NO773350L - Fremgangsmaate for forbindelse av stroemledende komponenter i boelgelederelementer, og for fremstilling av elementene - Google Patents

Description

Oppfinnelsen angår en fremgangsmåte for forbindelse eller sammenfoyning av stromledende komponenter i bolgelederelementer, og for fremstilling av elementene.

På grunn av de forskjellige strenge elektriske og mekaniske krav, representerer fremstillingen av bolgelederelementer-, og særlig hulromsresonatorer og filtre dannet av firkantbolge-ledere, en meget arbeidskrevende prosess som legger beslag på tid, materiale og maskinkapasitet.

Den motstridende karakter av mekaniske og elektriske betingelser skyldes det faktum at det på de indre, ledende overflater av det ferdige bolgelederelement må dannes et kontinuerlig, galvanisert belegg med førsteklasses overflatebehandling, fortrinnsvis av edelmetaller (Ag, Au, Pd), at videre komponent-enes anbringelse må holdes innenfor snevre toleransegrenser,

og at dannelsen av et kontinuerlig tett, galvanisert belegg mellom de innbyrdes tilgrensende, stromledende flater er helt nod.vendig , samtidig som det må være sorget for en perfekt kom-pensasjon for varmeutvidelser.

Ved de nåværende vanlige fremstillingsteknikker blir det kontinuerlige, galvaniserte eller elektropletterte sjikt utformet etter at bolgelederelementet har fått sin endelige form. Utformingen av et indre galvanisk sjikt med ensartet tykkelse i det indre av en firkantbolgeleder som er forsynt med hjorner, fremspring og tverrgående blenderplater og -stenger, representerer en nesten uloselig oppgave i praksis. For å utfore en passende elektroplettering, må det nemlig dannes indre ekvipotensiale flater, hvilket imidlertid er praktisk umulig på grunn av den på alle kanter lukkede, hule form. Det blir derfor fremstilt galvaniské sjikt av edelmetall med en sjikttykkelse som overskrider det nodvendige med det ti- til tyve- doble, for at den onskede sjikttykkelse skal kunne oppnås også på de mest ugunstige steder, og til og med. i hjorner. Det samme gjelder for de grunningsdannende, galvaniske, sjikt (f.eks. kopper) som må dannes under edelmetallsjiktet. Den nevnte prosess forer på den ene side til et betydelig edel-metalltap, og på den annen side blir anleggets kapasitet bun-det i en unddvendig lang periode.

For å ta hensyn til kravet om en kontinuerlig og glatt innerflate , har man ved. fremstilling av mikrobolgeelementer strebet etter å redusere antall forbindelsesoperasjoner til et minimum, da det hittil ikke har vært mulig på dkonomisk måte å tilveiebringe en passende, permanent forbindelse mellom deres komponenter, hvor forbindelsen er av akseptabel kvalitet og egnet for mikrobolgestromledning. Bolgelederelementene blir derfor hensiktsmessig fremstilt av bestanddeler som er utformet av blokker og ror av forskjellig profil (f.eks. sirkel-, ellipse-eller firkantprofil), eller av kombinasjoner av disse, idet deler med hoyeste noyaktighet utformes maskinelt for anordning av de tverrgående, utjevnende blendere eller staver. I lopet av bearbeidelsen må det på hulrommenes innerflate ikke oppstå grader eller disse må fjernes uten oppriping fra de speil-glatte innerflater. Fremstillingsvanskelighetene dkes ytter-ligere på grunn av det faktum at bestanddelene, i den hensikt å redusere varmeutvidelsen, fremstilles av metaller med. lav varmeutvidelseskoeffisient, fortrinnsvis en legering av 36 % nikkel og 6h- % jern (invar) , hvilket på sin side krever en spesiell bindingsteknologi.

Iris- eller blenderplater må festes på en slik måte at

det mellom rorets indre overflate og blenderplatenes stromledende flater etableres en kontinuerlig, metallisk binding. Hittil har man ikke kunnet oppfylle dette krav. Oftest benyttes slaglodding med legeringer som inneholder sdlv. Ved ut-forelse av slaglodding kan det ikke fullstendig sikres at loddingslegeringen fyller ut alle gap og mellomrom. Samtidig bor det unngås at smeltet legering flyter inn i rorets indre.

På grunn av elementenes lukkede indre rom er videre kontrollen av skjotkvalitet for slagl6d.ded.e bolgelederelementer praktisk talt umulig.

I betraktning av ovennevnte vanskeligheter og de oksyder-ende, deformerende og overflateoppskrapende virkninger av kon-vensjonelle sveisemetoder, er sveiseteknologier hittil ikke blitt benyttet for montering av bolgelederelementer. Hittil har man nemlig ikke kunnet utvikle en sveisemetode som er egnet

■for forbindelse eller skjoting av irisplater og bølgeledere, som ikke skader de indre overflater og som samtidig etablerer en kontinuerlig, tett, stromledende skjot. • Til grunn for oppfinnelsen lå den oppgave å utvikle en fremgangsmåte for forbindelse eller skjoting av de stromledende bestanddeler i bolgelederelementer, og samtidig eliminere de nevnte ulemper og i vesentlig grad lette fremstillingsteknolo-gien for de nevnte elementer.

Oppgaven var å forbinde eller skjote bestanddelene på en slik måte at det mellom de indre stromledende overflater, selv onr d.e på forhånd var galvanisert i endelig form, kunne etableres en endelig og noyaktig kontrollerbar, kontinuerlig forbindelse.

Oppfinnelsen er basert på den erkjennelse at teknologien for fremstilling av mikrobolgedeler kan forenkles bare ved benyttelse av en helt ny skjotemetod.e som på dette området er radikalt forskjellig fra de hittil benyttede metoder. De foran omtalte vanskeligheter holder nemlig utviklingen av de tradisjonelle teknologier innenfor teoretiske grenser, slik at de ikke lenger kan forbedres i særlig grad.

For sammenfdyning av de strdmled.ende deler i bolgelederelementer må det utvikles en ny fremgangsmåte som muliggjdr sammenbinding av i endelig form galvaniserte deler, da vanske-lighetene ved galvanisering av lukkede indre flater bare kan elimineres på en sådan måte. Ved anvendelse av fremgangsmåten må ikke de indre overflater bli skadet og heller ikke må de elektriske og/eller mekaniske egenskaper av de forbundne bestanddeler forringes. Fremgangsmåten må være i stand til å tilveiebringe en tett, kontinuerlig elektrisk forbindelse mellom de stromledende deler som er sammenfdyd, uten å oke demp-ningen av de veggstrdmmer som forplanter seg i overflatelaget. Et hovedkrav er også at fremgangsmåten.må kunne utfores fra utsiden, da ellers den indre overflate av en bdlgeleder som er lukket på alle sider, ikke kan forbindes med overflatene av andre indre elementer, f.eks. irisplater eller staver.

Ved anvendelse av fremgangsmåten ifdlge oppfinnelsen blir de deler som skal forbindes, tilpasset i forhold til hverandre og holdt i sin endelige, relative stilling inne i bølgelederen. Delene blir deretter sammensveiset fra utsiden via det ytterst beliggende element ved at en energistråle rettes mot de.tilpassede overflater ved. anvendelse av en strålesveiseteknikk. Strålesveiseteknikk kan utfores ved. hjelp av plasmastråler , elektronstråler og laserstråler„

Strålesveiseteknikker karakteriseres ved. at strålenes energi kan konsentreres på en ytterst liten flate, f.eks. en flate som ikke overstiger noen hundredels mm p, og at deres effekttetthet med. flere størrelsesordener overskrider størrel-sen av effekttettheten ved konvensjonell buesveising, og de sveisede deler blir derfor bare svakt deformert. Ved strålesveising kan det etableres fullstendig sammensmelting mellom overflatelagene av stromledende deler som er tilpasset til hverandre.

Parametrene ved strålesveisingsmetoder kan innstilles nøy-aktig og kontinuerlig kontroll av disse er også mulig, og strålen kan styres langs den dnskede bane med hoy nøyaktighet.

Strålesveising kan utfores med hoy grad. av renhet da ingen forurensninger innblandes i arbeidsstykket. Tilsats-materialer er ikke nddvendige og prosessen kan finne sted i hoyvakuum slik at forurensning fra omgivelsene elimineres.

Det forekommer ingen dannelse av oksydsjikt, og folgelig endres heller ikke mikrobdlgeegenskapene for de sveisede bolgelederelementer.

Fremgangsmåten-blir vanligvis utfort mellom elementer som er forsynt med galvaniserte overflater. Det galvaniserte belegg består av et koppersjikt og et på dette anbragt sdlvsjikt som med henblikk på korrosjonsbeskyttelse er lett passi-visert eller overtrukket med et tynt Pd-, Rh-, Ru-sjikt eller liknende. De galvaniserte belegg ved siden av sveisesmelte-sonen vil smelte sammen og'det vil bli etablert en skjot som har karakter av slagloddingsforbindelse og som ved riktig valg av sveiseparametre og sveisested strekker seg til de sammen-passede, stromledende overflater.

Ved en foretrukket utfdrelse av fremgangsmåten ifdlge oppfinnelsen kan bolgelederelementer monteres i flere arbeidstrinn. Bestanddelene og iblant også firkantbdlgelederne er dannet av metallplater som har i det minste delvis galvaniserte overflater. I ldpet av fremgangsmåten blir irisplatene eller -stavene anbragt i sin endelige stilling mellom motstående sideplater av firkantbdlgelederen og sveises gjennom sideplatene som står i forbindelse med. disse, ved anvendelse av strålesveiseteknikk. Etter å ha anbragt firkantbdlgelederens smale sideplater i sin endelige stilling blir platene sveiset til en rektangulær bdlgeleder ved anvendelse av strålesveiseteknikk.

Ved anvendelse av fremgangsmåten ifdlge oppfinnelsen blir fremstilling av bolgelederelementer vesentlig forenklet da bestanddelene kan galvaniseres i plateform, og sammenstillingen av delene krever ikke fresing av slisser med. snevre toleranser, og anvendelse av dyre presisjonsrdr med rektangulært tverrsnitt blir overflddig. Sammenlignet med. kjente slagsloddingsmetoder resulterer de skjoter som er tilveiebragt ved. hjelp av strålesveiseteknikk, i mer pålitelige elektriske forbindelser enn .

hva som hittil er kjent.

Ved anvendelse av fremgangsmåten ifdlge oppfinnelsen kan kostbare edelmetaller, maskinkapasitet og arbeidskraft innspares, og samtidig blir forbedring av bdlgelederelementenes parametre mulig.

De karakteriserende trekk ved fremgangsmåten ifdlge oppfinnelsen er angitt i de etterfølgende patentkrav.

Oppfinnelsen skal beskrives nærmere i det fdlgende ved hjelp av et antall eksempler under henvisning til tegningene, der fig. 1 viser to på forhånd galvaniserte bestanddeler som er sammenfdyd ved anvendelse av fremgangsmåten ifdlge oppfinnelsen, og hvor de galvaniserte belegg for tydelighetens skyld er vist i forstdrret målestokk, fig. 2 viser skjematisk en skjot som er forsynt med. en dobbeltsveis, fig. 3 viser dannelsen av en hjdrnesveis, fig. h viser den fdrste monteringsfase ved. fremstilling av et mikrobdlgefilter i skjematisk fremstilling, fig. 5 viser et sideriss av den halvferdige enheten ifdlge fig. h- etter sveising, fig. 6 viser det neste monteringstrinn for enheten på fig. 5 i sideriss, fig. 7 viser de avsluttende sveiseforldp som utfores på mikrobdlgefilteret, idet dette er vist i delvis gjennomskåret sideriss, og fig. 7a er et snitt etter linjen 7-7 på fig. 7 og viser befestigelsen av en ribbe som bærer avstemningsskruer.

På fig. 1 er vist to komponenter eller deler'1 og 2 som er forbundet eller sammenfdyd. ved. anvendelse av fremgangsmåten ifdlge oppfinnelsen. Begge deler er fortrinnsvis dannet av en metallplate med lav varmeutvidelseskoeffisient og belagt med. et dobbeltplettert sjikt. De nedre sjikt 3 og 5 er dannet av kopper, og de ovre sjikt h og 6 av sdlv. Forholdet mellom tyk-kelsene av de enkelte belegg er med fordel valgt slik at tykkelsen av kopperbelegget beldper seg til ca. det 2- til 8-doble av tykkelsen av sdlvbelegget.

Den på fig. 1 viste skjot dannes på den måte at de to deler sammenpasses i den viste stilling og anbringes i vakuumkammeret i en elektronstråle-sveisemaskin, på dennes arbeidsbord. Elektronstrålen rettes i retning av pilen E gjennom platen 1 mot de tilpassede overflater av platene. Elektronstrålens energi frembringer en svakt konisk smelte 7 ved hjelp av hvilken platene 1 og 2 sammensveises. Ved siden av smeiten 7 fremkommer det også soner med kontinuerlig avtagende tempera-turer. Ved. riktig valg av sveiseparametre vil beleggene 3,

h, 5 og 6 bli smeltet og bindinger 8 med. slagloddingskarakter oppnåes mellom platene 1 og 2 på begge sider av den sveisede skjot 7. Utstrekningen av sveisesonene 8 må innstilles slik at de når frem til berdringslinjene for de sveisede plater 1

og 2. Dette krav må oppfylles i det minste mellom de stromledende flater som er sammenfdyd, for i dette tilfelle blir dannelsen av en perfekt elektrisk forbindelse mulig i berdrings-linj en for de stromledende flater, f.eks. mellom flatene 9 og 10.

I mikrobdlgefrekvensområdet kan enhver sprekk eller et mellomrom som kommer i veien for veggstrdmmene, forårsake en dempning, og fdlgelig er unngåelse av sådanne av den stdrste betydning.

I lopet av sveisingen blir bestanddelene 1 og 2 med fordel presset mot hverandre. Det anvendte trykk avhenger av platenes 1, 2 tykkelse, og verdien varierer vanligvis mellom 50 og ^-00 N/cm „ Ved hjelp av det anvendte trykk kan det kom-penseres for mindre ujevnheter mellom de tilpassede flater, f.eks..platenes avvikelser fra plan form.

Parametrene for elektronstrålesveising, dvs. akselerasjons-spenning, strålestrdm og sveisehastighet, kan innstilles i overensstemmelse med platenes 1, 2 dimensjoner. Dersom det an-tas at platens 1 tykkelse er 3 ^ m og tykkelsen av platen 2 er 2 mm, idet kopperbeleggets tykkelse er lik 25^um og sdlvbe-leggets tykkelse er lik h ^urn, kan den på fig. 1 viste sveis oppnåes etter innstilling av akselerasjons spenningen på 100 kV, strålestrdmmen på 12 mA og sveisehastigheten på 3 cm/s.

Det anvendte trykk mellom platene beldper seg i dette tilfelle til 100 N/cm , og vakuumtrykket er 1.10 bar.

Det kan også velges verdier som er forskjellige fra de som er angitt ovenfor. I tilfelle av hdyere sveisehastighet kan elektronstrålens effekt også dkes.

Dannelsen av en dobbeltsveis er vist på fig. 2. I dette tilfelle kan stråleeffekten reduseres, mens platenes tykkelse kan være uforandret. En dobbelt sveis kan kreves når begge sider av platen 2 deltar i veggstrdmutbredelse.

Dersom tykkelsen av platen 1 er mindre enn tykkelsen av platen 2, eller dersom man ikke dnsker å danne en altfor stor sveis for å unngå mekanisk deformasjon, kan sveisede skjoter dannes ved hensiktsmessig kontroll av elektronstrålen i en viss avstand a fra hver av de stromledende overflater av platen 2. Avstanden a må velges på en slik måte at den dannede slag-loddingssone strekker seg til berdringslinjen mellom de stromledende overflater»

På fig. 3 er vist en skjot mellom to plater 11, 12 som er tilpasset i rett vinkel, og hvor skjoten er dannet ved benyttelse av lasersveiseteknikk. Strdmledning eller bølgeut-bredelse finner sted ved de indre overflater. Sveisingen utfores på den måten at de to plater sammenpasses i sin dnskede, endelige stilling, og en laserstråle rettes mot overflatene som skal sammenføyes. Strålens retning er vist med pilen L-s. Ved utfdrelse av denne type sveising er anvendelse av vakuum ikke helt nddvendig, idet anvendelse av en beskyttelsesgass også tilfredsstiller betingelsene. For å forbedre platenes til-pasning ble det- dannet L-profiler. Idet det gåes ut fra en platetykkelse på 3 ^5 er fordelaktige parametre for laserstråle-sveiseteknikken som folger: Bdlgelengde for kontinuerlig stråling (med en COg-laser) 10,8 yum, stråleeffekt 2 kW

og sveisehastighet 1,5 cm/s.

På fig. 2 og 3 er de elektropletterte eller galvaniserte belegg på platene ikke separat vist.

Ved fremstilling av en skjot ved hjelp av fremgangsmåten ifdlge oppfinnelsen kan forutgående dannelse av et galvanisert belegg sldyfes, men et allerede avsatt belegg vil ikke bli skadet av strålesveiseteknikken. Ved monteringen av bolgelederelementer kan etterfølgende elektroplettering synes fordelaktig så lenge elektroplettering av de stromledende overflater ikke forårsaker vanskeligheter.

Effekttettheten ved strålesveisemetoder er så hoy at platene på kort avstand fra smeltebadet på grunn av kort tids-varighet ikke vil bli oppvarmet, og d.et kan fdlgelig sees bort fra deformasjonen som oppstår i ldpet av sveiseprosessen.

Ved anvendelse av fremgangsmåten ifdlge oppfinnelsen kan fremstilling av bolgelederelementer lettes i vesentlig grad da de nevnte bestanddeler kan monteres av på forhånd galvaniserte plater som monteres trinn for trinn- til sin endelige form. Fremgangsmåten skal beskrives i detalj under henvisning til fig. k- 7.

På fig. k- er vist den fdrste fase ved fremstilling av mikrobdlgefilt re. Mikrobdlgefilteret består av irisplater eller hullblendere og av avstemningsskruer eller avstemnings-sonder som er anordnet på passende plasser i firkantbdlgelederen.

Den rektangulære bdlgeleder er dannet av fire avlange plater 20, 21, 30 og 31. Både de nevnte plater og irisplatene 13 er dannet av metallplater med lav varmeutvidelseskoeffisient,

med fordel en legering som inneholder 36 ^ Ni og 6H- ^ Fe.

Under den fdrste monteringsfase anbringes irisplatene 13

i sin endelige stilling mellom firkantbdlgelederens hoved-flater 20, 30. Alle platene har sine endelige dimensjoner og er forsynt med det endelige, galvaniserte belegg. Bestanddelene holdes i den viste stilling ved. hjelp av et ikke vist verktdy. Utformingen av dette verktdy ligger ikke innenfor rammen av oppfinnelsen, men imidlertid kan enhver fagmann reali-sere dette uten vanskeligheter.

Anordningen blir med elementene i.den på fig. h viste stilling anbragt i vakuumkammeret i en elektronstrålesveise-maskin og festes til dennes arbeidsbord. Sveisingen utfores i retning av de viste piler E og slik at den fdrste irisplate 13 forst fastsveises gjennom platen 20 og sveisingen deretter fortsetter suksessivt til alle irisplater. Uten å endre be-standdelenes stilling dreies anordningen l80° og sveisingen av irisplatene utfores gjennom platen 30. På fig. 5 er vist et sideriss av deri sveisede enhet. Sveisene 15 og 16 fester, platene 20 hhv. 30. Idet det tas hensyn til at den halvferdige enhet er tilstrekkelig åpen til å utfore galvanisering eller elektroplettering, kan bestanddelene ved en alternativ utfdreise av fremgangsmåten ifdlge oppfinnelsen galvaniseres i en allerede sveiset tilstand.

Etter å ha montert den halvferdige enhet blir de smaleste sider 21 og 31 av firkantbdlgelederen ved. hjelp av et verktdy tilpasset i sine endelige stillinger og anbragt på sveisemaskinens arbeidsbord» Med. strålen rettet i retning av den • viste pil E fores sveisesdmmen langs platene parallelt med. platene 20 hhv. 30. Etter å ha utfort sveising av platen 21 utfores også sveising av platen 31. Ved utfdrelse av den nevnte operasjon kan f irkantbdlgelederen betraktes som ferdig, med. irisplatene 13 anbragt i sin riktige stilling.

Av platene 21 og 31 bor i det minste den siste være galvanisert på forhånd, da det etter påsveising av denne plate vil være dannet et fullstendig lukket, indre rom, og således blir senere galvanisering nesten umulig. Monteringen av mikro-bdlgef ilteret avsluttes ved. arrangementet av flensene og den ribbe som bærer avstemningsskruene. På fig. 7 og 7a er denne prosess illustrert.

På begge ender av den monterte bdlgeleder anbringes flenser 17. På midten av platen 20 anordnes en ribbe 18 som bærer avstemningsskruer. Ribben er forsynt med gjengede hull 19 som er koaksiale med hull i platen 20. Flensene 17 og ribben 18 holdes i sine endelige stillinger ved hjelp av et ikke vist verktdy. Verktdyet anbringes i elektronstrålesveisemaskinen og bestanddelene sveises ved at elektronstrålen utsendes i retning av pilene E. For å lette sveisingen, er det på flensen 17 dannet en kant 23, mens det på begge sider av ribben som bærer avstemningssonden eller avstemningsproben, er anordnet kanter 2k. Sveisingen av flensene utfores ved at anordningen dreies 90° fire ganger.

Ved anvend.else av fremgangsmåten ifdlge oppfinnelsen kan ikke bare det filter som er vist som et eksempel, monteres på lettvint måte, men hvilket som helst annet bdlgelederelement. Sammenliknet med de hittil benyttede fremstillingsmetoder blir fremstillingen mye lettere da bestanddelene kan fremstilles direkte i sin endelige form.

Elektronstrålesveisemaskinene oppviser elektriske parametre som kan holdes på konstante verdier eller endres i overensstemmelse med et på forhånd valgt program og med den hdyeste grad. av ndyaktighet. Samarbeid med. regnemaskinbaserte styre-systemer blir også mulig.

Ved fremstilling av bolgelederelementer i store serier kan det i ldpet av en eneste sveiseoperasjon anbringes flere bestanddeler samtidig i sveisemaskinens vakuumkammer. Som et eksempel kan nevnes den kraftige sveisemaskin av typen K6N/15 K-NC fra firmaet Steigerwald. Strahltechnik, Miinchen, hvis styre-system omfatter en liten regne-maskin med. et minne for lagring av ^096 eller 8192 binære ord. som hver har en lengd.e på 12 bits.

Det vil være klart at oppfinnelsen ikke er begrenset til noen av de viste eksempler. F.eks. kan det over de foran be-skrevne kopper- og sdlvsjikt anbringes et tynt palladiumsjikt som er velkjent innen mikrobdlgeteknologien. Palladiumsjiktet vil ikke bli skadet av strålesveiseprosessen.

Claims (12)

1. Fremgangsmåte for forbindelse av stromledende komponenter i bolgelederelementer, karakterisert ved at kompo-nentene sammenpasses i sin endelige innbyrdes stilling i bdlge-lederelementet og holdes i den nevnte stilling, hvoretter kompo-nentene ved anvendelse av strålesveiseteknikk sammensveises ved hjelp av en mot sammenpasningsflåtene rettet stråle.

2. Fremgangsmåte ifdlge krav 1, karakterisert ved at det under sveiseprosessen utoves et trykk på komponent-ene .

3. Fremgangsmåte ifd lge krav 1, karakterisert ved at strålesveisingen utfores i vakuum eller i en beskyttende atmosfære. h.

Fremgangsmåte ifdlge et av kravene 1-3?karakterisert ved at sveisesdmmen fores parallelt med berdringslinjen for de tilstdtende stromledende overflater av de to elementer, og i en foreskrevet avstand fra disse.

5. Fremgangsmåte ifdlge et av kravene 1- <*> +, karakterisert ved at det for sveisingen dannes elektropletterte belegg på minst ett av de stromledende elementer.

6. Fremgangsmåte ifdlge krav og ^ karakterisert ved at det utenfor smeltebadsonen, mellom de elektropletterte belegg av de tilpassede flater, samtidig med sveisingen dannes en binding av slagloddingskarakter ved hjelp av sveisevarmekilden.

7. Fremgangsmåte ifdlge et av kravene 1-6, karakterisert ved at det benyttes elektronstrålesveiseteknikk.

8. Fremgangsmåte ifdlge et av kravene 1-6, karakterisert ved at det benyttes laserstrålesveiseteknikk.

9. Fremgangsmåte ifdlge et av kravene 1-6, karakterisert ved at det benyttes plasmastrålesveiseteknikk.

10. Fremgangsmåte ifdlge et av kravene 1-9, ved fremstilling av bolgelederelementer som er formet som en firkantbdlgeleder, karakterisert 'ved at firkantbdlgelederens vegger og de i strdmfdringen deltagende irlsplater og/eller -staver i det minste delvis fremstilles av plater med. galvanisert overflate, og at irisplatene og/eller -stavene anordnes i sine endelige stillinger mellom firkantbdlgelederens motstående vegger, hvoretter de i d.en nevnte stilling over de tilknyttede vegg-plater ved hjelp av strålesveiseteknikk sveises til veggplatene, og firkantbd lgelederens sideplater innsettes og platene videre under anvendelse av strålesveiseteknikk sveises til en firkantbdlgeleder.

11. Fremgangsmåte ifdlge krav 10, karakterisert ved. at f irkantbdlgelederen og irisplatene og/eller -stavene er dannet av et metall med lav varmeutvidelseskoeffisient, hensiktsmessig en legering som innehold.er 36 % Ni og 6k % Fe.

12. Fremgangsmåte ifdlge krav 11, karakterisert ved. at bdlgelederelementenes flenser sveises til f irkantbdlgelederen ved. anvendelse av strålesveiseteknikk.