NO890091L

NO890091L - Fremgangsmaate og anordning for aa paafoere polymere materialer paa trykte kretser.

Info

Publication number: NO890091L
Application number: NO89890091A
Authority: NO
Inventors: William A Maligie
Original assignee: Thiokol Morton Inc
Priority date: 1988-01-11
Filing date: 1989-01-10
Publication date: 1989-07-12
Also published as: AU2840689A; JPH01289132A; NO890091D0; KR890012520A; EP0324596A3; DK8689D0; AU605011B2; DK8689A; EP0324596A2

Abstract

Fremgangsmåte og anordning for å påføre en herdbar tørr flin (14) av polymert eller varmefølsomt materiale til et bestemt område (18, 22) av hver av overflatene av en flerhet av trykte kretskort til å gi beskyttelse fra strippings- og pletter lngsoperasj mer under fremstillingen derav, Involverer bruken av en varm elas taner pute (12) sam stattes av en stiv overflate (16) for stempling eller pressing av den tørre filmen av beskyttende materiale til overflaten av hvert trykte kretskort. Et trekk ved fremgangsmåten er utformingen av den elas tome re puten, den kmtaktrtnnnwirift overflaten derav, eller støttemidlene derfor som tillater økt tllpassbarhet eller samsvarlgbet av den tørre filmen av polymert materiale med uregelmessigheter 1 overflaten av et trykt kretskort. Oppfinnelsen kan også anvendes på halvledersklvefremstllllng.Et annet trekk ved fremgangsmåten Involverer bruken av den elastomere puten med en tørr film som bar et toppbelegg sen muliggjør, med påføringen av lavere trykk, økt jevnhet 1 tykkelsen eller fordelingen av den herdbare tørre filmen av polymert materiale over overflateuregelmesslghetene (22) på det trykte kretskortet (18), samtidig san der gis utmerket tilpasning for flik- og forblndelsesflngerpletterlngsoperasjonene.

Description

Oppfinnelsen vedrører påføringen av varme eller fotofølsomme materialer på et trykt kretskort eller halvlederskive for å tilveiebringe beskyttelse derfor under fremstillingen derav.

Forut for elektropletterings- eller strippingsoperasjoner ved fremstillingen av trykte kretskort, er det den vanlige praksis innenfor teknikken delvis å dekke overflaten av kretskortene eller andre substrater med et maskeringsbånd. Maskeringsbåndet omfatter en foliélignende bærer som er laget av et materiale, slik som papir eller plast og et belegg av et klebemiddelmateriale som påføres en side av bæreren. Bæreren kan være selvklebende eller klebes til kretskortet ved hjelp av en trykk- eller varmeaktiveringsprosess.

Slike maskeringsbånd tjener hensikten å beskytte og derved å bevare intakt, under pletterings- og strippingsoperasjoner, forutbestemte deler av kretskort. Eksempelvis under pletteringen av hull på de finger1ignende lederne eller "fingrene" som er tilveiebragt på kanten av et kretskort, blir områdene som skal deretter gullpletteres beskyttet fra strippings- og pletteringsbadene ved hjelp av et trykkfølsomt bånd som vanligvis er kjent som "plettereres"-bånd.

Mange problemer møtes i den kjente teknikk med klebebånd og båndmaskeringsprosessen, innbefattende det følgende: 1. Båndet påføres manuelt. Dette er en tungvint prosess som er vanskelig å automatisere for forskjellige typer av trykte kretskort. 2. Senere fjerning av båndet skjer med håndstrippihg (eller mekanisk stripping) og involverer generelt mekanisk skrubbing. 3. Hånd-stripping av båndet har tendens til å medføre tallrike defekt-bevirkende "hakk" på de trykte kretskort som senker utbyttet med en estimert 5% av produksjons- linjen. Dette problem blir mer alvorlig ettersom bredden av lederlinjene i kretsmønsteret på de trykte kretskort reduseres til 5-8 mils fra den tidligere 10-15 mils bredde. 4. Eestklebemidlet som vanligvis etterlates, blir fjernet ved hjelp av en organisk løsningsmiddelvask. Typisk, innenfor trykt kretsanlegg, blir flere operatører plassert ved enden av gullpletteringslinjen. Deres hovedfunksjon er manuelt å fjerne pletterernes bånd og så påføre organiske løsningsmidler i et forsøk på å fjerne klebemiddelresten. Pålitelighetsproblemer kan oppstå dersom ikke hele resten f j ernes. 5. De organiske løsningsmidler som behøves for å fjerne restklebemidlet kan bevirke ioneforurensningsproblemer på overflaten av kretskortene og er eventuelt skadelige for helsen av personalet som er beskjeftiget med håndteringen derav. Det finnes en bevegelse innenfor amerikansk industri som arbeider for å redusere arbeideres kontakt med organiske løsningsmidler slik som MEK, 1,1,1-triklor-etan, industrielle alkoholer og metylenklorid på grunn av deres potensielt skadelige helsevirkninger. 6. Organiske løsningsmidler, slik som metylenklorid, som anvendes til å fjerne båndrester, kan også fjerne og mykgjøre epoksyharpiksen som er på overflaten av kretskortet . 7. Plettereres bånd samsvarer ikke godt med kretsopptegnings-geometriene. Som en følge derav kan pletterings- og strippingsbadkjemikalier sive under båndet til å bevirke ujevn plettering. 8. Pletteringsbadkjemikalier som siver under båndet kan frigjøres i påfølgende bad, hvilket medfører kryss-forurensning. 9. Klebemiddelbåndprosessen er arbeidsintensiv og derfor kostbar.

Det eksisterer derfor et behov og et krav til forbedring i fremgangsmåten og anordningen som anvendes for å beskytte trykte kretskort, halvlederskiver, halvlederledeplater og lignende under pletterings- og strippingsoperasjoner.

Et formål med oppfinnelsen er å tilveiebringe en forbedret fremgangsmåte og anordning for den effektive anvendelse av en herdbar polymer eller et varmefølsomt materiale til å gi beskyttelse, under fremstillingen derav, til trykte kretskort, halvlederskiver og halvlederledeplater.

Et annet formål med oppfinnelsen er å tilveiebringe en fremgangsmåte og anordning som involverer bruken av en varm elastomer pute for påføring av en herdbar tørr film av polymert eller varmefølsomt materiale til et bestemt område eller områder av hver av en flerhet av trykte kretskort, hvilket område, i hvert tilfelle må beskyttes fra strippings-og pletteringsoperasjonene som er involvert ved fremstillingen av de trykte kretskort.

Et ytterligere formål med oppfinnelsen er å tilveiebringe en forbedret fremgangsmåte og anordning som involverer bruken av en varm elastomer pute som støttes av en stiv overflate for påføring med jevnt trykk og temperatur en tørr film av herdbart polymert eller varmefølsomt materiale til overflaten av et substrat, hvilken overflate kan involvere områder av ikke-plan geometri, hvorved det tilveiebringes større samsvarighet mellom det polymere eller varmefølsomme materialet og overflaten av substratet.

Et ytterligere formål med oppfinnelsen er å tilveiebringe en slik forbedret fremgangsmåte og anordning som innbefatte en elastomer pute som er således kjennetegnet at den fjerner luft mellom den tørre filmen av herdbart, polymert eller varmefølsomt materiale og overflaten av substratet for derved å unngå opptredenen av luftlommer derimellom og å lette påføringen av filmen for å tillate selektiv gullplettering.

Nok et annet formål med oppfinnelsen er å tilveiebringe en slik forbedret fremgangsmåte og anordning som involverer en initiell enkeltlinjekontakt for en plan eller ikke-plan elastomer overflate på en tørr film av herdbart polymert eller varmefølsomt materiale som skal festes til overflaten av et substrat for å hindre luftinnfangning mellom det polymere eller varmefølsomme materialet og overflaten av substratet.

Et ytterligere formål med oppfinnelsen er å tilveiebringe en fremgangsmåte for å påføre en herdbar film av polymert materiale til overflaten av et arbeidsstykke for å gi beskyttelse for arbeidsstykket under fremstillingen derav, kjennetegnet ved trinnene: (a) å innføre filmen av polymert materiale mellom overflaten av arbeidsstykket som skal beskyttes og den kontaktdannende overflaten av en elastomer pute som støttes av en stiv plan overflate, og (b) å bevege den elastomere puten' til kontakt med den tørre filmen av polymert materiale med den kontaktdannende overflaten av den elastomere puten som er således utformet at den gir initiell enkelt-1injekontakt med filmen av polymert materiale med kontaktarealet økende med en i alt vesentlig konstant takt inntil kontakt-overflaten av den elastomere puten er i alt vesentlig parallell med overflaten av arbeidsstykket, hvorved en trykkbølge frembringes som skyver luft ut fra mellom filmen av polymert materiale og overflaten av arbeidsstykket, hvilken luft ellers ville bli innfanget mellom filmen av polymert materiale og overflaten av arbeidsstykket .

Et ytterligere formål med oppfinnelsen er å tilveiebringe en fremgangsmåte og anordning for påføring av en matrisekuttet tørr film av polymer eller varmefølsomt materiale til halvlederskiver for påfølgende behandling gjennom mønster-avtegning, etsning og plettering.

For oppnåelsen av disse og andre siktemål, involverer oppfinnelsen bruken av en varmpressings- eller stemplingsanordning for å feste en tørr film av polymert eller varmefølsomt materiale på overflaten av et trykt kretskort. Nærmere bestemt involverer oppfinnelsen bruken av en varm pute laget av elastomert materiale for å presse og feste filmen til kortet. Den elastomere puten kjennetegnes ved å tilveiebringe på en kontaktdannende overflate derav et ensartet og noe jevnt trykk til uregelmessige overflater. Dette skyldes at puten er tilstrekkelig myk til å virke tilsvarende et fluidum til å gi like og motsatte trykk til hele overflaten av det trykte kretskortet med hvilket den kontaktdannende overflaten derav kommer i kontakt. Som et resultat tillater puten en film av polymert eller varme-følsomt materiale å bli jevnt belagt på ujevne overflater og muliggjør også økt overflatesamsvarighet.

For å hindre luftinnfangning under påføring, dvs. laminering av en tørr film av polymert eller varmefølsomt materiale til en plan eller ikke-plan substratoverflate, er den kontaktdannende overflaten av den elastomere puten således kjennetegnet eller plassert med hensyn til overflaten av substratet for å muliggjøre et initielt kontaktareal for den kontaktdannende overflaten derav som er vesentlig mindre enn det kontaktdannende overflateareal, hvilket kontaktareal øker med en konstant takt inntil den kontaktdannende overflaten av den elastomere puten er parallell med substratoverflaten, dvs. i alt vesentlige sammenfaller med denne. Denne prosedyre muliggjør at en trykkbølge kan oppsettes som skyver luft ut fra mellom filmen av polymert eller varmefølsomt materiale og substratets overflate. Slik luft vil ellers bli innfanget mellom filmen av polymert eller varmefølsomt materiale og substratets overflate.

Der er ytterligere tilveiebragt, ifølge oppfinnelsen anordning som har anvendelse ved påføring av matrisekuttet polymer eller varmefølsom film i form av en tørr film på halvlederskiver for påfølgende behandling ved mønster-avtegning, etsning og plettering, en prosess ved hvilken halvlederskiven eller brikken er festet til punkter eller stolper ved hjelp av hvilke halvlederen bindes til det trykte kretskortet.

Nærmere bestemt, i en prosess som er kjent som trådbinding, blir brikker oppskåret, de gode utsorteres, brikkene monteres på en ledeplate av en eller annen type og en automatisk trådbinder fester en liten tråd fra hver av tallrike bindingsflater til ledere på ledeplaten. Trådlignende sammenkoblingssstrukturer eller "humper" begros på skiven før skiven oppdeles. Så snart det er fullført, blir skiven oppdelt og hver brikke festes til en ledeplate som kobles direkte med sammenkoblingshumpene. Humpene danner forbin-delsen til ledeplaten.

Delen av trådbindingsprosessen med hvilken den foreliggende oppfinnelse særlig vedrører er prosessen ved hvilken humpene gros på skiven. Typisk blir en gullfilm sprutet på overflaten av brikken til å virke som en elektrode for pletteringsprosessen. En film av polymert eller varmefølsomt materiale påføres brikken med en tykkelse av 0,8 til 1,5 mils (ca. 20-38 pm). Dette materialet blir så mønstret med minimum geometrier som i øyeblikket er på en 4 mils (101,6 pm) pitch, dvs. med en linje som er 2 mils (50,8 pm) bred og med 2 mils (50,8 pm) avstand. Filmen av polymert eller varme-følsomt materiale virker som en pletteringsmaske og må motstå temperaturene og kjemiske prøver som er knyttet til gull og tinn/bly (Sn/Pb )-elektropletteringsbad. Pletteringsprosessen frembringer humpene eller trådlignende sammenkoblings-strukturer. Filmen av polymert eller varmefølsomt materiale blir så herdet og fremkalt. Uønsket ledende materiale fjernes så ved kjemisk etsning, hvilket etterlater sammenkoblings-strukturer eller humper.

De forskjellige nye trekk som kjennetegner oppfinnelsen er påpekt nærmere i de vedlagte patentkrav og danner del av denne beskrivelse. For en bedre forståelse av oppfinnelsen, dens driftsmessige fordeler, og bestemte siktemål som oppnås ved dens bruk, skal det vises til de vedlagte tegninger og beskrivelsen der foretrukne utførelsesformer av oppfinnelsen er illustrert.

Med denne beskrivelse av oppfinnelsen følger en detaljert beskrivelse med henvisning til de vedlagte tegningsfigurer som danner del av beskrivelsen, hvor like deler er betegnet med de samme henvisningstal1. Figur 1 illustrerer en elastomer pute støttet av en stiv overflate som påfører jevn temperatur og trykk til overflaten av et substrat, hvilken overflate, slik som vist, kan være uregelmessig. Figurene 2, 4 og 6 og respektive tilhørende figurer 3, 5 og 7 viser samlet en fremgangsmåte for å feste en tørr film av polymert materiale til et trykt kretskort under anvendelse av den elastomere puten i figur 1. Figurene 8, 9 og 10 illustrerer operasjonen av en modifisert konfigurasjon av den elastomere puten i figur 1 for å utelukke innfangningen av luft mellom filmen av polymert materiale og overflaten av det trykte kretskortet. Figurene 11, 12 og 13 illustrerer operasjonen av en annen modifisert konfigurasjon av den elastomere puten i figur 1 for å utelukke innfangningen av luft mellom filmen av polymert materiale og overflaten av det trykte kretskortet. Figur 14 er et meget forstørret perspektivr i ss, slik det er sett ved hjelp av et avsøkningselektronmikroskop, som viser måten som tørrfilmpolymer materialet er drapert over og samsvarer med konfigurasjonen av de opphevede ledende elementer på et trykt kretskort. Figurene 15, 16, 17 og 18 er henholdsvis øvre planriss, venstre sideriss, frontriss og høyre sideriss av en lami-natorutførelsesform ifølge oppfinnelsen for å påføre en tørr film av herdbart polymert eller varmefølsomt materiale til begge sider av et trykt kretskort for å beskytte områder eller soner av det trykte kretskortet under fremstillingen derav. Figur 19 er et riss som viser i nærmere detalj øvre og nedre oppvarmede pressplater på laminatoren i figurene 15-18, slik det sees fra venstre sideriss i figur 16 . Figur 20 illustrerer et system av' flere maskinstasjoner som kan anvendes ved bruken av den foreliggende oppfinnelse for fremstillingen av trykte kretskort, halvlederskiver og halvlederledeplater. Figur 21 er en skjematisk fremstilling av en alternativ form av anordningen for å utføre fremgangsmåten ifølge den foreliggende oppfinnelse. Figurene 22 og 23 er henholdsvis tverrsnittsriss og fragmen-tert planriss, av en form av tørrfilm som med fordel

kan anvendes i fremgangsmåten og anordningen ifølge den foreliggende oppfinnelse.

Oppfinnelsen involverer, slik som vist i figur 1, et varmepressings- eller stemplingselement 10, for letthets skyld benevnt en elastomer pute, omfattende et oppvarmet elastomert puteelement 12 som har en kontaktdannende overflate 14 og som støttes av en stiv overflate 16 for å påføre jevnt trykk og temperatur til et substrat 18 som kan ha en regelmessig eller uregelmessig overflate. Puteelementet 12 kan være omfattet av en høytemperaturgummi, slik som det produkt som markedsføres av E. I. du Pont de Nemours & Co. under varemerket "Viton" og som ønskelig har en hardhet i området av 60 ± 20, målt ved hjelp av et durometer.

Støttet av den stive overflaten 16, som kan være av alumi-nium, gir puteelementet 12 et ensartet og noe jevnt trykk til uregelmessige overflater med hvilke den kontaktdannende overflaten 14 på puteelementet 12 kan beveges til kontakt slik som ved hjelp av en tilført kraft angitt med pilen 20. Dette skyldes at puteelementet 12 er mykt nok til å virke tilsvarende et fluidum som gir likt og motsatt trykk til hele overflatearealet med hvilket den kontaktdannende overflaten 14 derav kommer i kontakt.

I figur 1 er en overflate 22 av substratet 18 som skal plasseres til å bli kontaktet av den kontaktdannende flaten 14 på puteelementet 12, vist til å være uregelmessig. Uregelmessigheten i overflaten 22 skyldes de oppstående elementer 24 derpå. Elementene 24 representerer, selv på en overdrevet måte, de opphevede elektrisk ledende kretsbaner på et trykt kretskort.

Ved bevegelse av den kontaktdannende overflaten 14 på puteelementet 12 til inngrep med overflaten 22, slik som angitt i figur 1, strømmer den kontaktdannende overflaten 14 inn i rommene mellom de opphevede elementer 24 og samsvarer med de geometriske konfigurasjoner derav, som angitt ved bølgningene i den kontaktdannende overflaten 14 . Den kontaktdannende overflaten 14 på puteelementet er normalt, dvs. når den ikke er under trykk, flat og generelt parallell med overflaten 22. Som folge derav, blir i alt vesentlig likt trykk utøvet i samtlige retninger av den kontaktdannende overflaten 14 på overflaten 22 av substratet og på toppene og sidene av de opphevede elementer 24.

Måten å feste en herdbar tørr film av polymert eller varmefølsomt materiale til en del eller sone av et trykt kretskort som skal beskyttes, er i henhold til en utførelses-form av oppfinnelsen vist med henvisning til figurene 2 til og med 7. Således viser figur 2 et område 26 av herdbar tørr film av polymert eller varmefølsomt materiale på en bærerbane 28. Bærerbanen 28 strekker seg, som vist i figur 3, fra en materulle 30 av materiale 26 til en opptagningsrul1 32 og har formet derpå langs lengdene derav en rekke av jevnt atskilte stykker, øyer eller områder 26 av det herdbare filmmate-rialet, idet samtlige av disse arealer 26 kan være av den samme størrelse og tilsvare i størrelse hvert av arealene av overflatene av en flerhet av trykte kretskort som skal beskyttes. Et frilagt areal av tørrfilmen av materialet 26 bringes i posisjon umiddelbart over, hosliggende og innrettet med en del av et trykt kretskort 34 som skal beskyttes, hvilket kort 34 hviler på en stasjonær pressplate 36.

En fordelaktig fremgangsmåte for å preparere en slik rekkefølge av jevnt atskilte områder 26 av herdbart tørt filmmateriale på en bærerbane 28 er omhandlet i norsk patentsøknad nr. 890090.

En særlig fordelaktig form av herdbart filmmateriale som kan anvendes for filmen 26 er omhandlet i US patent nr. 3.887.450 med tittel "Photopolymerizable Compositions Containing Polymeric Binding Agents", bevilget 3. juni 1975 til Michael N. Gilano og overdratt til Morton Thiokol , Inc., assignataren i den foreliggende søknad. Slik film omfatter en tørrfilm-polymerres i st og er tilgjengelig kommersielt under varemerket "Laminar" TA fra Dynachem Division i Morton Thiokol, Inc. Den tørre filmen av fotopolymerresi st kjennetegnes ved at den lett kan fremkalles I en f remkal ler løsning som kan være vandig, semi-vandig eller ren oppløsning til å gi en resist som når den utsettes for aktinisk lys er ugjennomtrengelig for vanlige pletteringsoppløsninger, men som er vandig strippbar.

Slik som fremstilt, er tørrfilmfotopolymerresisten i form av en tynn tørr film eller belegg av polymert materiale på en bærer eller polyesterstøttebane. Selv om klebrig, er den tørre filmen "skrellbar". Dette gjør det mulig å anvende polyetylendekke eller frigjøringsfi lm for beskyttelse av den tørre fotopolymerfi Imen for derved å lette håndteringen derav. Polyetylenfilmen fjernes lett på grunn av den differensielle adhesjon av fotopolymerresistmaterialet til polyesterstøttebanen relativt polyetylenen. Med henvisning til figur 3 vises en slik polyetylendekkf i lm 38 fra mate-rullen 30 av f otopolymerresi st 26 og viklet opp en polyetylenopptagningsrull 40.

Plassert over den stasjonære pressplaten 36 er det en vertikal bevegelig oppvarmet pressplate 42 som har et elastomert puteelement 44 festet dertil. Strukturen og karakteristika for puteelementet 44 kan være identiske med de som er beskrevet tidligere for puteelementet 12 i figur 1. Elementet 44 gir en kontaktdannende overflateregion 46 for å danne kontakt med overflaten på bærerbanen 28 og støttes av den hosliggende stive overflaten av den oppvarmede pressplaten 42. Formen og størrelsen av den kontaktdannende overflaten 46 tilsvarer formen og størrelsen av arealet av tørr film av polymert materiale 26 som skal festes til overflaten av det trykte kretskortet 34.

Den oppvarmede pressplaten 42 er bevegelig mellom en "opp"-posisjon, slik som vist i figurene 3 og 7, og en "ned"-posisjon, slik som vist i figur 5, ved hjelp av bevegelses-middel 48. Bevegelsesmidlet 48 danner i og for seg ingen del av den foreliggende oppfinnelse, og vil derfor ikke bli ytterligere beskrevet her.

Når beveget fra "opp"-posisjonen til "ned"-posisjonen, slik som vist i figur 5, med arealet 26 av tørrfilm av polymert materiale plassert som vist i figur 2 under den kontaktdannende overflaten 46 av puteelementet 44, trykket puteelementet 44 bærerbanen 28 og derved området eller arealet 26 av det polymere materialet mot den hosliggende overflaten av det trykte kretskortet 34. Dette fester området 26 av polymert materiale til overflaten av det trykte kretskortet 34. Ved slutten av et passende tidsintervall, blir den oppvarmede pressplaten beveget ved hjelp av bevegelsesmidlet 48 til "opp"-posisjonen, slik som vist i figur 7. Fraværet av området 26 i figur 6 indikerer at området 26 er blir festet eller laminert til overflaten av det trykte kretskortet 34 som en maske.

Mens den oppvarmede pressplaten 42 holdes i "opp"-posisjonen, slik som vist i figur 7, blir bærerbanen 28 viklet opp på opptagningsrullen 32. Denne bevegelse skreller bærerbanen 28 vekk fra området 26 med tørr film av polymert materiale og fra overflaten av det trykte kretskortet. SLik bevegelse bringer også det neste suksessive området 26 av tørr film av polymert materiale til riktig innretting med det elastomere puteelementet 44 for å feste et slikt område 26 av tørr film på det neste trykte kretskortet. I mellomtiden blir trykte kretskort 34 på hvilket en tørr film av polymert materiale er blitt påført, erstattet med det neste trykte kretskortet 34. Dette setter trinnet for begynnelsen av en annen syklus, slik som vist i figur 3.

En modifisert form av de elastomere puteelementene 14 i figur 1 og 44 i figurene 3, 5 og 7 er vist i figurene 8, 9 og 10. Således, slik det best sees i figur 8, er dette modifiserte elastomere puteelementet, betegnet med henvisningstallet 50, normalt pyramideformet i avslappet eller hviletilstand, dvs. når det ikke er utsatt for mekanisk trykk. Puteelementet 50 er forsynt med en stiv aluminiumsstøtte 52, og innbefatter en sentralt plassert topp 54 på en kontaktdannende overflate 56 derav. Materialet og tettheten av puteelementet 50 kan være det samme som det for elementet 12 i figur 1. Ved bevegelse av puteelementet 50 mot den hosliggende overflaten av et trykt kretskort 50, danner toppen 54 den initielle kontakt dermed med kontaktarealet på den kontaktdannende overflaten 56 økende med en konstant takt inntil den kontaktdannende overflaten 56 på puteelementet 50 i kontakt med overflaten på det trykte kretskortet er parallell dermed, som vist i figur 10. Med den pyramidiske utformning, blir luft klemt ut fra mellom den kontaktdannende overflaten 56 på puteelementet 50 og overflaten på det trykte kretskortet 58, slik som vist i figurene 8 og 9.

Når laminering skjer av en tørr film av beskyttende materiale (ikke vist i figurene 8, 9 og 10) til overflaten av det trykte kretskortet 58, vil det elastomere puteelementet 50, med toppen 54 som muliggjør initiell enkeltpunktkontakt med overflaten 58, gi en løsning for problemet med luftinnfangning mellom slik film av beskyttende materiale og overflaten av kortet 58 som ellers ville ha tendens til å opptre. Dette betyr at konfigurasjonen av puteelementet 50 som gir initiell enkeltpunktkontakt med overflaten av det trykte kretskortet 58 bevirker etableringen av en trykkbølge som skyver luft ut fra mellom filmen av beskyttende materiale og overflaten av det trykte kretskortet og utelukker innfangning av slik luft derimellom.

En annen modifisert form av de elastomere puteelementene 14 i figur 1 og 44 i figurene 3, 5 og 7, er vist i figurene 11, 12 og 13. Dette modifiserte elastomere puteelementet, betegnet med henvisningstal1 et 60, er normalt kileformet når det ikke er under mekanisk trykk, slik som vist i figur 11, og er forsynt med et stivt aluminiumsstøtteelement 62. Puteelementet 60 er således plassert med hensyn til den hosliggende overflaten av et trykt kretskort 64 at ved bevegelse av puteelementet 60 mot kortet 64, er den initielle kontakt dermed en enkelt 1 in,j ekontakt langs en kant 66 på den kontaktdannende overflaten 68 av puteelementet 60. Med fortsatt bevegelse av puteelementet 60 mot det trykte kretskortet 64, slik som vist i figur 12, øker kontaktarealet med en konstant takt inntil den kontaktdannende overflaten 68 i kontakt med overflaten på det trykte kretskortet er parallell dermed, slik som vist i figur 13. Slik som med førstnevnte modifiserte form av elastomert puteelement 50, etablerer en trykkbølge som skyver luft ut fra mellom den kontaktdannende overflaten 68 og overflaten på det trykte kretskortet 64. Dette er effektivt til å hindre innfangningen av luft mellom en tørr film av beskyttende materiale (ikke vist i figurene og overflaten av det trykte kretskortet til hvilket slikt beskyttende materiale skal påføres.

Trykkingen eller stemplingen av hvert av de elastomere puteelementene 12, 50 og 60 i figurene 1, 8 og 11 kan utføres under svakt vakuum for å forbedre samsvarigheten og å fjerne eventuelle innfangede luftbobler.

Den utmerkede samsvarighet mellom en tørr film av fotopolymerresist og overflaten av det trykte kretskort når laminert dertil under anvendelsen av fremgangsmåten ifølge oppfinnelsen og anvendelsen av prinsippene som er beskrevet i forbindelse med de elastomere puteelementer 12, 50 og 60, vist i figur 14. I figur 14 betegner henvisningstallet 70 overflaten av det trykte kretskortsubstratet, henvisningstallet 72 betegner de opphevede ledende kretsbaner som er dannet på overflaten av substratet 70, og henvisningstallet 74 betegner den beskyttende filmen av fotopolymert materiale. En utførelsesform av oppfinnelsen for å feste en herdbar tørr film av polymert eller varmefølsomt materiale til begge sider av et trykt kretskort, der deler eller soner av disse skal beskyttes, er vist og beskrevet heri med henvisning til figurene 15, 16, 17 og 18. Disse figurer omfatter respektivt toppriss, høyre sideriss, front- og venstre sideriss av en automatisk opererbar laminator 76 for varmestempling eller trykking av et forutbestemt areal av en film av polymert eller varmefølsomt materiale på valgte områder eller soner av overflatene på begge sider av hver av en rekke av trykte kretskort.

Laminatoren 76 innbefatter en øvre oppvarmet pressplate 78 og en nedre oppvarmet pressplate 80. Tilhørende den øvre oppvarmede pressplaten 78 er en fotopolymer-tørrfilm-tilførselsrull 82, en polyetylenopptagningsrul1 84, og en polyesteropptagningsrull 86. Rullene 82, 84 og 86 er på passende måte understøttet for rotasjon mellom atskilte parallelle, vertikalt plasserte, sideplater 88 og 90, slik det best vil sees i figurene 16 og 18. Platene 88 og 90 er i sin tur fast festet til de motsatte ender av en oppspenningsplate (bolster) slik det best sees i figur 7, som danner en kasselignende struktur. Den øvre oppvarmede pressplaten 78 er festet til og rager ned fra oppspenningsplaten 92. Oppspenningsplaten 92, for hensiktsmessighetens skyld benevnt en mellomliggende oppspenningsplate i det etterfølgende, er understøttet ved hjelp av en dobbeltvirkende hydraulisk sylinder 94 og er ledet for vertikal glidebevegelse på fire parallelle bolter eller staver 96, 98, 100 og 102 til de øvre ender av hvilke sylinderen 94 er fast festet ved hjelp av en øvre oppspenningsplate 104. De nedre ender av boltene 96, 98, 100 og 102 er fast festet til den nedre oppspenningsplaten 106. Oppspenningsplaten 106 hviler på parallelt atskilte bjelker 108 og 106 som, i sin tur, er understøttet ved endene derav på oppadragende rammeelementer 112 og 114 på henholdsvis venstre side og høyre side av laminatoren 76. Tilhørende den nedre oppvarmede pressplaten 80 er en fotopolymer-tørrfilmtilførselsrull 116, en polyetylenopptagningsrull 118 og en polyesteropptagningsrul1 120. Ruller 116, 118 og 120 er på passende måte understøttet for rotasjon mellom atskilte parallelle, vertikalt plasserte, nedre sideplater 122 og 124, slik det hest sees i figurene 16 og 18. Platene 122 og 124 er fast festet til endene av den nedre oppspenningsplaten 106 som er vist i figur 18. Som det der er vist, er den nedre oppvarmede pressplaten 80 likeledes plassert på og understøttet av oppspenningsplaten 106.

Det oppadragende rammeelementet 112, slik som vist i figur 16, danner en enhetlig del av en oppadragende ramme 126 som definerer den venstre siden av laminatoren 76. På tilsvarende måte danner det oppadragende rammeelementet 114 en enhetlig del av et oppadragende rammeelement 128 som definerer den høyre siden av laminatoren 76, som vist i figur 18.

Justerbare føtter 130, 131 og 132, 133 er tilveiebragt på bunnene av de respektive rammeelementer 126 og 128, for nivellering av laminatoren 76.

Med denne struktur, slik som beskrevet, blir, ved nedad-aktivering av den dobbeltvirkende hydrauliske sylinderen 94, den mellomliggende oppspenningsplaten 92 og de tilfestede sideplater 88 og 90 og den øvre oppvarmede pressplaten 78 beveget nedad i en forutbestemt distanse. Distansen som beveges er akkurat tilstrekkelig til å anbringe et elastomert puteelement 136 som bæres på en nedadragende måte ved hjelp av den øvre oppvarmede pressplaten 78 til en laminering, dvs. en stempling eller trykkingsregion 134 for å feste en film av beskyttende materiale til den øvre overflaten av et trykt kretskort som er plassert i regionen 134.

Ved slik nedadbevegelse av den hydrauliske sylinderen 94 og den øvre oppvarmede pressplaten 78, vil den nedre oppvarmede pressplaten 80 og et oppadplassert elastomert puteelement 138 som bæres derved forbli relativt stasjonær. Dette skyldes at den nedre oppvarmede pressplaten 80 er plassert på og understøttet av den nedre oppspenningsplaten 106 som, i sin tur, er fast festet til de nedre ender av boltene 96-102, idet det til de øvre ender av disse er festet den hydrauliske syl inder 94.

Slik som vist i figur 19, som viser den øvre oppvarmede pressplaten 78 og den oppvarmede pressplaten 80 i nærmere detalj , innbefatter den øvre oppvarmede pressplaten 78 et stivt støtteelement 140 for den elastomere puten 136. På tilsvarende måte innbefatter den nedre oppvarmede pressplaten 80 et stivt støtteelement 142 for den elastomere puten 138. De elastomere puter 136 og 138 er ønskelig forsynt med elektrisk energisert oppvarmingselementer som er betegnet henholdsvis 137 og 139.

Tilsvarende det elastomere puteelementet 12 i figur 1, er tverrsnittet av de elastomere puteelementer 136 og 138 når de er i avslappet tilstand eller ikke under mekanisk tilført trykk, rektangulære. Støttestrukturen for de elastomere puteelementer 136 og 138 er slik at imidlertid blir den initielle kontakt for hvert av puteelementene 136 og 138 med en beskyttende film som skal tilføres hver av de motsatte sider av et trykt kretskort, en enkelt 1injekontakt, særlig av hosliggende høyere kanter av puteelementene 136 og 138, slik det sees på tegningene. Deretter, i hvert tilfelle, vil kontaktarealet øke med en konstant takt inntil den kontaktdannende overflaten av hver elastomere pute 136 og 138 er parallell med den individuelt tilhørende overflate av det trykte kretskortet.

I det henseende, slik som vist i figur 19, blir støtte-elementet 140 for puteelementet 136 dreiet for rotasjon på et dreieelement 144 og puteelementet 138 dreies for rotasjon på et dreieelement 146. Støtteelementet 140 for puteelementet 136 er forspent i en retning med urviseren ved hjelp av justerbar luftfjær 148 som er forbundet ved hjelp av et ledd 150 til den høyere enden derav. På tilsvarende måte er støtteelementet 142 forspent for rotasjon i en retning mot urviseren ved hjelp av en justerbar luftfjær 152.

Med denne struktur, ved aktivering av den hydrauliske sylinderen 94 nedad og resulterende bevegelse av den oppvarmede pressplaten 87 mot et trykt kretskort i den laminerende regionen 134, vil den initielle enkeltlinjekontakten av den nedre høyere kanten på det oppvarmede puteelementet 136 trykke en øvre beskyttende film i stemp-1ingsregionen 134 mot den hosliggende øvre overflaten av det trykte kretskortet og kleber dertil. Med den hydrauliske sylinderen 94 som fortsetter å utøve en nedadrettet kraft på den øvre oppvarmede pressplaten 78, vil en reaktiv oppad-rettet kraft utøves på den nedre oppvarmede pressplaten 80 ved hjelp av boltene 96-102. Denne reaktive oppadrettede kraft presser den øvre høyre kanten av den oppvarmede elastomere puten 138 og en nedre beskyttende film i regionen 134 til initielle enkel ti injekontakt med den nedre siden av det trykte kretskortet og kleber filmen dertil.

Under denne operasjon vil luftfjæren 148 og 152 fungere til å opprettholde enkeltlinjekontakten av de høyre endekanter på puteelementene 136 og 138 med de motsatte sider av det trykte kretskortet mens trykket som tilføres av den hydrauliske sylinderen 94 tillates å øke til et forutbestemt høyt nivå avhengig av justeringene av luftfjæren 148 og 152. Ved oppnåelsen av et slikt trykknivå, blir hvert av puteelementene 136 og 138 dreiet meget hurtig i retninger henholdsvis mot og med urviseren, hvilket derved resulterer i full kontakt av den kontaktdannende overflaten derav med den hosliggende overflaten av det trykte kretskortet. Dette etablerer en trykkbølge som skyver luften ut fra mellom nevnte øvre og nedre beskyttende filmer og den korrespon-derende siden av det trykte kretskortet og utfører en hurtig pressing eller stempling av hver av de "beskyttende filmer til nært samsvarende inngrep med siden av det trykte kretskortet som er tilhørende dermed.

Ved fullførelsen av lamineringsoperasjonen, "blir den dobbeltvirkende hydrauliske sylinderen aktivert til å heve den øvre pressplaten 78 ut av stemplings- eller pressingsregionen 134, hvorved det laminerende trykket som er blitt tilført nevnte øvre og nedre overflater av det trykte kretskortet blir lettet.

Laminatoren 76, som er vist i figur 16, innbefatter en beltetransportør 156 for å bevege hver av en flerhet av trykte kretskort 158 i rekkefølge inn i stemplings- eller trykkregionen 134 mellom den øvre pressplaten 78 og den nedre pressplaten 80. Hvert av de trykte kretskortene 158, av hvilke kun et sees på tegningene sentreres når det beveges inn i regionen 134. Midlet for å sentrere kretskortene er ikke vist ettersom slike midler er kjent og danner ingen del av den foreliggende oppfinnelse.

Ettersom hver av rekkene av trykte kretskort 158 trans-porteres inn i pressings- eller stemplingsregionen 154, vil en griper (ikke vist) gripe den fremre kanten av kortet 158 og holde det immobilt under pressingen eller stemplingen av beskyttende filmer til de motstående overflater derav. Etter stemplingsoperasjonen, blir det trykte kretskortet 158 forflyttet fremover for påfølgende stemplings- eller pressingsoperasjoner eller fjerning til en herdestasjon, eksempelvis en ultrafiolett stasjon eller en infrarød stasj on.

Slik det best fremgår av figur 19, er en øvre film 162 av tørr film av fotopolymermateriale tilhørende den øvre oppvarmede pressplaten 78 for å påføre en beskyttende film på den øvre overflaten av det trykte kretskortet 158. En lignende nedre film 164 av tørr film av fotopolymermaterialet er knyttet til den nedre oppvarmede platen 80 for påføringen av en beskyttende film til den nedre overflaten av det trykte kretskortet 158.

Hver av filmene 162 og 164 innbefatter en respektivt tilhørende bærerbane av polyester 166 og 168. Dannet på bærerbanen 166 og 168 er respektivt tilhørende jevnt atskilte områder eller øyer 170 og 172 av tørr film av fotoresist-materiale, hvor samtlige av disse arealer kan være av det samme materialet og størrelse som beskrevet tidligere i forbindelse med figurene 2-7.

Når den øvre filmen 162 vikles av fra fotopolymertilførsels-rullen 82, blir en polyetylendekkfi lm 174 derpå avskrellet og viklet opp på polyetylenopptagningsrullen 84. Bærerbanen 176 av polyester med de jevnt atskilte områder 170 av fotoresist som vender nedad, føres over føringsruller 176, pakkes ned og rundt den oppvarmede pressplaten og de elastomere puten 136, og føres over føringsruller 178 til polyesteropptagningsrullen 86 hvor den vikles opp.

Likeledes, ettersom den nedre filmen 164 vikles av fra tilførselsrullen 116, blir en polyetylendekkfilm avskrellet og viklet opp på polyesteropptagningsrullen 118. Bærerbanen 168 av polyester med de jevnt atskilte områder 172 av fotoresist som vender oppad føres over lederuller 182, vikles opp og rundt den oppvarmede pressplaten 80 og den elastomere puten 138, og føres over lederuller 184 til polyesteropptagningsrullen 120 hvor den vikles opp.

I operasjonen av denne utførelsesform av oppfinnelsen, blir et trykt kretskort 158, hvis øvre og nedre overflater skal beskyttes, transportert ved hjelp av beltetransportøren inn i stemplings- eller pressingsregionen 134 av laminatoren 76 hvor den fremre kanten av det trykte kretskortet 158 gripes av en griper. Bærerbanen 166 og 168 føres så frem til å bringe et respektivt tilhørende område 170 og 172 av tørr film fotoresist inn i pressings- eller stemplingsregionen 134 i riktig innretning med delen eller sonen på henholdsvis nevnte øvre og nedre overflater av kretskortet 168 som skal beskyttes.

Når således plassert i regionen 134 i operativt forhold med henholdsvis de øvre og nedre oppvarmede pressplater, blir områdene 170 og 172 av fotoresist og respektivt tilhørende bærerbaner 166 og 168 holdt i passende atskilte forhold dermed for derved å unngå fysisk kontakt og for tidlig oppvarming inntil den dobbeltvirkende hydrauliske sylinderen 94 blir bragt i aksjonssyklus. Operasjonen av sylinderen 94 for bevegelse av den øvre pressplaten 78 fra den hevede posisjonen derav, slik det sees på tegningen, til den nedre laminerende posisjonen og tilbake til den opphevede posisjonen ved fullførsel av lamineringsoperasjonen, kan skje i en kontinuerlig syklus.

To operasjonsmodi tilsiktes for laminatoren 76. Ifølge en første modus blir bærerbanene 166 og 168 ført frem til bringeområder 170 og 172 av tørr fotoresist til riktig innretning for påføring til et trykt kretskort kun en gang for hvert kretskort til hvilket en beskyttende film skal tilføres. Dette betyr, ved påføring av filmen til hver side av et trykt kretskort 158, at kortet 158 fjernes fra laminatoren 76 for herding, plettering, stripping etc. på et annet sted.

Ifølge en andre modus tilsiktes det at bærerbanen 166 og 168 kan fremføres mer enn en gang, og flere ganger, om ønskelig, for hvert trykte kretskort til hvilket beskyttende filmer skal påføres. Således, etter at en beskyttende film er blitt påført de første deler eller soner på de motsatte sider av et trykt kretskort 158, kan kortet 158 forflyttes fremover til å bringe ytterligere deler derav som skal beskyttes inn i lamineringsregionen 134 for stempling derpå av beskyttende filmer. Bærerbanene 166 og 168 kan føres frem samtidig til å bringe respektive tilhørende områder 170 og 172 av fotoresist til innretning med slike ytterligere deler av kortet 158 som skal beskyttes.

Figur 20 illustrerer et system av maskinstasjoner som kan anvende i anvendelsen av den foreliggende oppfinnelse ved fremstillingen av trykte kretskort eller halvlederskiver (i det etterfølgende betegnet som "komponenter"). I figur 20 betegner henvisningstallet 186 en x-linje roterende matrise-presse for å tilveiebringe prekuttet rullmateriale 188 på hvilket eksempelvis jevnt atskilte herdbare tørrfilmområder av fotopolymerresist er innleiret mellom en polyetylen-frigjørings- eller dekkduk og en polyesterbærerbane, slik som beskrevet tidligere. Det prekuttede rullmaterialet anvendes i en automatisk laminator 190 som kan være identisk med laminatoren 76 i figurene 15-19.

Fra laminatoren 190 blir komponentene til hver av hvilke en beskyttende resistfilm skal tilføres, ført frem til en ultrafiolett herdingsstasjon 192 for herding av resisten og derved å herde denne. Dette setter resisten i stand til å motstå de kjemiske oppløsninger i pletteringsbadene som den utsettes for under påfølgende pletteringsoperasjoner av komponentene.

Etter en passende herdingsperiode, blir komponentene flyttet til en pletteringsmaskin 194 som kan omfatte en mikroplet-teringslinj e.

Ved fullførelsen av pletteringen, blir komponentene flyttet til en strippingsmaskin 196 som kjemisk stripper resisten fra komponentene. Det bemerkes at denne stripping er en vandig behandlingsbar operasjon når resisten som anvendes er den nevnte "Laminar"-tørrfi lm fotopolymeren.

Fra strippingsmaskinen 196 blir komponentene flyttet videre til en stabler 198.

Figur 21 er en skjematisk illustrasjon av en alternativ form av lamineringsanordning, betegnet med henvisningstallet 200, som kan anvendes for å utøve fremgangsmåten ifølge den foreliggende oppfinnelse og som involverer bruken av en varm elastomer pute for stempling eller pressing av en herdbar tørr film av polymert eller varmefølsomt materiale til bestemte overflatearealer av en flerhet av komponenter i rekkefølge, hvilke overflatearealer skal beskyttes fra strippings- og pletteringsoperasjoner under fremstillingen derav.

Lamineringsanordningen 200 som er vist i figur 21 innbefatter en tilførselsrull 202 av tørr film av polymert materiale som ønskelig kan omfatte nevnte laminære tørrfilm fotopolymerresist, innbefattende en polyetylendekkfilm 204 og en polyesterbærer eller støttebane 206. Slik som vist, blir polyetylendekkfilmen 204 avskrellet fra tilførselsrullen og viklet opp på en polyetylenopptagningsrull 208. Polyesterbærerbanen 206 med en tørrfilm av fotopolymerresistmateriale 210 på den øvre overflaten derav dirigeres gjennom et grunt, langstrakt trau 212 som fører bærerbanen 206 med resisten derpå til en første vakuumoppf angningsstasj on 214 hvor et vakuumhode 216 plukker opp og plasserer tørrfilmresisten 210 for kutting til en lengde som passer for påføring til overflaten av en komponent som skal beskyttes. Den kuttede lengden av tørrfilmresisten 210 posisjoneres ved hjelp av vakuumhodet 216 i trauet 212 på en andre oppfangningsstasjon 218. På oppfangningsstasjonen 218 plukker et oppfangningshode 220 opp den kuttede lengden av tørrfilmresist 210 og plasserer den på en overflatedel eller sone av en komponent som skal beskyttes, idet den kleber den på plass ved å anvende varme og trykk ved fremre og bakre kanter derav. Komponentene blir så ført videre under et høytrykksoppvarmet hode 222 som omfatter en høytrykkslamineringsstasjon 224. Polyesterbærerbanen 206 fortsetter videre gjennom trauet 212 og vikles opp på en polyesteropptagningsrull.

Således er det, i henhold til oppfinnelsen, blitt tilveiebragt forbedrede fremgangsmåter og anordninger for effektivt å påføre en tørr film av polymert eller varmefølsomt materiale til et bestemt område eller bestemte områder av hver av overflatene av en flerhet av komponenter for å gi beskyttelse fra pletterings- og strippingsoperasjonene under fremstillingen derav, hvilke fremgangsmåter og anordninger kjennetegnes ved et fravær av et hvilket som helst behov for å anvende risikofylte kjemikalier. Oppfinnelsen anvender en varm elastomer pute som støttes av en stiv overflate for stempling og/eller pressing av den tørre filmen av beskyttende materiale til overflaten av hver av en flerhet av komponenter i rekkefølge, og kjennetegnes ved sin mulig-gjøring av initiell enkeltpunkt- eller enkel ti injekontakt av den elastomere kontaktdannende overflaten med overflaten av komponenten for å hindre luftinnfangning mellom tørrfilm-resisten og overflaten av komponenten. Oppfinnelsen kjennetegnes ytterligere ved sine muligheter for å gi større samsvarighet mellom den beskyttende filmen og overflaten av substratet.

For å øke jevnheten i tykkelsen eller fordelingen av belegget av herdbar film over overflatene av de hevede elektriske ledende kretsbaner på et trykt kretskort, mens det gis utmerket samsvarighet for flik bg forbindelsesfingerplet-teringsoperasjoner, foretrekkes det, for praktiseringen av fremgangsmåten og anordningene ifølge den foreliggende oppfinnelse, å anvende i tilknytning til den herdbare tørre filmen et såkalt "toppbelegg", slik som eksempelvis beskrevet til bruk i dannelsen av en hard permanent loddemaske som er angitt i norsk patentsøknad nr. 890656 og som det her henvises til, og som er overdratt til assignataren for foreliggende søknad. Nærmere bestemt foretrekkes det å anvende en tørr film som er tilgjengelig kommersielt under varemerket "Conformask" 1000 fra Dynachem Division i Morton Thiokol, Inc., hvilken tørr film modifiseres ved tilføyelsen av et slikt toppbelegg til filmen eller laget fotopolymerresi st.

Den modifiserte tørre film, som er blitt betegnet med henvisningstallet 226 i figur 22, innbefatter en bærerbane eller en dekkduk 228 av fleksibelt, men generelt ikke-tilpassende materiale, typisk en polyester slik som poly-etylentereftalat. Tilsvarende bærerbanen 28 i figur 2 med hvilken den kan være identisk, gir bærerbanen 228 tørrfilmens form mens den tillater den å bli rullet til en rull. Et tynt lag av materiale som danner toppbelegget 230 er tilveiebragt på en overflate av bærerbanen 228. En herdbar tørr film 232 av fotopolymerresist danner et lag på den andre overflaten av toppbelegget 230. Et slikt lag av herdbar tørr film 232 og tilhørende lag av toppbelegg 230, blir, i henhold til oppfinnelsen, fortrinnsvis dannet, slik som vist i figur 23 på overflaten av bærerbanen 228 langs lengden av sistnevnte som en rekkefølge av jevnt atskilte stykker, øyer eller områder tilsvarende områdene 26 i figur 2 som er tidligere beskrevet her. En fjernbar polyetylendekk- eller frigjørings-film 234 dekker toppbelegget 230 og den herdbare tørre filmen 232, strekker seg over den fulle lengde av bærerbanen 228, og gir beskyttelse for den herdbare tørre filmen 232.

Materialet som anvendes til å danne toppbelegget 230 blir selektivt klebende til den tørre filmen 232 relativt adhesjonen derav til bærerbanen 228, hvorved bærerbanen 228 kan fjernes fra toppbelegget 230, hvilket etterlater toppbelegget 230 som et beskyttende dekke, og en bærerstøtte, likeledes for den herdbare tørre filmen 232. Toppbelegget 230 kan ha en tykkelse av ca. 1 pm til 12 pm, typisk mellom 2 pm og 5 pm. Når anvendt med en polyetylentereftalatbærerbane 228 og en herdbar tørr film 232 som er fremkallbare i vandig eller alkalisk vandig fremkaller, foretrekkes det å anvende et materiale for toppbelegget 230 som består i alt vesentlig av (a) mellom 10 vekt-% og 100 vekt-$ av en kopolymer dannet av kopolymeriseringen av mellom 95 og ca. 99 mol-$ av polyvirtylacetat og mellom ca. 1 og ca. 5 mol-% av alkylester og akrylsyre og som hydrolyseres til minst ca. 75%, (b) inntil ca. 90 vekt-$ av hydroksyetylcellulose, og (c) inntil ca. 10 vekt-$ av mykningsmiddel. De ovenfor beskrevne kopolymerer selges under handelsbetegnelsen "Vinol-118M" av Air Products, og 4 vekt-$ oppløsninger av disse kopolymerer har viskositeter som strekker seg fra ca. 5 til ca. 65 cP ved 20°C.

En mykner, dersom den anvendes, har tendens til å senke klebetemperaturen for toppbeleggmaterialet. Klebetemperaturer under ca. 100"C er blitt oppnådd under anvendelse av myknere. En toppbeleggsammensetning som har en nedre klebetemperatur er lettere å feste til den herdbare tørre filmen 232. Foretrukne myknere er sammensetninger med lav molekylar vekt, f.eks. under ca. 200, som har to eller flere hydroksyl-grupper, slik som glycerin, etylenglykol og propylenglykol. Selv om myknere ønskelig senker klebetemperaturen, øker de også oksygenpermeabilitet for toppbelegget. Følgelig blir ønskelige mengder av myknere som er mer en 10 vekt-% unngått.

Fremgangsmåten for å danne den tørre filmen 226 er følgelig i henhold til kjente prosedyrer. Toppbelegget og den herdbare film eller fotoresistlagene kan suksessivt påføres bærerbanen ved hjelp av metoder, slik som valsebelegging eller ved å sprøyte oppløsninger eller dispergeringer av materialene.

Den modifiserte tørre filmen 226 er særlig fordelaktig for bruk i påføringen, slik som ved pressing eller stempling ved hjelp av en varm elastomer pute, av en jevnt tykk herdbar tørr film til en overflate eller en bestemt del derav, særlig en ujevn eller uregelmessig overflate på grunn av kretsopptegninger derpå, av hver av en flerhet av trykte kretskort, hvilken overflate, i hvert tilfelle, skal beskyttes fra strippingen og pletteringsoperasjonene som er involvert ved fremstillingen av trykte kretskort.

Festemåten for den herdbare tørre filmen 232 til en del eller sone av et trykt kretskort som skal beskyttes, kan være som vist tidligere i forbindelse med pressingen eller stemplingen av en herdbar tørr film til et valgt overflateområde av et kretskort, bortsett fra at bærerbanen 228 fjernes forut for å bevege den herdbare tørre filmen 232 mellom den elastomere puten og det trykte kretskortet til hvilket den herdbare tørre filmen 232 skal påføres, eksempelvis den elastomere puten 46 og kortet 34 i figurene 3, 5 og 7 eller den elastomere puten 136 og et trykt kretskort som er plassert i regionen 134 i figur 18. Som en følge derav vil den elastomere puten, i hvert tilfelle, danne kontakt med toppbelegget 230 ved utføringen av pressingen av den herdbare tørre filmen 232 til overflaten av kretskortet, idet toppbelegget 230 omfatter, slik som nevnt et tynt lag som er langt bedre tilpasset overflatens uregelmessigheter på kretskortet enn hva polyesterbærerbanen 228 er.

Materialet i toppbelegget 230 kjennetegnes ved gjennomsiktigheten derav for å tillate den herdbare tørre filmen 232 å bli utsatt for ultrafiolett (UV) lys derigjennom. Det velges også for sin styrke og fleksibilitet. Som en følge derav, vil det ved pressingsoperasjonen ved hjelp av den elastomere puten av den herdbare tørre filmen til overflaten av kortet oppnås utmerket tilpasning eller samsvarighet av den herdbare tørre filmen 232 til den ujevne overflaten av kortet, med større jevnhet i tykkelse av filmen 232 over kretsopptegninger for forbindelsesfliker eller -fingre. Det er i tillegg blitt funnet at slik tilpasning og større jevnhet i tykkelse kan oppnås under anvendelse av den modifiserte tørre filmen med påføringen av vesentlig lavere trykk til den elastomere puten. Dette unngår et problem hvor pressing eller stempling av den herdbare filmen, særlig under høyt trykk, har tendens til å bevirke den herdbare tørre filmen 232 til å strømme og tynnes ut, uønsket, fra mellom de øvre overflatedelene eller høye punktene på kretsopptegningene og den elastomere puten eller annen stemplingsanordning.

Bruken av pressing eller stempling som anvender lavere trykk er ytterligere fordelaktig ved at dette unngår et annet problem som møtes med pressing eller stempling på høyere trykk, særlig stansingen av den herdbare tørre filmen gjennom hull som er til stede i det trykte kretskortet innbefattende pletterte gjennomgående hull, hvilket har tendens til å medføre rivning i den herdbare tørre filmen og frileggelse av kobberet.

På grunn av den større jevnhet i tykkelse derav, særlig det resulterende tykkere laget derav på de øvre deler av kretsopptegningene, har den herdbare tørre filmen 232 bedre motstandskraft uten å bli gnidd av av skrubbingen som kreves for å fjerne skum fra fingrene eller eventuelle små utvekster eller grove punkter.

Toppbelegget 230 er dannet av et materiale som ønskelig velges for oksygen-ugjennomtrengelighet, hvorved beskyttelse tilveiebringes for det underliggende lag av herdbar tørr film 232 fra oksygenhemming under fri radikal fotopolymerisering i eksponeringstrinnet, hvorved det unngås et problem med oksygen interferens med prosessen å få den herdbare tørre filmen til å herde opp når den utsettes for ultrafiolett lys.

Med fordel velges toppbelegget 230 til være vandig strippbart slik at det lett kan vaskes av før den trykte kretskortdelen som skal pletteres plasseres i pletteringsoppløsningen. Den herdbare tørre filmen som må motstå pletteringsoppløsningen kan strippes etter fullførelse av pletteringsoperasjonen ved å bli anbragt i en vandig alkalisk oppløsning.

Med denne beskrivelse av oppfinnelsen i detalj, vil fagfolk forstå at modifikasjoner kan foretas på oppfinnelsen uten å avvike fra dens idé. Det er derfor ikke tilsiktet at omfanget av oppfinnelsen skal begrenses til de bestemte utførelses-former som er blitt vist og beskrevet. I stedet er det tilsiktet at omfanget av oppfinnelsen skal være bestemt av omfanget av de vedlagte patentkrav.

Claims

1. Fremgangsmåte for å påføre en herdbar film av polymert materiale til overflaten av et arbeidsstykke for å gi beskyttelse for arbeidsstykket under fremstillingen derav, karakterisert ved trinnene: (a) å innføre film av polymert materiale mellom overflaten av arbeidsstykket som skal beskyttes og den kontaktdannende overflaten av en elastomer pute som støttes av en stiv plan overflate, (b) å bevege den elastomere puten til kontakt med filmen av polymert materiale med den kontaktdannende overflaten av den elastomere puten således kjennetegnet at arealet av initiell kontakt er vesentlig mindre enn arealet av hele den kontaktdannende overflaten derav med kontaktarealet økende med en i alt vesentlig konstant takt inntil den kontaktdannende overflaten av den elastomere puten i alt vesentlig sammenfaller med overflaten av arbeidsstykket, hvorved en trykkbølge frembringes som skyver luft ut fra mellom filmen av polymert materiale og overflaten av arbeidsstykket, hvilken luft ellers ville bli innfanget mellom filmen av polymert materiale og overflaten av arbeidsstykket .

2. Fremgangsmåte som angitt i krav 1, karakterisert ved at formen av den kontaktdannende overflaten av den elastomere puten når den er i avslappet tilstand, er pyramideformet og den elastomere puten er således anordnet relativt overflaten av arbeidsstykket at toppen derav er plassert til å bevirke en initielle enkeltpunktkontakt med filmen av polymert materiale.

3. Fremgangsmåte som angitt i krav 1, karakterisert ved at den elastomere puten har form av en kile og plasseres slik relativt overflaten av arbeidsstykket at en kant ved den tykkere del derav danner en initiell enkelt-1injekontakt med filmen av polymert materiale.

4. Fremgangsmåte som angitt i krav 1, karakterisert ved at den elastomere puten, i lengdesnitt, er i alt vesentlig rektangulær i form, dreies for rotasjon med en kant derav plassert til å danne en initiell enkeltlinjekontakt med filmen av polymert materiale, og er fjærforspent for rotasjon i retningen som har tendens til å opprettholde slik enkeltlinjekontakt.

5 . Fremgangsmåte som angitt i krav 1, karakterisert ved at det ytterligere trinn: (c) å påføre laminerende trykk på den elastomere puten etter at den kontaktdannende overflate derav og overflaten av arbeidsstykket i alt vesentlig sammenfaller, for derved å feste filmen av polymert materiale til overflaten av arbeidsstykket.

6. Fremgangsmåte for å frembringe masker på trykte kretser ved å påføre en herdbar tørr film av polymert materiale til et overflateområde av den trykte kretsen som skal beskyttes, idet nevnte overflateområde innbefatter områder av ikke-plan geometri , karakterisert ved : (a) å danne på en bærerbane en herdbar film av polymert materiale som har et område som tilsvarer området av den trykte kretsen som skal beskyttes, idet nevnte bærerbane kan avskrelles fra nevnte tørre film av polymert materiale, (b) å påføre den tørre filmen av polymert materiale til overflateområdet av den trykte kretsen som skal beskyttes ved å presse bærerbanen og den tørre film av polymert materiale mot den trykte kretsen ved hjelp av en elastomer pute som har en overf lateregion for å danne kontakt med bærerbanen og den tørre filmen av polymert materiale, idet nevnte overflateregion av den elastomere puten er således kjennetegnet at arealet av initiell kontakt derav med bærerbanen og filmen av polymert materiale er vesentlig mindre enn hele arealet av nevnte overflateregion med kontaktarealet økende med en i alt vesentlig konstant takt inntil nevnte overflateregion i alt vesentlig sammenfaller med overflaten av den trykte krets som skal beskyttes, hvorved en trykkbølge frembringes som skyver luft fra mellom det polymere materialet og den trykte kretsen, hvilken luft ellers kunne bli innfanget mellom filmen av polymert materiale og den trykte kretsen, og (d) å skrelle bærerbanen vekk fra den trykte kretsen.

7. Fremgangsmåte for å frembringe masker på trykte kretser ved å påføre en herdbar tørr film av polymert materiale til området av den trykte kretsen som skal beskyttes, der området av den trykte kretsen som skal beskyttes involverer områder av ikke-plan geometri, karakterisert ved (a) å forme på en bærerbane en herdbar tørr film av polymert materiale som har et areal som tilsvarer arealet av den trykte kretsen som skal beskyttes, idet nevnte bærerbane kan avskrelles fra nevnte tørre film av polymert materiale, (b) å påføre den tørre filmen av polymert materiale til den trykte kretsen ved å transportere den trykte kretsen til samvirkende forhold med banen med den tørre filmen av polymert materiale vendende mot den trykte kretsen og innrettet dermed, (c) å feste den tørre filmen av polymert materiale til området av den trykte kretsen som skal beskyttes ved å presse bærerbanen og den tørre filmen av polymert materiale mot den trykte kretsen ved hjelp av en elastomer pute som har en overf lateregion for å danne kontakt med bærerbanen, idet overflateregionen av den elastomere puten støttes av en stiv plan overflate, er myk nok og således kjennetegnet at den virker tilsvarende et ukomprimerbart fluidum til å tilføre i alt vesentlig likt trykk sideveis samt i retningen av trykkpåføringen til hele overflaten av den trykte kretsen som blir kontaktet av den tørre filmen av polymert materiale, innbefattende områdene som har ikke-plan geometri , og (d) å skrelle bærerbanen bort fra den trykte kretsen.

8. Fremgangsmåte som angitt i krav 7, karakterisert ved at det elastomere materialet har en hardhet i området 60 ± 20 som målt av et durometer.

9. Fremgangsmåte som angitt i krav 7, karakterisert ved at nevnte overflateregion av den elastomere puten er således kjennetegnet at området av initiell kontakt derav med bærerbanen og den tørre filmen av polymert materiale er vesentlig mindre enn området av hele overflateregionen, med kontaktarealet økende med en i alt vesentlig konstant takt inntil nevnte overflateregion i alt vesentlig sammenfaller med området av den trykte kretsen som skal beskyttes, hvorved en trykkbølge frembringes som skyver luft ut fra mellom den tørre filmen av polymert materiale og området av den trykte kretsen som skal beskyttes.

10. Anordning for å påføre en herdbar film av polymert materiale til overflaten av et arbeidsstykke for å gi beskyttelse for arbeidsstykket under fremstillingen derav, karakterisert ved : en elastomer pute som har en kontaktdannende overflate, en stiv støtte for nevnte elastomere pute, middel for å plassere en herdbar film av polymert materiale mellom nevnte kontaktdannende overflate av nevnte elastomere pute og overflaten av arbeidsstykket som skal beskyttes, middel for å bevege nevnte kontaktdannende overflate av nevnte elastomere pute til kontakt med filmen av polymert materiale for derved å presse filmen av polymert materiale mot overflaten av arbeidsstykket som skal beskyttes, idet nevnte kontaktdannende overflate av nevnte elastomere pute kjennetegnes ved at arealet av den initielle kontakten er vesentlig mindre enn arealet av hele den kontaktdannende overflaten med kontaktarealet økende med en i alt vesentlig konstant takt inntil den kontaktdannende overflaten av den elastomere puten i alt vesentlig sammenfaller med overflaten av arbeidsstykket som skal beskyttes, hvorved en trykkbølge frembringes som skyver luft ut fra mellom filmen av polymert materiale og overflaten av arbeidsstykket, hvilken luft ellers kunne bli innfanget mellom filmen av polymert materiale og overflaten av arbeidsstykket.

11. Anordning som angitt i krav 10, karakterisert ved at formen av den elastomere puten når den er i avslappet tilstand er pyramideformet med den elastomere puten anordnet med hensyn til overflaten av arbeidsstykket som skal beskyttes slik, at toppen derav er plassert til å danne en initiell enkeltpunktkontakt med filmen av polymert materiale.

12. Anordning som angitt i krav 10, karakterisert ved at den elastomere puten har formen av en kile og er således plassert relativt arbeidsstykket at en kant på den tykkere delen danner en initiell enkeltlinjekontakt med filmen av polymert materiale.

13. Anordning som angitt i krav 10, karakterisert ved at den elastomere puten i lengdesnitt er i alt vesentlig rektangulært i form, er dreiet for rotasjon med en kant derav som er plassert til å bevirke en initiell enkeltlinjekontakt med nevnte bærerbane og nevnte ene film av polymert materiale, og dessuten innbefatter fjærforspennings-middel for å forspenne nevnte elastomere pute for rotasjon i retningen som har tendens til å opprettholde slik enkelt-1inj ekontakt.

14 . Anordning som angitt i krav 10, karakterisert ved at dessuten å innbefatte middel for å påføre laminerende varme og trykk til den elastomere puten etter at den kontaktdannende overflate derav i alt vesentlig sammenfaller med overflaten av arbeidsstykket som skal beskyttes til å feste filmen av polymert materiale til overflaten av arbeidsstykket.

15 . Anordning for å frembringe masker på trykte kretser ved å påføre en bærbar tørr film av polymert materiale til et overflateområde av den trykte kretsen som skal beskyttes, hvilket overflateområde kan innbefatte områder av ikke-plan geometri, karakterisert ved : midler som danner på en bærerbane en flerhet av jevnt atskilte herdbare tørre filmer av polymert materiale av den samme størrelse, med hver tørre film oppvisende et areal som tilsvarer overflatearealet av den trykte kretsen som skal beskyttes, idet nevnte bærerbane kan avskrelles fra nevnte tørre filmer av polymert materiale, en elastomer pute som har en kontaktdannende overflate, en stiv støtte for nevnte elastomere pute, midler for å plassere nevnte bærerbane med en av nevnte filmer av polymert materiale formet derpå mellom nevnte kontaktdannende overflate av nevnte elastomere pute og overflaten av en trykt krets til hvilken en maske skal påføres, midler for å bevege nevnte kontaktdannende overflate til kontakt med bærerbanen og nevnte ene film av polymert materiale for derved å presse nevnte ene film av polymert materiale mot overflaten av den trykte kretsen, idet nevnte kontaktdannende overflate av nevnte elastomere pute kjennetegnes ved arealet av initiell kontakt er vesentlig mindre enn arealet for hele den kontaktdannende overflate av nevnte elastomere pute, med kontaktarealet økende med en i alt vesentlig konstant takt inntil den kontaktdannende overflaten av den elastomere puten sammenfaller med overflaten av den trykte kretsen til hvilken en maske skal påføres, hvorved en trykkbølge frembringes som skyver luft fra mellom filmen av polymert materiale og overflaten av den trykte kretsen, hvilken luft ellers kunne bli innfanget mellom filmen av polymert materiale og overflaten av den trykte kretsen.

16. Anordning som angitt i krav 15, karakterisert ved at den elastomere puten i lengdesnitt er i alt vesentlig gitt rektangulær form, er dreiet for rotasjon med en kant derav som er plassert til å bevirke en initiell enkel ti injekontakt med nevnte bærerbane og nevnte ene film av polymert materiale, og dessuten innbefatter fjærforspenningsmidler som har tendens til å forspenne nevnte elastomere pute for rotasjon i retningen som har tendens til å opprettholde slik enkeltlinjekontakt.

17. Anordning som angitt i krav 16, karakterisert ved at nevnte fjærforspenningsmidler innbefatter en justerbar luftfjær.

18. Anordning for å frembringe masker på trykte kretskort ved å påføre en herdbar tørr film av polymert materiale til overflateområder på begge sider av de trykte kretskortene som skal beskyttes, hvilke overflateområder kan innbefatter områder av ikke-plan geometri, karakterisert ved første og andre tilførselsmaterialruller som omfatter jevnt atskilt herdbar tørr film av polymert materiale av i alt vesentlig den samme størrelse innleiret mellom en kontinuerlig plastdekkfilm og en kontinuerlig polyesterbærerbane med arealet av hver tørre film tilsvarende overflatearealene av de trykte kretskort til hvilke en maske skal påføres, idet nevnte plastdekkfi lm og nevnte bærerbane kan avskrelles fra nevnte tørre filmer, første og andre opptagningsruller som er tilhørende respektivt nevnte første og andre tilførselsruller, med nevnte plastdekkfilm som er avskrellet fra materialet som stammer fra nevnte første tilførselsrull viklet på nevnte første opptagningsrull og med nevnte plastdekkfilm som er avskrellet fra materialet som stammer fra nevnte andre tilførselsrull viklet på nevnte andre opptaksrull, tredje og fjerde opptaksruller som er knyttet respektivt til nevnte første og andre tilførselsruller med nevnte bærerbane som er avskrellet fra materialet som stammer fra nevnte første tilførselsrull viklet på nevnte tredje opptagningsrull og med nevnte bærerbane som er avskrellet fra materialet som stammer fra nevnte andre tilførselsrull påviklet nevnte første tilførselsrull, en første pressplate for å presse nevnte bærerbane og tørre film av polymert materiale som stammer fra nevnte første tilførselsrull på overflaten av en av sidene av det trykte kretskortet, en andre pressplate for å presse nevnte bærerbane og tørre film av polymert materiale som stammer fra nevnte andre tilførselsrull på den andre siden av det trykte kretskortet, et første støttemiddel for nevnte første tilførselsrull, nevnte første og tredje opptagningsrull og nevnte første pressplate, et andre støttemiddel for nevnte andre tilførselsrull, nevnte andre og fjerde tilførselsruller, og nevnte andre pressplate, føringsmiddel på nevnte første støttemiddel for å føre nevnte "bærerbane og nevnte tørre film av polymert materiale som stammer fra nevnte første tilførselsrull inn i samvirkende forhold med nevnte første pressplate, føringsmiddel for nevnte andre støttemiddel for å føre nevnte bærerbane og nevnte tørre film av polymert materiale som stammer fra nevnte andre tilførselsrull inn i samvirkende forhold med nevnte andre pressplate, transporteringsmiddel for å transportere en trykt krets som skal beskyttes mellom nevnte første og andre pressplater og de respektive individuelt tilhørende bærerbaner og tørre filmer av polymert materiale, og middel for å utføre relative bevegelser av nevnte første og andre støttemidler for derved å bevirke nevnte første pressplate til å danne kontakt og presse den tilhørende nevnte bærerbane og tørre film av polymert materiale mot nevnte ene side av det trykte kretskortet og å bevirke nevnte andre pressplate til å danne kontakt med og trykke den tilhørende nevnte bærerbane og tørre film av polymert materiale mot nevnte andre side av det trykte kretskortet.

19. Anordning som angitt i krav 18, karakterisert ved at nevnte første og andre pressplater innbefatter en respektivt tilhørende første og andre elastomere pute, hvor hver av disse puter har en stiv støtte og er dreiet for rotasjon, og dessuten innbefatter: et første fjærmiddel for å forspenne nevnte første elastomere pute for rotasjon i en retning med urviseren, og et andre fjærmiddel for å forspenne nevnte andre elastomere pute for rotasjon i en retning mot urviseren, hvorved ved "bevegelse av den første elastomere puten som er tilknyttet nevnte første pressplate til pressende kontakt med nevnte bærerbane og tørre film av polymer som er tilhørende denne, den initielle kontakt dermed skjer langs en første kant derav, og ved pressende kontakt av den andre elastomere puten som er knyttet til nevnte andre plate til pressende kontakt med nevnte bærerbane og tørre film av polymer som er tilhørende denne, den initielle kontakt dermed skjer langs en kant derav som er hosliggende nevnte første kant av nevnte første elastomere pute.

20. Fremgangsmåte for fremstilling av masker på trykte kretser ved å påføre en herdbar tørr film av polymert materiale til området av den trykte kretsen som skal beskyttes, karakterisert ved (a) å forme på en bærerbane en herdbar tørr film av polymert materiale som har et areal som tilsvarer arealet av den trykte kretsen som skal beskyttes, idet nevnte tørre film av polymert materiale er avskrellbar fra nevnte bærerbane , (b) å påføre den tørre filmen av polymert materiale til den trykte kretsen ved å transportere nevnte formede område av tørr film på nevnte bærerbane under den trykte kretsen og i innrettet motvendende forhold dermed, (c) å feste den tørre filmen av polymert materiale til området av den trykte kretsen som skal beskyttes ved å presse bærerbanen og den tørre filmen av polymert materiale mot den trykte kretsen, og (d) å skrelle bærerbanen bort fra den trykte kretsen.

21 . Fremgangsmåte for å frembringe masker på trykte kretser ved å påføre en herdbar tørr film av polymert materiale til området av den trykte kretsen som skal beskyttes, idet området av den trykte kretsen som skal beskyttes involverer områder av ikke-plan geometri, karakterisert ved (a) å forme på en bærerbane et toppbelegg av polymert materiale som kjennetegnes ved gjennomsiktigheten, styrken og fleksibiliteten derav, (b) å forme på nevnte toppbelegg en herdbar tørr film av polymert materiale, eller i nevnte herdbare tørre film har et areal som tilsvarer arealet av den trykte kretsen som skal beskyttes, idet nevnte toppbelegg har en større adhesjonsevne til nevnte herdbare tørre film enn til nevnte bærerbane, hvorved nevnte bærerbane kan avskrelles fra nevnte toppbelegg og herdbare tørre film, (c) å forme på nevnte herdbare tørre film en fjernbar beskyttende film, (d) å avskrelle nevnte fjernbare beskyttende film fra nevnte herdbare tørre film, (e) å avskrelle nevnte bærerbane fra nevnte toppbelegg og herdbare tørre film, (f) å påføre nevnte herdbare tørre film av polymert materiale til den trykte kretsen ved å transportere nevnte formede områder av herdbar tørr film og nevnte toppbelegg i operativ tilknytning til den trykte kretsen i innrettet motvendende forhold dermed, og (g) å feste nevnte tørre film av polymert materiale til området av den trykte kretsen som skal beskyttes ved å presse nevnte toppbelegg og herdbare tørre film mot den trykte kretsen ved hjelp av en elastomer pute som har en overflateregion for kontaktdannelse med nevnte toppbelegg.

22 . Fremgangsmåte som angitt i krav 21, karakterisert ved at i trinn (g) blir nevnte elastomere pute oppvarmet og' overflateregionen derav understøttes av en stiv plan overflate, er myk nok og således kjennetegnet at den virker tilsvarende et ukomprimerbart fluidum for å påføre i alt vesentlig like trykk sideveis samt i retningen av trykktilføringen til hele overflaten av den trykte kretsen som kontaktes av den herdbare tørre filmen av polymert materiale, innbefattende områder som har ikke-plan geometri.

23. Fremgangsmåte som angitt i krav 22, karakterisert ved at i trinn (b) formes nevnte herdbare tørre film på toppbelegget som en rekkefølge av jevnt atskilte områder hvor hvert av disse områder tilsvarer i størrelse arealet av en trykt krets som skal beskyttes, at i trinn (e) hvert av de formede områder av den herdbare tørre filmen påføres en trykt krets som er individuelt tilhørende dette ved å transportere hvert av de formede områder av herdbar tørr film i operativ tilknytning til slik individuelt tilknyttet trykt krets, i innrettet motvendende forhold dermed, og at i trinn (g) hvert av nevnte formede områder av herdbar tørr film festes til den trykte kretsen som er individuelt tilhørende dermed ved pressing, i tur, hvert slikt område av herdbar tørr film og toppbelegget som er tilhørende dermed mot slik trykt krets ved hjelp av nevnte oppvarmede elastomere pute.

24 . Fremgangsmåte som angitt i krav 23, karakterisert ved at nevnte overflateregion av nevnte elastomere pute er således kjennetegnet at arealet av initiell kontakt derav med toppbelegget og nevnte herdbare tørre film av polymert materiale er vesentlig mindre enn arealet av nevnte hele overflateregion, med kontaktarealet økende med en i alt vesentlig konstant takt inntil nevnte overflateregion i alt vesentlig sammenfaller med arealet av den trykte kretsen som skal beskyttes, hvorved en trykkbølge frembringes som skyver luft ut fra mellom den tørre filmen av polymert materiale og arealet på den trykte kretsen som skal beskyttes.

25 . Fremgangsmåte som angitt i krav 24, karakterisert ved at i trinn (g) blir toppbelegget og den herdbare tørre filmen presset mot den trykte kretsen under et svakt vakuum.

26 . Fremgangsmåte som angitt i krav 1, karakterisert ved at bevegelsen av den elastomere puten til kontakt med filmen av polymert materiale og overflaten av arbeidsstykket skjer under et svakt vakuum.