NL8200133A - Werkwijze en inrichting voor de vervaardiging van printplaten. - Google Patents

Description

» ................' fc .. .*· Λ'1 >

Werkwijze en inrichting voor de vervaardiging van printplaten.

De uitvinding heeft betrekking op nieuwe werkwijzen en inrichtingen voor de vervaardiging van printplaten maar meer in het bijzonder op fotoresistwerkwijzen en inrichtingen, die vloeibare polymere materialen benutten, welke houdbaar 5 zijn door toepassen van niet-coherent gecollimeerd licht.

Er zijn verschillende manieren voor aanbrengen van een beeld op het oppervlak van een met metaal beklede plaat bij vervaardigen van printplaten. Deze vallen in de vier grote categoriën van natte filmmethoden, droge filmmethoden, handzeef-10 druk en machinezeefdruk. De natte film beeldvormingsmetboden bestaan in het algemeen uit aanbrengen van een fotoresistmateriaal in vloeibare toestand op een onbehandeld plaatje, drogen van de film en het opbrengen van een beeld daarop. De droge filmmethoden bestaan uit lamineren van een droog foto-^resistmateriaal 15 op het blanke plaatje en aanbrengen van een beeld daarop.

De handzeefdruk en de machinezeefdruk bestaat uit de toepassing van gebruikelijke zeefdrukmethoden voor aanbrengen van een resistmateriaal in een bepaald patroon op het koperoppervlak van het plaatje. Handzeefdruk wordt toegepast, wanneer een 20 beperkt aantal platen vereist worden.

De methoden volgens de uitvinding vallen in de natte film categorie, maar verschillen van de bekende natte film methoden, doordat de film niet wordt gedroogd voor blootstellen van de film aan de lichtbron, die een verandering in het bloot-25 gestelde deel van de film induceert. Dat wil zeggen dat, hoewel in de verschillende bekende methoden het blanke plaatje wordt bekleed met een vloeistof, de film gewoonlijk voor de volgende trappen werd gedroogd. Dit drogen van de film voor harden wordt beschouwd als een eis, daar het medium voor aanbrengen 30 van een schakelpatroon op een onbehandeld plaatje (gewoonlijk foto tooi genoemd) in contact met deze bekleding wordt gebracht.

Het wordt noodzakelijk geacht de foto tooi in contact te brengen 8200133 • ·· ' i * — % - . · t · V - 2 - met de bekleding om een goede definitie in de uiteindelijke gedrukte schakeling te krijgen. Ook eisen de onderhavige werkwijzen geen complexe nntwikkelmiddelen of methoden en na beeldvorming is alles wat nodig is, dat het niet geharde 5 vloeibare polymeer wordt verwijderd.

Ruim gezegd werd gevonden, dat vloeibare poly-mere bekledingen op onbehandelde printplaten van een beeld kunnen worden voorzien in niet gedroogde toestand, terwijl toch een zeer goede definitie wordt verkregen. Dit is het geval, hoewel 10 een luchtspleet aanwezig moet zijn tussen het foto tooi, dat het gedroogd schakelpatroon beeld draagt en de vloeibare polymere bekleding. Deze bekleding kan variëren van een gemakkelijk vloeiende vloeistof tot een kleverige viskeuze vloeistof. Tijdens de beeldvorming passeert licht van de niet-coherente 15 gecollimeerde lichtbron door de transparante delen van het foto tooi, treft het vloéibare polymeer en hardt het vloeibare polymeer tot een vaste stof. Waar geen licht door hetfoto tooi passeert, blijft het vloeibare polymeer vloeibaar en wordt van de printplaat verwijderd voor blootstellen van het onderliggende 20 metaal. Hoewel het vloeibare polymeer verwijderd kan worden met volgens fysische methoden, zoals/een luchtmes of door wrijven, is het zeer doelmatig het vloeibare polymeer te verwijderen door middel van een vloeistof, waarin het vloeibare polymeer tenminste gedeeltelijk oplosbaar is, maar waarin het geharde vaste 25 polymeer geen oplosbaarheid heeft. Het voornaamste voordeel is, dat een dergelijke methode het metaal onder het vloeibare polymeer volledig blootstelt, waardoor een meer effektief etsen van dit metaal in een volgende trap mogelijk wordt.

Zoals hiervoor besproken, is een van de nadelen 30 van beeldvorming van een vloeibare bekleding de noodzaak van een luchtspleet tussen het foto tooi en de vloeibare bekleding.

De toepassing van een luchtspleet resulteert gewoonlijk in een verlies van definitie in de gedrukte schakeling. In de onderhavige werkwijzen is dit echter niet een probleem. Dit is tenminste 35 ten dele het gevolg van de toepassing van een niet-coherente 8200133 ----------------------- - ..... - * i' x « -Λ - 3 - gecollimeerde lichtbundel voor de beeldvorming, de procesmethoden voor verwijderen van het niet geharde vloeibare polymeer, de goede adhesie van het geharde polymeer en het onderliggende metaal, de bestandheid van het geharde vloeibare poly-5 meer tegen ets-oplossingen en het gemak van verwijderen van het geharde vloeibare polymeer na etsen. Dat wil zeggen, dat de oplossing, die gebruikt wordt voor verwijderen van het niet geharde vloeibare polymeer voor blootleggen van het onderliggende metaal, het geharde polymeer niet aantast. Wanneer het geharde 10 polymeer ook wordt aangetast, zal er een verlies in definitie zijn in de uiteindelijke schakeling en een mogelijk verlies van adhesie van het geharde polymeer aan het onderliggende metaal. Enig verlies van adhesie zal. oorzaak zijn, dat overmaat metaal tijdens de etstrap wordt verwijderd. Wanneer echter een oplossing, 15 die kationen bevat afkomstig van een sterke base, in contact komt met het geharde polymeer, is deze doelmatig voor verwijderen van het geharde vloeibare polymeer, zonder aantasten van het onderliggende metaal. Het netto resultaat is, dat geen organische bestanddelen be vat ten/-de oplossingen vereist zijn in behandelen 20 van de bedrukte printplaat. Dit geeft een belangrijke besparing aan kosten, omdat organische stoffen duurder zijn, brandgevaarlijk zijn en rook en geuren ontwikkelen, die krachtens overheidsvoorschriften uit de werkruimte verwijderd moeten worden. Het is daarom zeer doelmatig, wanneer men in staat is waterige oplos-25 singen te gebruiken in de commerciële produktie van printplaten.

De term "niet-coherent gecollimeerd licht11 heeft betrekking op licht met een half hoek van niet meer dan 3° en bij voorkeur niet meer dan 1,5°. Daarentegen is laserlicht coherent licht. Licht wordt gecollimeerd (gevormd tot een bundel) 30 met lenzen, parabolische reflectoren en verschillende opstellingen van spiegels.

Kort samengevat, bestaat de uitvinding uit nieuwe ets en plaatresistprocessen voor vervaardigen van printplaten onder toepassing van vloeibare polymeren, een nieuwe werkwijze 35 voor vervaardigen van soldeermaskers onder toepassing van 8200133 * i vf- ^ - k - vloeibare polymeren en een inrichting met een of meer posten voor uitvoeren van deze werkwijzen. Elk van deze werkwijzen vormt een beeld op onbehandelde printplaten, die een vloeibaar polymere bekleding hebben en elk enkel waterige oplossingen eisen voor 5 behandelen van de plaat na beeldvorming. Bij gevolg kan dezelfde inrichting gebruikt worden voor plaatresist, etsresist en soldeer-masker. Deze veelzijdigheid geeft vele kostenbesparingen en in het bijzonder verlaging van het volume van verschillende typen printplaten .

10 In de ets en plaatresistprocessen volgens de uit vinding wordt het onbehandelde plaatje eerst bekleed met het vloeibare polymeer. Een foto tool van de gewenste schakeling wordt vervolgens geplaatst boven, maar niet in contact met de vloeibare polymeerbekleding. Het onbehandelde plaatje wordt 15 vervolgens van een beeld voorzien, waarbij onder de transparante een gebieden van de foto tooi het polymeer hardt tot vaste stof, terwijl het onder de ondoorlaatbare gebieden vloeibaar blgft.

Het vloeibare polymeer wordt vervolgens verwijderd, bij voorkeur met behulp van een oplossing, waarin het tenminste ten dele oplos-20 baar is. Ha deze trap verschillen de processen voor vervaardigen van plaatresist en etsresist. In de vervaardiging van etsresist wordt het blootgestelde metaal weggeëts door toepassing van een waterige zuuroplossing en het geharde vloeibare polymeer wordt vervolgens verwijderd door toepassen van een alkalische oplossing, 25 die kationen bevat afkomstig van een sterke base. In de vervaardiging van plaatresist wordt tin, nikkel en/of dergelijke metalen geplatteerd op het blootgestelde metaal, nadat het vloeibare polymeer is verwijderd, het geharde vloeibare polymeer wordt verwijderd door toepassen van een alkalische oplossing, die 30 kationen bevat, afkomstig van een sterke base en de metaallaag, die blootgesteld is, wordt verwijderd door etsen.

Soldeermaskers worden vervaardigd door bekleden van een printplaat met een vloeibaar polymeer, vormen van een beeld op de beklede plaat voor creeëren van gehard polymeer 35 op bepaalde delen van het scbakelpatroon, waarbij op andere 8200133 ί -ρ - 5 - delen het polymeer niet gehard blijft. Het niet geharde vloeibare polymeer wordt vervolgens verwijderd door toepassen van een oplossing, waarin het tenminste ten dele oplosbaar is en het blootgestelde metaal wordt bekleed met soldeer. Het geharde 5 polymeer wordt gewoonlijk niet verwijderd, maar blijft op de plaat als een isolerende laag.

De inrichting met één post, die zeer doelmatig is in de toepassing van deze processen, bestaat uit een orgaan voor vasthouden van een printplaat of onbehandeld plaatje 10 in een bepaalde positie, een terugtrekbare rolbekleder voor bekleden van één kant van een plaat, een foto tooi in registratie met het onbehandelde plaatje, waarop een beeld aanwezig is van een schakeling en dat teruggetrokken kan worden naar een punt boven, maar dichtbij de beklede plaat, en een niet-coherentegecollimeerde 15 lichtbron voor voeren van licht door de foto tooi voor harden van het vloeibare polymeer. Verschillende opstellingen van deze eenheden zijn mogelijk. De geprefereerde opstelling is die, waarbij het onbehandeld plaatje op zijn plaats wordt gehouden door middel van een vacuum, met een rolbekleder horizontaal 20 terugtrekbaar voor bekleden van de plaat. Het foto tooi samenstel is vertikaal terugtrekbaar en geplaatst boven het onbehandeld plaatje en in de baan van het niet coherente gecollimeerde licht voor van de lichtbron. Daar/ brengt xn werking de bedieningsman de plaat op zijn plaats en aktiveert het vacuumvasthoudorgaan. Daarna 25 wordt trapsgewijze de rolbekleder geaktiveerd en gevoerd over de plaat, en deze bekleedt de plaat en trekt terug. Volgend op deze trap wordt het foto toolsamenstel verlaagd tot dichtbij de bekleding, en wanneer ze op zijn plaats is wordt de lichtbron geaktiveerd gedurende een tijdsperiode voor harden van het 30 polymeer. Wanneer het licht uit-'gaat, gaat het foto toolsamen stel naar boven en de plaat beweegt op een transporteur naar een sproeibad voor verwijderen van het niet geharde vloeibare polymeer. De inrichting voor de volgende trappen bestaat uit een bekend ets, metaal platteer en söldeerafzetorgaan, De inrichting 35 met meerdere posten bestaat uit afzonderlijke bekleding en bloot- 8200133 • - T· i · · ' ' · · - · · · -.....* - 1 ** - 6 - steleenheden, maar is overigens gelijk aan de inrichting met een post.

De werkwijzen en inrichting zullen nu meer gedetailleerd besproken worden aan de hand van de tekening, 5 waarin:

Fig. 1 een trapsgewijze diagram is voor het ets resistproces voor vervaardigen van printplaten; fig. 2 een trapsgewijze diagram is voor het plaat-resistproces voor vervaardigen van printplaten; 10 fig. 3 een trapsgewijze diagram is voor de ver vaardiging van soldeermaskers; fig. U een zijaanzicht is van een onbehandeld schakelplaatje, dat geplaatst is op een vacuumvasthoudplaat; fig. 5 een zijaanzicht is van een onbehandeld 15 schakelplaatje, dat bekleed is met een terugtrekbare rolbekleder; fig. 6 een zijaanzicht is van de foto tool, die verlaagd is tot dichtbij het beklede onbehandelde printplaatje; fig. 7 een zijaanzicht is van een printplaat, waarbij de fototool teruggetrokken is, en bepaalde gebieden 20 van gehard vloeibaar polymeer toont; fig. 8 een schematisch diagram is, dat het niet-coherente gecollimeerde licht toont, dat wordt gebruikt; fig. 9 een voorzijaanzicht is van een inrichting met een post, dat de componenten van de figuren ^ en 7 bevat; 25 fig. 10 een zijaanzicht is van de inrichting met sen post van fig. 8; fig. 11 een voorzijaanzicht is van een inrichting met meerdere posten voor trapsgewijze uitvoeren van de bewerkingen van de inrichting van de figuren 8 en 10; 30 fig. 12 een bovenaanzicht is van het foto tooi oppervlak, dat door middel van een luchtspleet tijdens de beeldvorming in contact is met het onbehandelde printplaatje; fig. 13 een perspektivisch aanzicht is van het tafelsamenstel, dat het onbehandelde printplaatje op zijn plaats 35 houdt; 8200133 4Ρ· ·ν - 7 - fig. een doorsnede aanzicht is van het tafel-samenstel van fig. 13 volgens de lijn 1^-1^.

Fig. 1 vermeldt de trappen voor vervaardgen van hun printplaatje onder toepassing van etsresistmethoden. De 5 werkwijze start met een elektrisch geleidend bekleed onhe^ndeld plaatje. Dergelijke onbehandelde plaatjes bestaan uit een niet-metallisch substraat, gewoonlijk een kunststof die versterkende vezels bevat, met op éên of beide kanten een metaallaag met een dikte van ongeveer 0,001 tot 0,003 inches. Het substraat kan 10 elke redelijke dikte hebben, maar is gewoonlijk ongeveer 0,003 tot 0,25 inches dik. Gewoonlijk zijn deze substraten fenolische of epoxykunststoffen, versterkt met vezelglas of een equivalente materiaal. De metaalbekleding is gewoonlijk koper.

In de vervaardiging van een etsresist volgens de 15 werkwijze van de uitvinding, wordt het met metaal beklede plaatje op een kant bekleed met vloeibaar polymeer tot een dikte van ongeveer 0,1 tot 10 mils of meer. Bij voorkeur is de bekledings-dikte uniform over het gehele onbehandelde plaatje en heeft een dikte van ongeveer 0,5 tot 5 mils. De bekleding moet voldoende 20 dik zijn om te verzekeren, dat er geen holten zijn, maar niet zo dik, dat het vloeibare polymeer van de rand van het onbehandelde plaatje afvloeit of door de vele kleine gaten door het onbehandelde plaatje. Het bekleden kan plaats hebben mét iedere geschikte methode, zoals sproeien, borstelen of rolbekleden.

25 De voorkeur wordt echter gegeven aan rolbekleden, omdat daarmee een meer uniforme natte polymeerfilm op de plaat wordt afgezet, en onverwachts werd gevonden, dat in rolbekfeden het vloeibare polymeer niet de neiging vertoont te vloeien in een van de gaten door het onbehandelde plaatje, zelfs wanneer een vacuum aan de 30 onderkant van de plaat wordt aangelegd. Dit kan in de eerste . king plaats worden toegeschreven aan een wisselwer/ tussen deze wijze van aanbrengen en de oppervlaktespanning van vloeibare polymeren. Deze gaten worden later gebruikt voor verbinden van schakelcompo-nenten aan cfe afgewerkte platen. Wanneer polymeer in deze gaten 35 vloeit, moet dit voor samenstellen van de schakeling worden ver- 8200133 - i - 8.- wijderd.

In de volgende trap wordt een fototool, dat het schakelpatroon draagt, geplaatst in luchtspleetcontact met de vloeibare polymeerbekleding. Het is gewenst, dat de foto tooi 5 zo dicht mogelijk, maar niet in contact is met de vloeibare polymeerbekleding. In het algemeen wordt een luchtspleet van ongeveer 5 tot 500 mils toegepast. Een samenstel hoidtde foto tooi op zijn plaats en in registratie met het met polymeer beklede onbehandelde plaatje. In de geprefereerde methode wordt de foto 10 tooi op zijn plaats gehouden door middel van een metalen frame en wordt een vacuum getrokken op de rand van de foto tooi.

Wanneer de foto tooi een emulsie op een glasplaat is, wordt de glasplaat mechanisch op zijn plaats gehouden. In de gevallen, waar de foto tooi een emulsie op een kunststoffilm is, zoals een 15 polyesterfilm met een dikte van ongeveer b tot 10 mils, is een glasplaat boven de film om te verzekeren, dat de film in hetzelfde vlak wordt gehouden. Onafhankelijk van het feit, of een emulsie op een glasplaat of een kunststoffilm wordt gebruikt als de foto tooi, is de emulsiekant die, welke in luchtspleetcontact is 20 met de vloeibare polymeerbekleding.

De term "foto tooi" wordt in ruime betekenis gebruikt voor aanduiden van elk beelddragend medium en kan elke zilver of zilverloze emulsie zijn. Dit omvat ook diazoemulsies. Deze emulsie kan worden aangebracht op een polymeerfilm, glas 25 of elk ander geschikt medium. De term "registratie" wordt gebruikt voor aanduiden van de plaats van de foto tooi boven het onbehandeld printplaatje op een zodanige wijze, dat de gewenste schakeling wordt geplaatst op vooraf vastgestelde gebieden van het onbehandeld plaatje. Nadat de foto tooi op zijn plaats is, 30 wordt een niet-coherente gecollimeerde lichtbron gaktiveerd, welke bij voorkeur een bron is van 2000 tot 5000 Angstrom straling en die geplaatst is voor voeren van licht door de foto tooi. Geschikte lichtbrnnnen omvatten koolstofbogen, kwikbogen, kwikzenonlampen, wolfraamhalogenidelampen en argongloeilampen.

35 Bij voorkeur is de lichtbron een kwikboog of kwikzenonlichtbundel.

82 0 0 1 3 3 * « - 9 -

Het licht passeert door de transparante gebieden van de foto tooi raakt het vloeibaar polymeer en hardt het vloeibare polymeer tot een vaste stof. Het vloeibare polymeer, dat niet in contact komt met licht, blijft vloeibaar. Een tijdsduur van ongeveer 5 5 tot 120 sec. is gewoonlijk voldoende voor harden van het vloei bare polymeer. Indien noodzakelijk, kunnen echter langere tijds-duren worden toegepast.

Nadat het vloeibare polymeer J getsorden is waar dit in contact is gekomen met licht, wordt het niet geharde 10 vloeibare polymeer, dat vloeibaar gebleven is, verwijderd voor blootleggen van het onderliggende metaal. Dit kan plaats hebben met behulp van een luchtmes voor wegblazen van het vloeibare polymeer van het oppervlak, door wrijven of door toepassen van een vloeistof, waarin het vloeibare polymeer tenminste ten dele 15 oplosbaar is. De geprefereerde methode is een waterige alkalische oplossing te gebruiken, waarin het vloeibare polymeer tenminste gedeeltelijk oplosbaar is. Geschikte oplossingen zijn alkalische oplossingen, die natrium, kalium of ammoniumionen bevatten, zoals natriumhydroxyde, natriumcarbonaat, natriumbicarbonaat, 20 natriumsulfiet, natriumbisulfiet, kaliumhydroxyde, kaliumcarbo- naat, kaliumbicarbonaat, kaliumsulfiet, kaliumbisulfiet, ammoniumhydroxyde, ammoniumcarbonaat en combinaties van deze materialen. Alkalische reinigingsmiddelen en ook organische-waterige mengsels kunnen ook worden gebruikt, zolang ze het 25 geharde polymeer niet aantasten.

Volgend op het verwijderen van het niet geharde vloeibare polymeer, wordt het blootgestelde metaal verwijderd door etsen. Gewoonlijk is dit metaal koper en de etsoplossing kan elk gewoonlijk gebruikt koperetsmiddel zijn, zoals een zure 30 chlorideoplossing. Gewoonlijk gebruikte koperetsoplossingen zijn ferrichloride^waterstofchloride-—oplossingen, die ook wat andere componenten kunnen bevatten. Na voltooiing van deze trap blijft het onbehandeld plaatje over met de metaallaag nu enkel aanwezig onder het geharde vloeibare polymeer.

35 De laatste trap omvat verwijderen van het geharde 8200133 »..... .. ν_ ....

- 10 - vloeibare polymeer. Dit hééft plaats door het geharde vloeibare polymeer in contact te brengen met een alkalische oplossing, die kationen bevat, afkomstig van een sterke base. Natrium of kalium bevattende verbindingen zijn geprefereerde alkalische materialen 5 voor bereiden van dergelijke oplossingen. Andere reagentia, die sterke basische kationen leveren, kunnen echter ook gebruikt worden.

Fig. 2 vermeldt de trappen voor vervaardigen van een printplaat onder toepassing van plaatresistmethoden. De 10 eerste vier trappen in de plaatresistmethoden zijn in wezen de zelfde als die voor de etsresistmethode. Bij gevolg is na de trap van verwijderen van het niet geharde vloeibare polymeer het blootgestelde metaal in een patroon, dat identiek is met dat van het uiteindelijke schakelpatroon. De rest van de metaal % 15 is bedekt door het geharde polymeer.

De volgende trap in vervaardigen van een plaat-resist bestaat uit plateren van tin, lood, nikkel of combinaties van deze metalen op het blootgestelde metaal. Dit heeft geschikt plaats door zonder'elektriciteit .of.door elektrqplatteren op 20 het blootgestelde metaal. Het geharde metaal wordt op dezelfde wijze verwijderd als in de etsresistmethode. Dat wil zeggen dat de plaat wordt gewassen met een alkalische oplossing, die kationen bevat afkomstig van een sterke base.

De eindtrap van vervaardigen van de plaatresist 25 bestaat uit wegetsen van het metaal, gewoonlijk koper, dat bloot gelegd is na verwijderen van het geharde polymeer. Dit etsen is hetzelfde als voor etsresist, waarbij het platterend metaal het onderliggend metaal beschermd. Het eindprodukt is een print-nlaat met een schakelpatroon, dat bedekt is met het geplatteerde 30 metaal.

Fig. 3 vermeldt de trappen voor aanbrengen van soldeermaskers op printplaten. In de vervaardiging van een soldeermasker is het uitgangssubstraat een voltooide printplaat In de eerste trap wordt de printplaat bekleed met een vloeibaar 35 polymeer onder toepassing van een van de methoden, vermeld in 8200133 ' ' ' ~ ‘J..... ......... - . J, f - 11 - het etsresistproces van fig. 1. Een foto tool, dat ondoorschijnende gebieden heeft boven de gebieden, waar soldeer moet worden afgezet, wordt vervolgens in exacte registratie geplaatst boven de beklede printplaat en de lichtbron wordt geaktiveerd. Het 5 vloeibare polymeer hardt tot een vaste stof in alle gebieden, die in contact komen met het licht, waarbij alle andere gebieden vloeibaar blijven. Het niet geharde vloeibare polymeer wordt vervolgens op dezelfde wijze verwijderd als in het etsresistproces.

De blootgelegde metaalgebieden worden in contact gebracht met 10 soldeer, dat op het blootliggende metaal achterblijft. Geschikt worden golfsoldeermethoden toegepast, Het soldeer in deze geselecteerde gebieden wordt vervolgens gebruikt voor verbinden met verschillende elektronische componenten en draden.

Dit zijn de drie voornaamste processen voor toe-15 passen van de onderhavige vloeibare polymeerprocessen in de vervaardiging van printplaten. De figuren U tot 7 illustreren de geprefereerde mechanismen, die worden toegepast in uitvoeren van deze trappen door het harden van het vloeibare polymeer.

In fig. U wordt het onbehandelde plaatje 10 geplaatst op tafel 11, 20 door middel van geleider en registerpennen 12, die gaan door gaten 13 in het onbehandelde printplaatje. Deze tafel heeft een aantal kleine gaten I1», die in de tafel zijn geboord. Een vacuum wordt getrokken aan de onderkant van deze tafel in een mate, die voldoende is om het plaatjecp zijn plaats op het tafeloppervlak 25 te houden. De pennen 12 worden daarna teruggetrokken tot beneden het plaatoppervlak.

Hu het onbehandelde plaatje op zijn plaats is bevestigd, illustreert fig. 5 het bekleden met vloeibaar polymeer, De terugtrekbare rolbekleder bestaat uit opbrengrol 15 en 30 afneemrol 16, Een toevoer van vloeibaar polymeer blijft bij de spleet van de rollen. Elke rol is tenminste even lang als de breedte van de onbehandelde plaatjes. De afneemrol geeft een vooraf vastgestelde-hoeveelheid vloeibaar polymeer aan de opbrengrol. Deze vooraf vastgestelde voeding reguleert de dikte van het 35 vloeibare polymeer 17 op het onbehandelde plaatje. Na het bekleden 8200133 , 1 - 12 - trekt de rolbekleder terug.

Fig. 6 toont het vloeibare polymeer en het onbehandelde plaatje met het foto tooi op zijn plaats. Hier is het onbehandelde plaatje 10 volledig bekleed met een laag 17 van 5 vloeibaar polymeer. Luchtspleet 18, met een grootte van 5 tot 500 mils, scheidt het vloeibare polymeer van het foto tooi. Het foto toolsamenstel bestaat uit een negatief 19 en een glazen vlakhoudplaat 20. Het negatief is direkt boven de luchtspleet 18 en bij voorkeur grenst de emulsiekant van de film aan de lucht-10 spleet. Met het fototool op zijn plaats wordt een lichtbron boven het foto tooi geaktiveerd. Waar licht het vloeibaar polymeer raakt,hardt het tot een vaste stof. Dit wordt geïllustreerd in fig. 7j waar 21 geharde vaste polymeergebieden aangeeft, terwijl 22 de niet geharde vloeibare polymeergebieden aangeeft. Het 15 plaatje is nu gereed voor verwijderen van het niet geharde polymeer. Het plaatje kan geschikt van de tafel worden getransporteerd door middel van een aantal rollen 23, die transportbanden 23(a) dragen voor transnort van het nlaatje. Transportbanden 23(a) omhoog zijn ingezet in de tafel en worden/gebroelt, wanneer het 20 plaatje moet worden getransporteerd.

Het niet-coherente gecollimeerde licht, dat voor deze werkwijzen wordt gebruikt, wordt gedefinieerd als de lichthoek, waar het licht de fotoresist raakt. Deze hoek moet bij - voorkeur een halve licht hoek van niet meer dan 3° en bij 25 voorkeur niet meer dan 1,5° zijn. Dit licht zal een foto resist vormen, dat een deviatie hoek van de vertikaal heeft van niet meer dan + 3° en bij voorkeur niet meer dan 1,5°. Een plus deviatie betekent een schouder op de fotoresist, terwijl een negatieve deviatie een ondergraving betekent. Ook moet dit licht 30 ^en'beelddimensiedeviatie hebben van meer dan + 0,5 mil en bij voorkeur niet meer dan + 0,25 mil. Wanneer de deviatie van de vertikaal of de beelddimensiedeviatie groter is dan deze getallen, lit iu ......

resulteert/een tekort aan nauwkeurigheid en/of uniformiteit in de dimensies van de verkregen schakeling. Dit kan resulteren 35 in een verandering van schakelingsweerstand, die het totale 8200133 * J ........... * κ - 13 - gedrag van het elektronische item kan beïnvloeden. Dezefaktoren, die dit licht bepalen, worden gedetailleerd toegelicht in fig. 8. In deze figuur wordt het invallende licht aangeduid als L. Het foto tooi wordt aangeduid als 19, de printplaat als 10, de vloei-5 bare polymeerbekleding als 17 en de lüchtspleet tussen het foto tooi en het vloeibare polymeer als 18, Gebied 21(a) van het foto tooi is een transparant gebied, terwijl gebied 22(a) een ondoorschijnend gebiedis. Ha blootstellen aan licht, is in gebied 21 het vloeibare polymeer gestold, terwijl in gebied 22 10 het polymeer vloeibaar blijft. Het licht raakt het foto tooi in nagenoeg loodrecht conditie. Daar dit echter een ideale conditie is, en daar alle niet-coherente licht enige deviatie zal hebben, wordt dit gedefinieerd door middel van de half hoek A van het licht. Deze half hoek A vormt een deviatie hoek in de fotoresist, 15 resulterend in ofwel een schouder B ofwel een ondergraving B' in de fotoresist. De deviatiehoek in de foto resist, welke de hoek is van de schouder of van de ondergraving, is de hoek, waarmee de vertikale kant van de foto resist afwijkt van de absolute vertikaal.

20 De dimensie deviatiefaktor wordt ook toegelicht met betrekking tot fig. 8. Deze faktor is de maximale afwijking van de fotoresist van de dimensie van de schakelinglijn op de foto tooi. Het licht zelf of het licht, dat de rand van het ondoorschijnende gebied op het foto tooi raakt, kan niet worden 25 afgebogen of op andere wijze beïnvloedt in een mate, dat de dimensie van het gepolymeriseerde polymeer 21 niet meer dan +0,5 mil en bij voorkeur niet meer dan +0,25 mil zal afwijken van de dimensie van het ondoorschijnende gebied 21 (a) op het foto tooi 13. De doelstelling is dat de breedtedimensies van 30 gebied 21 zoveel mogelijk identiek zijn met die van gebied 21(a).

Dit is weergegeven door hoek C.

Het licht moet een belangrijke hoeveelheid van zijn energie in de ultraviolet en zichtbare banden hebben, dat wil zeggen in het gebied van 2000 tot 5000. Ang-strom. Ook moet 35 dit licht een intensiteit hebben van ongeveer k tot 30 millie 8200133 « t 2 - Ifc - watts/cm bij het oppervlak van het vloeibare polymeer. Dit is niet een kritisch kenmerk, omdat bij lagere intensiteiten een langere blootsteltijd kan worden toegepast voor verkrijgen van hetzelfde resultaat. Een lichtbron van deze soort wordt 5 soms aangeduid als een actinische lichtbron.

De andere parameter van belang met betrekking tot de lichtbron is de plaats daarvan met betrekking tot het objekt, dat de lichtenergie moet ontvangen. Het gecollimeerde licht moet in een vlak zijn, dat evenwijdig is aan het vlak 10 van het objekt, dat de lichtenergie moet ontvangen. Dit verzekert, dat de eindschakeling en het schakelpatroon op het foto tooi identiek zijn. Wanneer deze oriëntatie niet wordt gehandhaafd, zullen de schakelinglijnen verschuiven van die van het foto tooi. Dit zal problemen geven, wanneer een plaatje op beide kanten een 15 verschillende schakeling moet dragen.

De figuren 9 en 10 illustreren een inrichting met een post, die alle bewerkingen van de figuren U tot 7 omvat. Onder één post wordt verstaan, dat elk van de trappen van de figuren H-7 uitgevoerd wordt in hetzelfde gebied. De geprefereerde 20 opstelling van de afzonderlijke eenheden is elke figuur weergegeven. Het bovendeel van het cabinet huisvest lichtbron 27 en heeft een afvoeropening 28 voor afvoeren van warmte en rook uit de inrichting. De lichtbron is een kwikboog of kwik zenon lamp, is stationair en kan dus gemonteerd worden op elke manier, 25 die stijfheid garandeert. De benedensectie 26 van het cabinet huisvest de vacuumpomp 29 en verbindingsbuizen 30 en 31, de motor ^7 die het transportsysteem voor verwijderen van belichte plaatjes naar het station voor verwijderen van niet gehard polymeer aandrijft, en polymeernomp en een opslagtank met 30 opleverbuis U8(1). Het middengebied van het cabinet is op het niveau van een bedieningsman en bevat de inrichting voor de eenheidsbewerkingen, weergegeven in de figuren k tot 7.

In plaats van een lichtbron, gemonteerd in het bovendeel van het cabinet 25, kan de lichtbron geplaatst zijn 35 in het benedendeel van het cabinet met een aantal spiegels in het 8200133 - 15 - bovendeel van het cabinet. Deze spiegels zijn zo geplaatst, dat de weg van het licht zo wordt veranderd, dat dit passeert door het foto tooi. Dit kan gerealiseerd worden door toepassen van twee onder een hoek geplaatste spiegels, die elk het licht lood-5 recht reflecteren, zodat de richting van de lichtbundel verandert van een opwaartse richting in een neerwaartse richting en door het foto tooi.

Meer in detail, nadat een onbehandeld plaatje in een machine is geplaatst en in positie gebracht op de terug-10 trekbare pennen (als gedetailleerd weergegeven in de figuren k en 5), wordt een vacuum getrokken op de onderkant van tafel 11 door middel van een vacuumpomp 29 en verbindingsbuis 30. In dit aanzicht is de rolbekleder weergegeven in de positie, waarin ze vloeibaar polymeer aanbrengt op een onbehandeld plaatje. De rol-15 bekleder opbrengrol 15 en afgeefrol 16 zijn gemonteerd op console 32. De opbrengrol is voor de afgeefrol gemonteerd.

Elke rol draait op verenigbare wijze als weergegeven in fig. 5.

Het gebied tussen de rollen ontvangt vloeibaar polymeer uit pomp en tank k8 door middel van buis kd (a). Een elektronisch 20 aftastmecbanisme handhaaft een constant niveau van vloeibaar polymeer in de spleet van de rollen door de vloeibare polymeer-pomp te schakelen of een afsluiter te aktiveren voor terugstromen van het polymeer in de tank. Aandrijfmechanisme 33 drijft de rollen aan. Dit aandrijfmechanisme is gemonteerd op de bewegende 25 drager en is een elektrische motor met keten of tandwiel aandrijving voor elke rol. Aandrijfmechanisme 3^ beweegt het rolbekfeder-mechanisme voorwaarts en terug op vaste schroefbanen 35* Dit aandrijfmechanisme 3^ bestaat uit een stationaire omkeerbare elektrische motor, die verbonden is met elke roterende schroef 30 door middel van een ketting aandrijving. Dat wil zeggen, dat de motoras en elke schroef een kettingwiel hebben en de ketting loopt over elk kettingwiel. Bij voorkeur wordt een met veer belast tussenwiel gebruikt voor spannen van de door de schroef aangedreven ketting. Deze schroefbanen kunnen zowel de bekleder ondersteunen 35 en deze voor en achterwaarts bewegen in elke bekledingscyclus.

8200133 - 16 -

Het verdient echter de voorkeur een afzonderlijk leger 36 toe te passen voor dragen van de rolbekleder. De rol 15 is gewoonlijk enkel bij de voor of achterwaartse passage over het onbehandeld plaatje in contact met dit plaatje. Ze kan echter bij beide 5 passages in contact zijn met het onbehandeld plaatje. Bij bekle den in voorwaartse richting zal de opbrengrol 15, als gevolg van de plaats van de afgeefrol 16 (achterrol 15) een dikkere film afzetten. In de voorwaartse richting kan deze bekleding variëren van ongeveer 3 tot 10 mils, terwijl in de tegengestelde bekleding 10 deze dunner zal zijn en variëren van 0,5 tot 5 mils. Afhankelijk van de dikte van de gewenste bekleding wordt de opbrengrol in contact gehouden of wordt de rol van het onbehandelde plaatje opgetild bij de voorwaartse of achterwaartse passage over het onbehandelde plaatje. Solenoïden worden gebruikt voor optillen 15 van de rollen, naar wens bij de voorwaartse of achterwaartse passage. De bekledingstijd varieert van U tot 20 sec. waarbij ongeveer 8 sec. geschikt gebleken zijn. Ifet roterende schroef-mectanisme , dat de rolbekleder beweegt, kan met verschillende snelheden werken, omdat dit een afzonderlijke omkeerbare elektro-20 motor benut, die de rollen regelt. De bekledingssnelheid kan naar behoefte worden gewijzigd.

De opbrengrol is vervaardigd van een polyeen of een mengsel van polyenen. Deze materialen zijn stabiel en worden niet in betekende mate door het vloeibare polymeer 25 aangetast. De roller heeft een lengte voldoende voor bekleden van het grootste onbehandelde printplaatje, dat op de plaat kan worden gehouden en heeft een diameter in het trajekt van ongeveer 2 tot 6 inches. De afgeefrol kan van elk materiaal zijn, dat niet wordt aangetast door het vloeibare polymeer en 30 is geschikt van roestvrij staal of van met chroom bekleed staal.

De diameter van deze rol is kleiner dan van de opbrengrol. De grootte van de spleet tussen de opbrengrol en de plaat, dat het onbehandeld plaatje vasthoudt, wordt ingesteld door middel van twee micrometers, die de rollen verhogen of verlagen, maar 35 niet het schroefmechanisme voor bewegen van het rolsamenstel 8200133 - 17 - op het onbehandeld plaatje verhogen of verlagen.

Boven het rolbekledermechanisme is het foto tooi samenstel 3T weergegeven. Het foto tooi samenstel bevat de film 19, die 'in vlakke toestand gehouden wordt door de glasplaat 20.

5 De benedenkant van de film is de emulsiekant van de film en draagt het beeld van het schakelpatroon. Het foto toolsamenstel is terugtrekbaar gemonteerd door middel van geleidesteun 38 en legerbaan 39, zodat het opgetild kan worden naar een bovendeel van het cabinet,wanneer de rolbekleder in een voorwaartse positie 10 is en vloeibaar polymeer aanbrengt, en vervolgens worden verlaagd, om het foto tool met een nauwe luchtspleet te brengen ten opzichte van de vloeibare polymeerbekleding tijdens de beeldvorming.

Het foto tooi beweegt glijdbaar op en neer door middel van de legerbanen 39. Ketens 10 zijn bevestigd aan zijsteunen 19 van het 15 foto tooi samenstel en strekken zich naar boven uit over ketting-vielen ll. Deze kettingwielen worden geroteerd door een omkeerbare motor h2 via de aandrijfas 1*3. Door roteren van deze kettingwielen wordt het foto toolsamenstel ongeveer 12 inches omhoog of omlaag gebracht. Deze kettingwielen hoeven slechts een omtrek 20 te hebben, die gelijk is aan ongeveer de afstand, waarover het foto tooi samenstel wordt verhoogd of verlaagd. Bij het benedeneinde van het foto tooi samenstel bevinden zich instelbare pennen 14, die zo zijn geplaatst, dat de juiste luchtspleet gehandhaafd wordt tussen het foto tooi en het beklede oppervlak. Tenminste 25 vier van deze pennen worden gebruikt. Deze pennen maken contact met het tafeloppervlak en steunen het foto toolsamenstel tijdens de beeldvorming. Buizen 31 verbinden het foto toolsamenstel met de vacuumpomp. Het vacuum, dat op het foto tooi wordt getrokken, houdt dit bij de randen op zijn plaats. Registratiepennen kunnen 30 ook worden gebruikt om het foto tooi te helpen richten. Hoewel het terugtrekmechanisme besproken is met betrekking tot toepassen van een ketting of een kabel, kan een roterende schroef als voor de rolbekleder worden gebruikt. Het verdient echter de voorkeur een ketting of kabel optil-type mechanisme te gebruiken 35 voor verhogen of verlagen van het foto toolsamenstel.

8200133 - 18 -

Wanneer eenmaal het foto toolsamenstel op zijn plaats is en rust op de pennen Hk, wordt de lamp 27 ingeschakeld, die een bundel niet-coherent gecollimeerd licht naar het foto tooi stuurt. Dit licht wordt 5 tot 120 sec. toegepast en bij 5 voorkeur ongeveer 20 sec. Wanneer een lichtbron verouderd en zwakker wordt, wordt de verlichtingstijd verlengd. De lichtintensiteit kan met de hand worden gemeten en de tijdsduur wordt ingesteld of kan een integrerende schakeling worden gebruikt, die automatisch de tijdintensiteit toepassing van lichtenergie 10 controleert en de lichtbron regelt. De lichtbron wordt vervolgens gedroogd en het foto toolsamenstel wordt naar boven bewogen naar de rustpositie. Het vacuum op de tafel wordt dan opgeheven, het transportmechanisme k-5 omhoog gebracht en het plaatje wordt automatisch uit de inrichting verwijderd voor verder verwerken.

15 De transporteur wordt omhoog gebracht door aktiveren van de solenoïden b6 die de steun k5 omhoog brengen, welke op hun beurt de rollen 23 en de daarbij behorende transportband 23(a) omhoog brengen in het gebied van de tafel. De motor k-7 wordt gelijktijdig met de solenoïden b6 ingeschakeld. De band k-7(a) van de motor 20 drijft de rollen 23 aan.

De inrichting kan bediend worden met de hand of op automatische basis, bij handbediening controleert de bedienings-man elke trap. De voorkeur wordt echter gegeven aan een automatische werking, waarbij nadat de printplaat op zijn plaats is 25 gebracht, de trappen achtereenvolgens worden uitgevoerd zonder controle door een bedieningsman. Behalve dat een betere kwaliteitscontrole wordt verkregen, maakt dit een veiliger werking van de inrichting mogelijk. De controles, weergegeven in fig. 9, tonen enkele van die, welke gebruikt worden voor automatische 30 werking. Het zal in het algemeen gewenst zijn meters te hebben voor een constante aanwijzing van vacuum in de tafel en foto tool-samenstellen. Schakelaars omvatten een hoofd aan-uit schakelaar, een vacuumpompschakelaar en een lichttijdmeettoestel. Dit zijn allen bekende toestellen en nog andere kunnen worden toegevoegd.

35 Fig. 10 toont een zijaanzicht van de inrichting 82 0 0 1 3 3 - 19 - van fig. 9 van de kant tegenover die, -waar het onbehandeld plaatje aanwezig is, dat wil zeggen van de linkerkant van de inrichting van fig. 9* De verschillende delen zijn dezelfde en hebben dezelfde nummers als in fig. 8, behalve dat dit 5 aanzicht de toepassing toont van een facultatief meerkamer tafelsamenstel. De bovensectie 25 bevat de lichtbron2T en de afvoer 28. De benedensectie 26 bevat de vacuumpomp 29, de vloeibaar polymeerpomp en tank U8 met daarbij behorende polymeer-toevoerpijp U8(a), en motor k'J met daarbij behorende band kj(a) 10 voor aandrijven van de transportrollen 23. De middensectie is het gebied voor de bedieningsman en bevat het mechanisme voor op zijn plaats brengen van de printplaat, het mechanisme voor de rolbekleder en het fototoolsamenstel. Elk daarvan is beschreven bij fig. 9, maar zal hier opnieuw worden beschreven 15 met betrekking tot deze figuur 10.

Het mechanisme voor op zijn plaats brengen van de printplaat bestaat uit een tafelsamenstel 61 met een aantal gaten 63 voor trekken van een vacuum aan de bovenkant van de tafel. De tafel is hier het meerkamertafelsamenstel van de fig.

20 13 en 1U. Dat wil zeggen, dat er vier afzonderlijkekamers in het tafelsamenstel zijn. Een vacuum kan getrokken worden in elk van deze kamers of in alle kamers. Deze tafel wordt gebruikt, wanneer printplaten met verschillende afmetingen vervaardigd moeten worden. In gebruik wordt een vacuum alleen getrokken in 25 de kamer of kamers, waarover een onbehandeld plaatje is geplaatst.

In vastmaken van het onbehandeld plaatje, wordt het eerst bepaald met betrekking tot de kamers in de tafel, waarin een vacuum wordt getrokken. Afsluiters 52 met verbindings-pijpen 53 naar vacuumverdeelstuk 51 worden vervolgens geopend 30 voor de kamers, waarin het vacuum wordt getrokken. De andere afsluiters 52 blijven gesloten. Nadat het plaatje vast op zijn plaats is, wordt de rolbekleder geaktiveerd, zodat deze op de schroeven 35 voorwaarts beweegt en het onbehandeld plaatje bekleedt met vloeibaar polymeer. De opbreng en afgeefrollen 35 kunnen in dit aanzichb niet worden gezien. De rolbekleder wordt 82 0 0 1 3 3 - 20 - vervolgens teruggetrokken en het foto toolsamenstel 37 omlaag op zijn plaats gebracht. Orgaan 38 geleidt het foto tooi op de legerbaan 39. De kettingen HO zijn bevestigd aan zijsteunen ^9 en verhogen en verlagen het foto toolsamenstel. Het foto tooi 5 gaat omlaag, totdat instelbare pennen bb contact maken met het bovenoppervlak van de tafel 61. In de volledig geaktiveerde positie wordt het foto tooi gedragen door deze instelbare pennen 1*1*. Door instellen van deze pennen kan de luchtspleet tussen het foto tooi en het vloeibare polymeer gewijzigd worden. Wanneer 10 het foto tooi samenstel op zijn plaats is, wordt de actinische lichtbron 27 ingeschakeld. Nadat de lichtbron gedoofd is, wordt het foto toolsamenstel omhoog gebracht en de transportrollen 23 en daarbij -behorende banden 23(a) worden geaktiveerd. Een motor 1*7 en bijbehorende band ^7(a) verschaffen de aandrijfkracht voor 15 de rollen 23. Op het ogenblik, dat het foto tooi omhoog wordt gebracht naar de opslagpositie, wordt de transportsteun b5 omhoog gebracht door de solenoïden k6. Gelijktijdig worden de motor ^7 en de transportrollen 23 en bijbehorende banden geaktiveerd, zodat het plaatje van de tafel 61 kan worden getild en 20 getransporteerd uit de inrichting naar het volgende werkstation.

Zoals hiervoor besproken, verdient het de voorkeur deze inrichting automatisch te bedienen. Daarvoor zal, nadat de hoofdschakelaar is ingeschakeld, een bedieningsman, na inbrengen van de film met het schakelpatroon in het foto 25 toolsamenstel, het onbehandeld plaatje plaatsen op de vacuum- tafel en op de tafel een vacuum trekken om het onbehandeld plaatje vast te zetten. Wanneer het vacuum op de tafel een vooraf bepaald niveau bereikt, komt de vloeibare polymeer rolbekleder automatisch naar voren en bekleedt het onbehandeld plaatje.

30 Het rolbekledersamenstel wordt dan volledig teruggetrokken.

Wanneer de rolbekleder in de opslagpositie is, gaat het foto toolsamenstel omlaag tot een vooraf vastgestelde luchtspleet afstand tot het beklede plaatje. Wanneer het fototool op zijn plaats is, wordt de lichtbron automatisch ingeschakeld gedurende 35 een vooraf vastgestelde tijd. De lichtbron wordt vervolgens 8200133 \ ' * τ - 21 - automatisch uitgeschakeld en het foto toolsamenstel optilmechanis-9e brengt het foto tooi ongeveer 12 inches omhoog naar de opslag-positie. Nadat het foto toolsamenstel verhoogd is over een afstand van ongeveer 2 inches, wordt het transportmechanisme in het gebied 5 van de tafel ongeveer 0,5 tot 1 inch verhoogd om contact te maken met de onderkant van het van een beeld voorzien plaatje en de hele transporteur wordt gelijktijdig ingeschakeld voor bewegen van het van een beeld voorziene plaatje naar het volgende werkstation. De inrichting is vervolgens gereed voor herhalen van 10 de rolbekleding en beeldvormingscyclus.

Pig. 11 illustreert de uitvoeringsvorm met meerdere posten van de inrichting voor uitvoeren van de voorgaande processen. Terwijl in de uitvoeringsvorm van de figuren 9 en 10 met een enkele post het bekleden van het printplaatje en het 15 daaropvolgend blootstellen plaats heeft op dezelfde plaats, worden deze trappen in de uitvoeringsvorm met meerdere posten op verschillende plaatsen uitgevoerd. Het voornaamste voordeel van de uitvoeringsvorm met meerdere posten boven de uitvoeringsvorm met geen enkele post is, dat de dagelijkse produktie kan 20 worden verdubbeld. Dit is het gevolg van het feit, dat men in staat is gelijktijdig êên plaatje te bekleden met vloeibaar polymeer, terwijl een ander plaatje wordt blootgesteld aan het niet-coherente gecollimeerde licht.

Meer in detail, 80 is het bekledingsstation met 25 vloeibaar polymeer van het printplaatje. Hetzelfde type aftrekbare bekleder als in de inrichting van de figuren 9 en 10 met een enkele post kan worden gebruikt. De voorkeur wordt echter gegeven aan een bekleder, waarin de bekledingsrollen stationair zijn en het te bekleden plaatje passeert door de rollen. Dit is het 30 geval, omdat het plaatje continu kan worden bewogen door de sectie voor blootstellen aan het niet-coberente gecollimeerde licht. Geschikte bekleders zijn in de handel verkrijgbaar van bijvoorbeeld de Union Tool Company. De afgeheelde bekleder behoort tot het geprefereerde type.

35 De bekleder bestaat uit een invoertransporteur 81 82 0 0 1 3 3 - 22 - die het plaatje in de rollen 83 en 81+ voert. Rol 83 is een draag-rol, terwijl rol 81+ de beHedingsrol is. Rol 82 is de niprol.

De toevoer van vloeibaar polymeer wordt gehandhaafd in de spleet tussen de rollen 82 en 81+, Na passeren door deze rollen en na 5 bekleden, komt het plaatje op de transporteur 86, die volledig omsloten is. Deze omsluiting bestaat uit een metaalvelomhulling en kan desgewenst een of meer kanten hebben van een transparante kunststof. De transporteur 86 transporteert het beklede plaatje in de blootstelsectie 90. Direkt voor de blootstelsectie kan het 10 plaatje voor-blootgesteld worden aan licht van laag niveau voor gedeeltelijk polymeriseren van de bekleding. Dit kan plaats hebben door toepassen van niet-gecollimeerde lichtstraling van laag niveau, zoals fluorescerend licht met een output in het ultraviolet zichtbare gebied. Deze voor-blootstelsectie 88(a) 15 is met stippellijnen aangegeven, omdat dit een facultatief kenmerk is.

De transporteur 86 voert het plaatje op de tafel 89, welke dezelfde is als de tafel in de inrichting met een post. Dat wil zeggen, dat een transporteur het plaatje op zijn plaats 20 brengt boven de tafel en het vervolgens omlaag wordt bewogen, waarbij de tafel het plaatje dan steunt. Geleide en register-pennen worden gebruikt voor lokaliseren van het plaatje op de tafel, doordat het vacuum is getrokken voor bevestigen van het plaatje op de tafel. In plaats van geleide en registerpennen 25 kunnen verschillende andere equivalente mechanische technieken worden toegepast. Met de plaat op zijn plaats, wordt het foto tooi 93 omlaag gebracht via geleidebanen en het elevatormechanis-me 9I+. Dit foto tooi is dezelfde als dat van de inrichting met een post en wordt vollediger beschreven met betrekking tot fig.

30 12. Wanneer het foto tooi op zijn plaats is en in register met de plaat, wordt de niet-coherente gecollimeerde lichtbron 97 ingeschakeld. Deze lichtbron is dezelfde als in de inrichting met een post. Ze kan aangebracht zijn in het bovendeel 91 van deze sectie van de inrichting of in het benedendeel 92 35 met spiegels, geplaatst in de bovensectie, voor veranderen 8200133 - 23 - van de richting van het licht, zodat nadat dit naar hoven gaat het via meerdere reflecties omlaag gevoerd kan worden door het foto tooi. Onafhankelijk van de opstelling, moet de lichtbron de hiervoor vermelde kenmerken hebben, die gedetailleerd met tj betrekking tot fig. 8 zijn besproken. Ventilator en afvoersysteem 98 voert rook en warmte uit de inrichting af.

Het benedengebied 92 bevat eveneens de verschillende organen voor de inrichting, zoals een transformator, vaeuum-pomp, elektrische motoren, afsluiters, schakelaars en dergelijke.

IQ Deze zijn opgesteld naar gelang de ruimte in dit gebied toelaat.

Iiadat een plaat is blootgesteld, wordt het foto tooi naar boventeruggetrokken, wordt het vacuum, dat de plaat op de tafel vasthoudt, onderbroken, beweegt de tafeltransporteur naar boven vanuit de rustpositie in de tafel en beweegt de blootst- gestelde plaat op de afvoertransporteur 99» die de plaat uit de inrichting transporteert. Sectie 88 (b), die met stippellijnen is aangegeven, geeft een facultatieve na-hardingsbewerking aan.

Dat wil zeggen, dat er een niet-gecollimeerde lichtbron met lage intensiteit kan zijn in het gebied, die het vloeibare 2Q polymeer op de plaat verder polymeriseert. Transporteur 99 transporteert de plaat naar de afwerkinrichting van de printplaat. Deze bestaat uit inrichting 100 voor verwijderen van het polymeer, dat niet blootgesteld is aan het gecollimeerde licht. Typisch heeft dit plaats door toepassen van een alkalische wasvloeistof.

2^ De plaat kan vervolgens in sectie 101 geëtst worden voor ver wijderen van blootliggend metaal en een sectie 102 wordt het vloeibare polymeer, dat was gepolymeriseerd door blootstellen aan het gecollimeerde licht, verwijderd met behulp van een sterke alkalische oplossing. Deze drie laatste secties, die beschouwd 2q kunnen worden als een ontwikkelsectie, kunnen bestaan uit commer cieel verkrijgbare eenheden van Chemcut Corporation. Opgemerkt wordt, dat de plaat niets door de volledige ontwikkelsectie kan worden gevoerd, kan worden verwijderd uit enige intermediaire behandeling en vervolgens teruggebracht worden in de ontwikkel-2^ sectie, of verwijderd worden uit enige andere vorm van behandeling.

82 0 0 1 3 3 - 24 -

Fig, 12 toont het benedenoppervlak van het foto toolsamenstel, dat via een luchtspleet in contact is met de vloeibare polymeerbekleding tijdens de beeldvorming. Het samenstel 55, dat van metaal is, bijvoorbeeld aluminium, heeft een binnengebied 5 59» waar het foto tooi wordt geplaatst. Rond deze opening is het vacuumkanaal 56. Openingen 57 verbinden met buizen 31 op het bovenoppervlak. In dit aanzicht zijn zes instelpennen 44 weergegeven. De onderdelen 58 zijn magneten, die in het oppervlak zijn ingebed. Deze magneten houden een metalen frame vast, dat 10 aanvullend kan worden gebruikt om het foto tool (film of plaat) op zijn plaats te houden. Er kan desgewenst een aantal register-pennen βθ zijn voor richten van het foto tooi op het samenstel. Dergelijke registerpennen passeren door kleine gaten in het foto tooi. In gebruik plaatst de bedieningsman het foto tooi op het 15 samenstel en plaatst dunne stalen strippen in het gebied van de ingebedde magneten, waardoor het foto tooi wordt opgesloten tussen het oppervlak en de strippen. Het vacuümsysteem wordt vervolgens geaktiveerd en het foto tooi wordt verder op zijn plaats bevestigd. De pennen 44 zijn ingesteld voor verschaffen 20 van de juiste luchtspleet tussen het met polymeer beklede onbe handelde plaatje en het foto tooi. Het foto toolsamenstel is daarna gereed voor gebruik.

De figuren 13 en 14 zijn aanzichten van de vacuum tafel uitvoeringsvorm met meerdere kamers. Fig. 13 is een pers-25 pectivisch aanzicht van de tafel. In dit aanzicht heeft de meer-kamertafel hetzelfde uiterlijk als de eenkamertafel 11.

In de eenkamertafel van fig. 4 past een afsluitplaat op schouder 11(a) voor vormen van de vacuümkamer met de vacuumleiding 30 bevestigd aan deze afsluitplaat. Het heeft ook dezelfde kanalen 30 62, waar de transportbanden zijn geplaatst, wanneer deze niet in gebruik zijn. En verder hebben beide tafels een aantal gaten, die lopen van het bovenoppervlak naar de binnenkamer. In de eenkamertafel zijn deze aangeduid met 14, terwijl in de meer-kamea?-tafel ze zijn aangeduid met 63. Fig. 14 is een doorsnede door de 35 meer-kamertafel. De zijwanden 64 zijn ook een deel van de buiten- 8200133 _ ..... * - 25 - kamer 67. De binnenwanden 65 vormen de wanden van de kamers 68, 69 en 70. Openingen zijn gevoerd door het benedenoppervlak en verbonden met een vacuumverdeelstuk. Het vacuumverdeelstuk en de verbindingsbuis is weergegeven in de fig. 10. Zoals hiervoor 5 besproken, is het meer-kamertafelsamenstel meer efficient, wanneer platen met verschillende grootten vervaardigd moeten worden. Dat wil zeggen, dat voor een kleine plaat een vacuum alleen getrokken zal worden in kamer 70, terwijl voor de grootste platen een vacuum wordt getrokken op alle kamers om een beter 10 op zijn plaats houden van het onbehandeld plaatje te krijgen.

In plaats van de meer-kamer vacuumtafel kan een tafel worden gebruikt, waarin de gaten in de bovenpositie elk selectief geopend of gesloten kunnen worden. Een methode is gaten te gebruiken met een configuratie als weergegeven in fig. 11(a).

15 De opening heeft een kogelsluiting. Wanneer de tafel van aluminium of een dergelijk materiaal is, kunnen magnetische kogels (Aangetrokken door een magneet) selectief in de gaten worden geplaatst voor afsluiten van de gaten, wanneereen vacuum wordt getrokken. Voor verwijderen van de kogels ishet slechts nood-20 zakelijk een magneet over de tafel te bewegen. Wanneer de tafel van een magnetisch materiaal is, kan een magnetische of andere kogel worden gebruikt, waarbij het verwijderen plaats heeft door overdruk of lucht binnen de tafel. Dit blaast de kogels uit de openingen.

25 Elk vloeibaar polymeer materiaal, dat gehard kan worden tot een vaste stof onder toepassing van niet-coherent gecollimeerd licht en aftrekbaar is in vloeibare systemen, kan in de onderhavige werkwijzen worden gebruikt. Geschikte vloeibare polymeer materialen, die gebruikt kunnen worden, zijn 30 die welke beschreven worden in de Amerikaanse octrooischriften 3.660,088 en 3.753.72Ο, Een geprefereerd polymeer is echter een acrylaat met eindstandige onverzadiging aan één einde van het polymeermolekuul en een eindstandige carboxylgroep aan het andere einde van het polymeermolekuul. De eindstandige onverzadiging 35 is hardhaar door vrije radicaal polymerisatie onder toepassing 82 0 0 1 3 3 - 26 - van niet-coherent gecollimeerd licht, terwijl de eindstandige carboxylgroep aftrekbaarheid geeft aan het geharde polymeer bij toepassen van geconcentreerde alkalische oplossingen.

Een polymeer met deze eigenschappen, dat in de onderhavige 5 werkwijzen kan worden toegepast, is een polymeer met formule 1 van het formuleblad,waarin een alkylgroep met 1 tot 6 koolstof- atomen is, R^ het organiseh deel van een diisocyanaat is en een alicyclische, aryl, alkyl of aralkylgroep is, en (PE)^ een polyester of polyether ketenverlengingseenheid is, waarin X een geheel 1 q getal mn 2 tot 5 0 is.

Dit polymeer kan alleen of tezamen met een visko-siteit modificeermiddel gebruikt worden, zoals een hydroxyethyl-methacrylaat met carboxyl eindgroepen en met de formule 2 van het formuleblad.

1 5 Door toevoeging van wisselende hoeveelheden -van het hydroxyet hylmethacrylaat met carboxyleindgroepen kan de viskositeit van het vloeibare polymeermateriaal worden gewijzigd. Andere viskositeitsmodificeermiddelen kunnen eveneens worden gebruikt. Ook bruikbaar in het vloeibare polymeermateriaal is een 2o fotosensibiliseermiddel zoals, maar niet beperkt tot, benzofenon, acetofenon, acenaftheenxyleen, e-methoxyoxybenzofenon, dibenzo-suberon, anthrachinon, bexanofenon of 2,2-dimethoxy-2-fenylaceto-fenon. Deze stoffen vergroten de ontwikkeling van het vrije radicalen en bij gevolg de snelheid van het hardingsproces. Andere 25 fotosensibiliseermiddelen kunnen worden gebruikt.

Deze zijn de voornaamste toevoegingen in het geprefereerde vloeibare polymeermateriaal. Deze materialen kunnen echter ook een epoxyacrylaat, een multi-funktioneel acrylaat zoals hexaandioldiacylaat, een multi-funktioneel thiol zoals 30 pentaerythrotol-tetrakis-(g-mercaptopropionaat) en een fenolische stabilisator bevatten, zoals hydrochinon,-mono-methylether of trihydroxybenzeen. Deze toevoegingen katalyseren het materiaal en verschaffen ook middelen voor brugvorming van het gepolymeri-seerde acrylaat met carboxyl eindgroepen met zichzelf en ook 35 met het hydroxyetlylmethacrylaat met carboxyl eindgroepen.

Brugvorming geeft een gehard polymeer en een polymeer, dat 8200133 - 27 - in het algemeen een hogere thermische stabiliteit heeft. Wanneer bijvoorbeeld soldeermaskers moeten worden gemaakt, wordt een brug-vormend middel gebruikt, zodat het polymeer beter bestand i s tegen de temperatuur van H 00 tot 500°F van tin-lood soldeer-5 sproeiingen.

De beschrijving is in de eerste plaats gericht op met koper beklede printplaten, omdat deze op het ogenblik de voornaamste printplaten zijn, die op het ogenblik commercieel worden vervaardigd. De werkwijzen zijn echter ook toepasbaar 10 voor andere metaalbekledingen en verder voor niet-metallische geleidende bekledingen. Daarom wordt,wanneer metaalbekledingen worden gebruikt, ook omvat equivalente bekledingen.

De beschrijving is gericht op de toepassing van niet-coherent gecollimeerd licht. Een licht met de hier vermelde 15 specificaties is voor de onderhavige toepassing ontwikkeld door de Optical Radiation Company. Een laserlichtbundel is een coherente gecollimeerde lichtbundel en kan niet gebruikt worden in plaats van de niet-coherente gecollimeerde lichtbundel. Wanneer deze gebruikt moet worden, zal de laserbundel, via een computersysteem, 20 ingesteld moeten worden op aftasten van het patroon van de gewenste schakeling. Een dergelijk lasersysteem zal veel duurder zijn dan het niet-coherente gecollimeerde licht en foto tooi opstellingen, die hier gedetailleerd zijn besproken en zal een langere tijdsduur eisen in de blootstel sectie, hetgeen voert tot produktie-25 verlies. Ook zal een lasersysteem niet voldoen aan de beelddeviatie faktor van niet meer dan 0,5 mil.

De uitvinding wordt toegelicht in de volgende voorbeelden.

Voorbeeld I

30 Dit voorbeeld licht een werkwijze toe voor ver vaardigen van êên van de geprefereerde vloeibare polymeermateria-len.

Een harsketel is voorzien van een roerder, thermometer, droogbuis en toevoertrechter. 185 g tolueendiisocyanaat, 35 0,63 g hydrochinon monomethylether (ME KJ), 5,8 g trifenylfosfiet 8200133 - 28 - en 0,15 g dibutyl-tindilauraat worden aan de ketel toegevoegd.

Na verhitten van het mengsel tot 30-35°C, worden druppelsgewijze toegevoegd 189 g bydroxypropylacrylaat, en laat men het mengsel exotherm verhitten tot 65°C. De temperatuur wordt 1,5 uren 5 gehouden tussen 60-65°C, waarna nagenoeg alle hydroxylgroepen gebruikt zijn en het NCO gehalte 1,77 +0,1 meg/g bereikt, bepaald door titreren met dibutylamine. Daarna worden 785 g gesmolten poly (dietfcyleenglycoladipaat) met een molekuulgewicht van 1000 toegevoegd, tezamen met 0,15 g dibutyl-tindilauraat-10 katalysator. Het reaktiemengsel wordt ongeveer 6 uren gehouden op 65-70°C, doordat de isocyanaatgroepen v^bruikt zijn.

385 g hydroxyet lylmethacrylaat en 0,1*2 g hydrochinon worden vervolgens aan dit mengsel toegevoegd. Wanneer het reaktiemengsel uniform is geworden en de temperatuur gedaald 15 is tot beneden 65°C, worden 2l*8 g vast maleinezuuranbydride en 8 g dibutyl tindilauraat toegevoegd. Langzaam (in ongeveer 1 uur) wordt hét reaktiemengsel verhit tot 55°C voor oplossen van bet malexnezuuranhydride. De verhitting wordt voortgezet en ongeveer 6 uren gehouden op 75 - 8cPc, zodat het maleïnezuur 20 anhydride volledig heeft gereageerd, blijkend uit de afwezigheid van 181*5 en 1975 cm~^ pieken in een IR speetrograaf. Het aldus verkregen eindprodukt is een viskeuze vloeistof met een viskositeit van57CO CP bij 25°C en een zuurgroepgehalte van 1,1* meq/a. Est prepolymeer heeft de samenstelling, die op het formuleblad onder 25 3 is aangegeven, tezamen met formule 2,

Voorbeeld II

Het volgende materiaal wordt bereid uit het hars-produkt van voorbeeld I en wordt gebruikt in bet etsresistproces voor vervaardigen van een printplaat: 8200133 - 29 -

Component gew.%

Het harsprodukt van voorbeeld I 79*93

Epoxyacrylaat (Epocryl 370) 6,93

Irgacure 551 0,92 5 benzofenon 2,76 hydrochinon mono-methyl ether 0,046 pyrogallol 0,023 vlakmaakmiddel (Modaflow) 2,30

Chromophtal Blue 0,6¾ 10 (Ciba-Geigy)

Pentaerythritol tetra-kis-(3-mercaptopropionaat} 6,½

Dit materiaal heeft een Brookfield viskositeit van 3.1+50 cP bij 2l+°C.

15 Een met koper bekleed-epoxy vezelglas onbehandeld printplaatje werd gereinigd door nat wrijven met puimsteen onder toepassing van een Scotch Brite pad voor verwijderen van corrosie en vreemd materiaal. De onbehandelde plaat werd daarna bekleed tot een dikte van 2,5 mil met bovenstaand materiaal, 20 6θ sec. blootgesteld door een fotografisch negatief met een luchtspleet van 25 mil tot de vloeibare bekleding op de plaat, door middel van een mediumdrukkwikdamplamp op een afstand waar de stralingsintensiteit ongeveer 25 mil-watts/cm is. De bovenstaande plaat werd vervolgens door sproeien gewassen met 25 behulp van een 5 #'s natriumcarbonaatoplossing bij kamertempera tuur gedurende 10 sec., gevolgd door spoelen met water en drogen aan de lucht, waarbij het geharde fotoresist wordt verkregen als een beeld met hoge betrouwbaarheid en resolatie.

De gewassen plaat met het schakelpatroon wordt 30 vervolgens onderworpen aan etsen met -waterstofc KLoride-cupri- chloride gedurende 60 sec. bij 52°C voor oplossen van het koper in de niet beklede gebieden. De geharde polymeerresist blijft intact en verschaft een goede bescherming van het koper tegen het etsmiddel. Bet geharde polymeer wordt vervolgens gestript met 35 behulp van een 5 %'s oplossing van natriumhydroxyde bij 55°C.

Ongeveer 3 0 sec. zijn voor het strippen vereist. Het koper, dat 8200133 - 30 - op de plaat achterblijft, "bleek een uitstekend detail en integriteit te hebben. De printplaatlijnen zijn goed gevormd met scherpe randen en hebben zijwanden, die loodrecht op het Substraat zijn.

Bij beproeven van.de continuïteit en bestandheid werd gevonden, 5 dat er geen kortsluitingen zijn en de bestandheid van een derge lijke schakeling is constant. Ook was niets van het vloeibare polymeer gegaan door één van de gaten in de plaat.

Voorbeeld III

Dit voorbeeld illustreert de vervaardiging van 10 plaatresist onder toepassing van het vloeibare polymeer van voorbeeld II. Een onbehandeld plaatje (koperbekleding van 1 ounce/sq.. ft) wordt vervolgens bekleed met het vloeibare polymeer materiaal, toegepast in voorbeeld II, door tegengesteld bekleden.

De bekledingsdikte was nominaal 1,9 mil. Een Optical Radiation 15 Company gecollimeerd kwik-zenon lichb werd gebruikt als de energiebron. De foto tooi afstand pennen werden ingesteld voor vormen van een luchtspleet van ongeveer 30 mils (het foto tooi had ondoorschijnende gebieden in hetzelfde patroon als de gewenste schakeling). Hst vloeibare polymeer werd 30 sec. blootgesteld 20 aan de kwik-zenonbron. De pLaat werd vervolgens getransporteerd naar een Chemcut sproeiwasser, waar het 10 sec. in contact werd gebracht met natriumcarbonaat met een pH van 10,5.

Blootgestelde koper wordt vervolgens elektro-platteerd met tin-lood en het geharde polymeer wordt verwijderd 25 in een sproeibad met behulp van een 5 #'s natriumlydroxyde- oplossing bij 130-lUo°C. Het strippen is voltooid in 30 sec.en de plaat wordt met water gespoeld. De blootgestelde koperbekleding wordt vervolgens verwijderd door etsen met een 3N waterstof-chloride-cuprichlorideoplossing bij 52°C. Het etsen is voltooid 30 in 60 sec. en de plaat wordt vervolgens met water gespoeld.

De schakeling had een hoge resolutie en geen kortsluitingen. Voorbeeld IV

Dit voorbeeld illustreert het maken van soldeer-maskers met behulp van het vloeibare polymeer van voorbeeld II.

35 Een afgewerkt koperen printplaatje werd bevestigd 8200133 - 31 - op eemtafel en met een rolbekleder werd een continue laag van bet vloeibare polymere materiaal van voorbeeld II op de plaat gebracht. De bekleding was ongeveer 1,5 mil dik op de schakeling en ongeveer ^ tot 5 mils dik in de niet schakeling dragende 5 gebieden. Een foto tooi, dat transparant is, behalve voor de schakelinggebieden waar soldeer moet worden afgezet, wordt in exacte registratie geplaatst met de plaat. De toegepaste lucht-spleet was 20 mils. Een Optical Radiation Company kwik-zenon gecollimeerde lichtbron werd gebruikt voor harden van het poly-10 meer. Het licht werd na 60 sec. uitgeschakeld en de plaat werd door sproeien gewassen met waterige natriumcarbonaat-oplossing met een pH van 10,5. Het sproei-wassen werd 30 sec. voortgezet. De plaat werd verwijderd en gedroogd. De plaat werd vervolgens geplaatst in een golf soldeerinrichting, waar soldeer 15 werd aangebracht op het blootgestelde kopergebied. Er was geen beschadiging aan het geharde polymeer als gevolg van contact met het gesmolten soldeer. Het geharde polymeer bleef op de print-plaat als een beschermde laag.

Voorbeeld V

20 De werkwijze van voorbeeld II werd herhaald, met dien verstande, dat a3s fototool werd toegepast een schakeling-patroon, waarin de schakelinglijnen een breedte hebben van 6 mils met een afstand \an 6 mils tussen de schakelinglijnen. Het foto tool was een polyesterfilm met een serie van 6 mil brede ondoor-25 schijnende gebieden, gescheiden door 6 mil brede transparante gebieden. Een Optical Radiation Company gecollimeerde kwik-zenon liebbbron werd voor de beeldvorming gebruikt. De andere trappen waren dezelfde als in voorbeeld II. De verkregen printplaat had goed gedefinieerde koperen schakelinglijnen, met zijwanden 30 loodrecht op de plaat. Geen van de schakelinglijnen had een kortsluiting. De schakelinglijnen hadden nominaal een breedte van 6 mils en ook de afstanden daartussen\aren nominaal 6 mils.

Met betrekking tot de geprefereerde groep van polymeren, die hier gebruikt kan worden, wordt de Amerikaanse 35 octrooiaanvrage Serial Ho. C6/225.809, ingediend 16 januari 1981, als hier opgenomen beschouwd.

8200133

Claims (58)

1. Werkwijze voor de vervaardiging van print-platen, met het kenmerk, dat (a) een substraat wordt verschaft; 5 (b) tenminste een deel van bet substraat wordt bekleed met een vloeibaar polymeer materiaal, dat gehard kan worden door middel van niet-coherente gecollimeerde lichtstraling; (c) een foto tooi dichtbij het met vloeibaar polymeer bekleed oppervlak wordt geplaatst; 10 (d) het foto tooi in contact wordt gebracht met niet-coherente gecollimeerde lichtstraling met een half hoek van niet meer dan ongeveer 3° en een beelddimensieafwijking-faktor van niet meer dan ongeveer 0,5 mil, waarbij het licht selectief passeert door delen van het foto tooi, contact maakt 15 met het met vloeibaar polymeer bekleed oppervlak en het vloei baar polymeer doet harden tot een vast polymeer, waar dit in contact komt met het licht; en (e) stoppen van het toepassen van het licht op het polymeer, waarbij een vast gehard polymeer achterblijft 20 op tenminste delen van het substraat.

2. Werkwijze voor de vervaardiging van print-platen volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de luchtspleet tussen het foto tooi en het met vloeibaar polymeer bekleed oppervlak, wanneer het foto tooi in contact wordt gebracht 25 met de lichtstraling, wordt gehandhaafd op ongeveer 5 tot 500 mils.

3. Werkwijze voor de vervaardiging van print-platen volgens conclusie 2, met het kenmerk,dat het substraat een metaalbekleding heeft op tenminste een kant en het vloeibare 30 polymeer, dat vloeibaar gebleven is na de trap waarin het foto tooi in contact is gebracht met de lichtstraling, wordt verwijderd door in contact brengen met een waterige oplossing, waarin het polymeer tenminste ten dele oplosbaar is, waardoor de metaalbekleding gedeeltelijk wordt blootgelegd.

35 U. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens 8200133 - 33 - volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het vloeibaar polymeer materiaal wordt aangebracht op het substraat in een dikte van ongeveer 0,1 tot 10 mils door rolbekleden.

5. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten 5 volgens conclusie met het kenmerk, dat het rolbekleden omge keerd rolbekleden is, waarbij de bekleding een dikte heeft van ongeveer 0,5 tot 5 mils.

6. Werkwijze voor de vervaardiging van printplaten volgens conclusie U, met het kenmerk, dat de niet- 10 coherente gecollimeerde lichtstraling een half hoek heeft van niet meer dan ongeveer 1,5° -en een beelddeviatie van niet meer dan ongeveer 0,25 mil.

7. Werkwijze voor de vervaardiging van printplaten, met het kenmerk, dat 15 (a) een substraat wordt verschaft. (b) tenminste een deel van het substraat in contact wordt gebracht met een vloeibaar polymeer materiaal, dat kan worden gehard door middel van niet-coherente gecollimeerde lichtstraling, 20 (c) een foto tool dichtbij het met vloeibaar polymeer bekleed oppervlak wordt geplaatst. (d) het foto tooi in contact wordt gebracht met niet-coherente gecollimeerde lichtstraling met een half hoek van niet meer dan ongeveer 3° en een beelddimensieafwijking 25 faktor van niet meerdan ongeveer 0,5 mil, waarbij het licht selectief passeert door delen van het foto tooi, contact maakt ' met het met vloeibaar polymeer bekleed oppervlak en het vloei bare polymeer doet harden tot een vast polymeer, waar dit in contact komt met het licht; 30 (e) onderbreken van het toepassen van de licht straling en verwijderen van het niet geharde vloeibare polymeer, waarbij een vast gehard polymeer achterblijft op tenminste delen daarvan; (f) behandelen van de gebieden, die niet bedekt 35 zijn door het geharde vloeibare polymeer, voor verkrijgen van 8200133 - 34 - een "bepaalde schakeling; en (g) verwijderen van het geharde vloeibare polymeer van het substraat.

8. Werkwijze voor de vervaardiging van print- 5 platen volgens conclusie 7> met het kenmerk,dat de luchtspleet tussen het foto tooi en het met vloeibaar polymeer bekleed oppervlak, wanneer het foto tooi in contact wordt gebracht met de lichtstraling, wordt gehouden op ongeveer 5 tot 500 mils.

9. Werkwijze voor het vervaardigen van print-10 platen volgens conclusie 7» met het kenmerk, dat het substraat een metaalbekleding heeft op tenminste éên kant; het vloeibare polymeer dat vloeibaar is gebleven na de trap waarin het foto tooi in contact is gebracht met de lichtstraling, wordt verwijderd door dit in contact te brengen met een waterige op-15 lossing waarin het vloeibare polymeer tenminste ten dele oplosbaar is en het geharde polymeer wordt verwijderd door contact met een waterige oplossing, die kationen bevat afkomstig van een sterke base.

10. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten 20 volgens conclusie 9» met het kenmerk, dat de kationen afkomstig van een sterke base worden gekozen uit de groep, die bestaat uit natrium, kalium en ammoniumkationen.

11. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat het vloeibare polymeer- 25 materiaal op het substraat wordt aangebracht in een dikte van ongeveer 0,1 tot 10 mils door rolbekleden.

12. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 11, met het kenmerk, dat het rolbekleden omgekeerd rolbekleden is, waarbij de bekleding een dikte heeft 3. van ongeveer 0,5 tot 5 mils.

13. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 11, met het kenmerk, dat de niet-coherente gecollimeerde lichtstraling een half hoek heeft van niet meer dan ongeveer 1,5° en een beelddeviatie van niet meer dan ongeveer 35 0,25 mil. 8200 133 - 35 - 1U. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 11, met het kenmerk, dat het vloeibare polymeer in hoofdzaak bestaat uit een urethaanmolekuul met eindstandige onverzadiging aan een einde en een eindstandige carboxylgroep 5 aan het andere einde.

15. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 1U, met het kenmerk, dat het vloeibare polymeer hoofdzakelijk bestaat uit een polymeer met de formule 1 van het formuleblad, waarin een alkylgroep is met 1 tot 6 koolstof- 10 atomen, R^ het organisch deel is van een diisocyanaat en een alicyclische, aryl, alkyl of aralkylgroep is en (ΡΕ)χ een polyester of polyetherverlengingsketeneenbeid is, waarin X een geheel getal van 2 tot 50 is.

16. Werkwijze voor de vervaardiging van print- 15 platen volgens conclusie 15» met het kenmerk, dat het vloeibare polymere materiaal een methacrylaat met carboxyleindgroepen en een fotosensibiliseermiddel bevat.

17. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 16, met het kenmerk, dat het vloeibare 20 polymere materiaal een verknopingsmiddel met eindstandige onverzadigde groepen bevat.

18. Werkwijze voor de vervaardiging van printplaten volgens conclusie 16, met het kenmerk, dat het vloeibare polymere materiaal een verknopingsmiddel met eindstandige 25 thiolgroepen bevat.

19. Werkwijze voor de vervaardiging van printplaten, met het kenmerk, dat (a) een substraat wordt verschaft» (b) tenminste een deel van het substraat wordt 30 bekleed met een vloeibaar polymeer materiaal, dat kan worden gehard door middel van niet-coherente gecollimeerde lichtstraling; (c) een foto tooi dichtbij het met vloeibaar polymeer bekleed oppervlak wordt geplaatst; 35 (d) het foto tooi in contact wordt gebracht 8200133 -36-. met de gecollimeerde lichtstraling met een half hoek van niet meer dan ongeveer 3° en een heelddimensiedeviatiefaktor van niet meer dan ongeveer 0,5 mil, waarbij de lichtstraling selectief passeert door delen van het foto tooi, in contact komt 5 met het met vloeibaar polymeer bekleed oppervlak, het vloeibaar polymeer doet harden tot een vast polymeer waar dit in contact komt met de lichtstraling; (e) het toepassen van lichtstraling wordt gestopt en het niet geharde vloeibare polymeer wordt verwijderd, 10 waarbij op tenminste delen daarvan een vast gehard polymeer achterblijft; (f) afzetten van metalen op gebieden van het substraat, waarvan het vloeibare polymeer is verwijderd; (g) het geharde vloeibare polymeer wordt ver- 15 wijderd; en (h) de gebieden, die niet bedekt zijn met het afgezette metaal, worden behandeld voor verkrijgen van een bepaalde schakeling.

20. Werkwijze voor de vervaardiging van print-20 platen volgens conclusie 19» met het kenmerk, dat de luchtspleet tussenbet foto tooi en het met vloeibaar polymeer bekleed oppervlak, wanneer het foto tooi in contact wordt gebracht met de lichtstraling, ongeveer 5 tot 500 mils is.

21. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten 25 volgens conclusie 19» met hst kenmerk, dat het substraat een metalen bekleding heeft op tenminste één kant, het vloeibare polymeer dat vloeibaar gebleven is na de trap waarin het foto tooi in contact is gebracht met de lichtstraling, wordt verwijderd door contact met een waterige oplossing waarin het 30 vloeibare polymere tenminste ten dele oplosbaar is; en het geharde polymeer wordt verwijderd door contact met een waterige oplossing, die kationen bevat afgeleid van een sterke base.

22. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 21, met het kenmerk, dat de kationen, 35 afkomstig van een sterke base, gekozen zijn uit de groep, die bestaat uit natrium, kalium en ammoniumionen. 82 0 0 1 3 3 -37 - ..

23. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 19, met het kenmerk, dat het vloeibare polymere materiaal op het substraat wordt aangebracht in een dikte van ongeveer 0,1 tot 10 mils door rolbekleden. 5 2U, Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 23, met het kenmerk, dat het rolbekleden ongekeerd rolbekleden is, waarbij de bekleding een dikte hééft van ongeveer 0,5 tot 5 mils.

25. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten 10 volgens conclusie 23, met het kenmerk, dat de niet-coherent gecollimeerde lichtstraling een half hoek heeft van niet meer dan ongeveer 1,5° en een beelddeviatie van niet meer dan ongeveer 0,25 mil.

26. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten 15 volgens conclusie 23, met het kenmerk, dat het vloeibare polymeer hoofdzakelijk bestaat uit een urethaanmolekuul met eindstandige onverzadiging bij een einde en een eindstandige carboxylgroep aan het andere einde.

27. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten 20 volgens conclusie 25, met het kenmerk, dat het vloeibare polymeer in hoofdzaak bestaat uit een polymeer met de formule 1 van het formuleblad, waarin R^ een alkylgroep is met 1 tot 6 koolstofatomen, Rg een organisch deel van een diisoeyanaat is en een alicyclische, aryl, alkyl of aralkylgroep is en (ΡΕ)χ 25 een polyester of polyether verlengingsketeneenheid is, waarin X een geheel getal van 2 tot 50 is.

28. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 25, met het kenmerk, dat het vloeibare polymere materiaal een methacrylaat met eindstandige carboxyl- 30 groepen en een fotosensibiliseermiddel bevat.

29. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 28, met het kenmerk, dat het vloeibare polymere materiaal een verknopingsmiddel met eindstandige onverzadiging bevat.

30. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 28, met het kenmerk, dat het vloeibare 8200133 t t s ' - 38 - polymeer een materiaal een verknopingsmiddel met eindstandige thiolgroepen bevat.

31. Werkwijze voor selectief afzetten van soldeer op bepaalde delen van een printplaat, met het kenmerk, dat 5 (a) een printplaat wordt verschaft met een schakeling op tenminste een kant daarvan; gebracht (b) de printplaat in contact wordt / met een vloeibaar polymeer materiaal, dat gehard kan worden door middel van niet-coherente gecollimeerde lichtstraling, en in de geharde 10 toestand bestand is tegen de temperatuur van het gesmolten soldeer; (c) een foto tooi dichtbij het beklede oppervlak wordt geplaatst, waarbij het foto tooi ondoorschijnend is voor de lichtstraling op gebieden, waarop gesmolten soldeer moet 15 worden afgezet; (d) het foto tooi in contact wordt gebracht met niet-coherente gecollimeerde lichtstraling met een half hoek van niet meer dan ongeveer 3° en een beeldafmetingdeviatiefaktor van niet meer dan ongeveer 0,5 mil. waarbij het licht selectief 20 passeert door niet doorschijnende delen van het foto tooi, contact maakt met de vloeibare polymeerbekleding en het vloeibare polymeer doet harden tot een vast polymeer, waar dit in contact komt met de lichtstraling; wordt (e) het toepassen van de lichtstraling/onderbroken, wordt 25 het niet geharde vloeibare polymeer/verwijderd, waarbij vast gehard polymeer achterblijft op tenminste een deel daarvan; en (f) afzetten van soldeer op gebieden, waarvan niet gehard vloeibaar polymeer verwijderd is.

32. Werkwijze voor selectief afzetten van soldeer 30 op bepaalde delen van een printplaat volgens conclusie 31, met het kenmerk, dat de luchtspleet tussen het fototool en het met vloeibaar polymeer bekleed oppervlak, wanneer het fototool in contact is met de lichtstraling, ongeveer 5 tot 500 mils is.

33. Werkwijze voor selectief afzetten van 35 soldeer op bepaalde delen van een printplaat volgens conclusie 31, 8200133 ¥ -* * - 39 - T· V? met het kenmerk» dat de schakeling van koper is; het vloeibare polymeer dat vloeibaar gebleven is na de trap waarin het foto tooi in contact is geweest met de lichtstraling, wordt verwijderd door contact met een waterige oplossing, waarin het 5 vloeibare polymeer tenminste ten dele oplosbaar is. 31*. Werkwijze voor selectief af zetten van soldeer op bepaalde delen van een printplaat volgens conclusie 33, met het kenmerk, dat de waterige oplossing hoofdzakelijk bestaat uit water en een component, gekozen uit de groep, die bestaat 10 uit natriumhydroxyde, natriumcarbonaat, natriumbicarbonaat, natriumsulfiet, kaliumhydroxyde, kaliumcarbonaat, kaliumbi-carbonaat, kaliumsulfiet, ammoniumhydroxyde, ammoniumcarbonaat en mengsels daarvan.

35. Werkwijze voor selectief afzetten van soldeer 15 op bepaalde delen van een printplaat volgens conclusie 33, met het kenmerk, dat het vloeibare polymere materiaal op de geleidende metaallaag wordt aangebracht in een dikte van ongeveer 0,1 tot 10 mils door rolbekleden.

36. Werkwijze voor selectief afzetten van soldeer 20 op bepaalde delen van een printplaat volgens conclusie 35, met het kenmerk, dat het rolbekleden omgekeerd rolbekleden is en de bekledingsdikte van 0,5 tot 5 mils is.

37. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 35, met het kenmerk, dat de niet-coherente 25 gecollimeerde lichtstraling een half hoek bseft van niet meer dan 1,5° en een beelddeviatie van niet meer dan ongeveer 0,25 mil.

38. Werkwijze voor selectief afzetten van soldeer op bepaalde delen van een printplaat volgens conclusie 35, 30 met het kenmerk, dat het vloeibare polymeer in hoofdzaak bestaat uit een urethaanmolekuul met eindstandige onverzadiging aan een einde en een eindstandige carboxylgroep aan het andere einde.

39· Werkwijze voor selectief afzetten van soldeer 35 op bepaalde delen van een printplaat volgens conclusie 38, 8200133 - ko - waarin het vloeibare polymeer in hoofdzaak bestaat uit een polymeer met de formule 1 van het formuleblad, waarin een alkylgroep met 1 tot 6 koolstofatomen is, R^ het organisch deel van een diisocyanaat is en een alicyclische, aryl, alkyl of 5 aralkylgroep is, en (PE)^ een polyester of polyether verlengings- keteneenheid is, waarin X een geheel getal van 2 tot 50 is. ^0. Werkwijze voor selectief afzetten van soldeer op bepaalde delen van een printplaat volgens conclusie 39, met het kenmerk, dat het vloeibare polymere materiaal een 10 methacrylaat met eindstandige carboxylgroepen en een fotosensibi- liseermiddel bevat. 1*1. Werkwijze voor selectief af zetten van soldeer op bepaalde delen van een printplaat volgens conclusie 39, met het kenmerk, dat het vloeibare polymere materiaal een 15 verknopingsmiddel met eindstandige onverzadiging bevat. k2. Werkwijze voor selectief afzetten van soldeer op bepaalde delen van printplaat volgens conclusie 39, met het kenmerk, dat het vloeibare polymeer een materiaal een verknopingsmiddel met eindstandige tbiolgroepen bevat. 20 ^3. Inrichting voor vervaardigen van print- platen, met het kenmerk, dat deze bevat' (a) organen voor bekleden van tenminste een deel van een kant van een onbehandelde plaat met een vloeibaar polymeer; 25 (b) organen voor handhaven van de met polymeer beklede onbehandelde plaat in een bepaalde positie; (c) een niét-coherente gecollimeerde lichtbron met een half hoek van niet meer dan ongeveer 3° en een beeld-dimensiedeviatiefaktor van niet meer dan ongeveer 0,5 mil, 30 zo geplaatst, dat het licfcb daarvan contact maakt met het orgaan dat de onbehandelde plaat vasthoudt; (d) een foto tooi samenstel, geplaatst boven het orgaan, dat de onbehandelde plaat vasthoudt en in de weg van de niet-coherente gecollimeerde lichtbundel; en 35 (e) organen voor aktiveren van de lichtbron 8200133 - 41 - gedurende een bepaalde tijd.

44. Inrichting voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 43, met het kenmerk, dat de onbehandelde plaat op zijn plaats wordt gehouden door middel van terugtrek- 5 bare geleidepennen en het orgaan, dat de bepaalde positie handhaaft, een tafel is met een aantal gaten in het bovenoppervlak, waardoor een vacuum wordt getrokken voor vasthouden van de onbehandelde plaat op het bovenoppervlak.

45. Inrichting voor vervaardigen van printplaten 10 volgens conclusie 44, met het kenmerk, dat de tafel meerdere inwendige kamers heeft, waarbij een vacuum selectief op de vele gaten kan worden getrokken, die passeren door het bovenoppervlak van de tafel.

46. Inrichting voor vervaardigen van printplaten 15 volgens conclusie 43, met het kenmerk, dat het bekledings- orgaan een rolbekleder is.

47. Inrichting voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 43, met het kenmerk, dat de rolbekleder terugtrekbaar passeert over de onbehandelde plaat.

48. Inrichting voor vervaardigen van print platen volgens conclusie 46, met het kenmerk, dat de rolbekleder stationair is en de onbehandelde plaat door de rolbekleder passeert.

49. Inrichting voor vervaardigen van printplaten 25 volgens conclusie 43, met het kenmerk, dat het foto tool- samenstel een vacuumorgaan bevat voor in positie houden van het foto tooi.

50. Inrichting voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 43, met het kenmerk, dat deze omvat een 30 orgaan voor bewegen van het foto toolsamenstel tot dichtbij het orgaan voor in positie houden van de onbehandelde plaat en daaruit vandaan.

51. Inrichting voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 43, met het kenmerk, dat een bekledings- 35 orgaan een rolbekleder is, die terugtrekbaar geplaatst is 8200133 - 1+2 - 'V*' dichtbij het orgaan voor bekleden van de onbehandelde plaat en die de onbehandelde plaat bekleedt wanneer deze in een bepaalde positie wordt gehouden.

52. Inrichting voor vervaardigen van printplaten 5 volgens conclusie 1+3, met het kenmerk, dat het bekledingsorgaan stationair is en de onbehandelde plaat passeert door het bekledingsorgaan om te worden bekleed.

53. Inrichting voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 1+3, met het kenmerk, dat de lichtbron een 10 kwikboogbron is. 5l+. Inrichting voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 1+3, met hst kenmerk, dat de lichtbron een kwik-zenonbron is.

55. Meerkamervacuumtafel, die een basisorgaan 15 bevat, een aantal continue wanden met uniforme hoogte, die zich daar vandaan naar boven uitstrekken, deze continue wanden bepaalde gebieden begrenzen; een bovenorgaan met een aantal openingen daardoorheen die afsluitbaar contact maken met het bovendeel-van de wanden voor vormen van een aantal afgesloten 20 kamers; en organen voor verbinden van elk van de kamers met een inrichting voor trekken van een vacuum.

56. Meerkamervacuumtafel volgens conclusie 55, met het kenmerk, dat er een aantal tot vier kamers is.

57· Meerkamervacuumtafel volgens conclusie 55, 25 met het kenmerk, dat het bovenorgaan een aantal evenwijdige kanalen op het bovenoppervlak daarvan heeft, welke kanalen zich uitstrekken van een einde van het orgaan naar het andere.

58. Vacuumtafel, waarop selectief een vacuum kan worden getrokken, welke tafel omvat een bovenoppervlak 30 met gaten, die zich daardoorheen uitstrekken naar een omhulling en organen voor aantonen van een vacuum op de omhulling; de gaten ingelaten zijn voor opnemen van kogels, die de gaten kunnen afsluiten, wanneer in de omhulling een vacuum wordt getrokken.

59. Vacuumtafel volgens conclusie 58, met het kenmerk, 8200133 - U3 - dat de tafel van een niet-magnetisch materiaal is en de kogels magnetisch zijn.

60. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten, met het kenmerk, dat 5 (a) een substraat wordt verschaft; (b) tenminste een deel van het substraat wordt bekleed met een vloeibaar polymeer materiaal, dat kan worden gehard tot een vaste stof door middel van niet-coherente gecollimeerde lichtstraling; 10 (c) een patroon van gecollimeerde niet-coherente lichtstraling wordt geprojekteerd, welke lichtstraling van een patroon is voorzien door een patroonorgaan, dat niet in contact is met de vloeibare polymeerbekleding; (d) de bekleding van vloeibaar polymeer materiaal 15 wordt blootgesteld aan het geprojekteerde patroon van gecollimeerde niet-coherente lichtstraling en het polymeer materiaal wordt gehard tot een vast polymeer volgens het patroon van het gecollimeerd niet-coherent licht en het vloeibare polymeer buiten het patroon van het gecollimeerde niet-coherente licht 20 in niet geharde toestand wordt gehouden; en (e) het niet geharde vloeibare polymeer wordt verwijderd, waarbij het vaste polymeer in het patroon op de printplaat achterblijft.

61. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten 25 volgens conclusie 60, met het kenmerk, dat de hoek van de vertikale randen van de fotoresist binnen ongeveer + graden van de vertikaal is.

62. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 60, met het kenmerk, dat de niet-coherente 30 gecollimeerde lie hfcstraling een halfhoek heeft van niet meer dan ongeveer 3°, gemeten door de hoeken van de vertikale randen van de fotoresist.

63. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 60, met het kenmerk, dat de bekledingsmethode 35 (b) wordt uitgevoerd door rolbekleden. 8200133 / .. ·' " -- kk - 6U. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 62, met het kenmerk, dat methode (c) wordt uitgevoerd door een foto tooi buiten contact met, maar dichtbij de vloeibare polymeerbekleding te plaatsen en het foto tooi 5 in contact te brengen met niet-coherente gecollimeerde licht straling, een deel van de niet-coherente gecollimeerde lichtstraling gevoerd wordt door het foto tooi, welk deel van de niet-coherent gecollimeerde lichtstraling, die passeert door het foto tooi, het geprojekteerde patroon van niet-coherente 10 gecollimeerde lichtstraling vormt.

65. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 6k, met het kenmerk, dat de beeldafmeting-deviatiefaktor meer dan ongeveer 0,5 mil is en een luchtspleet tussen het fototool en het met vloeibaar polymeer beklede opper- 15 vlak wordt" gehandhaafd van ongeveer 5 tot 500 mils.

66. Werkwijze voor vervaardigen van printplaten volgens conclusie 60, met het kenmerk, dat de bekleding (b) een dikte heeft van ongeveer 0,1 tot 10 mils.

67. Werkwijze voor vervaardigen "van printplaten 20 volgens conclusie 65, met het kenmerk, dat het bekleden (b) wordt uitgevoerd door omgekeerd rolbekleden in een dikte van ongeveer 0,5 tot 5 mils, de halfhoek niet meer dan 1,5° en de beelddeviatie niet meer dan 0,25 mil is. 25 82 0 0 1 3 3