NL8303726A

NL8303726A - Tantaalpoedersamenstelling.

Info

Publication number: NL8303726A
Application number: NL8303726A
Authority: NL
Original assignee: Cabot Corp
Priority date: 1982-11-16
Filing date: 1983-10-28
Publication date: 1984-06-18
Also published as: DE3341278A1; GB2130246B; GB8329393D0; US4441927A; JPH0411601B2; DE3341278C2; JPS59100201A; GB2130246A

Description

N032060 1

Tantaalpoedersamenstelling

Vaste stof tantaalcondensatoren, vervaardigd van tantaalpoeder, hebben een belangrijke bijdrage geleverd aan de verkleining van elekr 5 tronische circuits en hebben de toepassing van dergelijke circuits in buitengewone omgevingen mogelijk gemaakt. Tantaalpoedercondensatoren worden typisch vervaardigd door het samendrukken van tantaalpoeder om een tablet te vormen, het sinteren van de tablet in een oven om een poreus lichaam te vormen, en het dan onderwerpen van deze aan anodisa-10 tie in een passend elektroliet om een doorlopende diëlektrische oxide-laag op het gesinterde lichaam te vormen.

Ontwikkelingen van tantaalpoeder geschikt voor vaste stof condensatoren zijn ontstaan uit zowel inspanningen door condensatorfabri-kanten als personen die het tantaal behandelen om de vereiste eigen-15 schappen van tantaalpoeder te ontwerpen om deze het beste te doen dienen bij het vervaardigen van kwaliteitscondensatoren. Dergelijke eigenschappen omvatten oppervlakte-gebied, zuiverheid, krimp, groene sterkte, en vermogen tot vloeien.

Teneerste moet het poeder een passend oppervlakte-gebied hebben, 20 aangezien de capaciteit van tantaalpoeder een funktie van het oppervlakte-gebied is; hoe groter het oppervlakte gebied na het sinteren is hoe groter de capaciteit is.

Zuiverheid van het poeder is eveneens van kritisch belang. Metallische en niet-metallische verontreiniging neigt het diëlektricum te 25 verminderen. Hoge sintertemperaturen neigen enkele van de vluchtige verontreinigende stoffen te verwijderen; maar hoge temperaturen verminderen het netto oppervlakte-gebied en bijgevolg de capaciteit van de condensator. Het beperken van het verlies van oppervlakte-gebied onder sinteromstandigheden is een vereiste om de capaciteit van het tantaal-30 poeder te handhaven.

Het vermogen tot vloeien van het tantaalpoeder en de groene sterkte (mechanische sterkte van samengedrukt, niet gesinterd poeder) zijn kritische parameters voor de condensatorfabrikant ten einde in een doelmatige produktie te voorzien. Het vermogen tot vloeien van het poe-35 der maakt vloeiende voeding van de matrijs bij pershandelingen met hoge snelheden mogelijk; de groene sterkte maakt het hanteren van het pro-dukt en het transport zonder buitensporige breuk mogelijk.

Heden ten dage worden tantaalpoeders geschikt voor het gebruik in condensatoren met hoog vermogen vervaardigd door êên van twee verschil-, 40 lende werkwijzen. De eerste van deze werkwijzen voor het vervaardigen • . .......müi 8303726 2 *f\ i van poeder omvat de reductie met natrium van kaliumfluorotantalaat, K2ÏaF7; bij de tweede werkwijze wordt poeder voortgebracht door het in hydridevorm brengen van een gesmolten (typisch gesmolten met een boog of elektronenstraal) tantaal ingot, vermalen van de in hydridevorm 5 gebrachte spaanders, gevolgd door dehydreren. In het algemeen hebben met natrium gereduceerde tantaalpoedersoorten in hoge capaciteitwaarden per gram poeder voorzien, terwijl gesmolten, uit ingots verkregen tan-taalpoeders uiterst zuiver zijn, met verontreinigingsniveau's welke een orde grootte lager liggen dan bij met natrium gereduceerde poeders. Uit 10 een ingot verkregen poeders voorzien typisch in geringere gelijkstroom-lekkage, langere levensduur, en een vermogen tot het verwerken van aan-zienlijker voltages. Vanwege de hoge zuiverheid en andere eigenschappen worden condensatoren vervaardigd uit uit ingots verkregen poeder gebruikt in stelsels waar aanzienlijke betrouwbaarheid een eerste ver-15 eiste is. Een meer uitgebreid gebruik van met ingots verkregen poeder zou echter economisch verwezenlijkbaar zijn, indien een poedersamen-stelling ontwikkeld kan worden welke een grotere capaciteit per gram poeder verschaft.

Zoals hierboven beschreven is de capaciteit van een tantaaltablet 20 een direkte funktie van het oppervlakte-gebied van het gesinterde poeder. Een -groter oppervlakte-gebied kan natuurlijk verkregen worden door het vergroten van het aantal grammen poeder per tablet, maar kostenoverwegingen hebben aangegeven dat de ontwikkeling geconcentreerd moet worden op middelen om het oppervlakte-gebied per gram poeder dat ge-25 bruikt wordt te vergroten. Aangezien het verkleinen van de deeltjesgrootte van tantaalpoeder meer oppervlakte-gebied per eenheid van gewicht voortbrengt, hebben pogingen zich uitgestrekt in richtingen van het kleiner maken van de tantaaldeeltjes zonder andere ongunstige eigenschappen te introduceren welke vaak samengaan met verkleining van de 30 afmeting. Drie van de belangrijkste gebreken van zeer fijn poeder zijn slechte vloeieigenschappen, buitensporig zuurstofaandeel en buitensporig verlies van oppervlakte-gebied bij sinteren.

Oorspronkelijk werd door de uitvinders gevonden, dat condensatoren vervaardigd van uit ingots verkregen tantaalpoeder met een deeltjes-35 grootte kleiner dan ongeveer 10 pm, een zeer grote capaciteit vertoonden indien tabletten bij verhoudingsgewijs lage temperaturen gesinterd worden (b.v. 1400-1600°C). De gelijkstroomlekkage over de oxidelaag was echter onaanvaardbaar hoog bij deze lage sintertemperaturen; hogere sintertemperaturen verminderden het lekkage-probleem maar brachten een 40 wezenlijke vermindering in capaciteit. Nu is volgens de onderhavige 8303726 4 .Λ 3 uitvinding gebleken, dat door het mengen van een kritisch deel van een bijzonder geschilferd, uit ingots verkregen tantaalpoeder in een basis van korrelvormig gesmolten uit uitgots verkregen tantaalpoeder met een deeltjesgrootte kleiner dan ongeveer 10 pm, een poedersamenstelling 5 ontstaat welke van voordeel zijnde eigenschappen voor het gebruik bij condensatoren heeft*

De samenstelling van de onderhavige uitvinding is een geagglome-reerde, uit ingots verkregen tantaalpoedersamenstelling, omvattende korrelvormig tantaalpoeder met een deeltjesgrootte kleiner dan ongeveer 10 10 pm en omvattende ongeveer 20 tot ongeveer 40 gew.% van een geschil ferd tantaalpoeder met een BET (Brunault-Emmnet-Teller) oppervlakte-ge-bied van ongeveer 0,20 tot ongeveer 0,40 m^/gm vervaardigd door het deformeren van korrelvormig poeder met een deeltjesgrootte liggend in het bereik tussen ongeveer 10 pm en ongeveer 44 pm. De daaruit voortkomende 15 samenstelling heeft een uiteindelijk zuurstofgehalte van minder dan ongeveer 1900 dpm; een Scott dichtheid groter dan ongeveer 1500 kg/nP; een verbrijzelsterkte van een geperste, niet gesinterde tablet, geperst bij 6,0 g/cc, van groter dan ongeveer 67 N; en een capaciteit van een tablet geperst bij 6,0 g/cc, en gesinterd bij 1600°C, van groter dan 20 ongeveer 7500 CV/g.

Bij voorkeur omvat de uit ingots verkregen, geagglomereerde tan-taalpoedersamenstelling ongeveer 70 gew.% korrelvormig tantaalpoeder als basis en ongeveer 30 gew.% geschilferde tantaalpoederbestanddeel.

Er wordt de voorkeur aangegeven dat de samenstelling een zuurstofge-25 halte heeft kleiner dan ongeveer 1800 dpm; een Scott-dichtheid groter dan ongeveer 1800 kg/m^, een verbrijzelsterkte van de niet gesinterde tablet die droog geperst is bij 6,0 g/cc, van groter dan ongeveer 89 N; en een capaciteit van een tablet geperst bij 6,0 g/cc en gesinterd bij 1600°C, van ten minste 7900 CV/g.

30 De samenstelling van de onderhavige uitvinding omvat een uitgeko zen, passend bemeten en geschilferd tantaalpoeder vermengd en geagglo-mereerd met een uitgekozen korrelvormig tantaalpoeder met een bepaalde deeltjesgrootte. De geagglomereerde samenstelling omvattende een mengsel van tantaalpoeders met deze verschillende geometrische eigen- 35 schappen heeft een oppervlakte-gebied beschikbaar voor het vormen van een diëlektrische oxidelaag na de pers- en sinterhandelingen, dat veel groter is dan mogelijk is om te verkrijgen met korrelvormige poeders.

Dit voordeel wordt bereikt vanwege de geagglomereerde poedersamenstelling van de onderhavige uitvinding, vanwege de bijzondere geometrie, 40 waardoor men in staat gesteld wordt een tablet te vormen door het droog 8302725 4 persen van poeder bij lage mechanische belastingen. In theorie wordt aangenomen dat het onderling klemmende effect van het geschilderde poe-* der een anode met grote groene sterkte voortbrengt; waardoor bijgevolg een optimaal oppervlakte-gebied voor het sinteren verkregen wordt. De 5 samenstelling maakt ook meer weerstand tegen verlies aan oppervlakte-gebied tijdens het sinteren mogelijk, dan poeders die slechts uit een korrelvormige geometrie bestaan. Het gebruik van de onderhavige uitvinding maakt het oppervlakte-gebied dat verkregen kan worden maximaal en maakt bijgevolg het verkrijgen van een grotere capaciteit per gram kor-10 reivormige, uit ingots verkregen poeder mogelijk dan tot nu toe verkregen is.

Het uit ingots verkregen poeder gebruikt bij de onderhavige samenstelling kan voortgebracht worden met gebruik van gebruikelijke technieken bekend in de stand der techniek. Het korrelvormige poeder wordt 15 vervaardigd door het in hydridevorm brengen van een tantaalingot, het malen van de tantaalhydridespaanders tot poeder, en het dehydreren van het poeder. Mechanische deformatie van het korrelvormige poeder tot de schilfervorm wordt verkregen door gebruikelijke mechanische technieken met gebruik van een kogelmolen, stangmolen, rolmolen of dergelijke. De 20 ingot kan bereid worden door enige passende smelttechniek; waarbij boogsmelten en elektronenstraal smelten de meest gebruikelijke technieken zijn. Aan elektronenstraalsmelten wordt de voorkeur gegeven.

De geschilferde tantaalpoedercomponent kan door gebruikelijke mechanische technieken gemengd worden met het korrelvormige poeder met 25 gebruik van diverse gebruikelijke menginrichtingen. Agglomeratie van de poedersamenstelling kan verwezenlijkt worden met gebruik van gebruikelijke warmtebehandelings-agglomeratietechnieken. De agglomeratietempe-raturen liggen typisch in het bereik tussen ongeveer 1250°C en ongeveer 1550°C.

30 De capaciteit per gram van de onderhavige samenstelling kan verder wezenlijk verbeterd worden door het toevoegen van een fosfor bevattend materiaal aan het poeder. Er wordt de voorkeur aangegeven om dit materiaal in het bereik tussen ongeveer 5 en ongeveer 50 delen per miljoen toe te voegen gebaseerd op elementair fosfor; maar aan ongeveer 15 35 tot ongeveer 30 dpm fosfor wordt in het bijzonder de voorkeur gegeven. Enig van de bekende fosfor bevattende materialen gebruikt in de stand der techniek als toevoegingen aan tantaalpoeder kan gebruikt worden. Deze behandeling neigt het snelle verlies van oppervlakte-gebied te beletten welke normaliter plaatsvindt indien zeer fijne poeders warmte 40 behandeld worden bij temperaturen boven de helft van het smeltpunt 3303726 5 daarvan.

De uitvinding kan verder begrepen worden aan de hand van de vol-gende voorbeelden welke eerder als illustratief dan als beperkend bedoeld zijn.

5 In de bijgevoogde tabellen A tot en met D worden de eigenschappen van geagglomereerde uit ingots verkregen poedersamenstellingen opge-somd. De beproevingsmethoden voor het bepalen van deze waarden zijn de volgende:

Methode voor het bepalen van capaciteit, gelijkstroomlekkage, doorslag-10 voltage (a) Tabletproduktie

Het tantaalpoeder werd in een in de handel verkrijgbare tablet-pers samengeperst zonder de hulp van bindmiddelen. De samengedrukte dichtheid was 6,0 g/cc met gebruik van een poedergewicht 15 van 1,2 g en een diameter van 6,4 mm.

(b) Vacuüm sinteren

De in compacte vorm gebrachte tabletten werden gesinterd in hoog vacuüm van minder dan 10 ^ Torr (0,00133 Pa) gedurende 30 minuten bij temperaturen hoger dan 1500°C.

20 (c) Anodisatie

De gesinterde tabletten werden anodiseerd in een vormbad bij 88-92°C bij 100 V gelijkstroom. Het elektrolyt was een 0,1-gewichts-procents fosforzuur.

De anodisatie-omvang werd zodanig gestuurd dat deze 1 volt per mi-25 nuut was. Na een periode van 3 uur bij 100 V gelijkstroom werden de tabletten gespoeld en gedroogd.

(d) Beproevingsomstandigheden:

Meting van de capaciteit electrolyt - 10% H3PO4

30 temperatuur - 21°C

Capaciteitsbepaling van ladingsoverdracht

Methode voor de bepaling van sterkte van het tablet (a) Vervaardigen van de anode: 35 Het tantaalpoeder werd samengedrukt in een in de handel verkrijg baar tabletpers zonder de hulp van bindmiddelen. De geperste dichtheid was 6,0 g/cc met het gebruik van een poedergewicht van 1,6 g en een diameter en lengte van resp. 6,4 mm en 8,4 mm.

(b) Beproeven 40 De cilindrische tablet wordt geplaatst tussen twee vlakke platen 8303726 » % 6 met de langsas daarvan evenwijdig aan de platen; een gestadigde toenemende kracht wordt op êén van de platen opgebracht totdat de tablet breekt. De kracht wordt op het breekpunt geregistreerd.

Deeltjesgrootte 5 De bepalingen van het deeltjesgrootte worden gemeten met de laser verstrooiende techniek met gebruik van een Leeds & Northrup Microtrac Partiele Analyzer model nr. 7991-02.

Bepaling van de Scott dichtheid ASTM methode B329 10 Standaardmethode van beproeving voor schijnbare dichtheid van vuurvaste materialen en samenstelling door de Scott volumeter.

Zuurstofanalyse

De zuurstofanalyse wordt uitgevoerd door het gebruik van de Leco TC-30 O2 en N2 analyseerinrichting, welke een inerte gas-15 fusietechniek omvat.

BET oppervlakte-gebied

Het totale oppervlakte-gebied van de tantaal schilfers wordt gemeten met gebruik van een oppervlakte-gebied poriënvolume analyseerinrichting van het type Numinco Orr (vervaardigd door de 20 Numec Corporation). De BET (Brunauer-Emmet-Teller) oppervlakte- gebieden verkregen op deze wijze omvatten het uitwendige oppervlakte-gebied alsmede het inwendige oppervlakte-gebied verschaft door de aanwezigheid van poriën.

25 In de hieronder beschreven voorbeelden tonen de voorbeelden I tot en met X samenstellingen volgens de uitvinding, omvattende een middels elektronenstraal gesmolten uit ingots verkregen tantaalpoeder bevattende ongeveer 60 gew.% tot ongeveer 80 gew.% van een korrelvormig poeder met een deeltjesgrootte kleiner dan ongeveer 10 micron en ongeveer 30 20 gew.% tot ongeveer 40 gew.% van een geschilferd tantaalpoeder met een BET oppervlakte-gebied van ongeveer 0,20 tot ongeveer 0,40 m^/gm voortgebracht door het deformeren van een korrelvormig tantaalpoeder met een deeltjesgrootte liggend in het bereik tussen ongeveer 10 pm en ongeveer 44 pm. Overeenkomstige samenstellingen geformuleerd uit met 35 een boog gesmolten uit ingots verkregen tantaalpoeder vertonen vergelijkbare eigenschappen.

De voorbeelden I-IV zijn samenstellingen volgens de uitvinding, omvattende 70 gew.% van een met elektronenstraal gesmolten uit ingots verkregen korrelvormig tantaalpoeder met een deeltjesgrootte kleiner 40 dan 10 pm en 30 gew.% van een geschilferd middels elektronenstraal ge- 8303726

* * Z

7 smolten uit ingots verkregen tantaalpoeder met een BET oppervlakte-ge-bied van ongeveer 0,24 m^/gm, vervaardigd door het deformeren van een korrelvormig poeder met een deeltjesgrootte liggend in bereik tussen ongeveer 10 pm en ongeveer 44 pm. De poedersamenstelling werd gedurende 5 10 minuten gemengd in een standaard per Patterson-Kelly V menginrich- ting. De poedersamenstelling werd geagglomereerd door deze te verwarmen bij een temperatuur van ongeveer 1400°C gedurende 30 minuten in een vacuümoven.

Vergelijkende voorbeelden 1 en 3 zijn middels een elektronenstraal 10 gesmolten uit ingots verkregen tantaalpoedersamenstellingen omvattende korrelvormig tantaalpoeder met een deeltjesgrootte kleiner dan 10 pm.

De samenstelling werd geagglomereerd zoals in de voorbeelden I-IV.

Vergelijkend voorbeeld 2 is een middels een elektronenstraal gesmolten, uit ingots verkregen tantaalpoedersamenstelling bestaande uit 15 een korrelvormig tantaalpoeder met een deeltjesgrootte kleiner dan 20 pm. De samenstelling werd geagglomereerd zoals in voorbeeld I-IV.

Voorbeeld V is een middels elektronenstraal gesmolten, uit ingots verkregen tantaalpoedersamenstelling bereid zoals beschreven in de voorbeelden I-IV waaraan 30 dpm elementair fosfor toegevoegd is.

20 De voorbeelden VI-X zijn verder voorbeelden van tantaalpoedersa menstellingen volgens de onderhavige uitvinding. Elke poedersamenstelling verschilt echter met betrekking tot de afmetingen van de korrelvormige en schilferachtige bestanddelen. De samenstellingen bestaan uit een basis van een middels elektronenstraal gesmolten, uit ingots ver-25 kregen korrelvormig tantaalpoeder met een deeltjesgrootte van kleiner dan 10 pm, en een geschilferd middels elektronenstralen gesmolten uit ingots verkregen tantaalpoeder met een BET oppervlakte-gebied van ongeveer 0,24 mVgm, vervaardigd door het deformeren van een korrelvormig poeder met een deeltjesgrootte liggend in het bereik tussen ongeveer 10 30 pm en ongeveer 44 pm. De poedersamenstellingen werden gedurende 10 minuten gemengd in een standaard Patterson-Kelly V menginrichting. De samenstellingen werden geagglomereerd door deze te verwarmen bij een temperatuur van ongeveer 1400°C gedurende ongeveer 30 minuten in een vacuümoven.

35 Vergelijkend voorbeeld 4 is een samenstelling omvattende 70 gew.% van een middels elektronenstraal gesmolten uit ingots verkregen korrelvormig tantaalpoeder met een deeltjesgrootte van kleiner dan 10 pm, en 30 gew.% van een korrelvormig middels elektronenstraal gesmolten uit ingots verkregen tantaalpoeder met een deeltjesgrootte liggend in het 40 bereik tussen ongeveer 10 pm en ongeveer 44 pm.

8303728 8

Tabel A toont een vergelijking van de samenstelling (I) volgens de uitvinding met tantaalpoedersamenstellingen welke geen schilferbe-standdeel bevatten. De groene sterkte (verbrijzelsterkte van de geperste, niet gesenterde tabletten) van voorbeeld I is aanzienlijk dan 5 bij de vergelijkende voorbeelden. De capaciteiten van tabletten geperst bij een dichtheid om een minimale verbrijzelsterkte van ten minste 89 N te verkrijgen zijn vergeleken.

Tabel B toont verscheidene voorbeelden van de onderhavige uitvinding (H, III en IV), en een vergelijkend voorbeeld van een korrelvor-10 mige tantaalsamenstelling welke geen schilferbestanddeel bevat. De capaciteiten van de tabletten geperst bij 6,5 g/cc zijn weergegeven, aangezien een tablet van het vergelijkende voorbeeld 3 geperst bij 6,0 g/cc onvoldoende mechanische sterkte had om hanteren en sinteren te weerstaan.

15 Tabel C toont de verbeterde capaciteit verkregen door het opnemen van fosfor in de tantaalsamenstelling volgens de onderhavige uitvinding. De fosfor bevattende uitvoering (voorbeeld V) is vergeleken met voorbeeld I, welke eerder weergegeven is in tabel A, afgebeeld.

Tabel D toont voorbeelden van samenstellingen volgens de onderha-20 vige uitvinding welke delen van schilferachtig tantaalbestanddeel bevatten liggend in het bereik tussen ongeveer 20 gew.% en ongeveer 40 gew.%. Vergelijkend voorbeeld 4 is een samenstelling met tantaalpoeder-bestanddelen overeenkomstig aan de onderhavige uitvinding waarbij het kritische onderscheid is dat het bestanddeel met de grotere deeltjes-25 grootte korrelvormig is en niet vervormd is tot de schilfervorm.

t 8303725 9

Tabel A

Voorbeeld nr« _I 1_ _2 r 02 (dpm) 1700 1800 1540

Scott dichtheid (kg/m3) 1900 3800 4000

Verbrijzeisterkte (N) @6,0 g/cc 220 9 4 @7,2 g/cc - 89-110 @7,5 g/cc - - 89-1110

Capaciteit geperst @ (g/cc) 6,0 7,2 7,5 gesinterd (°C) 1600 1600 1600 CV/g 8050 6600 5150 8 3 C 3 7 2 6

Voorbeeld nr. _3 il III ü 10

Tabel B

02 (dpm) 1800 1570 1755 1870

Scott dichtheid (kg/m3) 3920 1880 1620 1950

Verbrijzelsterkte (N) @6,0 g/cc 13 107 156 95,6

Capaciteit dichtheid van de tablet (g/cc) 6,5 6,5 6,5 6,5

Sintertemperatuur (°C) 1650 1650 1650 1650 CV/g 6160 6800 6750 6700 8303726

Voorbeeld nr. Jt V

11

Tabel C

Zuurstof (dpm) 1700 1660

Scott dichtheid (kg/m^) 1900 1300

Verbrijzelsterkte @6,0 g/cc, (N) 220 130 geperst 6,0 g/cc 6,0 g/cc capaciteit bij 1600°C gesinterd x 30 min 8050 CV/gm 9500 CV/gm bij 1650°C gesinterd 7150 CV/gm 8300 CV/gm S3 0 3 7 2 6 12

Tabel D

Voorbeeld nr. VI VII VIII IX X _4

Samenstelling: korrelvormig/schil- vervormig (gew.%) 60/40 65/35 70/30 75/25 80/20 100/- 02 (dpm) 1790 1765 1695 1715 1665 1390

Scott dichtheid (kg/m3) 1710 1880 2090 2270 2560 4100 V erbrijzelsterkte @ dichtheid van de tablet (g/cc) 666 666 (N) 127 131 109 100 77,8 4

Capaciteit @ dichtheid van de tablet 6 6 6 6 6 6 @ sintertemp.(° C) 1600 1600 1600 1600 1600 1600 CV/g 7780 7820 7710 7640 7530 5950 8303726

Claims

1. Tantaalpoedersamenstelling die uit ingots verkregen is, met het kenmerk, dat deze samenstelling omvat een korrelvormig tantaalpoeder 5 met een deeltjesgrootte kleiner dan ongeveer 10 ym meter en omvattende 20 gew.% tot 40 gew.Z van een schilfervormig tantaalpoeder met een BET oppervlakte-gebied van ongeveer 0,20 m^/gm tot ongeveer 0,40 m^/gm vervaardigd door het deformeren van een korrelvormig tantaalpoeder met een deeltjesgrootte liggend in het bereik van ongeveer 10 pm tot ongeveer 10 44 pm, welke samenstelling een zuurstofgehalte van minder dan ongeveer 1900 dpm heeft, een Scott dichtheid groter dan ongeveer 1500 kg/m^ heeft, een verbrijzelsterkte van de niet gesinterde tablet geperst bij 6,0 g/cc van groter dan ongeveer 67 N heeft, en een anodecapacteit geperst bij 6,0 g/cc en gesinterd bij 1600°C heeft van groter dan onge-15 veer 7500 CV/g.

2. Tantaalpoedersamenstelling volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat deze ongeveer 30 gew.Z van het schilfervormige tantaalpoeder omvat.

3. Tantaalpoedersamenstelling volgens conclusie 1, met het ken-20 merk, dat het zuurstofgehalte kleiner dan ongeveer 1800 dpm is.

4. Tantaalpoedersamenstelling volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de Scott dichtheid groter is dan ongeveer 1800 kg/nP.

5. Tantaalpoedersamenstelling volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de verbrijzelsterkte van een geperste, niet gesinterde ta- 25 biet, geperst bij 6,0 g/cc groter dan ongeveer 89 N is.

6. Tantaalpoedersamenstelling volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de capaciteit van een anode, geperst bij 6,0 g/cc en gesinterd bij 1600°C groter dan ongeveer 8000 CV/g is.

7. Tantaalpoedersamenstelling volgens conclusie 1, met het ken-30 merk, dat het samenstellende poeder een middels elektronenstraal gesmolten uit ingots verkregen geagglomereerde tantaalpoedersamenstelling is.

8. Tantaalpoedersamenstelling volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat deze ongeveer 70 gew.Z korrelvormig tantaalpoeder omvat met 35 een deeltjesgrootte kleiner dan ongeveer 10 ym en ongeveer 30 gew.Z van een schilfervormig tantaalpoeder met een BET oppervlakte-gebied van ongeveer 0,24 m2/gm} vervaardigd door het deformeren van een korrelvormig tantaalpoeder met een deeltjesgrootte liggend in het bereik tussen ongeveer 10 ym en ongeveer 44 ym waarbij de samenstelling een zuurstofge-40 halte van kleiner dan ongeveer 1800 dpm heeft, een Scott dichtheid die 8303725 <t ' * groter dan ongeveer 1800 kg/m^ is, verbrijzelsterkte van een droog ge-perste, niet gesinterde tablet geperst bij 6,0 g/cc heeft die groter dan 89 N is, en een anodecapaciteit geperst bij 6,0 g/cc en gesinterd bij 1600°C heeft die groter is dan ongeveer 8000 CV/g.

9. Tantaalpoedersamenstelling volgens conclusie 1, met het ken merk, dat deze ongeveer 5 dpm tot ongeveer 50 dpm fosfor bevat.

10. Tantaalpoedersamenstelling volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat deze ongeveer 15 dpm tot ongeveer 30 dpm fosfor bevat. 8303728