzace sie czesci tworza niskoomowe kontakty z obszarem katody-bazy 28 przylegajacym do obszaru glównej katody-emitera 27. Katoda 39, bramka 40 i elektroda ladujaca 41 moga byc wykonane z dowolnego odpowiedniego metalu, na przyklad z aluminium, zapewniajacego niskoomowy kontakt z plytka pólprzewodnika 24.Najlepiej, gdy daje sie on — tak jak aluminium — rozpylac katodowo lub osadzac z gazu na plytce pólprzewodnika. Najlepiej elektrody 39, 40 i 41 rozpylac katodowo lub osadzac z gazu do grubosci typowo okolo 5 um do 10 ^m. Elektrody 39, 40 i 41 sa .formowane przez ich nalozenie na calej po¬ wierzchni, a nastepnie selektywne usuwanie war¬ stwy napylonej w standardowych procesach foto¬ litograficznego maskowania i wytrawiania. Ufor¬ mowane w ten sposób elektrody 39, 40 i 41 tworza niskoomowe kontakty opisane powyzej, jednakze w pewnych rozwiazaniach moze byc korzystne spiekanie, dla osiagniecia jeszcze nizszej rezystan¬ cji kontaktu.Tyrystor z bramka wzmacniajaca 20 jest za¬ zwyczaj wykanczany przez docieranie w znany sposób bocznych powierzchni 42 plytki pólprze¬ wodnika 24 by byly one skosne, dla uksztaltowa¬ nia pola elektrycznego w tyrystorze, i trawiony obrotowo dla zredukowania efektu uplywu kra¬ wedziowego i ewentualnie lokalnych uszkodzen powierzchniowych. Ukosne boczne powierzchnie 42 sa nastepnie .pokrywane odpowiednia powloka pa¬ sywujaca 43. Materialem szczególnie uzytecznym dla tego zastosowania jest alizaryna polaczona z krzemem lub zywica epoksydowa. Powloka pasy- wujaca 43 znacznie redukuje wplywy atmosferycz¬ ne na plytke pólprzewodnika 24 i, co za tym idzie, na tyrystor 20.Kompletny tyrystor z bramka wzmacniajaca 20 jest umieszczony w zestawie obudowujacym 21.Zestaw 21 sklada sie z dolnego zestyku mocujacego 44, na przyklad z miedzi pokrytej niklem, z do¬ kladnie plaska górna powierzchnia 45 wspólpracu¬ jaca z elektroda anody 38. Zestyk mocujacy ma równiez na obrzezu kolnierz 46 przymocowany na przyklad przez zgrzewanie lub lutowanie, który wspólpracuje z ceramicznym elementem rurowym 47 stanowiacym zewnetrzne zespolu 21. Do ele¬ mentu rurowego przymocowany jest kolnierz 48f typowo z miedzi, wspólpracujacy z górnym zesty¬ kiem mocujacym 69 zestawu 21, jak opisano po¬ nizej.Tyrystor z bramka wzmacniajaca 20 jest umie- 5 szczony posrodku i utrzymywany w tej pozycji na dolnym zestyku mocujacym 44 przez cylin¬ dryczny odstepnik 50, który jest montowany na cylindrycznych powierzchniach dolnego zestyku mocujacego 44 (jak pokazano) lub naprzeciw ru¬ rowego elementu ceramicznego 47 (nie pokazano).Odstepnik 50 wykonany jest zazwyczaj z poli- tetrafluoroetylenu lub innych materialów izola¬ cyjnych o odpowiedniej sprezystosci i odpornosci na wstrzasy.Dioda 22, przymocowana do zespolu lokalizujace¬ go 23 przez zgrzewanie lub lutowanie, wykonana jest w drugiej plytce pólprzewodnikowej 51, ty¬ powo z monokrysztalu krzemu, o dwóch, polozo¬ nych naprzeciw siebie, glównych powierzchniach 52 i 53. Obszary domieszkowane katody i anody 54 i 55 o przeciwnych typach przewodnosci przy¬ legaja do pierwszej i drugiej glównej powierzchni 52 i 53 i wnikaja w plytke 51 tworzac miedzy soba zlacze p-n 56. Obszary katody i anody 54 i 55 po¬ winny byc wykoname w standardowym procesie dy¬ fuzyjnym. Elektrody katody 57 i anody 58, najle¬ piej aluminiowe, sa przymocowane do pierwszej 52 i drugiej 53 glównych powierzchni plytki 51, by zapewnic niskoomowy kontakt z wlasciwymi obszarami domieszkowanymi katody 54 i anody 55..Zespól lokalizujacy 23 jest cylindrycznym ele¬ mentem z metalu, na przyklad molibdenu lub wolframu, jesli to mozliwe pokrytym zlotem lub czyms podobnym zapobiegajacym utlenianiu. Ze¬ spól 23 ma wneke 59 rozciagajaca sie od jego obrzeza do czesci centralnej z otworem 60 przez srodek wneki 59 sluzacym do podtrzymywania kontaktu bramki. Zespól lokalizujacy 23 obejmuje równiez wglebienie *61 umieszczone naprzeciw wne¬ ki 59, przystosowane do umiejscawiania i moco¬ wania diody 22 wzgledem kontaktu bramki.Dioda 22 jest przymocowana do zespolu lokali¬ zujacego 23 we wnece 61 typowo przez zgrzanie lub przylutowanie elektrody katody 57. W pew¬ nych przypadkach druga plytka pólprzewodnika 51 moze byc przymocowana bezposrednio do ze¬ spolu lokalizujacego 23 we wnece 61, tak ze ze¬ spól 23 stanowi kontakt omowy z domieszkowa¬ nym obszarem katody 54 bedac w ten sposób in¬ tegralna elektroda katody 57. Kontakt bramki 62 jest takze umieszczony i uformowany w zespole 23 przez przeprowadzenie odizolowanego konca izolowanego przewodu 63 przez otwór 60 i za¬ prawienie tego konca drutu 63 jak pokazano na fig. 3. Koniec przewodu 63 zostaje nastepnie za¬ giety we wnece 59 zespolu lokalizujacego 21 jak to bedzie opisane.W ten sposób dioda 22 zostaje umiejscowiona i zamocowana we wnece 61 zespolu lokalizujacego 23 wzgledem kontaktu bramki 62. Odstep pomie¬ dzy elektroda anody 58 i diody 22 i kontaktem bramki 62 jest taki, by odpowiadal odstepowi mie¬ dzy elektroda ladujaca 41 i elektroda bramki 40 tyrystora z bramka wzmacniajaca 20, natomiast elektroda katody 57 diody 22 tworzy kontakt omo- 15 20 25 30 35 40 45 10 U 609 •wy z kontaktem bramki 62 poprzez zespól lokali¬ zujacy 23.Zespól lokalizujacy 23 z wmontowanymi dioda 22 i kontaktem bramki 62 jest montowany na wcisk w izolujacym elemencie trzymajacym 64 z wyzlobieniem 65, odpowiadajacym wnece 59 w zespole lokalizujacym 23, przez która przewleczo¬ ny jest izolowany przewód 63. Zespól lokalizujacy 23 jest odsuniety od podstawy 66 elementu trzy¬ majacego 64 przez konwencjonalna pierscieniowa przekladnie^ 6T, 'która wywiera odpowiedni nacisk oraz zapewnia wstrzasoodpornosc zamocowania kontaktu bramki 62 i elektrody anody 58 wzgle¬ dem elektrody bramki 40 i elektrody ladujacej 41, jak to ponizej opisano.Element trzymajacy 64 jest nastepnie umie¬ szczany w centralnym wglebieniu 68 górnego zestyku mocujacego 69 zestawu obudowujacego 21.Element trzymajacy 64 wraz z opisanymi powyzej elementami moze byc przytwierdzony we wgle¬ bieniu 68 przez montowanie na wcisk, klejenie lub w inny odpowiedni sposób.Zespól lokalizujacy 23 z dioda 22 i wmontowa¬ nym kontaktem bramki 62 jest nastepnie umie- .szczony w zestawie obudowujacym 21 przez uloze¬ nie górnego zestyku mocujacego 69 ponad otwar¬ tym koncem ceramicznego elementu rurowego 47.Górny zestyk mocujacy 69 wykonany jest na przyklad z miedzi dla zapewnienia jednakowej rozszerzalnosci cieplnej. Górny zestyk mocujacy 69 zaopatrzony jest w kolnierz 70 przymocowany na obrzezu, na [przyklad przez zgrzewanie lufo lu¬ towanie, który wspólpracuje z kolnierzem 48 ele¬ mentu ceramicznego 47. Swobodny odizolowany koniec przewodu 63 jest przeciagniety przez rowek 69A w zestyku montazowym 69 i izolujacej tulei 71 w zewnetrznej elektrodzie przewodzacej 72, któ¬ ra przechodzi przez cylindryczna czesc ceramicz¬ nego elementu rurowego 47 tworzac z nia kontakt omowy.Zestaw obudowujacy 21 z tyrystorem z bramka wzmacniajaca 20, dioda 22 i zespolem lokalizuja¬ cym 23 jest nastepnie hermetycznie zamykany przez przylutowanie miekkie lub twarde kolnierza 70 górnego zestyku mocujacego 69 do kolnierza 48 elementu ceramicznego 47. Po zamknieciu przewi¬ dziane jest laczenie cisnieniowe przez zespól do¬ ciskajacy dla zapewnienia niskoomowych kontak¬ tów — dolnego zestyku mocujacego 44 do elektro¬ dy anody 38 tyrystora 20, elektrody anody 58 dio¬ dy 22 do elektrody ladujacej 41 tyrystora 20 i kon¬ taktu bramki 62 do elektrody bramki 40 tyrystora z bramka wzmacniajaca.Zespól dociskowy w tym rozwiazaniu sklada sie :z kolnierza 46 dolnego zestyku mocujacego 44 i kolnierza 70 górnego zestyku mocujacego 69, oba o ksztalcie litery s. Cisnienie przylozone do obudo¬ wy daje polaczenie na wcisk przez wepchniecie kolnierzy 46 i 70 do wewnatrz przez zewnetrzne obciazenia. Odpowiednio duze zewnetrzne cisnie¬ nie przylozone dla uformowania polaczenia na wciski i zapewnienia niskoomowego polaczenia od¬ powiednich kontaktów i elektrod nie powinno byc :az tak duze, by spowodowac pekniecia plytek pól¬ przewodnika podczas pózniejszych dzialan nad 388 1° przyrzadem i jego pracy. Typowa sila wywierana przez zespól dociskajacy ma dawac cisnienia po¬ miedzy 6,896 108 a 34,48.10« N/m* a najlepiej 13,8.10* a 27,58.10fl N/m*. Sily te, biorac pod uwage 3 wiekszy zakres cisnien, sa uwarunkowane niere- gularnosciami powierzchni elektrod i kontaktów.Oczywiscie im mniejszy jest calkowity obszar fi¬ zycznego kontaktu miedzy elektrodami i kontak¬ tami, tym wieksze jest cisnienie wywierane na po- 10 wierzchnie plytki pólprzewodnika 24 dla danej sily nacisku.Koncowym rezultatem jest tyrystor z bramka wzmacniajaca wyposazony w bramke wspomaga¬ jaca wylaczanie wykonany w sposób prosty i nie- 1B drogo przy wykorzystaniu konwencjonalnego tyry¬ stora z bramka wzmacniajaca, W ten sposób wy¬ nalazek eliminuje potrzebe uzycia specjalnego ty¬ rystora ze wzmacniajaca bramka dla wyposazenia go w bramke wspomagajaca wylaczanie jak rów- jq niez wielu kosztownych czynnosci wytwórczych wymaganych uprzednio dla wytworzenia tyry¬ storów z bramka wzmacniajaca, wyposazonych w bramke wspomagajaca wylaczanie.Dzialanie urzadzenia pokazane jest strzalkami m na figurze 3. Dla wlaczenia, napiecie sterujace jest podawane pomiedzy zestyki mocujace 44 i 69 i elektrody anody 38 i katody 39, na tyrystor z bramka wzmacniajaca 20. Dolaczone napiecie obciazenia jest takie, ze tyrystor ma duza impe- M danej e i jest w stanie zablokowania w kierunku przewodzenia. Nastepnie dodatni prad, odpowiedni do wlaczania tyrystora pilotujacego 37, doprowa¬ dzony jest do elektrody bramki 40 przez przewód 63 i kontakt bramki 62. Prad ten rozplywa sie na boki, jak to pokazuja strzalki 73, polaryzujac w kierunku przewodzenia zlacze katodowe 36 tyry¬ stora pilotujacego 37. Taka polaryzacja zlacza ka¬ todowego 36 powoduje wstrzykniecie nosników w obszar katody-bazy 28 tyrystora pilotujacego 37 i nastepnie przelacza tyrystor 37 w 6tan przewo¬ dzenia czyli niskoimpedancyjny, kiedy prad ano¬ dy, pokazany przez strzalki 74, od elektrod anody 38 wplywa w obszar katody-emitera pilota 35.Prad anody z kolei rozplywa sie z obszaru katody- -emitera 35 przez elektrode ladunkowa 41, obszar 45 katody-bazy 28 i boczniki katodowe 28A, usytuo¬ wane wzdluz wewnetrznej krawedzi glównego obszaru katody-emitera 27, do elektrody katody 39, jak to wskazuja strzalki 75. Tenze boczny prad anody plynacy z tyrystora pilotujacego 37 pola- ° ryzuje w kierunku przewodzenia zlacze katodowe 31 glównego tyrystora 34 i powoduje wstrzyknie¬ cie nosników w obszar katody-bazy 28 oraz prze¬ laczenie glównego tyrystora 34 ze stanu zabloko¬ wanego, o duzej impedanoji, do stanu przewodze- 85 nia o malej impedancji. Prad anody tego tyry¬ stora wskazuja strzalki 76.Podczas wlaczania prad nie plynie do elektrody ladunkowej 41 przez diode 22, poniewaz jest ona spolaryzowana zaporowo.Przy wylaczaniu tyrystora sterowanego w spo¬ sób GATT, np. przy wysokich czestotliwosciach pracy, ponad 10 kHz, prad anody jest przelaczony do zera, a obszar anody-bazy 29 ma duza gestosc 65 nosników. Po przylozeniu napiecia obciazenia w117 11 kierunku przewodzenia ujemny prad bramki wspo¬ magajacej plynie przez kontakt bramki 62 do dio¬ dy 22 przez zespól lokalizujacy 23. Zlacze p-n 56 diody 22 jest spolaryzowane w kierunku przewo¬ dzenia przez ujemny prad bramki wspomagajacej, 5 co z kolei wywoluje boczny przeplyw pradu od elektrody katody 39 przez boczniki katodowe 28A, obszar katody-bazy 28, elektrode ladujaca 41, dio¬ de 22, zespól lokalizujacy 23 do koncówki przewo¬ du 63, jak pokazuja strzalki 77. Talki boczny roz- 10 plyw pradu dazy do za zlacza p-n 31 i przeciwstawia sie rozplywowi pra¬ du istniejacemu w obszarze katody-bazy 28, któ¬ ry zmierza do spolaryzowania zlacza p-n 31 w kierunku przewodzenia. W ten sposób bramka 15 wspomagajaca redukuje niebezpieczenstwo, ze ponownie przylozone napiecie w kierunku prze¬ wodzenia wlaczy przyrzad, w zwiazku z czym na¬ piecie w kierunku przewodzenia moze byc przy¬ lozone w krótszym czasie po przelaczeniu do zera m pradu obciazenia anody — z definicji zmniejszajac czas wylaczania przyrzadu.Dla wylaczenia tyrystora pracujacego w sposób CGS (np. z niska czestotliwoscia lub stalopradowo) do kontaktu bramki 62 i diody 22 ujemny prad ^ bramki doprowadza sie przez zespól lokalizujacy, podczas gdy napiecie obciazenia pozostaje przylo¬ zone pomiedzy elektrodami anody 38 i katody 39t Ujemny prad bramki polaryzuje zlacze p-n 56 diody 22 w kierunku przewodzenia, powodujac ^ boczny rozplyw pradu, jak wskazuje strzalka 77 — od elektrody katody 38, przez boczniki katodo¬ we 28A, obszar katody-bazy 28, elektrode ladujaca 41, diode 22 i zespól lokalizujacy do koncówki przewodu 63. W ten sposób napiecie na zlaczu ka- w todowym 31 jest zmniejszone do wartosci ponizej 0,7 Vi przerwane jest wewnetrzne sprzezenie zwrotnew ekwiwalentnych strukturach tranzysto¬ rowych glównego tyrystora. Daje to ponowne usta¬ lenie stanu zablokowania o wysokiej impedancji w glównym tyrystorze 34, w momencie gdy napie¬ cie obciazenia pozostaje w dalszym ciagu przylo¬ zone do przyrzafdu.Zastrzezenie patentowe 45 Tyrystor z bramka wzmacniajaca, wyposazony w bramke wspomagajaca wylaczanie, zawierajacy 12 plytke pólprzewodnikowa z polozonymi na¬ przeciw siebie, glównymi powierzchniami pier¬ wsza i druga, przy czyim ten tyrystor obejmuje glówne obszary katody-emitera, katody-bazy, ano- dy-bazy i anody-emitera oraz pilotujacy obszar katody-emitera, elektrody katody i anody przy¬ mocowane dla utworzenia kontaktu omowego od¬ powiednio z glównym obszarem katody-emitera i obszarem anody-emitera, elektrode -bramki przy¬ mocowana dla utworzenia kontaktu omowego z obszarem katody-bazy w sasiedztwie ale oddalo¬ nym od pilotujacego obszaru katody-emitera i od glównego obszaru katody-emitera, elekrode ladun¬ kowa przymocowana na pierwszej, glównej po¬ wierzchni, umieszczona w sasiedztwie elektrod bramki i katody dla wytworzenia kontaktu omo¬ wego z pilotujacym obszarem katody-emitera i obszarem katody-bazy, pomiedzy glównym ob¬ szarem katody-emitera a pilotujacym obszarem katody-emitera, zestaw obudowujacy, przystoso¬ wany do wmontowania tyrystora z bramka wzmac¬ niajaca, znamienny tym, ze zestaw obudowujacy (21) zawiera zespól lokalizujacy (23) dla usytuowa¬ nia i zamocowania kontaktu bramki (62), tworza¬ cego kontakt v omowy z elektroda bramki (40- i przystosowanego do usytuowania i zamocowania diody (22) wspólpracujacej z elektroda bramki (40) dla wytworzenia kontaktu omowego z kontaktem bramki (62) zespolu lokalizujacego (23) i elektroda ladunkowa (41) tyrystora (20) oraz dioda <22) ufor¬ mowana w drugiej plytce pólprzewodnikowej (51), której domieszkowane obszary katody (54) i anody (55) tworza miedzy soba zlacze p-n (56) i przyle¬ gaja odpowiednio do przeciwleglych, glównych po¬ wierzchni (52, 53) drugiej plytki pólprzewodniko¬ wej (51), przy czym dioda (22) jest przymocowana do zespolu lokalizujacego (23) w zestawie obudo¬ wujacym (21) w okreslonym polozeniu wzgledem" kontaktu bramki (62), obszar katody (54) diody tworzy kontakt omowy z kontaktem bramki (62 zestawu obudowujacego (21), obszar anody (55) tworzy kontakt omowy z elektroda anody (58) za¬ mocowana na glównej powierzchni (53) drugiej" plytki pólprzewodnikowej (51) i przystosowana do tworzenia kontaktu omowego z elektroda ladun¬ kowa (41) tyrystora (20).117 388 PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL PL

Claims (1)

1.
PL1976189905A 1975-05-27 1976-05-27 Thyristor with amplifying gate equipped with boosting gate for switch-offjj ventil'nojj skhemojj,sposobstvujuhhejj wykljucheniju PL117388B1 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/581,256 US3975758A (en) 1975-05-27 1975-05-27 Gate assist turn-off, amplifying gate thyristor and a package assembly therefor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
PL117388B1 true PL117388B1 (en) 1981-07-31

Family

ID=24324475

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PL1976189905A PL117388B1 (en) 1975-05-27 1976-05-27 Thyristor with amplifying gate equipped with boosting gate for switch-offjj ventil'nojj skhemojj,sposobstvujuhhejj wykljucheniju

Country Status (3)

Country Link
US (1) US3975758A (pl)
CA (1) CA1058326A (pl)
PL (1) PL117388B1 (pl)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2636631A1 (de) * 1976-08-13 1978-02-16 Siemens Ag Thyristor
JPS5354971A (en) * 1976-10-28 1978-05-18 Mitsubishi Electric Corp Semiconductor device
US4131905A (en) * 1977-05-26 1978-12-26 Electric Power Research Institute, Inc. Light-triggered thyristor and package therefore
GB2036429B (en) * 1978-03-23 1982-09-15 Bbc Brown Boveri & Cie Semiconductor device comprising at least two semiconductor elements
US4257058A (en) * 1979-07-05 1981-03-17 Electric Power Research Institute, Inc. Package for radiation triggered semiconductor device and method
FR2471048A1 (fr) * 1979-12-07 1981-06-12 Silicium Semiconducteur Ssc Structure et procede de montage d'un composant semi-conducteur principal et d'un circuit auxiliaire
GB2162366B (en) * 1984-07-24 1987-09-30 Westinghouse Brake & Signal Semiconductor device contact arrangements
US4905075A (en) * 1986-05-05 1990-02-27 General Electric Company Hermetic semiconductor enclosure
EP0244767A3 (en) * 1986-05-05 1988-08-03 Silicon Power Corporation Hermetic semiconductor enclosure and process of manufacture
DE102007041124B4 (de) * 2007-08-30 2009-06-04 Infineon Technologies Ag Thyristor mit verbessertem Einschaltverhalten, Thyristoranordnung mit einem Thyristor, Verfahren zur Herstellung eines Thyristors und einer Thyristoranordnung
CN107533983B (zh) * 2015-05-26 2020-06-05 三菱电机株式会社 压接型半导体装置
JP7232811B2 (ja) * 2017-07-13 2023-03-03 ヒタチ・エナジー・スウィツァーランド・アクチェンゲゼルシャフト コンタクトプレート内のガス膨張キャビティを有するバイパスサイリスタ装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH460957A (de) * 1967-08-03 1968-08-15 Bbc Brown Boveri & Cie Schaltungsanordnung mit mehreren Halbleiterelementen
US3619731A (en) * 1968-10-11 1971-11-09 Rca Corp Multiple pellet semiconductor device
US3654529A (en) * 1971-04-05 1972-04-04 Gen Electric Loose contact press pack
US3846823A (en) * 1971-08-05 1974-11-05 Lucerne Products Inc Semiconductor assembly

Also Published As

Publication number Publication date
US3975758A (en) 1976-08-17
CA1058326A (en) 1979-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1601020B1 (en) Semiconductor device
PL117388B1 (en) Thyristor with amplifying gate equipped with boosting gate for switch-offjj ventil&#39;nojj skhemojj,sposobstvujuhhejj wykljucheniju
US4443810A (en) Gate turn-off amplified thyristor with non-shorted auxiliary anode
EP0129362B1 (en) Schottky barrier diode with guard ring
EP1810338A2 (en) Solderable top metal for sic device
US3590339A (en) Gate controlled switch transistor drive integrated circuit (thytran)
US5917209A (en) Semiconductor device including via hole and isolating circumferential member
EP0421344B1 (en) Crimp-type power semiconductor device
EP0051459B1 (en) A semiconductor device having electrodes and conducting members bonded to the electrodes, and a method of manufacturing the same
JP3432708B2 (ja) 半導体装置と半導体モジュール
JP3883591B2 (ja) ターンオフ可能な半導体素子
CN114220860A (zh) 一种高可靠性平面栅SiC MOSFET器件结构及其制备方法
EP0366916B1 (en) Shorted-anode semiconductor device and methods of making the same
US4486768A (en) Amplified gate turn-off thyristor
US5248622A (en) Finely controlled semiconductor device and method of manufacturing the same
JPS6359272B2 (pl)
JP2020027878A (ja) 半導体装置
KR20230061224A (ko) 트랜지스터 및 이의 제조 방법
US3979767A (en) Multilayer P-N junction semiconductor switching device having a low resistance path across said P-N junction
US2936410A (en) Silicon power transistor
JPS59163865A (ja) ゲ−トタ−ンオフサイリスタ
JP2732495B2 (ja) 絶縁ゲート型半導体装置
WO1987001866A1 (en) Semiconductor device
JP3226528B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPH02253659A (ja) 半導体装置