NO165232B - Silicium-aluminium-oxynitridprodukt og fremgangsmaate ved fremstilling av dette. - Google Patents

Silicium-aluminium-oxynitridprodukt og fremgangsmaate ved fremstilling av dette. Download PDF

Info

Publication number
NO165232B
NO165232B NO840718A NO840718A NO165232B NO 165232 B NO165232 B NO 165232B NO 840718 A NO840718 A NO 840718A NO 840718 A NO840718 A NO 840718A NO 165232 B NO165232 B NO 165232B
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
silicon
phase
weight
oxide
aluminum
Prior art date
Application number
NO840718A
Other languages
English (en)
Other versions
NO840718L (no
NO165232C (no
Inventor
Kenneth Henderson Jack
Mark Brian Trigg
Original Assignee
Lucas Cookson Syalon Limited
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lucas Cookson Syalon Limited filed Critical Lucas Cookson Syalon Limited
Publication of NO840718L publication Critical patent/NO840718L/no
Publication of NO165232B publication Critical patent/NO165232B/no
Publication of NO165232C publication Critical patent/NO165232C/no

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/597Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon oxynitride, e.g. SIALONS

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Cosmetics (AREA)
  • Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
  • Materials For Medical Uses (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)

Description

De nitrogenholdige keramiske produkter tiltrekker seg
mye oppmerksomhet, særlig siliciumaluminiumoxynitrider eller SIALONS med en krystallgitterstruktur av betafase silicium-
nitrid Si^O N0Q som er blitt utvidet ved den delvise substitu-
sjon av noen av nitrogenatomene med oxygen under oppretthold-
else av valensbalansen. Disse materialer oppviser god styrke, krympning og hårdhet, mens de oppviser utmerket mot-standsdyktighet mot kjemiske angrep og oxydasjon. De er også
i stand til å opprettholde sine bedre egenskaper ved for-
høyet temperatur (i størrelsesorden 1200° til 1400°C) . Fordi disse materialer oppviser slike utmerkede egenskaper, har megen forskning vært utført av fabrikasjonsmetoder som unngår mekanisk bearbeidelse av materialene involvert i deres produksjon og i arbeidet på selve produktene. Behandling som ikke innbefatter anvendelsen av pressing under sintring, er attraktiv da den tillater oppnåelsen av komplekse former med lite arbeide på selve produktene. Sialons av &-siliciumnitrid-krystallgitterstrukturen har nådd dette stadium i sin produksjon, og tettheter som tidligere bare ble forbundet med varmpressingsmetoden som nu er normen.
Siliciumoxynitrid (Si9N00) har vært kjent i en rekke år
som et nyttig teknisk keramisk materiale, og mulige veier til dets produksjon er:
Veiene (1) til (3) kan ikke anvendes for å fremstille
tette, rene Si,,^0-keramiske materialer. Dessuten er reak-sjonene (2) og (3) meget langsomme.
Skjønt forskjellige fortettende tilsetninger har vært anvendt med siliciumoxynitrid, kreves vanligvis varmpressing for å oppnå lavporøse produkter.
Trykkløs sintring av siliciumoxynitrid under anvendelse
av aluminiumoxyd som den fortettende tilsetning, har fått begrenset suksess, likesom også reaksjonsbinding. I nærvær av reaksjonshjelpemidler har imidlertid, skjønt densiteter opptil størrelsesorden av 95% av det teoretiske har vært
rapportert i litteraturen, små resultater vært vist på at slike densiteter oppnåes i kulturgjenstander.
Det har vært vist, K. H. Jack, Trans og J. Brit. Ceram. Soc. 72, 376-84 (1974), at begrenset utbytning
kunne forekomme i 312^0 såvel som i. Ø-fase SigNg uten for-andring av krystallstruktur. Dessuten kunne andre kationer
1+ 2+
som lithium Li og/eller calcium Ca fylle ledige stillinger under opprettholdelsen av valensbalanse. Liten oppmerksomhet har imidlertid vært gitt til nytten av slike produkter som tekniske keramiske materialer, eller til frem-stillingsmetoder for å fremstille slike produkter som tillater unngåelsen av varmpressing..
I foreliggende patent skal uttrykket "siliciumaluminiumoxynitrid" forståes som å bety ikke bare keramiske materialer inneholdende silicium, aluminium, oxygen og nitrogen, men også slike materialer som dessuten inneholder andre kationer.
Foreliggende oppfinnelse angår tette keramiske produkter inneholdende siliciumaluminiumoxynitrid med krystallgitterstrukturen for siliciumoxynitrid, men med .ekspanderte celledimensjoner (herefter betegnet som 0'-fase-siliciumaluminiumoxynitrid) og fremgangsmåte for fremstilling av et slikt produkt ved spesielle veier som involverer trykkløs sintring.
Ifølge foreliggende oppfinnelse tilveiebringes således et silicium-aluminium-oxynitridprodukt inneholdende fra 80 til 98 vekt% av 0'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid som en første fase og 20 til 2 vekti av minst én annen fase som inneholder silicium og minst ett metall forskjellig fra silicium eller aluminium, idet de angitte prosenter er basert på totalvekten av den nevnte første og annen fase, hvilket produkt er kjennetegnet ved at produktet har 85 % til 99 % teoretisk tetthet og har en mikrostruktur som er et krystallisert nettverk av det nevnte O'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid med den nevnte i det minste ene annen fase som en korngrensefase.
Fortrinnsvis utgjør den nevnte første og annen fase en vesentlig del av produktet. Helst består produktet i det vesentlige av den første og annen fase sammen med den even-tuelle innbefatning av en inert dispergert fase.
Den nevnte minst én annen fase kan bestå av eller inn-befatte en glassfase som vanligvis inneholder aluminium.
Den nevnte minst én annen fase kan bestå av eller inn-befatte en krystallinsk fase.
Fortrinnsvis velges det nevnte metall forskjellig fra silicium og aluminium slik at det reagerer med silicium og aluminiumoxyd under dannelse av en glassfase som er smeltet under sintringen av produktet og fra hvilken det nevnte 0'-fase-siliciumaluminiumoxynitrid felles. Eksempelvis velges metallet som er forskjellig fra silicium og aluminium, fra gruppen bestående av yttrium, lithium, magnesium, calcium,
scandium, cerium og andre sjeldne jordartselementer.
En annen side ved oppfinnelsen angår en fremgangsmåte for å danne et tett keramisk produkt, hvilken fremgangsmåte er kjennetegnet ved at det dannes en pulverblanding inneholdende (a) 50 til 65 vekti siliciumnitrid, (b) 22 til 35 vekti siliciumoxyd, i hvilken molarforholdet av siliciumoxyd til siliciumnitrid er minst 1:1, (c) 1 til 20 vekti (på oxydbasis) av en oxygenholdig aluminiumforbindelse og (d) 1 til 15 vekti (på oxydbasis) av minst én forbindelse valgt fra
oxyder, hydroxyder, carbonater, oxynitrider, nitrater eller silikater av andre metaller enn silicium og aluminium, idet prosentene er basert på totalvekten av bestanddelene (a) til (d); sintring av den nevnte pulverblanding ved en temperatur fra 1600 °C til 1900 °C i en ikke-oxyderende atmosfære hvorved aluminiumforbindelsen, den nevnte i det minste ene forbindelse og endel av det nevnte siliciumoxyd i blandingen reagerer under dannelse av en flytende fase fra hvilken det felles O'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid; og det sintrede materiale avkjøles for å danne et produkt inneholdende det nevnte O'-fase-silicum-aluminium-oxynitrid og minst én korn-grensefase inneholdende silicium og det nevnte metall.
Uttrykket "oxygenholdig aluminiumforbindelse" innbefatter aluminiumoxyd eller en oxygenholdig aluminiumforbindelse som er i stand til å danne aluminiumoxyd ved den nevnte
sintringstemperatur.
Fortrinnsvis inneholder den nevnte blanding siliciumnitrid i en mengde på fra 50 til 60 vekt%, det nevnte siliciumoxyd i en mengde på fra 25 til 30 vekt%, den nevnte aluminiumforbindelse i en mengde på fra 1,0 til 15 vekt%
(på oxydbasis) og den nevnte minst én forbindelse i en mengde på fra 3 til 12 vekt% (på oxydbasis).
Fortrinnsvis utføres sintringstrinnet i fravær av påført trykk.
Bekvemt er den nevnte minst én forbindelse valgt slik at den vil reagere med en del av siliciumoxydet og oxydet av aluminium til, under reaksjon, å gi et aluminosilikat av det nevnte metall som er smeltet ved sintringstemperaturen.
Det nevnte smeltede aluminosilikat av det nevnte metall kan også inneholde bundet nitrogen, f .eks. ved oppløsning av siliciumnitrid ved sintringstemperaturen.
Blandingen kan sintres ved 1600°C til 1900°C og avkjøles naturlig til værelsetemperatur for å sikre at en annen fase omfattende et glass inneholdende silicium, aluminium og det nevnte metall, foreligger i produktet.
Bekvemt varmebehandles produktet efter naturlig avkjøling ved å gjenoppvarme produktet ved en temperatur av størrelses-orden 1000°C til 1400°C for å bringe glassfasen til å avglasses.
Alternativt kan avglasningen oppnåes ved å avkjøle produktet efter sintring ved 1600°C til 1900°C ved en tilstrekkelig lav hastighet til å bringe glasset til å avglasses.
Typisk er den nevnte avkjølinghastighet under 100°C/time.
Fortrinnsvis er det nevnte metall av den nevnte forbindelse yttrium, lithium, magnesium, calcium, scandium, serium eller et annet sjeldent jordartselement, ■ og forbindelsen er oxydet eller en forbindelse som spaltes til oxydet ved sintringstemperaturen .
Alternativt kan den nevnte metallforbindelse omsettes
med endel av siliciumdioxydet eller med siliciumdioxyd og aluminiumoxyd for å få en glassaktig eller krystallinsk forbindelse før reaksjonen med de gjenværende bestanddeler for å oppnå de ønskede produkter.
Når den nevnte metallforbindelse er yttriumoxyd, omsettes siliciumoxydet og yttriumoxydet fortrinnsvis i molarforholdet 2:1 for å danne yttriumsilikat (Y2Si207) og til-settes til den reagerende substans, og blandingen sintres for å oppnå det tette keramiske produkt.
I et første sett av eksempler i henhold til oppfinnelsen ble det fremstilt en blanding som inneholdt 59,6 g siliciumnitrid som levert av H. Starck i Vest-Tyskland og kjent som kvalitet LC10 som er meget rent og inneholder ca. 3 vekt% overflate-siliciumoxyd, 0,02 vekt% jern, 0,05 vekt% aluminium og 0,07 vekt% calcium, alle som oxyder, og med en gjennomsnittlig partikkelstørrelse på 0,5^um; 27,5 g knust siliciumoxyd av mere enn 99,9% renhet inneholdende ca. 100 ppm aluminium og 20 ppm av andre metaller som alle er tilstede som oxyder og levert av Thermal Syndicate Limited i England, med en gjennomsnittlig partikkelstørrelse på 2^um; 4,5 g aluminiumoxyd levert av The Aluminium Company of America og betegnet som Alcoå^Al6 av mere enn 99,9 vekt% renhet inneholdende som forurensninger ca, 0,08 vekt% soda, 0,05 vekt% siliciumoxyd, 0,03 vekt% kalk, 0,05 vekt% magnesiumoxyd og 0,01 vekt% jern-oxyder, og med partikkelstørrelse under l^um; 8,4 g yttriumoxyd av 99,9 vekt% renhet inneholdende ikke mere enn 100 ppm vanlige metalloxyder og med en partikkelstørrelse som ikke overstiger lOyUm levert av Rare Earth Products Limited, England.
Blandingen ble så malt under anvendelse av aluminium-oxydmedier i isopropylalkohol i 25 timer, og den dannede homo-gene blanding ble tørret ved 125°C, og det ble anslått at aluminiumoxydopptagelsen fra maleoperasjonen hadde øket aluminiumoxydinnholdet av utgangspulveret med 2,0 g. Således under hensyntagen til overflate-siliciumoxydet på siliciumnitridet og opptagelse av aluminiumoxyd under maling, var den prosentvise vektsammensetning av pulverblandingen, identifisert som (B) i tabell 1: 56,7% siliciumnitrid, Si-^N^;
28,7% siliciumoxyd, Si02; 6,4% aluminiumoxyd, A^O.^; og 8,2% yttriumoxyd, Y^O^, idet prosentene er beregnet på totalvekten av disse bestanddeler. Det vil sees at 56,7 vekt% av siliciumnitrid sammen med 24,3 vekt% siliciumoxyd gir et 1:1
molarforhold, mens de gjenværende 4,4 vekt% av siliciumoxyd er i stand til å reagere med aluminiumoxydet og yttriumoxydet ved sintringstemperaturen under dannelse av et smeltet yttrium-aluminiumoxyd-silikat hvor nitrogenet også kan være tilstede ved frigjørelse fra siliciumnitridet. Det er denne smeltede fase som gir det flytende medium fra hvilket 0'-fase-silicium-aluminium-oxynitridet felles.
Fra blandingen (B) ble det fremstilt en rekke for-former for å undersøke effekten av sintringstemperaturen på sluttproduktet. Forforming besto i å innføre pulverne i hul-rommet av en stålform og presse mellom stålstempler uniaksialt ved værelsetemperatur ved 90 MPa fulgt av isostatisk pressing ved 200 MPa. De således fremstilte prøver ble gravet ned i en siliciumoxyd/siliciumnitridpulverblanding i molarforholdet 1:1 og derpå oppvarmet uten påføring av trykk over temperaturområdet 1600°C til 1850°C i meget rent nitrogen under anvendelse av en carbon-motstandsovn, hvor hver prøve ble holdt i et tidsrom varierende fra 30 minutter til 5 timer ved den nød-vendige temperatur. Vekttapet for alle prøver var mindre enn 1.0 vekt%.
Undersøkelse av de dannede produkter under anvendelse
av røntgendiffraksjon viste at de krystallinske faser besto hovedsakelig av siliciumaluminiumoxynitrid med ekspandert siliciumoxynitrid-gitterstruktur (0'-fase) som inntok minst 80 vekt%. Prøver fremstilt ved de lavere temperaturer på 1600°C til 1700°C, oppviste mindre mengder av størrelsesorden
5 vekt% av a-fase-siliciumnitrid, identifisert ved røntgen-dif f raks jon, idet mengden av det nevnte siliciumnitrid avtok eftersom temperaturen økte. Prøver fremstilt ved de høyere temperaturer, oppviste mindre mengder av (3-fase siliciumnitrid og |3'-fase sialon sammen i en mengde på 5 vekt%. fasen viste seg imidlertid å være overveiende på overflaten av prøvene, hvilket tydet på at denne annen fase antagelig skyldtes tap av siliciummonoxyd fra prøvene. Det vil innsees at dette kan reguleres ved å forandre den beskyttende om-givelse fra siliciumoxyd/siliciumnitrid (som gir et kontrollert siliciummonoxyd-partialtrykk rundt prøvene for å sikre korrekt reaksjon og nedsette vekttap) til f.eks. bornitrid/silicium-oxydblandinger og/eller å regulere ovnsatmosfæren.
Skjønt det ble funnet at det beskyttende medium kunne anvendes for å nedsette dissosiasjonsproblemer som inntrådte ved sintring innen temperaturområdet på 1850°C til 1900°C, ble det funnet å foretrekke å sintre opptil en maksimaltemperatur på 18 50°C.
Foruten de krystallinske faser som var tilstede, ble det antatt at før noen avglasning forelå det en mengde glassfase som ikke oversteg 15% ved korngrensene når glasset inneholdt elementene yttrium, aluminium og silicium. Skjønt aluminiumoxyd i utgangsblandingen følgelig hadde reagert med andre bestanddeler av blandingen for å danne væskefasen fra hvilken det ekspanderte oxynitrid var utfelt, hadde bare endel av det vært ansvarlig for utvidelsen av siliciumoxynitridet.
En høy spesifikk vekt av størrelsesorden 2,88 g cm _ 3 målt ved neddykning i kvikksølv, dvs. 99% av den teoretiske spesi-fikke vekt på 2,90 g cm for preparatet (B) ble oppnådd ved oppvarmning i 1 time ved 1700°C. Vekttapet var mindre enn 1,0%. Bøyningshastigheten ved værelsetemperatur under anvendelse av en trepunkts bøyning med et spenn på 19 mm og en krysshode-hastighet på 0,1 mm pr. minutt ga en verdi for dette materiale på over 400 MPa med utmerket oxydasjonsbestandighet opptil 1300°C. Lignende resultater ble erholdt ved oppvarmning av det samme preparat (B) ved en lignende metode i lengre tid ved en lavere temperatur, dvs. 5 timer ved 1600°C; den målte volum--3
tetthet var 2,75 g cm , dvs. 94,5% av den teoretiske verdi.
Et annet sett av eksempler i henhold til oppfinnelsen ble så fremstilt i hvilken virkningen av variasjon av aluminium-oxydinnhold i utgangsblandingen ble undersøkt mens mengdene av de andre reaktanter ble opprettholdt i det vesentlige som dem i det første sett av eksempler og sintring i fravær av trykk ved en temperatur i området på 1600-1850°C med holdetider i området 30 minutter til 5 timer. Sammensetningene av typiske blandede og malte pulvere er gitt som (A), (C), (D), (E) og
(F) i tabell 1 for sammenligning med preparatet (B) av de første eksempler. Alle prøver ga værelsetemperatur-bøyningshastighets-
verdier på over 400 MPa og utmerket oxydasjonsbestandighet opptil 1300°C.
Eftersom aluminiumoxydinnholdet sank under ca. 8 vekti ned til ca. 1 vekti, ble fortetningen stadig mere vanskelig, men høye volumtettheter ble oppnådd ved å oppvarme ved temperaturer på 1700-1850°C i den øvre del av hele området 1600°C-1850°C, eller ved å øke holdetiden, eller begge deler. Materialet (A) inneholdende 4,7 vekti aluminiumoxyd ga når det ble oppvarmet i 60 minutter ved 1700°C en volumtetthet på størrelsesorden 2,83 g cm dvs. 98% av den teoretiske tetthet på 2,90 g cm -3. Eftersom aluminiumoxydinnholdet økte over 13% til 20%, ble sintringen meget lettere. Det viste seg imidlertid at oxydasjonsmotstandsdyktigheten ikke kunne opp-rettholdes eftersom temperaturen steg over ca. 1300°C. Volum--3
tettheter var over 2,83 g cm , dvs. 98% av den teoretiske tetthet.
Typiske oppvarmningsbetingelser for høytette produkter med volumtettheter ikke under 95% av den teoretiske tetthet for materialene (A), (B), (C), (D), (E) og (F) inneholdende økende mengder av aluminiumoxyd fra 2,2 til 14, 1 vekt% er gitt nederst i tabell 1.
Skjønt det derfor kan sluttes at nyttige produkter ble erholdt over aluminiumoxydområdet fra 1 til 20 vekt%, er det å foretrekke å anvende mengder i området 1 til 15 vekti hvis både sintringsletthet og gode oxydasjonsegenskaper er ønske-lige .
Fra tabell 1
Eftersom Si^N^-innholdet av utgangsmaterialet ble
redusert under 50 vekt%, begynte Si02-mengden nødvendig for å
få et 1:1 molarforhold å nærme seg 20 vekt% (i virkeligheten 21,4 vekt%). Dette betyr at de gjenværende bestanddeler av reaksjonen utgjorde 28,6 vekt%. Det ble funnet ønskelig at Al20^-innholdet ikke. burde overstige 20 vekt% av totalbland-
ingen og fortrinnsvis ikke overstige 15 vekt% under bibehold-
else av overskudd av Si02 og Y2°3 1 det vesentlige 1 hhv. molarmengder på hhv. 2:1. Det ble funnet at fremstilte materialer inneholdende høye mengder av Al20.j (20 vekt%) var utsatt for oppsvulmning, og skjønt materialer i hvilke Al-jO^-inn-
holdene var i området 15 til 20 vekt% også ble utsatt for oppsvulmningsproblemer, var slike problemer ikke så fremtred-
ende og kunne lettes ved omhyggelig regulering av sintringssyklusen. Eksempelvis ble det funnet at å holde den sintrede
prøve ved en mellomliggende temperatur (1500-1600°C) i en halv til en time fulgt av hevning til en sluttemperatur på 1700 til 1800°C og holding i en halv til en time, viste seg å overvinne
dette problem... Temperaturstigningshastigheter var av størr-elsesorden 60°C pr. minutt, men det vil innsees at andre sintringsskjemaer også kunne være egnet for å overvinne oppsvulmningsproblemet, f.eks. en langsommere hevningshastighet uten den mellomliggende opprettholdelse skulle også være brukbar. Vellykketheten av slik modifisert termisk skjema-tisering tilskrives begynnelsen av høy tetthetsdannelse tidlig i sintringssyklusen fulgt av feining av 0<1->fasen i væsken ved de høyere temperaturer. Regulert sintring. (f.eks. 2-trinn) førte.til forbedrede tetthetsverdier for alle prøver. Den maksimale oppvarmede volumtetthet erholdt for materiale E
med en enkelttrinns oppvarmning ved 1700°C i 1 time var 2,80 g/cm 3 sammenlignet med 2,84 g/cm 3 for en to-trinns oppvarmning i 1 time ved 1600°C, 1 time ved 1800°C. Det vil merkes at prøvene C og D ble utsatt for en to-trinns sintring i tabell 1, mens resten ble sintret i et enkelt trinn.
Eftersom SigN^-innholdet av utgangsblandingen ble , redusert under ca. 4 5 vekt% av utgangsblandingen, viste det seg at oppsvulmningsproblemet ble vanskeligere å overvinne, selv med det modifiserte sintringsprogram, og det ble således sluttet at et minimum på 50 vekt% av Si3N4 i utgangsblandingen var i stand til å gi tilfredsstillende fremstilling av produktet ifølge oppfinnelsen.
Videre prøver ble så fremstilt som i det første sett
av eksempler, men nu ble Y202_innholdet av blandingene redusert til ca. 5 til 6 vekt%, og overskuddet av siliciumoxyd avpasset til å gi et i det vesentlige 2:1 molarforhold av Si02:Y202* Utgangsmaterialene og formningsbetingelsene var som i de foregående eksempler. Typiske preparater er vist for eksempel G til K i tabell 2 med oppvarmningsbetingelsene som gitt nederst i tabell 2.
Fra tabell 2
Igjen, når A1203 varierer fra 2 til 15 vekt%, iakttaes det forbedret tetthet med økende Al-jO^; men oppsvulmning blir et problem, som i tabell 1, over 15 vekt% A^O^» men ble funnet å være regulerbar ved å regulere sintringsskjemaet som i tabell 1.
Det ble merket at eftersom SiC^-innholdet ble redusert til størrelsesorden 25,0 vekt%, ble fortetningen av materialet vanskeligere, slik at ved det tidspunkt da siliciumoxyd-innholdet var redusert til 22,0 vekt%, var det ikke bare vanskelig å få et materiale hvis tetthet var større enn 85% av den teoretiske tetthet, mens selv når bestanddelene ble endret, ble materialet ikke i stand til å inneholde over 80% av 0'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid. Det ble sluttet at mens 2 2 vekt% siliciumoxyd er i stand til å gi nyttige materialer, foretrekkes det å ha dette på minimum 25 vekt%.
Forsøk utført for å bestemme den øvre grense av Si^N^
i utgangsblandingen viste at eftersom Si-^N^ steg til over 65 vekt%, betød dette at det siliciumoxyd som var nødvendig for å balansere Si3N4 og gi et 1:1 molart forhold, at det totale Si3N4 og Si02 som trengtes, var av størrelsesorden 93 vekt%. De gjenværende bestanddeler av Y2°3' A<l>o°3 °9
ekstra Si02 ble funnet å være av relativ størrelsesorden 3 vekt%, 2,5 vekt% og 1,5 vekt%, dvs. opprettholdende et praktisk talt 2:1 molart forhold av Si02:Y203. Sintring av blandingen i to trinn, dvs. 1600°C i 1 time fulgt av 1800°C i 1 time, ga et produkt med over 80% 0'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid med en tetthet på 2,44 g/cm 3 og hvis beregnede teoretiske tetthet er 2,87 g/cm <3>, dvs. over 85% av den teoretiske tetthet. Det ble antatt at ca. 3 vekt% Y203 var omtrent minimum Y20.j-innhold for å sikre at produktene ifølge oppfinnelsen kunne fåes under unngåelse av anvendelsen av trykksintring. Imidlertid viste forsøk utført på produkter med Y203~innhold så lave som 1 vekt% seg å gi tilfredsstillende produkter i henhold til oppfinnelsen, forutsatt at slike produkter ble dannet ved trykksintring. Det ble også funnet at fortetning med blandinger inneholdende så lave mengder av Y2^3' vi^ere ble hjulpet eftersom aluminiumoxydinnholdet ble øket.
Et videre sett av eksempler ble fremstilt i henhold til oppfinnelsen på samme måte som dem i det første sett av eksempler og i hvilke Y203~innholdet av blandingen, ble.ytterligere øket opptil ca. 11 vekt% av blandingen. Blandingene er vist i tabell 3 med oppvarmningsbetingelsen vist under tabell 3.
Fra tabell 3
Disse forsøk sammen med dem i tabell 1 fastla at den foretrukne maksimale mengde av Si02 i utgangsblandingen var ca. 30 vekt%, mens Al.,03 varieres over sitt foretrukne om-råde på 1 til 15 vekt%. Eftersom aluminiumoxydinnholdet steg over den foretrukne øvre grense på 15 vekt% til et maksimum på 20 vekt%, viste det seg igjen at oppsvulmning bare kunne unngåes hvis et regulert sintringsskjerna ble fulgt som eks-emplifisert med prøvene i tabell 1. Det ble funnet at eftersom Si02-innholdet i utgangsblandingen ble øket over ca. 30 vekt%, ble det gradvis vanskeligere å balansere overskuddet av Si02 med <V>2°3' ^ m°larrorholdet hhv. 2:1 på grunn av at det var et overskudd av Si02. Når Si02-innholdet oversteg en verdi på ca. 35 vekt% av totalblandingen, var ikke bare oppsvulmning av sluttmaterialet iakttatt, men røntgendiffrak-sjon av materialet viste at den nødvendige grense på 80% 0<1->fase-silicium-aluminium-oxynitrid var nådd.
Det sluttes derfor at 35 vekt% Si02 ville være grensen for Si02 i utgangsblandingen for å sikre fremstillingen av tilfredsstillende materialer, men det ville være å foretrekke å senke denne grense til 30 vekt% i produksjonen.
Forsøk utført under anvendelse av høyere mengder av Y-jO^ enn de 10,7 vekt% viste at tilfredsstillende materialer kunne fremstilles opptil 15 vekt% Y2°3 1 utgangsblandingen, men da ble det vanskelig å oppnå mere enn 80% 0'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid i det sintrede materiale. Det ble anslått at 12 vekt% ^ 2°3 representerte en foretrukken øvre grense for fremstilte materialer og som oppviste ved-varende gode egenskaper.
Videre forsøk utført for å klarlegge betydningen av variasjonen av de relative forhold av Si02 til Si-^N^ i blandingen viste at (forutsatt at det var et minimums-Si02: Si3N4-molarforhold på 1:1) mengden av overskudd av siliciumoxyd nødvendig for å sikre at, med Y2°3' er en flYtende fase tilstede under sintring, bør være slik at totalmengden av siliciumoxyd til totalmengden av Si3N4 i blandingen ikke overstiger et molarforhold på 1,5:1. Når således den mini-
male mengde på 50 vekt% Si3N4 skal anvendes i blandingen,
vil den maksimale mengde Si02 som vil være i stand til å gi det ønskede materiale, være 32 vekt%.
Videre forsøk ble så utført for å undersøke virkningen av å redusere overskuddet av siliciumoxyd i blandingen til null, dvs. det var bare tilstrekkelig Si02 til å balansere med Si3N4 i et 1:1 molarforhold. Det ble imidlertid funnet at tilfredsstillende materialer kunne bare fåes hvis Al203~inn-holdet av blandingen var høyt, fortrinnsvis over ca. 15 vekt% av utgangsblandingen. Således fremstilte materialer viste seg ikke å oppvise så høy oxydasjonsmotstandsdyktighet som dem hvori noe overskudd av Si02, over den for å balansere med Si3N4 i et 1:1 molarforhold, var tilstede i blandingen.
Alle eksemplene på oppfinnelsen ble så underkastet en efterfølgende varmebehandling for å avglasse den tilstede-værende glassfase. Dette ble oppnådd ved å anbringe de sintrede prøver i en atmosfære med lavt oxygenpotensiale og oppvarme prøvene til 1300°C, holde dem der i 2 5 timer og la dem naturlig avkjøles til værelsetemperatur under opprettholdelse av en atmosfære med lavt oxygenpotensiale.
Den krystallinske fase som var utfelt fra glasset, viste seg å være et yttriumsilikat. Når aluminiumoxydinnholdet av utgangsblandingen var høyt, høyere enn 15 vekt%, ble også mulitt påvist i sluttmaterialet.
Skjønt det i eksemplene på avglasning ble anvendt en temperatur på 1300°C, vil avglasning inntre ved temperaturer så lave som 1000°C og opptil ca. 1400°C. Lang oppvarmning ved lavere temperaturer vil imidlertid være nødvendig hvis fullstendig avglasning kreves. Skjønt det i eksemplene ble anvendt eftervarmebehandling for å bevirke avglasning, ville en kontrollert avkjøling av de som-sintrede prøver ha vært like effektiv når regulert avkjøling vanligvis ville ha vært ved en hastighet lavere enn 100°C/time.
I et ytterligere sett av eksempler i henhold til oppfinnelsen ble siliciumoxyd og yttriumoxyd som anvendt i det første sett av eksempler, blandet i pulverform i molarforholdet 2:1 og oppvarmet ved 1800°C for å danne et yttriumsilikat, Y2Si20^. Produktet ble malt under anvendelse av aluminiumoxydmedium til en partikkelstørrelse på ca. 2 til 5yum.
En blanding omfattende 61,1 g siliciumnitrid, 23,7 g silicumoxyd og 2,2 g aluminiumoxyd ble delt i to satser, og til en sats ble det tilsatt 8,5 g yttriumsilikat, mens det til den annen sats ble tilsatt 16,9 g av yttriumsilikatet. Hver sats ble malt under anvendelse av aluminiumoxydmedium i 25 timer med et opptak på 4,5 g aluminiumoxyd. Sluttbland-ingen av den første sats inneholdt 59,3 vekt% siliciumnitrid, 25.5 vekt% siliciumoxyd, 6,7 vekt% aluminiumoxyd og 8,5 vekt% yttriumsilikat. Det vil innsees at 59,3 vekt% siliciumnitrid og 2 5,5 vekt% siliciumoxyd er i molarforholdet 1:1. Slutt-blandingen av den annen sats inneholdt 54,7 vekt% siliciumnitrid, 23,5 vekt% siliciumoxyd, 6,2 vekt% aluminiumoxyd og 15.6 vekt% yttriumsilikat, hvor siliciumnitridet og siliciumoxydet igjen er i molarforholdet 1:1.
Kold-kompaktering og isostatisk trykking ble utført som i det første sett av eksempler, og sintringen i nitrogen ble gjort ved 1750°C i 2 timer. Røntgen-diffraksjonsanalyse av produktene viste at den hovedkrystållinske fase var 0'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid sammen med et spor av siliciumnitrid. Skjønt bedømmelse av disse materialer som tekniske keramikker ennå ikke har vært utført, ventes det at deres nyttighet vil økes ved avglasningsbehandling.
Skjønt i de nevnte eksempler yttriumoxyd og yttriumsilikat har vært nevnt som metallforbindelsene, kunne hydroxydet, carbonatet, oxynitridet eller nitratet anvendes. Skjønt yttrium ovenfor er blitt anvendt som metallet forskjellig fra silicium og aluminium, kunne metallet være ett eller flere av gruppen omfattende yttrium, lithium, magnesium, calcium, scandium, cerium og de andre sjeldne jordartsmetaller. I noen tilfelle vil det innsees at det således valgte metall-element kan fylle ledige stillinger i siliciumaluminiumoxy-nitridet som har gitterstrukturen for siliciumoxynitrid.
Inerte tilsetninger som wolframcarbid, siliciumcarbid
og metaller som molybden, etc, kan innbefattes i produktene
ifølge oppfinnelsen, om nødvendig for å fremme sluttproduktets egenskaper.
Produktene ifølge oppfinnelsen var rike på 0'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid og hadde en Y-Si-Al-O-N-glass-
fase ved korngrensene. Avglasning tillot imidlertid enten delvis eller fullstendig overføring av glasset til en krystallinsk fase. Oxydasjonsforsøk på alle produkter var ut-
merket og var av en størrelsesorden under 0,1 g.m —<2> .h-<1>i statisk luft ved 1300°C mellom 12,5 og 20 timer, idet det var liten forskjell mellom prøvene før og efter avglasning.

Claims (24)

1. Silicium-aluminium-oxynitridprodukt inneholdende fra
80 til 98 vekt% av 0'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid som en første fase og 20 til 2 vekt% av minst én annen fase som inneholder silicium og minst ett metall forskjellig fra silicium eller aluminium, idet de angitte prosenter er basert på totalvekten av den nevnte første og annen fase, karakterisert ved at produktet har 85% til
99% teoretisk tetthet og har en mikrostruktur som er et krystallisert nettverk av det nevnte 0<1->fase-silicium- aluminium-oxynitrid med den nevnte i det minste én annen fase som en korngrensefase.
2. Produkt ifølge krav 1, karakterisert ved at de nevnte første og annen faser utgjør en hoveddel av produktet.
3. Produkt ifølge krav 1, karakterisert ved at det består av i det vesentlige de nevnte første og annen faser sammen med en even-tuell innbefatning av en inert dispergert fase.
4. Produkt ifølge krav 1, karakterisert ved at nevnte minst ene annerj fase består av eller innbefatter en glassfase.
5. Produkt ifølge krav 1, karakterisert ved at nevnte minst ene annen fase består av eller innbefatter en krystallinsk fase.
6. Produkt ifølge krav 1, karakterisert ved at det nevnte metall forskjellig fra silicium og aluminium er valgt slik at det reagerer med siliciumoxyd og aluminiumoxyd under dannelse av en glassfase som smeltes under sintringen av produktet og fra hvilken det nevnte 0'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid felles.
7. Produkt ifølge krav 6, karakterisert ved at det nevnte metall forskjellig fra silicium og aluminium er valgt fra gruppen bestående av yttrium, lithium, magnesium, calcium, scandium, cerium og de andre sjeldne jordartelementer.
8. Fremgangsmåte for å danne et tett keramisk produkt, karakterisert ved at det dannes en pulverblanding inneholdende (a) 50 til 65 vekt% siliciumnitrid, (b) 22 til 35 vekt% siliciumoxyd, i hvilken molarforholddet av siliciumoxyd til siliciumnitrid er minst 1:1, (c) 1 til 20 vekt% (på oxydbasis) av en oxygenholdig aluminiumforbindelse og (d) 1 til 15 vekt% (på oxydbasis) av minst én forbindelse valgt fra oxyder, hydroxyder, carbonater, oxynitrider, nitrater eller silikater av andre metaller enn silicium og aluminium, idet prosentene er basert på totalvekten av bestanddelene (a) til (d); sintring av den nevnte pulverblanding ved en temperatur fra 1600°C til 1900°C i en ikke-oxyderende atmosfære hvorved aluminiumforbindelsen, den nevnte i det minste ene forbindelse og endel av det nevnte siliciumoxyd i blandingen reagerer under dannelse av en flytende fase fra hvilken det felles 0'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid; og det sintrede materiale avkjøles for å danne et produkt inneholdende det nevnte 0'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid og minst én korn-grensefase inneholdende silicium og det nevnte metall.
9. Fremgangsmåte ifølge krav 8, karakterisert ved at det molare forhold av siliciumoxyd til siliciumnitrid i pulverblandingen ikke overstiger 1,5:1.
10. Fremgangsmåte ifølge krav 8, karakterisert ved at pulverblandingen inneholder siliciumnitrid i en mengde på fra 50 til 60 vekt%, det nevnte siliciumoxyd i en mengde på fra 25 til 30 vekt%, den nevnte aluminiumforbindelse i en mengde på fra 1,0 til 15 vekt% (på oxydbasis) og den nevnte minst ene forbindelse i en mengde fra 3 til 12 vekt% (på oxydbasis).
11. Fremgangsmåte ifølge krav 8, karakterisert ved at sintringstrinnet ut-føres i fravær av påført trykk.
12. Fremgangsmåte ifølge krav 8, karakterisert ved at nevnte minst ene forbindelse velges slik at den reagerer med endel av siliciumoxydet og oxydet av aluminium for, under reaksjonen å gi et aluminiumsilikat av det nevnte metall som smeltes ved sintringstemperaturen .
13. Fremgangsmåte ifølge krav 12, karakterisert ved at det smeltede aluminiumsilikat av det nevnte metall eller metaller også inneholder bundet nitrogen.
14. Fremgangsmåte ifølge krav 8, karakterisert ved at avkjølingstrinnet ut-føres naturlig til værelsetemperatur for å sikre at en annen fase omfattende et glass inneholdende silicium, aluminium og det eller de nevnte metaller foreligger i produktet.
15. Fremgangsmåte ifølge krav 14, karakterisert ved at produktet, efter av-kjølingstrinnet, varmebehandles ved oppvarmning til en temperatur av størrelsesorden 1000°C til 1400°C for å bevirke avglasning av glassfasen.
16. Fremgangsmåte ifølge krav 8, karakterisert ved at avkjølingstrinnet ut-føres ved en tilstrekkelig langsom hastighet for å bevirke at glasset avglasses.
17. Fremgangsmåte ifølge krav 16, karakterisert ved at det anvendes en avkjøl-ingshastighet på under 100°C pr. time.
18. Fremgangsmåte ifølge krav 8, karakterisert ved at det nevnte metall av den nevnte minst én forbindelse er yttrium, lithium, magnesium, calcium, scandium, cerium eller et annet sjeldent jordartselement, og at forbindelsen er oxydet eller en forbindelse som spaltes til oxydet ved sintringstemperaturen.
19. Fremgangsmåte ifølge krav 8, karakterisert ved at nevnte minst ene forbindelse omsettes med endel av siliciumoxydet for å danne en glassaktig eller krystallinsk forbindelse før omsetning med de gjenværende komponenter for å få de ønskede produkter.
20. Fremgangsmåte ifølge krav 8, karakterisert ved at nevnte minst ene forbindelse omsettes med siliciumoxyd eller aluminiumoxyd for å danne en glassaktig eller krystallinsk forbindelse før reaksjonen med de gjenværende bestanddeler for å få de ønskede produkter.
21. Fremgangsmåte ifølge krav 8, karakterisert ved at nevnte minst ene for bindelse er yttriumoxyd og siliciumoxydet og yttriumoxydet omsettes sammen i et molarforhold på 2:1 for å danne yttri umsilikat som inkluderes i blandingen før sintringstrinnet.
22. Fremgangsmåte ifølge krav 8, karakterisert ved at bestanddelene av pulverblandingen blandes sammen i mengder slik at produktet inneholder fra 80 til 98 vekt% av den nevnte O'-fase-silicium-aluminium-oxynitrid som en første fase og 20 til 2 vekt% av minst én korngrensefase, idet prosentene er basert på totalvekten av fasene, og hvor produktet har en tetthet på fra 85 til 99 % av den teoretiske tetthet.
23. Fremgangsmåte ifølge krav 22, karakterisert ved at bestanddelene i pulverblandingen er blandet sammen i mengder slik at de nevnte faser utgjør en hoveddel av det nevnte produkt.
24. Fremgangsmåte ifølge krav 22, karakterisert ved at et inert materiale innbefattes i pulverblandingen slik at produktet består i det vesentligste av de nevnte faser sammen med en inert dispergert fase.
NO840718A 1983-02-26 1984-02-24 Silicium-aluminium-oxynitridprodukt og fremgangsmaate ved fremstilling av dette. NO165232C (no)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB8305412 1983-02-26

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NO840718L NO840718L (no) 1984-08-27
NO165232B true NO165232B (no) 1990-10-08
NO165232C NO165232C (no) 1991-01-16

Family

ID=10538691

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO840718A NO165232C (no) 1983-02-26 1984-02-24 Silicium-aluminium-oxynitridprodukt og fremgangsmaate ved fremstilling av dette.

Country Status (9)

Country Link
US (1) US4506021A (no)
EP (1) EP0124199B1 (no)
JP (1) JPS59169981A (no)
AT (1) ATE21096T1 (no)
AU (1) AU565639B2 (no)
CA (1) CA1201453A (no)
DE (1) DE3460366D1 (no)
NO (1) NO165232C (no)
ZA (1) ZA84996B (no)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4628039A (en) * 1984-03-06 1986-12-09 Kyocera Corporation Sintered silicon nitride body
JPS62207765A (ja) * 1986-03-06 1987-09-12 日本碍子株式会社 窒化珪素焼結体
WO1987005597A1 (en) * 1986-03-14 1987-09-24 Commonwealth Scientific And Industrial Research Or Method of forming a ceramic product
GB8609067D0 (en) * 1986-04-14 1986-05-21 Atomic Energy Authority Uk Silicon nitride materials
US4804644A (en) * 1986-05-28 1989-02-14 Cookson Group Plc Ceramic material
JPS6355166A (ja) * 1986-08-26 1988-03-09 三菱マテリアル株式会社 水平式連続鋳造用セラミツクス製鋳造ノズル
GB8712683D0 (en) * 1987-05-29 1987-07-01 Cookson Group Plc Ceramic material
JPH0745350B2 (ja) * 1987-12-01 1995-05-17 日本特殊陶業株式会社 繊維強化セラミックス
US5128285A (en) * 1988-04-14 1992-07-07 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Silicon oxynitride sintered body
JPH01301565A (ja) * 1988-05-30 1989-12-05 Agency Of Ind Science & Technol 高強度高耐酸化性サイアロン焼結体
DE3991655T (no) * 1989-04-28 1992-06-25
JP2927919B2 (ja) * 1990-09-14 1999-07-28 本田技研工業株式会社 窒化珪素質焼結体の結晶化熱処理方法
US5118646A (en) * 1990-11-21 1992-06-02 Norton Company Process for improving the strength of sialon
US5352395A (en) * 1992-07-17 1994-10-04 Phillips Petroleum Company Carbon and ceramic-containing layers for use in sintering of silicon nitride article
US5316988A (en) * 1993-08-02 1994-05-31 Eg&G Idaho, Inc. Sialon ceramic compositions and methods of fabrication
WO1995033700A1 (en) * 1994-06-03 1995-12-14 Industrial Research Limited Ceramic production process
US5521129A (en) * 1994-09-14 1996-05-28 The Carborundum Company Sialon-bonded silicon carbide refractory
US5459112A (en) * 1994-09-14 1995-10-17 The Carborundum Company Reaction-bonded silicon carbide refractory product
US5827472A (en) * 1994-10-19 1998-10-27 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Process for the production of silicon nitride sintered body
NZ280375A (en) * 1996-05-01 1998-09-24 Ind Res Ltd A silicon oxynitride ceramic material characterised by its x-ray powder diffraction trace
US9925295B2 (en) * 2012-05-09 2018-03-27 Amedica Corporation Ceramic and/or glass materials and related methods
US9951952B2 (en) 2014-10-15 2018-04-24 Specialized Component Parts Limited, Inc. Hot surface igniters and methods of making same
CN108863399A (zh) * 2018-07-26 2018-11-23 深圳市东川技术研究有限公司 赛隆电加热新材料的烧结工艺
CN115504791A (zh) * 2022-08-12 2022-12-23 河南好运祥耐材有限公司 一种高抗氧化性能的O’-SiAlON-SiC预制件及其制备方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS566392B2 (no) * 1974-04-01 1981-02-10
US4143107A (en) * 1974-06-28 1979-03-06 Tokyo Shibaura Electric Co., Ltd. Silicon nitride-based sintered material and method for manufacturing the same
JPS5852949B2 (ja) * 1975-07-24 1983-11-26 ル−カス インダストリ−ズ リミテツド セラミック部品の製造方法
GB1573299A (en) * 1976-06-03 1980-08-20 Lucas Industries Ltd Method of forming a ceramic product
US4127416A (en) * 1976-07-24 1978-11-28 Lucas Industries Limited Method of producing a ceramic product
US4331771A (en) * 1980-05-12 1982-05-25 Norton Company High density silicon oxynitride
US4365022A (en) * 1980-12-06 1982-12-21 Agency Of Industrial Science & Technology Method for manufacture of high-strength sintered article of substances having β-silicon nitride type crystal structure
EP0087888B1 (en) * 1982-02-26 1986-06-11 LUCAS INDUSTRIES public limited company Method of forming ceramic materials and ceramic products, and ceramic materials and ceramic products formed thereby

Also Published As

Publication number Publication date
AU565639B2 (en) 1987-09-24
US4506021A (en) 1985-03-19
JPS59169981A (ja) 1984-09-26
NO840718L (no) 1984-08-27
ATE21096T1 (de) 1986-08-15
CA1201453A (en) 1986-03-04
EP0124199B1 (en) 1986-07-30
AU2447284A (en) 1984-08-30
NO165232C (no) 1991-01-16
DE3460366D1 (en) 1986-09-04
EP0124199A1 (en) 1984-11-07
ZA84996B (en) 1984-09-26
JPH0545554B2 (no) 1993-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO165232B (no) Silicium-aluminium-oxynitridprodukt og fremgangsmaate ved fremstilling av dette.
CA1200257A (en) Methods of forming ceramic materials and ceramic products, and ceramic materials and ceramic products formed thereby
Mandal et al. Reversible α⇌ sialon transformation in heat-treated sialon ceramics
Lange Silicon nitride polyphase systems: fabrication, microstructure, and properties
US4127416A (en) Method of producing a ceramic product
US4719187A (en) Dense sintered bodies of nitride materials
Lewis et al. Nitrogen ceramics: liquid phase sintering
NO872251L (no) Forbedret keramisk materiale.
JPH0812440A (ja) 窒化ホウ素含有材料およびその製造方法
Kumar et al. Crystallization of various compositions in the Y2O3–SiO2 system
US4071371A (en) High temperature ceramic material suitable for gas turbine applications and a process for producing same
JPS627150B2 (no)
US5094677A (en) Preparation of pollucite ceramics
AU560369B2 (en) Method of making yttrium silicon oxynitrides
JPH0324429B2 (no)
EP0150180B1 (en) Method of making densified si 3?n 4?/oxynitride composite with premixed silicon and oxygen carrying agents
Ding et al. FORMATION AND PROPERTIES OF Y-AI-Si-ON GLASSES IN THE GRAIN BOUNDARIES OF Si3N 4 CERAMICS
Yuquan et al. Formation and properties of Y Al Si O N glasses in the grain boundaries of Si3N4 ceramics
JP3834930B2 (ja) 珪窒化マグネシウム焼結体及びその製造方法
EP0227324B1 (en) Method of making ultrapure silicon nitride/oxynitride powder
JPH0559073B2 (no)
JP2002154842A (ja) ガラス質セラミックスおよびその製造方法ならびにガラス質セラミックス用組成物
CA1247335A (en) Method of making densified si.sub.3n.sub.4/oxynitride composite with premixed silicon and oxygen carrying agents
JPH0559074B2 (no)
WO1996001236A1 (en) Sintered reaction-bonded silicon nitride components