NO123939B - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- NO123939B NO123939B NO0830/69A NO83069A NO123939B NO 123939 B NO123939 B NO 123939B NO 0830/69 A NO0830/69 A NO 0830/69A NO 83069 A NO83069 A NO 83069A NO 123939 B NO123939 B NO 123939B
- Authority
- NO
- Norway
- Prior art keywords
- chamber
- valve
- wire
- coating
- circuit
- Prior art date
Links
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 96
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 86
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 46
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 44
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 44
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 5
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims description 5
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 claims 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 14
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 10
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 235000000396 iron Nutrition 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000746 Structural steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000003380 propellant Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000009489 vacuum treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Anordning for påføring av overtrekk på plate-
formede gjenstander ved vakuumavsetning.
Foreliggende oppfinnelse vedrører en anordning for påfør-
ing av overtrekk på plateformede gjenstander ved vakuumavsetning, særlig for påføring av overtrekk på glassplater eller underlag av andre materialer..
Ved en konvensjonell fremgangsmåte foretas overtrekningen
i et vakuum-kammer som består av en glassklokke som er forbundet med en diffusjonspumpe for evakuering: av kammeret til et ønsket trykk. Kammeret inneholder én eller flere kilder av fordampbart overtrekksmateriale, og det underlag som skal forsynes med overtrekk, anbringes i en viss avsatnd fra denne eller disse kilder med overflaten vendende mot kildene.
En vesentlig ulempe ved en sådan fremgangsmåte er at vakuumet i kammeret må oppheves etter fullført prosess og kammeret bringes på atmosfæretrykk' fpr at de plater som er blitt forsynt med overtrekk, ,skal kunne, tas. ut pg nye plater bringes i stilling, hvoretter .kammeret 'igjen^-miå pumpes rred"til det ønskede trykk.
Denne stadig gjentatte evakuering; og innslipning^av gass
i kammeret, er meget tidskrevende og bevirker at arbeidet foregår langsomt pg blir kostbart, særlig når det bare er noen-få eller en eneste plate' som' skaT~ bvertrékkes :: ,iBét kjente system muliggjør ikke suksessiv overtrekning. av- individuelle underlag av sammé eller for-skjellig form eller påføring ay forskjellige typer av overtrekk som krever særskilt vakuumbehandling
Hensikten- med oppfinnelsen er derfor 'å""^kaiCfé'rétl ^<3.rbé<*>dxet utstyr for • vakuum-avsetning' i•■-Jorbindélse mdd suksessiv overtrekning av individuelle underlag og en fremgangsmåte, ved hvilken denne be-handling kan foretas mere effektivt og økonomisk. En annen hensikt med oppfinnelsen er å skaffe et utstyr av den nevnte art, ved hvilket graden av vakuum som kreves for overtrekningen, kan oppnås i løpet av en meget kortere tid enn tidligere, således at individuelle plater kan behandles hurtigere enn.før.
Oppfinnelsen angår således nærmere -bestemt et apparat for påføring av overtrekk på plateformede -gjenstander'ved'vakuumaVset--ning, omfattende et fordampningskammer som inneholder en kilde av det materiale som skal fordampes y- ét evakueringssystem for tilveiebringelse av et vakuum i fordampningskamméret/éri varmekilde for fordampning av dette materiale',- ét overtrekningskammer som ligger inntil fordampningskammeret, en understøttelse i. overtrekningskammeret for understøttelse av en plate som skal forsynes med overtrekk, et evalueringssystem for tilve^^rlBg^se «av. e**. vajcuum^it*^ overtrekningskammeret, et<y>entilkammer anordnet mellom fordampningskammeret og overtrekningskamme^stHs'*^^^el^^i-'fvenerA tilkammeret,. samt en mekanisme *or~'bévegé4seti.av «p^e^aVentile'i»iå5.«Sn-retning til lukket stilling for å skille overtrekningskammeret- fra fordampningskammeret, og i den motsatte retning tiL åpen stilling for å bringe disse kammere i forbindelse med hinannen og utsette platen for overtrekningsmateriale. Det særegne ved oppfinnelsen er en ringformet skjerm som befinner seg i fordampningskammeret, og en drivinnretning for å bevege skjermen inn i ventilkammeret, hvilken skjerra danner en kanal gjennom ventilkammeret for å forbinde fordampnings- og overtrekningskammeret og skjerme spjeldet mot overtrekksmateriale som passerer gjennom kanalen.
Oppfinnelsen skal forklares' linder 'henvisning" til tegning-ene , på hvilke fig. i. viser, et . sideriss<av:;apparatet ifølge opp-..;, finnelsen,.fig. 2 .viser samme apparat sett i front-oppriss,. fig, 3 viser samme -^r^finriss^Bg fig. 4,"5 dg'é-'viser' snitt etter linjené" henholdsvis 4 - 4> .5 - 5 og 6 - 6 på fig. 3; fig. 7t3fisesseef:«horir. sontalsnitt etter linjen 7 - 7 på fig. 6, fig. 8 og 9 viser snitt ett^r, liij3eneo8ssj §3.hhV:SjS&zgfiepå&f igi.. -7.-med,- ennpjaftef brmet ventil i lukket .stilling, fig. 10 viser samme ventil beveget til åpen stillingdog" flg .'':?ll viief^pisiévSnt^Jen::'m§ac'uh!dé spektiy; : f igv 12 visertet ..grj^nrif giayii.apparat^tci5ed^lQls^i.og-.:. v plateventil i åpen stilling, fig. 13- yiser et delsnitt etter linjen 13'TTpå flg'. "127 "f ig • 14 'viser "i 'Forstørret målestokV"overtrek-ningskammerét. i åpen stilling: og -Sfukket^mofe" ol^amph-^hgls^airaWréU'«g fig. 15 viser i forstørret målestokk pyertrekningskammere^ i^..lukket stilling pg i fdrbindelse* med fdrc^pnfngsk^ammexVtV fig:. 16 viser i perspektiv et utsnitt av en: understøttelse for gl'aisspl4téne,' f ig^;'^ 17 viser et snitt etter linjen 17 17 på fig. S, flg. 18 og 19 v i sex jsni&t=fifcfeer-:lin$ene 18 18 og. 19'- 19 på fig. 17 og fig. 20
Isismiti&il f>/v.; . Lu"; --/.r^t\ .'V.-' • :•• * :•• .;..:l ~ ■<;■'■■■ ■- viser en Tukkeanordning.; fig. 21 viser skjematisk vakuum-systéméné for overtreknings- og fordampningskamrene pg fig. 22 og 23 viser skjematisk et elektrisk styresystem for apparatet.
Apparatet ifølge foreliggende oppfinnelse omfatter gene-relt et relativt stort fordampningskammer A, et relativt mindre overtrekningskammér B som befinner !seg over fordampningskammeret og som mottar den plate -(gjenstanden) S som skal forsynes med overtrekk. Ennvidere omfatter apparatet et ventilrom C som befinner seg mellom fordampnings- pg overtrekningskammeret og inneholder en horisontalt bevegbar plateventil D. Denne ;pl a te vent il anvendes til å skille kammeret A fra kammeret B når den er lukket, og til å bringe disse kammere i forbindelse med hinannen når den er åpen. Apparatet står på et gulv F og kammeret B kan Tett nas av det betjenende personale som befinner seg på en plattform som er antydet og betegnet med UF.
Fordampningskammeret A har Jstørre høyde enn"bredde og omfatter et hus T00 (fig. 5) med en horisontal bunn 101, et horisontalt tak 102 og vertikale sidevegger 103, hvis forside 104 er plan.
I samme vegg befinner der seg en dør 105. Veggdel-ene TO6 og 107 er forbundet med hver sin side ay den plane vegg 104 og er baktil for-enet over en halvsirkulær bakvegg T08. Taket 102 er utformet med en ringformet åpning 110 som ligger aksialt i flukt med lignende åpninger i overtrekningskammeret B og ventilrommet C
Som det fremgår av fig. 1, 2 og S4har veggen 108 en åpning som er forbundet med et rør ITT som er forbundet med et evakueringssystem for evakuering av kammeret A. Den indre ende 112 av røret 111 er beskyttet mot .strømmen av overtrekksmateriale som er rettet oppad fra kilden E av fordampbart materiale, av en skjerm 114 som er festet til bakveggen 108 umiddelbart under åpningen i denne. Denne skjerm ér i"det vesentlige plan og rettet skrått oppad og har form av en plate 115 som baktil er festet til en krum sidevegg 116 som er ført inn i røret 111 og tilpasset dettes indre overflate.
På baksiden av skjermen 114 er der anordnet en kjølevikling 118 som er forbundet med ehytre kjølemiddelkiTde-
Kilden E omfatter en digel 123 som opptar det materiale som skal fordampes og er understøttet på bunnen 101 forskutt i forhold til kammerets Å vertikale midtakse. Digelen bæres av en plattform 124 som er understøttet av laen 127 som er festet til en bunnplate 128 som igjen er festet til husets 100 bunn T01. Platen,128 tjener ogso til å tette en åpning 129 i bunnen 101,,således at kilden E med dertil hørende dekklag kan innføres i kammeret A og fjer nes fra dette.
Før overtrekningsprosessen settes igang er digelens 123 øvre åpning i det vesentlige dekket av et lokk 135 som ifølge fig.
6. 17, 19 og 20 omfatter en plate 136 som inntar horisontal stilling når den skal dekke digelens.åpning og er understøttet åv en arm 137 som kan svinges for å bringe dekselet fra den.på fig. 6 viste stilling til en.oppsvingt stilling-som er antydet ved strek-^prikkede linjer. Platen. 136, er avkjølt ved hjelp av en kjølespole 155 som er festet til platens overside pg over rørforbindelser 156 og 157
er forbundet med tappen 138 og over denne med trykkilder over rørene 158 og 159 .
Fordampningskammeret A holdes fortrinnsvis på et lavt trykk under en betydelig del aV arbeidsperioden og er forsynt med et sekundært kammer 161 som er lukket mot atmosfæren med en plate 167. I kammeret 161 er der en vogn for fordampbart materiale, hvilken vogn er bevegelig mot digelen .123 når nytt materiale skal til-føres .
Overtrekningskammerets B hus 200 er montert på ventilkammerets C hus som på sin side er understøttet av fordampningskammerets A tak 102. Huset 200 er begrenset av et horisontalt gulv 201, en i det vesentlige sylindrisk sidevegg 202 og et horisontalt tak 203. Gulvet 201>har en sirkulær åpning 204 som kommuniserer med fordampningskammeret A. gjennom ventilkammeret C.
Taket 203 har en sirkulær åpning 205 som under overtrekningsprosessen kan stenges ved et lokk 206.;
Lokkets 206 flens 209 bærer bryterpåvirkningsdeler 2 33 og 234 som påvirker" brytere 235 og 236 når lokket slutter tett til husets 200 tak 203. Bryteren 235 slutter kretsen for.styring av ventilen 227 for å oppheve trykket i røret 230. Ventilen vil ikke bevirke åpning av lokket 206 uten at overtrekningskammeret B befinner seg under atmosfæretrykk.
Når spjeldet eller plateventilen D i ventilkammeret C er
i stehgestilling. og adskiller kamrene og: kammeret B er åpent mot atmosfæren, kan lokket 206 svinges opp eller senkes. Etter at lokket ér blitt bévegét til stengestilling for å lukke overtrekningskammeret B, kan forbindelse mellom fordampningskammeret og overtrekningskammeret ikke etableres* ved at spjeldet D føres til åpen stil- . lingr før'trykket i bvertreknihgskammeret B i det vesentlige til-svarer trykket i fordampningskammeret A. Det fremgår av fig. 3 at
sideveqgen 202 har en siderettet åpning 237 med den fri ende utformet med en flens for oyertrekningskammerets B. forbindelse med et evakueringssystem som er tilsluttet et .rør. 239 som er festet til førstnevnte flens ved hjelp av bolter 238-Når lokket er i stengestilling, vil grensebryteren 235 slutte en elektrisk krets for å forbinde evakueringssystemet (fig..21) med overtrekningskammeret B gjennom røret 239.
Gjenstanden S hviler i kammeret B på en plate 24 0 som på sin side er understøttet av en tannkrans 241. Som vist på fig. 14 og 15 er denne tannkrans lagret på en ring 242 av mindre, diameter med mellomliggende kuler 24.3-Ringen 242 er festet til gulvet 201 og er orientert koaksialt til åpningen 204 i gulvet.
Som vist på fig. 12, 14 og 16 hviler platen 240 på oversiden av tannkransen 241 og har minst to diametralt motsatt anord-nede hull 245 for stifter 246 på tannkransen. Som vist på fig. 16 har platen 24 0 i det vesentlige rektangulær form og dens sidekanter er utformet med innhakk 250 for å lette behandlingen av gjenstanden S. Rundt disse innhakk er der festet hetter 250 som hindrer passasje av overtrekksmateriale som evakueres fra kilden Ei kammeret A, således at overtrekksmaterialet ikke vil kunne treffe undersiden av gjenstanden eller bæreplaten 240.
Under overtrekningsprosessen holdes tannkransen 241 i rotasjon for å sikre at overtrekningsmaterialet fordeler seg jevnt på den undre overflate av gjenstanden --S, såsom en glassplate, for på den måte å hindre at der oppstar små hull i overtrekket eller at der danner seg tynnere og tykkere overtrekksomrader. Tannkransens 241 tenner 252 står derfor i -inngrep med et drivhjul i et kammer som er begrenset av en ekstra vegg 254 som slutter seg til husets 200 sidevegg 202. Akselens 255 fri ende bærer et kjedehjul 257 som over en kjede 258 drives av et annet kjedehjul 259 på- en akseltapp som. drives av en drivmotor 261Æom settes igang ved begynnelsen av over-treknirigsoperasjonen og stanses når overtrekningsmaterialet har fått den ønskede tykkelse.
Når trykket i overtrekningskammeret begynner å avta ved
at evakueringssystemet settes igang, vil grensebryteren 236 slutte en elektrisk krets til en glødeutladningsenhet 265 som frembringer et høyspent vekselpotensial som på sin side bevirker rengjøring av den øvre overflate av glassplaten ved jonebombardement. Denne enhet omfatter et ringformet element 266 som er understøttet av blokr ker 267 av isolerende materiale på den faste rings 242 indre vegg,
se fig. 12. Elementet 266 er forbundet med et vekselstrømampére-meter 2 68 aver én kabel 269som rager ut av et understøttelsesrør. 270 på undersiden av tannkransen 241 og er ført gjennom en parssasje 271 i det faste ringeiement 242. Amperemeteret 268 bæres av en brakett 272 som også'understøtter røret 270. Ved hjelp av bryteren 236 sluttes kretsen for det sirkulære glødéutladningselemént 266 når kammeret B er blitt evakuert. Når bryterens påvirkningsdel 234 heves og ikke lenger påvirker bryteren 2 36, idet lokket"206 svinges opp, brytes glødeutladningskretsen.
Ventilkammeret C som befinner ség mellom fordampningskammeret A og overtrekningskammeret B, omfatter et i det vesentlige rektangulærtå horisontalt, langstrakt hus 300, se fig. 1, 5 og 12, hvis gulv 301 har en sirkulær åpning "307 som er koaksial med og har samme, diameter som åpningen.110 i fordampningskammeréts A tak 102.Husets tak 306 har en tilsvarende sirkulær "åpning 208 som er koaksial med åpningen 204 i husets .200 gulv .201.
Kammeret A kommuniserer med kammeret B når lokket 2 06 er
i åpen stilling, som vist på fig." 1, og med spjeldet D i åpen stilling, som vist på fig. 5. Under overtrekningsprosessen når lokket 206 er i åpen stilling, er spjeldet i stengt stilling, som vist på fig. 6 og 14, da kammeret A héle tiden skal holdes på et forholdsvis lavt trykk. Det er viktig at kamrene ér hermetisk tett forbundet med hinannen, av hvilken grunn taket 102 og gulvet' 301 samt gulvet 201 og. taket 306 er..utformet med omkringløpende spor for opp-tagelse av O-ringer eller pakninger 309 hhv. 310.
I huset 300 er der til undersiden aV taket 306 festet en plate 312 som har en åpning 312 som er koaksial med åpningen 308. Denne plate danner et- sete for ventillegemet for å tette overtrekningskammeret B mot"ventilkammeret C og mot fordampningskammeret A. Undersiden av platen 312 (fig. 14) er utført med et omkringløpende spor for en pakning 315.
Spjeldet D består i det. vesentlige av et. rektangulært legeme 318 og er understøttet av en vogn 319 både i stengestilling, fig. 14, og i åpen stilling, fig. 11, hvilken vogn 319 omfatter en ramme av kanaljern 320 - 323 som har samme avstand fra ytre vegger henholdsvis 322 til 325. Kanaljernenes. 320 og 321 steg' 328 hhv.
329 understøttet. U-formede braket ter 331, mellom hvis ender der er lagret bolter 332 som danner lagertapper for dé nedre ender av ar-men 333, hvis øvre ender ved hjelp av bolter 334 er leddforbundet med blokklighende" braketter 335 festet til undersiden av ventilpla-
ten 318. En ytterligere understøttelse mellom plateventilen og vognen er dannet av ledd 337 som ved hjelp av bolter 338 er leddforbundet med braketter 339 mellom kanaljernene 322, 324 og de til-støtende plater 323 hhv. 325. Den øvre ende av hvert ledd 337 bærer en rulle 340 som samvirker med en kam 341 på en blokk 342 fes-tet til plateventilen. Ifølge fig. 7 ér blokkene 335 og 342 anordnet i det vesentlige i hjørnene av en sekskant og danner understøt-telser for plateventilen på vognen.
Vognen 319 bærer plateventilen D mellom en åpen stilling, se fig. 5 og 15, og en lukket stilling, se fig.. 6 og 14. Under bevegelsen mellom disse stillinger inntar plateventilen en senket stilling, idet de understøttende ledd 333 - 337 da befinner seg i en fremadsvingt stilling, se fig. 11. Når plateventilen beveges til stengestilling, svinges disse ledd til vertikal stilling, således at platen heves og legger seg an mot undersiden 314 av platen 312. Før bevegelsen til lukket stilling foregår der en innledende bevegelse av vognen som bevirker at leddene begynner å beveges til skråstilling for å bringe plateventilen i senket stilling.
Fig.,6, 7 og 8 viser to horisontalt adskilte skinner 345 og 346 som i sin ene ende er i ett med eller festet til undersiden av platen 312 og i sin annen ende er festet til ventilkammerets gulv 3 01. Disse skinner ligger på hver sin side av og i samme avstand på husets 300 lengdeakse. Skinnenes mot hinannen rettede sideflater 347 er utformet med 1 det vesentlige rektangulære spor 348 som danner glideflater 349 og 351. Ifølge fig. 11 er der i vognens 319 hjørner festet trinser 353 som er dreibart lagret på tapper 354 festet til blokker 355 ved endene av kanaljernene 320 og 321. Trinsene 353 ruller på sporene 349 og understøtter vognen under dennes bevegelse mellom stengestilling dg åpenstilling. Vognen'drives av en hydraulisk sylinder 356 (fig. 12). Styrerullene ruller langs vertikale overflater 347 på skinnene 345 og 346.
Vognens 319 bevegelse bevirkes av sylinderen 356, stempel-stangens 360 frie ende er forbundet med vognen (fig., 11 og 14).
Når vognen når sin fremre stilling, vil hodet på en bolt
366 påvirke en grensebryter 369 for å bringe vognen til stillstand. Sylinderens 356 ytre ende er over et rør 370 forbundet med en ventil 371, og sylinderens Indre ende er over et rør 372 forbundet med den samme ventil som er forbundet med en trykkilde. Grensebryteren 369 styrer ventilen 371. Når vognen beveges tilbake, vil en bolt
374 påvirke en grensebryter 376 fes-tet til bakveggen 305 for å stanse tilførsel av trykkvæske.
Plateventilen eller spjeldet 318 er, se fig. 11, i hjørne-partiene forsynt med ruller 378 som er lagret på tvers av glidefla-tene 351. Som det fremgår av fig. 8 utgjør disse glideflater horisontale skinner 382 med et fremad og oppad skrått parti 383 og et vertikalt parti 384. Når plateventilen føres fremad av vognen 319.
i senket stilling, som bestemt av leddene 333 og 337, vil trinsene 378 bevege seg fra den horisontale til den skrå del 383 av sporet og deretter støte an mot de vertikale partier 384, i hvilken stilling spjeldet er hevet til kontakt med undersiden av platen 312, således at åpningen 313 stenges. Under spjeldets bevegelse fremover av vognen befinner leddene 333 og 337 seg i skråstilling, men når spjeldet stanser ved at trinsene 378 støter an mot de vertikale partier 384, opphører vognens bevegelse og leddene 333 og 337 vil bli svingt til vertikal stilling og løfte spjeldet til tett anlegg mot platen 312.
Når leddene 333 og 337 når en i det vesentlige vertikal eller død-stilling, stanses vognens bevegelse av bolter 385 som er innstillbart festet til en tverrskinne 386 festet til hver sin ende av langsgående skinner 345 og 346. Som allerede nevnt, påvirker bolten 366 grensebryteren 369 når vognen når sin fremre sluttstil-ling, således at ventilén 370 stenges. En lignende stansing av vognen 319 skjer også ved den tilbakegående bevegelse, idet bolter 387 støter an mot tilsvarende anslag, se fig. 12.
Styretrinser 380 er i likhet med styretrinsene. 357 lagret i de respektive hjørner av plateventilen. For å hindre at der skal oppstå slitasje på plateventilens 318 overflate når denne legger seg an mot platen 312 ved overtrekningsprosessens avslutning, er vognen forsynt med et par ledd 390 anordnet mellom kanaljernene 322 og 324 og tilstøtende vegger 323 og 325 i vognens bakre hjørner (se fig. 11). Disse ledd er i nærheten av sine øvre ender fritt svingbare i utsparinger 392 i ventilplaten. Hvert ledd 390 bærer på sin øvre ende en trinse 393 som kan opptas i en fordypning 394 i platens 312 underside når ventilen heves.
Som vist på fig. 9 inntar leddene 390 vertikal stilling når plateventilen er i lukket stilling, men når vognen beveges tilbake, vil trinsene 393 bevege seg langs skrå kamflater 395 for å svinge leddene fremover og tvinge trinsene til anlegg mot vertikale fremspring 392, hvorved den bakre ende av plateventilen vil bli skjøvet ned, sé fig." 10, for å bevege den vekk fra anlegg mot undersiden 314. Når vognens tilbakegående bevegelse opphører, vil leddene 333 og 337 svinges på lignende måte til skråstilling og derved senke plateventilen. Under denne tilbakegående bevegelse vil trinsene 35 3 understøtte vognen under dennes bevegelse langs sporflaten 349 og trinsene 378 beveges langs de horisontale spor 382 med plateventilen i den på fig. 3 viste stilling på vognen.
For" å beskytte de indre overflater av ventilkammeret mot uønsket avsetning av overtrekksmateriale under fordampningen, er der anordnet en ringformet metallskjerm 400 som i arbeidsstillingen på fig. 5 danner en i det vesentlige ringformet passasje mellom kamrene A og B. Skjermen omfatter en sylindrisk vegg 402 med en øvre utbret-tet kant 403 og én bunn 401. Skjermen er understøttet av en vertikal stang 404 som er.festet til platen 401, se flg. 6. Diametralt i forhold til stangen 404 er der anordnet en vertikal stang 406 som tjener som føring for skjermen under dennes bevegelse oppad og nedad. Stangens 406 øvre ende er festet til undersiden av taket 102, og dens nedre ende er festet til en brakett 408 på sideveggen 103. Føringsstangen 406 er ført gjennom en plate 409 festet til skjermens bunnplate 4 01.
Når overtrekningskammeret Ber åpent til atmosfæren og ventilen 318 befinner seg i lukket stilling -(fig...6), befinner skjermen 4t30 seg i den på fig. 6 viste stilling med den øvre kant 403 i hevet stilling i åpningen 110 i taket 102 og åpningen 307 i gulvet 301. Etter at ventilen 318 er blitt beveget til åpen stilling før overtrekningsprosessen begynner, heves skjermen så meget at den sylindriske vegg 402 vil ligge Innenfor ventilkammeret C, se"fig. 5-Som tydeligst vist på fig. 12, har bunnen 401.en sirkulær åpning 411 som ligger eksentrisk i forhold til den sylindriske vegg 402.
Stangen 404 er ført ned gjennom fordampningskammerets A gulv 101 med en pakning 415. Den nedre ende av stangen er over en blokk 416 forbundet med en stempelstang 417, hvis stempel 418 er bevegelig i en sylinder 419.
Når skjermen befinner seg ved yttergrensene for sin vertikale bevegelse, påvirker den grensebryteren 421 hhv. 422. Disse brytere utøver, visse styrevirkninger under overtrekningsprosessen, som beskrevet i det følgende. Forbindelsesblokken 416 bærer en utadrettet finger 423 -som ved den nedre ende av bevegelsen, se fig.
-6, påvirker grensebryteren 421 for å stanse skjermens nedadgående bevegelse. Når skjermen heves til sin øvre stilling, vil fingeren 42 3 påvirke den øvre grensebryter '4-2.2 for å stanse bevegelsen. Skjermen beveges oppad og nedad av en hydraulisk- sylinder 419 som er forbundet med et tilførselsrør 428 over en elektrisk ventil 427, se fig. 1.
Under stangens 404 vertikale bevegelse glir denne og føres i fordampningskammeret A i en lagerblokk 429 som er festet til sidé-veggen 107. Som det fremgår av fig. 6 og 17, er stangen 404 anordnet bak en vertikal vegg eller st skjold 431 som er festet til gulvet 101. Stangens øvre ende 423 er ført gjennom åpningen 411 til en stilling som i det vesentlige befinner seg i samme horisontalplan som husets 100 tak 102.
Kilden E av fordampbart materiale befinner seg i en digel 12 3 og opphetningen foregår ved elektronbombardement, således at materialet fordampes og dampmolekyler rettes oppad mot den flate av gjenstanden (glassplaten) i overtrekningskammeret som skal forsynes med overtrekk. Til dette formål er der under digelen anordnet en elektronkanon 435 som fortrinnsvis ligger i.en viss avstand fra det metall som skal bombarderes for å unngå ødeleggelse eller kortslut-ning av kanonen som følge.av joner av fordampet materiale eller fri-gjorte gasser. Med kanonen anordnet på denne måte, styres elektronstrålen fra en fokuseringsspole 4 36 til digelen 123 under virkning av et magnetfelt som frembringes mellom fokuseringsplater 437 og 438 tilhørende magnetene 439. Elektronstrålen styres således over og ned inn i digelen for å bombardere og fordampe materialet i denne. Selvom en elektronstråle-varmekilde er å foretråkke, kan også andre varmekilder anvendes innenfor oppfinnelsens ramme. Materialer av en hvilken som helst art kan fordampes i apparatet ifølge oppfinnelsen, men fortrinnsvis anvendes aluminium eller krom, hvilken materi-algruppe har vist seg særlig effektiv når det gjelder å frembringe høyeffektive; speilende flater. Også titåndioksyd av oksydgruppen kan anvendes for å tilveiebringe.overtrekk med stor refleksjonsevne. Magnesiumfluorid av halogengruppen vil frembringe anti-refleks-overtrekk.
Som det fremgår klarest av fig. 3 og 6, ér der truffet forholdsregler for kontroll av tykkelsen av det. overtrekk som anbringes på glassplaten. Dette kontrollsystem omfatter en lyskilde 445 og en lysstrålemottager 44 6 som inneholder en fotoelektrisk celle .447. Lyskilden 445 befinner seg i et hus 448 understøttet av rørets 111 vegg. En rørformet forlengelse 449 er ført.opp i røret 111 og har en åpning 450, gjennom hvilken lysstrålen L sendes mot mottageren 44 6. Forlengelsen"og '"åpningen eir hensTktsméssig anordnet bak skjermen 4T4 .
Lysmottageren eller tykkelses-kontrollanordningen 446 be-
finner seg i et hus 451 "som er festet til oversiden av lokket 206
som til dette formål har en åpning 452, se fig. 1.
Lysstrålen L rettes under en viss vinkel opp i fordampningskammeret A mot anordningen 446 gjennom åpningen 452 i lokket 206 når dette inntar stengt stilling. Når overtrekket på glasspla-
ten har nådd en forutbestemt tykkelse, vil det begrense lysstrålens gjennomgang, således at den fotoelektriske celle 447 reagerer og bevirker en avslutning av overtrekningsoperasjonen-
Ifølge oppfinnelsen kan en konstant, forlangt mengde av overtrekningsmateriale vedlikeholdes i digelen 123 og fordampnings-betingelsen på den måte bibeholdes ved det ønskede lave trykk i kam-
meret A. Var dette ikke tilfelle, ville kammeret måtte bringes på
atmosfærisk trykk hver gang nytt materiale skulle tilføres, hvilket igjen ville nødvendiggjøre en forholdsvis lang stillstandsperiode.
For å tilføre bestemte .mengder av overtrekksmateriale til digelen
123 mellom på.hinannen følgende overtrekningsoperasjoner uten at vakuumet i fordampningskammeret behøver å oppheves, er.der anordnet en material-tilførselsenhet 460 som er hermetisk tett festet til fordampningskammerets sidevegg 108 og ifølge fig. 17 til 20 omfatter en vogn 4 61 som befinner seg i et tilstøtende kammer 161 som for-
trinnsvis er i ett -med huset 100 og den ytre kraftkilde 462 for be-
vegelse av vognen.
Vognen 461 har et understell 464, hvis hjul 465 ruller på
spor 466. Vognen bærer en beholder 468 for overtrekningsmaterialet som er festet til vognen over en vibreringsanordning 469. Behold-
eren har V-profil og et foroverrettet trau 471. Beholderens nedad konvergerende sidevegger 473 fortsetter forover ved lavere sideveg-
ger 474. En frontvegg 475 forbinder sideveggene 473 og 474 og har en nedre avbrytelse for å danne en åpning 4 76 for å slippe materi-
alet gjennom og ut i "trauet.
Vibreringsanordningen 469 er fortrinnsvis en elektrisk
påvirket enhet som er forbundet med den ytre elektriske kabel over en bøyelig kabel 478 og en'plugg 4 79. Når anordningen tilføres strøm, vil de vibrasjoner som overføres til vognen, bevirke at par-tikler av overtrékksmaterialet beveger seg ut langs trauet 471
etter at vognen er blitt beveget forover til den med strek-prikkede linje viste stilTing-, se fig. 18.
Vognen. 4 6-1 er forbundet med kraftkilden 462 over en stang 482, hvis ytre ende over en hylse 484 er koblet til enden av en stempelstang 485, hvis stempel 486 befinner seg i en sylinder 487.. For å hindre- støv adgang til stangen 482, befinner denne seg x en belg 4 91 eller annen trekkspillformet skjernu
Sylinderens 487 ender er forbundet med en. styreventil 494. Egnede koblemidler (fig. 23) styrer ventilen 494 for å føre trykkvæske fra tilførselsrøret 498 til det ene eller annet av rørene 495 og 496. Når vognens trau 471 befinner seg over digelen og vognen stanses, settes vibrasjonsanordningen igang manuelt for å få over-ført materialet til digelen. Vibrasjonsanordningen stanses før vognen føres tilbake til den på fig. 18 med heltrukne linjer viste stilling, når sylinderen 487 tilføres trykk over røret 496.
For å beskytte vognen med sitt innhold under overtrek-ningsoperas jonen , er der foran trauet anbragt en svingbart lagret dør 501 som er understøttet av en hette 502. Døren hviler normalt mot en plateformet utvidelse 126 av digelen 123. Når vognen 468 beveger seg forover fra den på fig. 18 med heltrukne linje viste stilling, skyver enden av trauet mot døren og svinger denne opp inntil trauets fri ende befinner seg umiddelbart over digelen. I denne stilling vil den ønskede mengde av overtrekksmaterialet avgis fra trauet 471 til digelen under virkningen av vibrasjonsanordningen 469. Etter at den ønskede mengde overtrekksmateriale er blitt over-ført til digelen, trekkes vognen tilbake og døren vil svinge ned til den med heltrukne linje viste stilling på fig. 18.
Fig. 21, 22 og 23 viser skjematisk et utførelseseksempel på det elektriske system som anvendes ved en i det vesentlige kon-tinuerlig arbeidsmåte når det gjelder kammerets A vakuumsystem og overtrekningsoperasjonens automatiske funksjon.
Fordampningskammeret A er over røret 111 forbundet med vakuumsysemet over rør 505 og 506,.se. fig.- 21, og en manuelt på-virkbar ventil 507, gjennom hvilken røret 505 og kammeret A kan forbindes med atmosfæren. Før anordningen settes igang, påvirkes ventilen 507 far å forbinde røret 505 med vakuumsysternet. En manu-ell bryter 510 slutter i innkoblet stilling en krets fra krafttil-førselsledriingén 511 for å påvirke en spole 513 som tilhører et fjærbelastét relé 514 over ledningen 511 til krafttilførselslednin-gen 515 for over den bevegelige kontakt 516 å slutte en krets fra ledningen 515. Denne pumpe tilhører vakuumsystemet for fordampningskammeret A. Pumpen 519 ligger i serie med en pumpe 521 og en diffusjonspumpé 522 og er over pumpen 521 og et rør 523 forbundet med en styreventil 524 og et rør 525 som fører til rørene 505 og 506. Trykket i kammeret A reduseres til å begynne med til omtrent 0,02 mm, fra ventilen 524 lukkes og ventilen 526 åpnes for å forbinde røret 523 med diffusjonspumpen 522. Denne pumpe kan være av den art som er beskrevet iU.S.-patent 3 203 624 og anvendes til å redusere trykket i kammeret ytterligere til en verdi på ca. 4,5 10 ^ u , ved hvilket trykk overtrekningeri av glassplaten eller et annet substrat foretas. Dette skjer ved at røret 52 3 forbindes med røret 527 over en ventil 528. Når trykket i kammeret A skal økes til atmosfæretrykk etter at en rekke overtrekningsoperasjoner er blitt foretatt, vil åpningen av bryteren 510 bevirke at reléets 513 kontakt åpnes, således at pumpen 519 kobles fra. Ventilen 507 kan så påvirkes for å forbinde røret 505 og kammeret A med atmosfæren.
På fig. 22 er lokket 206 vist i åpen stilling etter at
en overtrekningsoperasjon er foretatt og tilførselsrøret 228 var forbundet med den indre ende av sylinderen 220 over ventilen 227 og røret 229 . Plateventilen D-med vognen 319 er blitt beveget til lukket stilling, idet tilførselsrørene 373 var forbundet med sylinderens 356 fri ende over ventilen 371 og røret. 370. - Den ringformede skjerm 400 befinner seg i sin nedre stilling som den ble bragt til ved at tilførselsrøret 428 ble forbundet med sylinderens 419 ene ende over ventilen 427 og røret 426. Etter at en plate S er blitt anbragt på understøttelsen 240. i kammeret B, lukker opera-tøren bryteren 530 (fig. -22) for -først å slutte en krets fra ledningen 511 og bringe releet 534 til over sin kontakt 536 å slutte en krets fra ledningen 511 for å bringe en tjenesteledning 537 til å sette apparatets automatiske, funksjon igang. Samtidig vil gren-ledningén 538 slutte eri krets over en luftventil 539 for å forbinde røret 2 39 med atmosfæren og sette den i forbindelse med en elektrisk styreventil 541 som forbinder røret 239 med kammerets B vakuumsystem
-(flg. 21) .
Samtidig sluttes eri krets for spolen 543 som tilhører et relé 544, idet kretsen forløper over grenledningen 542 fra ledningen 531 til kraftlinjen 515. Releet 544 har også en motsatt anordnet' : spole 54 5 samt en kontakt 546. Når spolen 54 3 tilføres strøm, vil kontakten 546 slutte en krets fra tjenesteledningen 537 over kontakten 548 på et relé 550 for å magnetisere spolen 551. Også releet 550 har en motsatt anordnet spole 552 samt en kontakt 553. Når spolen 551 tilføres strøm, vil kretsen over ledningen 548 bli brutt ved at kontakten 549 åpnes. Ved slutten av en forutgående arbeidsoperasjon slutter kontakten 553 kretsen for en ledning 554 som er forbundet med den ene ende 555 av ventilen 227. Som tidligere beskrevet forbant ventilen 227 tilførselsrøret 228 med den venstre ende av sylinderen 220 over røret 229 for å trekke stemplet 219 inn i sylinderen. Ved at kontaktene 553 åpnes, brytes kretsen over ledningen 554 .til enden 555 av fire-veis-ventilen 227. Ledningen 548 som er avgrenet fra ledningen 556, slutter også en krets over ventilens 227 annen ende 557 med ledningen 515. Derved påvirkes ventilen for å tilføre trykk fra røret 228 til sylinderens 220 indre ende over røret 230 for å bevirke at stempelstangen 219 svinger lokket 206 ned til lukket stilling.
Med lokket 206 i denne stilling virker dets del 233 på bryteren 235, således at kretsen sluttes fra tjenesteledningen 537 over kontakter 558 på releet 559, således at spolen 560 tilføres strøm. Releet 559 har en ytterligere spole 562 og en åpen kontakt 563. Når spolen 560 tilføres strøm, brytes, kontakten 558 for;å åpne kretsen over ledningen_561 og,samtidig slutte kontakten 563 for en krets over reléets 544 spole. 545 til kraftlinjen 515. Derved åpnes kretsen over ledningene 548 - 556, således.at enden 557 av ventilen 227. frakobles og lokkets 206 bevegelse opphører.
I lukket stilling slutter bryteren 235 også en krets for ledningen 537 for å koble inn reléets 566 spole 565, hvilket relé også har en ytterligere spole 568 og en kontakt 569. Når denne kontakt sluttes, sluttes en krets fra<:>ledningen 537 over ledningen 570 og kontakten 571 på et relé 572. Kretsen fører videre over ledningen 570' og ventilen 541 (fig. 21) til ledningen 515. Ventilen 541 åpnes for å forbinde kammeret B med pumpen 57 3 over røret 239, idet ventilen 539 da er blitt lukket. Reléet 572 har td mot-stående spoler 574 og 575, kontakter 576, 576J samt kontakter 571.
Når den manuelle bryter 577 (fig. 21) lukkes, sluttes en. krets for en spole 578 som tilhører et fjærbelastet relé 579 med
en kontakt 581. Denne kontakt slutter kretsen for ledningen 511 over ledningen 582 til pumpen '57 3 for å innlede evakueringen av overtrekningskammeret.
Vakuumsysternet for kammeret B omfatter en liten pumpe 583 og en stor pumpe 584. Først forbindes pumpen 573 med røret 585, automatisk styrte ventiler 586-og 587 samt ventilen 541 til ledningen 239 som fører til kammeret B. Såsnart et første trykk på ca. 1000 u er tilveiebragt i kammeret, vil pumpen 573 som over røret 588 er forbundet med pumpen 583, påvirke lavtrykksbryteren 589 for å sette igang pumpen 583. Samtidig' lukkes den automatiske ventil 585, således at 'kammeret B forbindes med pumpen 583 over røret 590 og ventilen 587. Etter en viss tid på ca. 15 sek vil trykket være bragt ned til ca. 100 u, hvoretter den annen pumpe 584 settes igang og -røret. 590 fra pumpen 583 forbindes med ventilen 541 over røret 591.. Ventilen 587 styres automatisk. Pumpen 573 er således „forbundet med kammeret B over begge pumper og vil sammen med disse bevirke at trykket i kammeret B bringes ned til ca. 10 u.
Mens trykket i kammeret B reduseres til i det vesentlige samme verdi som det som opprettholdes i fordampningskammeret A, vil lukkingen av bryteren 2 36 (fig-21) ved hjelp av påvirknings-elementet 234 på lokket 206 bevirke slutning av en krets over ledningene 511 og 593 og en sluttet kontakt 594 på releet 595 til linjen 597 og en sluttet kontakt 598 på releet 599 for å påvirke reléets spole 600 over ledningen 601 til ledningen 515.- Reléet 599 har en ytterligere spole 602 og en kontakt 603. Når spolen 600 er koblet inn, brytes kontakten 598 for å åpne kretsen over ledningene 587. og^ .601 og bringe kontakten 603 til å slutte kretsen for en ledning 604 over en transformator 605 samt et vekselstrøm-ampéremeter 2 68 tilhørende glødeutladningsenheten 265- Denne enhet tjener til å rense overflaten av glassplaten ved lone-bomhardement inntil et tilstrekkelig lavt trykk i overtrekningskammeret bringer ione-bombardementet til å opphøre som følge av luftmangel.
Når trykket i kammeret B tilnærmelsesvis har nådd trykket i kammeret A, vil et termoelement 607 i kammeret B slutte en krets fra ledningen .537 for en spole 608 som tilhører et fjær-forspent relé 609 over ledningen 610 til ledningen 515. Reléet 609 har en kontakt 611 som i lukket stilling slutter en krets -fra ledningen 537 til ledningen 612 over en hvilekontakt 613 på et relé 614 som også har to spoler 615 og 616. Strømmen føres videre over ledningen 618 og hvilekontakter 619 for magnetisering av reléets 621 spole 620 til ledningen 515. -Dette relé har en motsatt virkende spole 622 samt en arbeidskontakt 623 og ytterligere hvilekontakter 624 og 62 5.
En krets over kontakten 619 sluttes også over ledningen 626 og en kontakt 576' for å koble inn reléets 572 nedre spole 574 over ledningen ^27 til ledningen 515. I denne spoles magnetiserte tilstand åpnes kontakten 576' som således bryter-kretsen 626 til 627, hvorved kontakten 571 brytes for å åpne kretsen over ledningen 570 og 570 ' .til ventilen.571 og lukke, kontakt 576 for å slutte en krets over ledningen 628 fra ledningen 537 til et termoelement 629 som befinner seg i kammeret B og som påvirkes når trykket, i kammeret når atmosfæretrykket.
Kretsen over ledningen 626 forløper over reléets 631 spole 630 og ledningen 623 til ledningen 515, hvilket relé har en motsatt anordnet spole 633 samt en hvilékontakt 634 og arbeids-kontakter 635 og 636. I magnetisert tilstand bevirker spolen 630 at kontakten 634 åpnes for å bryte kretsen over en ledning 638 over den ene ende 639 av en ventil 371 til ledningen 515, således at røret vil bli forbundet med den.høyre.ende.av sylinderen 356 over ledningen 370.
I magnetisert tilstand bevirker spolen 620 at kontaktene 619, 624 og 625 åpnes, mens kontakten 623 lukkes for- å slutte en krets fra ledningen 537 over en annen ende av f ire-veis-venti-len 371 over ledningen 640 til ledningen 515. Ventilen vil da tilføre trykk over rørene 372 og 373 til den bakre ende av sylinderen 356 således at vognen 319 beveges tilbake, åpner grensebryteren 369 og trekker med seg plateventilen D i ventilkammeret C for derved å bringe kammeret B i åpen forbindelse med kammeret A. Idet bolten 366 opphører med å virke på grensebryteren 369, vil kontakter 643 åpnes, mens kontakter 644 lukkes.for å. slutte en krets over ledningen 645 til ventilen 241 for å etablere forbindelse mellom rørene 591 og 239. Etter avløpet av ét: intervall mellom fire og åtte sek-, vil pumpene 583. og 584 bli koblet ut, mens pumpen 573 fortsetter å virke for å holde systemet under et bestemt vakuum. Automatiske ventiler 586 og 587 åpnes også når pumpene 583 og 584 stanser.
Under virkningen av bolten 374 på vognen 319 påvirkes bryteren 375 og slutter en krets fra ledningen 537 for reléets 621 spole 622 og ledningen 647 til ledningen 515. Derved brytes kontakten 623 og åpner kretsen til ventilen 641 for å forbinde rørene 373 og 372 over ventilen 371. Den igjen sluttede kontakt 624 bevirker magnetisering av reléets 651 spole 650 over ledningen 648 til ledningen 515.. Reléet 651 har to motsatt virkende spoler 650 og 652 samt en arbeidskontakt.653 som forbinder ledningene 654 og 655 for å forberede en krets for reléets 632 spole 633. Dette relé styrer vognens 319 bevegelse for å. bringe plateventilen D,itettende stilling. Kretsen over ledningen 654 er imidlertid åpen ved kontakten 657 på. det fjærbelastede.relés ,648 spole 659. Reléet 658 påvirkes etter at en ovértrekhingsopera-sjon er blitt fullført for å bringe ventilen D i stengt stilling.
Reléets 621 kontakt 624 slutter en krets fra ledningen 537 over ledningen 661 til et tidsrelé 662 i serie med ledningene 515 og 537. Kontakten forbinder også reléets 614 spole 615 med ledningen 515 over ledningen 663. Når'kontakten 613 brytes, åpnes kretsen over ledningen 612 - 618, således at reléet 614 forberedes for en senere virkning.
Under overtrekningsprosessen holder reléet 662 en krets sluttet fra en spole for et fjærbelastet relé 665 over en ledning 666 til ledningen 515, idet reléet 665 har åpnet kontakten 667.
I lukket stilling slutter kontakten 667 en krets over ledningen 668 og kontakten 669 på reléet 670, hvilket relé har to spoler 671 og 672. Når kontakten 669 er innkoblet,, er der sluttet en krets fra ledningen 5.37 over ledningen 668 fra et relés 676 spole 675 over ledningen 677 til -ledningen 515. Også reléet 676 har en motsatt anordnet spole 678 samt en arbeidskontakt 679 og to hvilekontakter 680 og 68X. Kontakten 679 slutter en krets fra ledningen 682 til ledningen 515. Ventilen bringes derved i. eri stilling som forbinder røret 425 med den ene ende av .sylinderen 419 for å bevege stempelstangen 404 oppad, således åt grensebryteren 421 åpnes inntil skjermen 4 00 befinner seg innenfor ventilkammeret C. Ved den øvre ende av bevegelsen vil fingeren 423 påvirke grensebryteren 422.
Bryteren 422 slutter en krets fra ledningen 537 over ledningen 685 til tidsreléet 686 som tjener til å åpne kretsen over ledningen 668 - 677 og kontaktene 669 og 679, mens kontaktene 680 og 681 igjen sluttes. Tidsreléet 686 slutter således til å begynne med en krets for reléets 670 spole 671 over ledningen 687 til ledningen 515, således at kontakter 669 åpnes og kretsen over ledningen 668 - 677 for sjpolen 675 tilhørende reléet 676 brytes. Reléet 686 slutter derpå en krets fra reléets 676 spole 678 over ledningen 688 for å åpne kontakter 679 og slutte forbindelsen mellom ledningen 428 og røret 425 over ventilen 427. Kontakten 683 blir igjen sluttet. Den lukkede kontakt 6S0 slutter derpå en krets fra ledningen 537 for å magnetisere reléets 692 spole 691 over ledningen 690 til ledningen 515, hvilket relé har en motsatt virkende spole 693 og en kontakt 694. I lukket stilling forbereder kontakten 694 en forbindelse mellom ledningene 695 og 696. Ledningen 695 er imidlertid åpen over kontakt 697 tilhørende et fjærbélastet relé 698, hvis spole er betegnet med 699. Når skjermen 4.00 heves til sin øvre stilling, påvirkes reléet 692 og slutter kontakten 694 således at kretsen over ledningen 695 og reléet 698 vil bli sluttet når overtrekningsoperasjonen er avsluttet. Kontakten 681 på reléet 676 slutter en krets fra ledningen 537 til ledningen 701. Slutningen av kretsen over ledningen 701 (fig. 23) skjer når de to kammere A og B befinner seg på totalt vakuum. Hvis trykket i overtrekningskammeret B ikke er blitt fullstendig redusert til samme verdi som i kammeret A før ventilen D åpner, anvendes en joniseringsmåler 702 i kammeret A til å fastslå eventuelle variasjoner i trykket mellom de to kammere før selve overtrekningsoperasjonen begynner. Måleren 702 påvirkes ved det forutbestemte trykk for overtrekningsoperasjonen og slutter kretsen fra ledningen 701 over ledningen 703: og den sluttede kontakt 704 på et fjærbélastet relé 705, hvis spole er betegnet med 706, til ledningen 707. Denne er forbundet med reléets 709 spole 708 som igjen er forbundet med ledningen 515. Også reléet 709 har en ytterligere spole 710. samt en kontakt 711.
I lukket stilling slutter.denne kontakt en krets fra ledningen 537 for å magnetisere et fjærbélastet relé 713 over dennes spole 712 og ledningen 714 til ledningen 515. Reléet 713 har ytterligere kontakter 715, 716, 717 og 718, av hvilke de tre første ved å lukkes, slutter kretsen fra ledningene .511 og 515, og en ytterligere ledning 719. til ledningene.henholdsvis 720, 721 og 722 som har likestrøm- hhv. vekselstrømkretser som leverer strøm til elektron-kanonen 4 35 tilhørende fordampningskilden E.
Ledningen 724 som er avgrenet fra ledningen 714, slutter en krets for et tidsrelé 725 i serie med ledningene 515 og 537. Tidsreléet 725 skaffer et forutbestemt tidsintervall for fordampning av overtrekksmaterialet og slutter deretter en krets over ledningen 724 for et relés 728 spole 727 over ledningen 726 til ledningen 515. Reléet 728 har en motsatt spole 729 og en kontakt 730. I spolens 7 27 magnetiserte tilstand er kontakten 7 30 lukket for å slutte en krets fra ledningen 537 over.ledningen 732 for.en motor 261 som driver tannkransen 241.og understøttelsen 24 0 for glassplaten S.
Reléets 714 kontakt 718 slutter en krets fra ledningen 537 og ledningen 733 til et tidsrelé 734. i "serie med ledningene 515 og 537. Tidsreléet 734 virker, i første del av arbeidsfasen til å slutte en krets for reléets 736 spole 735 over ledningen 737 til ledningen 515. Reléet 737 har en ytterligere spole 738.samt kontakter 739 og 740. Kontakten 739 er normalt lukket for å slutte en krets over ledningen 742 og den ene ende 743 tilhørende ventilen 146 til ledningen 515, hvilket bevirker at væskemotoren 142 til-føres trykk fra drivvæske over røret 148. Motoren 2 61 dreier plate-bæreren 240 og gir under en annen aktiv fase av overtrekningsoperasjonen en tilstrekkelig tid for kilden E til å fordampe overtrekksmaterialet og derpå slutte en annen krets for det fjærbelastede relés 746 spole 745 over en ledning 747 til ledningen 515. Reléet 746 har en kontakt 748 som i lukket stilling slutter en krets fra ledningen 537 over ledningene "749 og 750 og kontaktene 740 og den høyre ende av ventilen 146 til ledningen 515. Derved forbindes rørene 146 og 147 således at motoren 142 svinger dekselet 135 opp fra dekkende stilling over digelen 123.
Kontakten 740 slutter en krets over ledningen 750 for en lyskilde 445 og en lysmottager 446 for å bestemme tykkelsen av laget på glassplaten. Når spolen 753 tilhørende reléet 754 sluttes over ledningene 755 og 750 til ledningen 515, lukkes kontaktene 756 og 757. Førstnevnte kontakt forbinder ledningen 758 og lyskilden 445 med ledningen 515, mens kontakter 757 kobler inn fotocellen 447 over ledningen 759.
Når virkningen av lysstrålen L opphører eller er redusert så meget som følge av at den ønskede tykkelse av laget er nådd, trer cellen 447 i virksomhet for å slutte kretsen over ledningen 761 til to tidsreléer 762 og 763 i serie med ledningene 515 og 537. Reléet 7 62 slutter først kretsen for reléets 705 spole 706 over ledningen 765 og åpner kretsen over ledningene 703 og 707 og slut-- ter deretter kretsen fra reléets 709 spole 710 over ledningen 766 til ledningen 515. Ved at ledningen over kretsen 707 åpnes over kontakten 704, brytes kretsen for spolen 708 før den motsatt anord-nede spole 710 innkobles over ledningen 766 for å bryte kontakten 711 og åpne kretsen over ledningen 714. Derved brytes også kretsen for spolen 727 tilhørende reléet 728 over ledningene 724 og 726.
I første øyeblikk brytes reléets 7.13 kontakter 715, -716 og 717 for å åpne kretsene over ledningene 720, 721 og 722 for fordampningskilden E. Også kretsen for releet 734 brytes over kontakten 718, således at kretsen over ledningen 747 åpnes for ny magnetisering av reléets 746 spole 745, bryter kontakten 748 og åpner kretsen over ledningen 749 fra ledningen 537. T annen arbeidsfase slutter reléet 762 kontakt for reléets 737 spole 738 over ledningen 767 til ledningen 515, således at kontakten 740 for kretsen 74 9 til 750 åpnes. Når kontakten 739 igjen lukkes, sluttes kretsen over ledningen 742 til ventilens 146 venstre ende for å tilføre drivvæske til motoren 142 over røret 148 for å svinge dekselet 135 ned over digelen 123.
Reléet 763 slutter en krets fra reléets 728 annen spole 729 over ledningen 770 til ledningen 515. Derved..åpnes kretsen over ledningen 732 til motoren 261 for å stanse platebærerens 240 rotasjon. Overledningen 771. innkobles reléet 763 for å forberede kretsen for å senke skjermen 400 og samtidig bevege plateventilen D til lukket stilling. Ledningen 771 (fig. 22) slutter en krets for reléets 698 spole 699, således at dettes kontakt 697 lukkes. Derved sluttes kretsen over ledningene 695 og 696 og kontakten 694 på reléet 692 og lukker kontakten 772 på reléet 773 for innkobling av dette relés spole 775 (fig. 23) over ledningene 774 og 515. Reléet 773 har en motsatt anordnet spole 776 og kontakter 777 og 778. Når tidsreléet 763 slutter-å arbeide, magnetiseres spolen 699 igjen for å åpne kontakt 697 for kretsen over ledningene 695
og 537. Dette skjer før kontakten 694 på reléet 692 åpner, som beskrevet nedenfor, for å bryte kretsen over ledningene 695 og 696 før en ny overtrekningsoperasjon settes igang.
Den lukkede kontakt 777 slutter en krets (fig. 22) for høyre ende 780 av ventilen 427 over ledningen 781 til ledningen 515, hvorved sylinderen 619 tilføres drivvæske over ledningen 426 på høyre side av stemplet 418. Derved snkes den ringformede skjerm 400 og grensebryteren 422 åpnes. Grensebryteren 421 påvirkes så av fingeren 423 og slutter én krets for reléets 773 (fig. 23) spole 776 over ledningen 782 for å åpne kontakten 777 i forbindelser 781 og 780 for ventilen 427. Kontakten 772 slutter kretsen over forbindelser 696 og 774 dg kretsen over ledningene 695 og 696 og kontakten 697 på reléet 698 brytes. Kontakten 778 slutter en krets fra ledningen 537 og over ledningen 784 til tidsreléet 785 i serie med ledningene 515 og 537.
Tidsreléet 785 slutter først .en krets, for reléets. 692 spole 693 (fig. 22) over. ledningene 78.6 og 515. Derved brytes kontakt 694 og åpne:; kretsen over ledningen 696. fra ledningen 695 til reléets 773 kontakt 772. Tidsreléet 785 ..slutter, deretter en krets for spolen 659 over ledningen 778 til ledningen 515.. Fra den lukkede kontakt 657 sluttes kretsen over ledningene 654 og 655 fra ledningen 537 og kontakt 653 på reléet 651 for reléets 631 spole.
633 over ledningen 655 til ledningen 515, således åt kbntakt 634 sluttes og kontaktene 635 og 636 åpnes. Når tidsreléet 785 slutter å virke, åpnes en krets over. ledningen 778 for avmagnetisering av spolen 659, således at kontakten 657 åpnes. Derved brytes kretsen over ledningen 654 fra ledningen 737 og avmagnetiseres spolen 633 for at dettes relé 631 skal kunne påvirkes av spolen 630 under den påfølgende overtrekningsoperasjon.
Når reléets 631 kontakt €34 igjen lukkes, gjenopprettes kretsen over ledningen 638 og ventilens 371 høyre ende 639 til ledningen 515.. Ventilen 371 vil dermed føre trykkvæske til sylinderen 356 for å bevege vognen 319 forover inntil ventilen D har nådd tettende stilling og kammeret B er avstengt fra kammeret A. Grensebryteren 376 åpnes av bolten 374..
Når bolten 366 på vognen 319 påvirker grensebryteren 369, brytes kontakten 644 -og åpner kretsen over ledningen 645, mens der over den nedre side.643 sluttes en krets for reléets 631 spole 630 over ledningen 789 til ledningen 515. Derved brytes kontakten 634 for å åpne. kretsen over ledningen 638 og kontaktene 635 og 636. Ventilen 371 påvirkes og slutter forbindelsen over rørene 373 og 370 til høyre ende .av sylinderen 356. Kontakten 635 slutter en krets fra reléets 6.70 spole 672 over ledningen 790 til ledningen 515 for igjen å lukke kontakten 669. Kretsen over ledningen 668 til ledningen 537. er imidlertid foreløpig åpen over kontakten 667, da spolen 664 ikke er innkoblet så lenge tidsbryteren 662 er i bevegelse. Kontakt 636 -slutter en krets for spolen 652 over ledningen 791 til ledningen 515 for å bryte kontakt 653 og åpne kretsen over ledningene 654 og 655. Over ledningens 791 grenledning 792 sluttes en krets fra tidsreléet 793 over kontakten 636 til ledningene 515 og 537.
Tidsreléet 793 gir en viss tidsperiode for at plateventilen D skal holdes en stund i tettende stilling, hvorpå den slutter en krets fra spolen 596 over ledningen 795 til ledningen 515. Deryed brytes kretsen over ledningene 597 til 601 (fig. 21). Tidsreléet 793 gir et tilstrekkelig tidsintervall for at kretsen over ledningen 795 holdes sluttet inntil påvirkningsdelen 234 åpner grensebryteren 236 når Tokket 206 løftes.. Tidsreléet slutter også
en krets over ledningen 796 for å åpne lekkasjeventilen 539, da kammeret B må bringes opp på atmosfæretrykk gjennom røret 239 før lokket 206 kan heves. Som tidligere nevnt stenges forbindelsen mellom røret 239 og vakuumsysternet for kammeret B over ventilen 541 når
plateventilen D beveges fra lukket stilling ved overtrekningsoperasjonens begynnelse.
Når trykket i kammeret B hair nådd atmosfæretrykket, sluttes en krets over ledningen 62B fra reléets 572 kontakt 576 over et termoelement 629 og ledningen 801 for en varselkrets, såsom en lampe 802. Dette forteller operatøren at overtrekningsoperasjonen er avsluttet og dekslet 206 kan heves, idet kammeret B nå har atmosfæretrykk.
Kretsen over ledningen 801 fra termoelementet 629 kan og-så påvirkes over grenledningen 308 foir innkobling av et tidsrelé 804,. i begge tilfelle i serie med. ledningene 511 og 515. Tidsreléet 804 gir tilstrekkelig tid for boltene 233 og 234 på lokket 206 til å fjernes fra sitt samvirke med grensebrytérne 235 hhv. 236.
Da reléet 804 vil være i virksomhet etter at lokket 206 er blitt åpnet, skal disse kretser beskrives i forbindelse med lokkets åpning.
Når påvirkningen av grensebryteren 235 er blitt opphevet, åpnes kretsen over ledningen 261 av kontakten 558 på reléet 559, således at tidsreléet 804:kan slutte en krets fra reléets 559 spole 562 over ledningen 805 til ledningen 515. Derved vil kontakten 558 igjen bli sluttet, mens kontakten 563 brytes, således at kretsen over ledningene 564 og 567 brytes for utkobling av spolene 545 og 565. Tidsreléet 804 slutter derpå en krets fra reléets 566 spole 568 over ledningen 806 fra ledningen 805 til ledningen 515 for å åpne kontakten 569 og dermed kretsen over ledningen 570. Reléet 804 slutter derpå en krets fra reléets 234 spole 535 over ledningen 808 samt reléets 614 spole 616 over ledningen 809, i beggé: tilfelle til ledningen 515. Kontakten 536 bryter kretsen over ledningen 537 til ledningen 511. Kontakt 613 sluttes påny, til tross for at kretsen over ledningene 612 - 618 til ledningen 537 nå er brutt over kontakt 611 på reléet 609.
En ytterligere krets sluttes av tidsreléet 804 for spolen 602 tilhørende reléet 590 (fig. 21) over ledningen 810 til ledningen 515. Dermed brytes kretsen for utladningsenheten 265 over ledningen 604 og.samtidig åpnes kontakten 607.
Reléet 804 bevirker også at reléets 572 kontakt 576 åpnes og dets kontakter 571 og 576' lukkes. Når kontakten 571 er lukket, slutter denne en krets over ledningene 570 og 570' for å forbinde kammeret B med vakuumsystemet over føret 239 og ventilen 541 etter at lokket 206 er blitt lukket. Kontakten 576' slutter på den annen side en krets over ledningen 626 for spolen 574, således at kretsen over ledningen 626 brytes når kontakten 576' åpnes. Reléet 804 er således koblet at det slutter kretsen fra spolen 575 over ledningen 812 til ledningen 515 og kontakten 576 åpnes og kobler ut termoelementet 629 så lenge kammeret B er åpent.
Når den manuelle bryter 813 lukkes, sluttes en krets fra reléets 550 spole 552 over ledningen 814 til ledningen 515. Derved kobles kontaktene 549 og 553 inn påny. Førstnevnte kontakt forbinder ledningen 549 med spolen 551, men kretsen over ledningen 548 er åpen, da kontakten 546.er åpen. Kontakten 553 slutter kretsen over ledningen 554 til ventilens 227 venstre ende 555 for å levere trykkvæske over røret 229 til venstre side av sylinderen 220, således at stempelstangen 219 trekkes inn i sylinderen for å svinge dekselet 206 opp til den på fig. 22 viste stilling.
Når det er nødvendig å tilføre nytt materiale til digelen 123, beveges vognen 461 fremover og vibrasjonsanordningen 469 kobles inn for å bringe materialet over i digelen. En måte på hvilken dette kan skje skal forklares i forbindelse med fig. 2 3, hvor en manu-ell bryter 815 påvirkes for å slutte kontakten 816 og bryte kretsen over ledningen 817 og spolen 818 til ledningen 515. Spolen 818 til-hører reléet 819 som også har en spole 820 samt kontakter 821 og 822. Normalt holder kontakten 821 kretsen for høyre ende av ventilen 494 sluttet over ledningen 82 3. Kontakten 82 5 slutter -en krets for spolen 820 over ledningen 826, hvorved spolen magnetiseres og åpner kontakten 821 og slutter kontakten 822. Derved blir kontakten 822 istand til å slutte en krets over ledningen 828 med den venstre ende 829 av ventilen 494, således at denne leder trykkvæske til sylinderens 487 høyre ende for å bevege stemplet 486 mot venstre og skyve vognen 4 61 fremover. Når trauet 4 71 befinner seg imiddelbart over digelen 123, sluttes bryteren 830 for innkobling av vibrasjonsanordningen 469 over ledningen 831. Når bryteren 830 åpnes -av operatøren, stanser vibrasjonsanordningen. Operatøren påvirker derpå bryteren 815 for å åpne kontakten 825 og slutte kontakten 816 for derved å gjenopprette kretsen over ledningen 817 til spolen 818. Derved brytes kretsen over ledningen 828 ved kontakt 822, mens kontakt 821 igjen vil forbinde ledningen 823 jnéd høyre ende 824 av ventilen 494 for å bevirke tilbakebevegelse av vognen,;
Når arbeidsoperasjonen settes igang, er dekselet 206 i åpen stilling og plateventilen D T lukket stilling, se fig. 14, for å holde overtrekningskammeret B adskilt fra fordamphingskanuTieret A.Evakueringssystemet for kammeret A omfatter, som nevnt, en mekanisk pumpe 519, en pumpe 521 og en diffusjonspumpe 522., og. disse settes igang (fig. 21). Pumpen 519 er til å begynne med forbundet med kammeret A over røret 523, pumpen 521, ventilen 524 og røret 525 inntil et trykk på ca. 20 y er nådd i fordampningskammeret. Derpå stenges ventilen 524 og pumpene forbindes med kammeret A over diffusjonspumpen 522 og ventilen 526. Diffusjonspumpen opphetes og pumper og tallerkenventilen 528 åpnes for å forbinde pumpen med kammeret A
og bringe trykket til 4,5 10 y.
En glassplate som skal forsynes med overtrekk, anbringes
på den dreibare understøttelse 240 i kammeret B og operatøren slutter hovedbryteren 530 for å sette igang en rekke automatiske operasjoner som begynner med at dekselet 206 åpnes, derpå tilførsel av trykkvæske til røret 230 og utadbevegelse av stempelstangen 219 for å tette kammeret B. Såsnart dette er lukket, vil påvirkningselementer 233 og 234 på lokket 206 påvirke grensebryteren 235 for å stenge ventilen 227 og åpne forbindelsen mellom kammeret B og dettes vakuumsystem samt påvirke bryteren 236 for å koble inn glødeutladningsen-heten 265.
Som vist på fig. 21, omfatter dette vakuumsystem en mekanisk pumpe 573, en mindre pumpe 583 og en stor pumpe 584. Til å begynne med er ventilen 539 lukket mot atmosfæren og pumpen 573 er over røret 585 forbundet med kammeret B over automatiske ventiler 586 og 587 og ventilen 541. Pumpene 583 og 584 er ennå ikke i drift. Når det første undertrykk på- 1000 y er oppnådd i overtrekningskammeret, vil lavtrykks-grensebryteren 589 på pumpen 583 påvirkes, således at pumpen settes igang og ventilen 586 lukkes automatisk. Dermed forbindes pumpen 573 over rørene 588 og 590 med kammeret B over pumpen 583 og ventilene 587 og 541. Etter et tidsintervall på ca. 15 sek og ved et trykk på> ca. 100 y settes den store pumpe 584 automatisk igang, mens ventilen 587 stenges automatisk. Pumpen 57 3 er således forbundet med kammeret B over begge pumper 583 og 584, røret 591 og ventilen 541.
Innen trykket på 1000 y nås i kammeret E, sluttes en krets over bryteren 2 36' og transformatoren 605 samt amperemeter 263 til glødeutladningsenheten 265. Under evakueringen av kammeret B vil jonebombardeméntet frå glødeutladningsenheten 261 opphøre når luft-innholdet ikke lenger er tilstrekkelig til å opprettholde glødeut-ladningen. Termoelementet 607 bevirker da at sylinderens 356 venstre ende forbindes med trykkvæske over ventilen 371 for å trekke vognen 319 tilbake og derved bevege.ventilen D til åpen.stilling (se fig. 15). Ventilen 541 påvirkes så for å bryte forbindelsen mellom kammeret B og vakuumsystemet og derpå sette kammeret A i forbindelse med kammeret B.
Når vognen 319 når sin tilbaketrukne stilling, vil påvirkningen av grensebryteren 376 bevirke at ventilen 371 stenges og sylinderen 356 ikke lenger tilføres trykkvæske samt slutte en krets for ventilen 427 som forbinder sylinderens 419 nedre ende med røret 425. Derved heves den sylindriske skjerm 4 00 for å beskytte ventilkammerets C innervegger under overtrekningsoperasjonen. Når skjermens øvre stilling er nådd, vil grensebryteren 422 bevirke at ventilen 427 stenger og slutter tre kretser. Den første av disse fører over styrebryteren 713 for å forbinde evakueringskilden E med ledningene 511, 515 og 719. En annen krets sluttes for å sette igang motoren 261 som igjen bevirker dreining av glassunderstøttelsen 241. Den tredje krets bevirker at lokket 136 for digelen 123 beveges opp fra sin dekkstilling. Som nevnt ér disse tre kretser avhengige av trykket i de to kammere A og B som skal være ca. 4,5 • 10 — 6u. Joniser-ingsmåleren 702 blir effektiv for å påvirke de elektriske kretser som på sin side styrer de ovennevnte kretser.
Tykkelsen av overtrekket på glassplaten måles, som nevnt, ved hjelp av lyskilden L (fig. 6 og 23).og måleren 446 som er fes-tet på dekselet 206 (fig. 3). Såsnart overtrekket har fått en bestemt tykkelse, bevirker måleren 44 6 først at fordampningen av overtrekksmaterialet bringes til opphør ved at bryteren 713 for høyspen-ningskilden 435 åpnes, at lokket 136 svinges ned over digelen 123
og at motoren 261 stanser og at den sylindriske skjerm 400 senkes inntil grensebryteren 421 påvirkes. Denne grensebryter avbryter tilførsel av trykkvæske til sylinderen 419 og bevirker at ventilen 371 tilfører trykk til røret 370 som er forbundet med sylinderen 356, således at vognen 319 beveges forover og plateventilen D bringes til stengestilling i kammeret C. Vognen 319 påvirker derpå grensebryteren 369 for å stenge ventilen 371 og åpne ventilen 539 som forbinder kammeret B med atmosfæren. Termoelementet 629 i kammeret B innkobler lampen 802 for å angi for operatøren at overtrek-ningsoperas jonen er avsluttet og at trykket i kammeret B er blitt hevet til atmosfæretrykk. Ventilen 227 kan derpå påvirkes for å forbinde sylinderen 220 med røret 229 for å svinge dekselet 206 opp til den på fig. 1 viste stilling.
Under normal arbeidsoperasjon vil evakueringssystemet fra pumpen 519 holde kammeret A på det ønskede vakuum. Når det er nød-vendig å tilføre nytt overtrekksmateriale tii digelen 12 3. mens kam-
meret A er evakuert, påvirkes den vibrerende tilførselsenhet 460
således at der tilføres nytt materiale. Vibrasjonsenheten 469 set-
tes igang og såsnart sylinderen 487 er blitt tilført trykk over ledningen 495, beveges vognen 461 forover med trauet 471 over dige-
len 123. Etter at overtrekksmaterialet er blitt tilført digelen,
stanser enheten 469 og vognen trekkes tilbake, idet trykkvæske til-
føres sylinderen,487 over røret 496.
Claims (7)
1. Anordning for påføring av overtrekk på plateformede gjenstander ved vakuumavsetning, omfattende et fordampningskammer (A)
som inneholder en kilde av det materiale som skal fordampes, et evakueringssystem for tilveiebringelse av et vakuum i fordampningskammeret, en varmekilde (435) for fordampning av dette materiale, et overtrekningskammer (B) som ligger inntil fordampningskammeret, en understøttelse (240) i overtrekningskammeret for understøttelse av en plate som skal forsynes med overtrekk, et evakueringssystem for tilveiebringelse av et vakuum i overtrekningskammeret, et ven-tilkammer (C) anordnet mellom fordampningskammeret og overtrekningskammeret, en spjeldventil (D) anordnet i ventilkammeret, samt en mekanisme (319) for bevegelse av spjeldventilen i én retning til lukket stilling for å skille overtrekningskammeret fra fordampningskammeret, og i den motsatte retning til åpen stilling for å bringe disse kammere i forbindelse med hinannen og utsette platen for overtrekningsmaterialet,karakterisert veden ringformet skjerm (400) som befinner seg I fordampningskammeret, og en drivinnretning (419) for å bevege skjermen inn i ventilkammeret, hvilken skjerm danner en kanal gjennom ventilkammeret for å forbinde fordampnings- og overtrekningskammeret og skjerme spjeldet mot overtrekksmateriale som passerer gjennom kanalen.
2. Anordning i henhold til krav 1,karakterisertved at påvirkningen av drivinnretningen (419) for å bevege skjermen inn i ventilkammeret, er.avhengig av bevegelsen av spjeldventilen (D) til åpen stilling.
3. Anordning i henhold til krav 1 eller 2, karakte- r i s e r t ved at fordampningskammeret, overtrekningskammeret og ventilkammeret er anordnet over hverandre.
4. Anordning i henhold til krav 3,karakterisertved at ventil-innretningen (D) omfatter et spjeld (318) som er under-støttet horisontalt av en vogn (319), at en drivmekanisme (356) er anordnet for å bevege vognen horisontalt i den ene retning for å bringe spjeldet i stengt stilling for å adskille overtrekningskammeret fra fordampningskammeret, en drivinnretning (333, 337, 356) som er understøttet av vognen og påvirker spjeldet i lukket stilling for å heve dette til tettende stilling mot overtrekningskammeret og for deretter å senke spjeldet og bevege vognen i motsatt retning for å bringe spjeldet i åpen stilling.
5. Anordning i henhold til et av kravene 1-4,karakterisert vedførste styreinnretninger (589, 607, 371) som står under virkning av vakuumet i overtrekningskammeret for å til-late spjeldet (318) å beveges fra stengt til åpen stilling, og andre styreinnretninger (367, 371, 427) som påvirkes av spjeldet når dette beveges til åpen stilling for å heve ringskjermen og bryte forbindelsen mellom vakuum-systemet og overtrekningskammeret.
6. Anordning i henhold til et av kravene 4 og 5,karakterisert vedet deksel (206) for overtrekningskammeret, som er i stengestilling under fordampningen av overtrekksmaterialet, en tredje styreinnretning (371) som påvirkes av ringskjermen (400) når denne bringes tilbake til stilling i fordampningskammeret for å bevege spjeldet (318) fra åpen til lukket stilling, en bryter (369) som påvirkes av spjeldet når dette er beveget til lukket stilling for (a) å stanse bevegelsen og (b) bringe overtrekningskammeret i forbindelse med atmosfæren, og en fjerde styreinnretning (227) som påvirkes av atmosfæretrykket i overtrekningskammeret for å frigjøre dekslet for at dette skal kunne åpnes.
7. Anordning i henhold til et av kravene 1-6,karakterisert veden bevegelig lukker (135) som er anordnet i nærheten av overtrekksmaterialkilden, en motor (142) for påvirkning av lukkeren og en bryter (422) som påvirkes av ringskjermen (400) når denne beveges til hevet stilling for å bringe motoren (142) til å bevege lukkeren til en stilling for å dekke materialkilden når overtrekket på platen har nådd en forut bestemt tykkelse.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US70937668A | 1968-02-29 | 1968-02-29 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NO123939B true NO123939B (no) | 1972-02-07 |
Family
ID=24849612
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NO0830/69A NO123939B (no) | 1968-02-29 | 1969-02-27 |
Country Status (13)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3524426A (no) |
JP (1) | JPS494156B1 (no) |
AT (1) | AT286738B (no) |
BE (1) | BE729026A (no) |
CH (1) | CH501064A (no) |
DE (1) | DE1911198A1 (no) |
FR (1) | FR2002902A1 (no) |
GB (1) | GB1250544A (no) |
IE (1) | IE33433B1 (no) |
LU (1) | LU58110A1 (no) |
NL (1) | NL6903181A (no) |
NO (1) | NO123939B (no) |
SE (1) | SE347024B (no) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3649339A (en) * | 1969-09-05 | 1972-03-14 | Eugene C Smith | Apparatus and method for securing a high vacuum for particle coating process |
US3648654A (en) * | 1970-03-16 | 1972-03-14 | Bell Telephone Labor Inc | Vertical liquid phase crystal growth apparatus |
US3641973A (en) * | 1970-11-25 | 1972-02-15 | Air Reduction | Vacuum coating apparatus |
US3915118A (en) * | 1973-09-17 | 1975-10-28 | Etec Corp | Specimen coating device for an SEM |
US3921572A (en) * | 1974-02-25 | 1975-11-25 | Ibm | Vacuum coating apparatus |
JPS5130965A (ja) * | 1974-09-09 | 1976-03-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Atsumakushusekikairo no seizohoho |
US4173944A (en) * | 1977-05-20 | 1979-11-13 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft Fur Elektronik-Grundstoffe Mbh | Silverplated vapor deposition chamber |
US4179530A (en) * | 1977-05-20 | 1979-12-18 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft Fur Elektronik-Grundstoffe Mbh | Process for the deposition of pure semiconductor material |
EP0008807A1 (de) * | 1978-09-13 | 1980-03-19 | Elektroschmelzwerk Kempten GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum diskontinuierlichen oder kontinuierlichen thermischen Bedampfen von Formteilen oder Bandmaterial |
DE2940064A1 (de) * | 1979-10-03 | 1981-04-16 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Vakuumaufdampfanlage mir einer ventilkammer, einer bedampfungskammer und einer verdampferkammer |
JPS5769797A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Method of producing hybrid thick film integrated circuit |
JPS57193249U (no) * | 1981-06-03 | 1982-12-07 | ||
JPS5851594A (ja) * | 1981-09-22 | 1983-03-26 | 日本電気株式会社 | 厚膜混成ic基板 |
JPS5885378U (ja) * | 1981-12-04 | 1983-06-09 | ソニー株式会社 | プリント配線基板 |
US4478174A (en) * | 1983-02-25 | 1984-10-23 | Canadian Patents & Development Limited | Vacuum coating vessel with movable shutter plate |
JPS61164076U (no) * | 1986-03-20 | 1986-10-11 | ||
CN101512036B (zh) * | 2006-09-11 | 2011-11-02 | 株式会社爱发科 | 真空蒸气处理装置 |
KR101066033B1 (ko) * | 2009-07-28 | 2011-09-20 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 화학기상 증착장치 및 기판 처리장치 |
CN106947944A (zh) * | 2017-05-23 | 2017-07-14 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸镀坩埚、蒸镀源、蒸镀装置及蒸镀方法 |
CN115176084A (zh) * | 2020-02-28 | 2022-10-11 | 伊利诺斯工具制品有限公司 | 活塞监测组件 |
-
1968
- 1968-02-29 US US709376A patent/US3524426A/en not_active Expired - Lifetime
-
1969
- 1969-02-24 IE IE237/69A patent/IE33433B1/xx unknown
- 1969-02-25 GB GB1250544D patent/GB1250544A/en not_active Expired
- 1969-02-26 SE SE02595/69A patent/SE347024B/xx unknown
- 1969-02-27 BE BE729026D patent/BE729026A/xx unknown
- 1969-02-27 LU LU58110D patent/LU58110A1/xx unknown
- 1969-02-27 NO NO0830/69A patent/NO123939B/no unknown
- 1969-02-27 FR FR6905207A patent/FR2002902A1/fr not_active Withdrawn
- 1969-02-28 DE DE19691911198 patent/DE1911198A1/de active Pending
- 1969-02-28 JP JP44015284A patent/JPS494156B1/ja active Pending
- 1969-02-28 CH CH306769A patent/CH501064A/de not_active IP Right Cessation
- 1969-02-28 NL NL6903181A patent/NL6903181A/xx unknown
- 1969-02-28 AT AT205669A patent/AT286738B/de not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS494156B1 (no) | 1974-01-30 |
LU58110A1 (no) | 1969-06-03 |
BE729026A (no) | 1969-08-01 |
DE1911198A1 (de) | 1969-09-18 |
FR2002902A1 (no) | 1969-10-31 |
SE347024B (no) | 1972-07-24 |
CH501064A (de) | 1970-12-31 |
NL6903181A (no) | 1969-09-02 |
IE33433B1 (en) | 1974-06-26 |
IE33433L (en) | 1969-08-29 |
US3524426A (en) | 1970-08-18 |
GB1250544A (no) | 1971-10-20 |
AT286738B (de) | 1970-12-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NO123939B (no) | ||
US2101156A (en) | Machine for sealing receptacles | |
US3641973A (en) | Vacuum coating apparatus | |
EP0168436A1 (en) | Wafer processing machine | |
US3904506A (en) | Apparatus for continuous production of sputter-coated glass products | |
US2730987A (en) | Apparatus for automatically vacuum coating of interior of glass tubes with metal | |
KR100666629B1 (ko) | 저압 주조기의 용탕 공급장치 | |
US3399875A (en) | Heat treating furnace | |
US2769912A (en) | Shut-off valve | |
US2311707A (en) | Apparatus for sealing containers | |
US4027707A (en) | Vacuum chamber structure and control system therefor | |
US2889674A (en) | Steam vacuum apparatus for closing containers | |
US3158732A (en) | Method of diffusion joining in vacuum of metals, alloys and materials different in kind | |
US2412167A (en) | Method and means for vacuumizing and gassing filled containers | |
US2170622A (en) | Suction printing frame | |
JP2010080230A (ja) | 有機elデバイス製造装置及び成膜装置並びに真空内配線・配管機構 | |
US3323277A (en) | Machine for heat sealing packages | |
US3322454A (en) | Control valve for vacuum lift device | |
US2263691A (en) | Method of vacuumizing containers | |
EP0184279A2 (en) | Method and apparatus for processing a work piece | |
JPH05247635A (ja) | スパッタリング装置 | |
US2352763A (en) | Apparatus for sealing containers | |
US5171970A (en) | Heated vacuum mounting press | |
US2837396A (en) | Process and apparatus for evacuating electronic tubes and the like | |
US2764956A (en) | Apparatus for coating articles at high temperature |