NL8020334A - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
NL8020334A
NL8020334A NL8020334A NL8020334A NL8020334A NL 8020334 A NL8020334 A NL 8020334A NL 8020334 A NL8020334 A NL 8020334A NL 8020334 A NL8020334 A NL 8020334A NL 8020334 A NL8020334 A NL 8020334A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
conductive
strips
level
slices
substrate
Prior art date
Application number
NL8020334A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Mostek Corporation Te Carrollton, Texas, Ver. St. V. Am.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mostek Corporation Te Carrollton, Texas, Ver. St. V. Am. filed Critical Mostek Corporation Te Carrollton, Texas, Ver. St. V. Am.
Publication of NL8020334A publication Critical patent/NL8020334A/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/02Containers; Seals
    • H01L23/04Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls
    • H01L23/053Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls the container being a hollow construction and having an insulating or insulated base as a mounting for the semiconductor body
    • H01L23/057Containers; Seals characterised by the shape of the container or parts, e.g. caps, walls the container being a hollow construction and having an insulating or insulated base as a mounting for the semiconductor body the leads being parallel to the base
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5383Multilayer substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19107Disposition of discrete passive components off-chip wires

Description

80 2 0 3 3 br1- N.O. 30281 1 CHIPBEHUIZING MET TWEE ONDERLING IN LIJN GELEGEN BOVEN/ONDER...... .....| I ! GEPLAATSTE CHIPS.
I ! ACHTERGROND VAN DE UITVINDING. ! ; Gebied van de uitvinding: j
De onderhavige uitvinding heeft in zijn algemeenheid betrekking op i elektronische behuizingen, en heeft meer in het bijzonder betrekking op j 5; tussenlaags en binnenlaags gepositioneerde verbindingsmiddelen voor j i ; 1 modules met meerdere chips.
' Beschrijving van de stand der techniek:
De verpakking van elektronische apparatuur is een belangrijke fac-: tor geworden bij het ontwerpen en vervaardigen van hedendaagse elektro-10 nische stelsels. Nieuwe verpakkingstechnieken zijn nodig om te voldoen j : i
i aan de vraag naar gereduceerde fysische afmetingen en verbeterde be-| i trouwbaarheid bij lagere kosten. Het probleem van een efficiënte ver- I
pakking is in het bijzonder belangrijk in elektronische circuits, waarin microcircuitstrukturen worden gebruikt van het type, geïmplementeerd 15 door LSI-technieken op een halfgeleidersubstraatchip.
Conventionele elektronische ciruitbehuizingen voor halfgeleider-i i chips zijn aangepast om de chipinrichtingen te omsluiten en hermetisch | j af te sluiten, terwijl ze ook zorgen voor warmtedissipatie, strukturele ondersteuning, elektrische aansluiting van de inrichtingsleidingen naar | I : \ 20 externe connectorpennen, en elektrische verbindingen met andere inrich- ! tingen in de behuizing. Dergelijke behuizingen zijn op gebruikelijke | wijze gevormd uit een of meer lagen van een niet geleidende substraat- | ; plak met een centrale holte waarin de halfgeleiderchip wordt ontvangen.
1 I
: Flexibele metalen leidingen verlopen tussen de lagen naar de centrale j I 25 holte voor verbindingen met de ingangs/uitgangsleidingen van de inrich-| : ting. Vanwege de industriestandaarden die betrekking hebben op de uit- | wendige afmetingen van elektronische circuitbehuizingen, met inbegrip | van de tussenafstand tussen de leidingen en tussen de rijen van leidin- j | gen in hèt geval van standaard behuizingen met dubbele onderling in | ! i i 30 : lijn gelegen contactrijen, heeft de aanwezigheid van meerdere flexibele ! ! ‘ i | metalen leidingen het aantal circuitinrichtingen, dat in een standaard ; behuizing kan worden ingekapseld, beperkt.
! Er bestaat een voortdurende interesse in vergroting van de inrich- ! | tingsbehuizingsdichtheid, in het bijzonder voor halfgeleidergeheugen- j 135 i circuits die gebruikt worden in met hoge snelheid werkende dataverwer- kingscircuits, bijvoorbeeld willekeurig toegankelijke geheugencircuits j i (RAM) geïmplementeerd door MOS/LSI technieken op halfgeleidersubstraat-| chips. Een bepaalde industrie behuizingsstandaard voor geheugeninrich- 8 02 0 3 3 4 2 : tingen specificeert een rij-tussenafstand van 300 mil met externe con-; ! tactpennen waarvan de middens op 100 mil van elkaar staan in elke rij. j | De geheugencapaciteit voor deze standaardbehuizing kan worden verhoogd | i vanaf een paar 8 Kbit RAM inrichtingen tot een paar 16 Kbit RAM inrich- 5i tingen of tot een paar 64 Kbit RAM inrichtingen.
! | : Als de geheugencapaciteit van de chips groter wordt, dan neemt ook ! het substraatoppérvlak nodig voor de implementatie van het vergrote ge-] ! ! heugen toe, waardoor het gebied dat beschikbaar is voor bevestiging van | I [ I ! de inrichtingsleidingen in een behuizing met standaard afmetingen tot | 10; een minimum wordt gereduceerd. Er zijn daarom diverse pogingen onderno- 1 ' j i men om de behuizing opnieuw te ontwerpen teneinde een grotere chipholte : te verschaffen. Het zal worden begrepen dat het montagegebied dat voor
j j I
i het inrichtingssubstraat voor een gegeven standaardbehuizing beschik-i baar is noodzakelijkerwijze begrensd is door de ruimte die nodig is j 15 voor aanhechting van de inrichtingsleidingen en door de minimale afmetingen die nodig zijn om een hermetische afdichting te verschaffen. De : conventionele tweevoudige chipbehuizing met in lijn gelegen contacten j | is daaruit, vanwege de beperking aan geheugensubstraatoppervlak, gere- [ ; sulteerd en heeft een verdubbelde geheugencapaciteit terwijl ze voldoet j 20 aan de standaarden voor de leidingsrijen. Alhoewel de geheugencapaciteit kan worden vergroot door verdere geheugenchips in tandem, in de ; uitgelijnde relatie met de standaard tweevoudige uitgelijne chipconfi- guratie, toe te voegen hebben dergelijke configuraties vanwege de vast-i 1 i gestelde standaarden voor de onderlinge tussenafstand tussen de lei- 25' dingmiddens en het maximum aantal externe pennen en de behuizingslengte ' geen algemeen verbreide acceptatie bereikt. Derhalve bestaat er een se- | | rieuze en voortdurende behoefte aan een verbeterde elektronische cir- I cuitsbehuizing waarin de inrichtingsdichtheid aanzienlijk kan worden i ! I vergroot terwijl- wordt voldaan aan de gevestigde industriebehuizings-30! standaarden.
i ! ! i ; | | BEKNOPTE BESCHRIJVING VAN DE DOELSTELLINGEN VAN DE UITVINDING j j De belangrijkste doelstelling van onderhavige uitvinding is der- i ; halve het verschaffen van een elektronische circuitverpakking met een ; 35j aanzienlijk toegenomen inrichtingsverpakkingsdichtheid, welke voldoet ! | ! i aan de gevestigde standaarden.
I j i
Een gerelateerde doelstelling is het verschaffen van een elektro- \ : nische circuitverpakking voor het inkapselen en onderling verbinden van : meerdere halfgeleiderchips. ; 401 Een andere doelstelling van de uitvinding is het vérschaffen van 8 02 0 3 3 4 3 een elektronische circuitverpakking voor het inkapselen en onderling j ! verbinden van vier identieke halfgeleiderchips voor multiplex bedrijf.
i I
Nog een andere doelstelling van de uitvinding is het verschaffen ί van een elektronische circuitverpakking voor het inkapselen en onder-5 ling verbinden van meerdere paren halfgeleidercircuitinrichtingen in een tweevoudige in lijn gelegen chipconfiguratie met boven en onder geplaatste chips, waarbij elke chipinrichting onafhankelijk van de andere j I i : chipinrichtingen kan worden bedreven op een multiplexbasis met slechts ; een minimum aantal uitwendige connectorpennen.
| io
KORTE BESCHRIJVING VAN DE UITVINDING
De bovenstaande doelstellingen zijn gerealiseerd door een vertika- i Ie gestapelde array van substraatplakken, die een steunkem vormen waarin vensters zijn gevormd voor het afzonderlijk ontvangen en monte- 15 ren van halfgeleidercircuitinrichtingchips. Inrichting draagoppervlak- : I ken en aansluitoppervlakken voor de inrichtingsleidingen zijn bloot ge- ! ; legd door elk venster op een of meer van de substraatplakken. Geleiden- j ; de tussenniveaustrippen zijn afzonderlijk aangebracht op elk geleider- | ; verbindingsoppervlak voor bevestiging aan de ingangs/uitgangsleidingen j 20 van elke halfgeleiderchip en strekken zich uit langs het verbindings- ; | vlak van een of meer op elkaar geplaatste paren van substraatplakken ; voor verbinding met externe connectorpennen. Geleidende tussenniveau-I i ! ! verbindingen zijn ingebed in een of meer van de substraten om de gelei-I ! | dende binnenniveaustrippen van het ene substraatniveau te verbinden met i 25| de geleidende binnenniveaustrippen van een ander niveau. ! ! j In een voorkeursuitvoeringsvorm zijn vier identieke RAM chips in- ; i : gekapseld en onderling verbonden voor multiplexbedrijf in een tweevou- j ! ' ' ; dige uitgelijnde configuratie met boven- en onderligging. In deze con- ! ; figuratie zijn twee RAM chips gemonteerd in lijn ten opzichte van el- i I ! I 30; kaar op een gemeenschappelijke substraatplak op een bovenniveau en twee ! | RAM chips zijn gemonteerd op een gemeenschappelijke substraatplak op ! i een onderniveau. Corresponderende data- en vermogensaansluitingen van [ : i de chips op het bovenniveau zijn gemeenschappelijk verbonden met elkaar ; en met een gemeenschappelijke externe pen door de combinatie van gelei-35| dende binneniveaustrippen die zich uitstrekken door het koppelvlak van [ de aangrenzende substraatplakken op eerste en tweede niveau's en door | geleidende tussenniveauverbindingen die de substraatplak waarop de inrichtingsleidingen zijn aangehecht doorsnijden en daarin zijn ingebed.
: Identieke vermogens- en data-aansluitingen van de onderste RAM chips 40 zijn op soortgelijke wijze onderling met elkaar verbonden en verbonden 802 03 3 4
.....i.C
4 met de corresponderende data- en vermogensaansluitingen van de bovenste RAM chips via een tussenliggende groep van geleidende binnenniveau-strippen en door geleidende tussenniveauverbindingen die de substraat- i ' ; plakken, die het koppelvlak bepalen langs welke de tussenliggende groep I 5; van geleidende binnenniveaustrippen zijn geplaatst, doorsnijden.
I De nieuwe kenmerken die de uitvinding karakteriseren zijn gedefi- ! nieerd door de aanhangende conclusies. De bovenstaande en andere doelstellingen, voordelen en kenmerken van de uitvinding zullen in het vol-: gende duidelijk worden en met het doel de uitvinding te illustreren, ; 10 maar niet daartoe te beperken, is als voorbeeld een uitvoeringsvorm van i de uitvinding getoond in de aanhangende tekening.
| ; KORTE BESCHRIJVING VAN DE TEKENING
i 1 'j j ! FIGUUR 1 is een samengesteld perspectief aanzicht van een elektro- 15i nische circuitbehuizing met een duale uitgelijnde configuratie van ; chips in boven- en onderligging volgens de uitvinding; FIGUUR 2 toont een perspectief aanzicht van de behuizingssamen-stelling getoond in FIGUUR 1 waarbij de hermetische afdichtingsdeksels zijn verwijderd; j : 20 FIGUUR 3 toont een uiteen genomen perspectief aanzicht van de j | ; meervoudige chipbehuizingssamenstelling getoond in FIGUUR 1; ! | FIGUUR 4 toont een vlak onderaanzicht van een vertikale gestapelde j array van substraatplakken welke een steunkern vormen; I FIGUUR 5 toont een doorsnede aanzicht van de steunkern volgens de 25I lijn V-V in FIGUUR 4; FIGUUR 6 toont een deeldoorsnede, welke een voorbeeld illustreert I I ; j i van een configuratie met inrichtingsleidingaanhechting, geleidende bin- ! neniveau- en tussenniveauverbindingen; j FIGUUR 7 toont een uiteen genomen aanzicht van de uit plakken be- j j 30 staande steunkern die de diverse niveau's van geleidende verbindings- ! i j | I strips illustreert; I De FIGUREN 8-12 tonen vlakke aanzichten van metallisatie neersla- j j ; j i gen die de geleidende binnenniveaustrippen en geleidende tusenniveau- ! ' strippen vormen; en, ! 35: FIGUUR 13 toont een blokschema waarin de functie van elk van de : j ; externe pennen van de behuizing getoond in FIGUUR 1 is geïdentificeerd. j i GEDETAILLEERDE BESCHRIJVING VAN DE V00RKEURSUITV0ERINGSV0RMEN 40 In de beschrijving die volgt is de uitvinding beschreven in combi- 8 0 2 0 3" 3 5 I ' natie met willekeurig toegankelijke geheugencircuitinrichtingen (RAM), j | I die geïmplementeerd zijn door MOS/LSI technieken op halfgeleidersub- j | straten. Het zal echter duidelijk zijn dat de behuizingssamenstelling ! | van de uitvinding kan worden gebruikt voor het inkapselen en onderling 5 verbinden van zowel discrete als geïntegreerde ciruitinrichtingen, maar ; in het bijzonder zijn nut heeft voor geïntegreerde schakelingen met j i meervoudige ingangs/uitgangsleidingen. Het zal derhalve begrepen wor-ί ( [ | den, dat de uitvinding kan worden belichaamd in elke willekeurige modu- | laire struktuur die twee of meer circuitsinrichtingen huisvest. Verder I 10! kan de uitvinding worden gebruikt voor het onderling verbinden van actieve of passieve substraatinrichtingen met een veelheid aan circuit-elementen, met inbegrip van maar niet beperkt tot discrete, micro-dis- ! crete en geïntegreerde circuitcomponenten, en hybridecombinaties van I > ! : discrete en geïntegreerde inrichtingen.
! 15 Dezelfde onderdelen zijn in de beschrijving en in de tekeningen ! ! ; gemarkeerd met dezelfde respectievelijke referentiecijfers. De figuren j : i van de tekening zijn niet noodzakelijkerwijze op schaal en in sommige ! j ί gevallen zijn delen vergroot teneinde bepaalde kenmerken van de uitvin- j j ding duidelijker aan te geven. j 20 Met verwijzing naar de tekeningen is in het bijzonder in de FIGÜ- j REN 1, 2 en 3 een meerlaags keramische, meerdere chips bevattende be- i huizingssamenstelling 10 met een tweevoudige uitgelijnde configuratie van chips in boven/onderligging in overeenstemming met de leer van de | ; uitvinding geïllustreerd. De behuizingssamenstelling 10 is voorzien van I 25| een samengestelde kern 12 die doorsneden wordt door vier inrichtings-! holten 14, 16, 18 en 20. De holten zijn afgedicht door metalen deksels | ; 22, 24 die uitgelijnd zijn met de bovenzijde en de onderzijde van de i ί ; kern en afgedicht zijn zowel aan de bovenzijde als aan de onderzijde 1 8020334 door de samenstelling door een standaard afdichtingswerkwijze. De af- ; ( i 130; dichtingswerkwijze wordt uitgevoerd in een stikstof atmosfeer. De dek- i j : seis worden gehecht aan de bovenzijde en de onderzijde van de kern met 1 i j ί een voorgevormde soldeer tussenlaag 25 op de binnenzijde van elk deksel | I en geleidende metallisatie neerslagen 26, 28 langs de boven- en onder- I ' afdichtingsoppervlakken van de kern.
|35 ; De kern is geperforeerd, gemetalliseerd en gesinterd teneinde een | dichte meerlaags keramische kern te vormen. Een brede verscheidenheid ! aan keramische uitgangsmaterialen kan worden gebruikt, bijvoorbeeld j i aluminium, zirconium, aluminiumsilicaten, titaandioxyde of beryliumke- ; ramiek. Met uitzondering van de deksels 22, 24 is de kern 12 gevormd • ! |40i uit een vertikaal gestapelde array van zes keramische substraatplakken, l ‘1 6 ! I beginnend met de bovenste plak 30, de tussenliggende plakken 32, 34, j ! , 36, 38 en een onderste plak 40. Deze keramische lagen zijn gesinterd ] i \ teneinde een monolithische kernstruktuur te produceren. De lagen bestaan uit langgerekte keramische plakken met een lengte van ongeveer i | ; j 5i 1,1 inch, een breedte van 0,29 inch en een dikte van 0,015 inch. De me- i | | tallisatieneerslagen 26, 28 zijn bij voorkeur van een legering van wol- j fram, nikkel en goud. j | De behuizingssamenstelling 10 is een tweevoudige uitgelijnde con- | : figuratie met chips in boven/onderligging voorzien van tweeëntwintig i
j ! I
10 externe connectorpennen 42 gerangschikt in twee parallelle rijen langs j de longitudinale randen van de behuizing. De connectorpenrijen zijn la- j teraal op afstand van elkaar geplaatst met 300 mil tussen de middens | ! ! van de rijen, in overeenstemming met de industriestandaarden. Bovendien ! ! 1 | zijn de aangrenzende pennen 42 in elke rij op afstand van elkaar ge-I 15 plaatst met een tussenafstand van 100 mil tussen de middens van de pen-! nen. De connectorpennen 42 bestaan bij voorkeur uit een 42% nikkel- i
ijzer-legering. Het zal duidelijk zijn dat gedurende de assemblage de I
I i connectorpennen 42 struktureel zijn verbonden met een (niet getoonde) j verbindingsband die integraal gevormd is met de pennen, bij voorkeur I 20; gestanst is uit dezelfde metalen plaat. In de meeste gevallen blijven i de verbindingsbanden aan de verbindingspennen aangehecht alleen voor ! behandelingsdoeleinden en worden voorafgaand aan het uiteindelijke ge-ί bruik afgescheiden.
Voorafgaand aan de assemblage wordt elke keramische plak gestanst I 25 j teneinde de holten en vertikale verbindingsopeningen te vormen en vervolgens gemetalliseerd teneinde de hermetische afdichtingsneerslagen | ! 26, 28 te vormen en de geleidende binnenlveaustrippen en geleidende ! ’ ; tussenniveau verbindingen te vormen waarmee de circuitinrichtingen die | | in de holte worden ontvangen met elkaar worden verbonden» !
| i 'I
i 30! Zoals het best te zien is in de figuren 2 en 3 worden identieke !
! i I
i halfgeleider RAM chips 44A, 44B, 44C en 44D ontvangen in de inrich- i 1 tingsholten. Elke chip is voorzien van identieke ingangs/uitgangslei- j dingen 46, die met elkaar zijn verbonden en verbonden zijn met de ex- j : terne connectorpennen 42 zodat het mogelijk is om de RAM geheugenchips I 35 te bedrijven op een multiplex basis. Alhoewel elke chip voorzien is van | : zestien ingangs/uitgangsleidingen kunnen alle vier de RAM geheugenin- ; ; richtingen op een tijdverdeel- en multiplexbasis worden bedreven via slechts tweeëntwintig externe connectorpennen 42. Volgens deze configu-I i ratie is een 256 K RAM geïmplementeerd in dezelfde behuizing die eerder 5 40 1 gebruikt is voor 16 K en 64 K RAM geheugenbehuizingen, zonder dat de 8 02 0 3 3 4 7 I breedte van de behuizing is gewijzigd. Dit is bereikt door vier 64 K i ! | RAM chips 44A, 44B, 44C en 44D te combineren in de enkele behuizingssa- i menstelling 10. Teneinde binnen de vastgestelde standaardlengtegrenzen j te blijven worden twee RAM chips 44A en 44B gemonteerd in de bovenhol- ! 5; ten en twee RAM chips 44C en 44D worden gemonteerd in de onderholten in i : i ί ; een tweevoudige uitgelijnde chipconfiguratie met boven- en onderlig-l : ' j ging. Deze unieke benadering van de behuizing maakt het mogelijk om ; vier afzonderlijke geheugeninrichtingen te monteren in een enkele stan- ί · ; daardbehuizing.
| 10 Teneinde het opbrengstverlies als gevolg van defecte RAM chips te minimaliseren worden de RAM chips compleet ingebrand, getest en op ί snelheid aangepast voordat ze in de behuizingssamenstelling worden on- ! dergebracht. De RAM chips zijn bij voorkeur gemonteerd op een van een
; patroon voorziene dielektricum/geleiderbandsamenstelling, en worden na ' I
15 het testen gescheiden van de band teneinde ingangs/uitgangsleidingen 46 j > van de inrichting te produceren met een vooraf bepaalde lengte en een ; arraypatroon dat compatibel is met de automatische aanhechtingswerkwij- j : ze. De leidingen 46 worden aangehecht aan de geleidende aanhechteiland- | : jes 48. Elk geleidend aanhechteilandje 48 bestaat bij voorkeur uit een ; 20 samengestelde geleidende strip van wolfram aangebracht door een zijde- ί raster-afdrukwerkwijze, gevolgd door een geplateerde neerslag van nikkel, met een geplateerde goudtoplaag.
De multi-chipbehuizingssamenstelling 10 is een behuizing met meer- ί | ! dere holten waarbij de bovenste substraatlaag 30 en de daarop volgende i I | 25 substraatlaag 32 samenvallende respectievelijke vensteropeningen 50, 52 ί ; : | ; hebben, welke tesamen de inrichtingsholte 14 definiëren. Op soortgelij- j ; ke wijze zijn samenvallende vensteropeningen 54, 56 gevormd in de bo- | venste substraatplakken 30, 32 en in combinatie definiëren deze de hol- i | te 16. Samenvallende vensteropeningen 58, 60 en 62, 64 zijn respectie- 30! velijk gevormd in de onderste substraatplakken 38, 40 teneinde de on- I I ] ί derste inrichtingsholten 18, 20 te definiëren.
I Uit FIGUUR 4 blijkt nu dat de vensteropeningen 58, 60 en 62, 64, ί die de inrichtingsholten 18, 20 vormen rechthoekige, concentrische ope-ningen zijn waarbij de buitenste openingen 60, 64 naar verhouding gro- j ! ; j j35 ter zijn dan de samenvallende binnenste respectievelijke vensteropenin-5 ' gen 58, 62. Door deze configuratie worden ringvormige inrichtingsgelei- j : deraanhechtingsoppervlakken 66, 68 blootgesteld rond de rand van de re- j latief smallere openingen 58 respectievelijk 64. Op dit moment maken de ; geleideraanhechtingsoppervlakken 66, 68 elk deel uit van de onderzijde ! ί 40 van de substraatplak 38 die ligt boven de onderste bodemsubstraatplak 8020334 1: \ 8 40. Soortgelijke ringvormige geleideraanhechtingsoppervlakken 70, 72 ; liggen boot aan de bovenzijde van de bovenste tussenliggende substraat-: plak 32.
Uit de FIGUREN 7 en 8-12 blijkt nu dat geleidende tussenniveau-5; strippen 74 zich uitstrekken over de oppervlakken van de tussenliggende substraatplakken 32, 34, 36 en 38. De geleidende tussenniveaustrippen | i 74 zijn neergeslagen in een ingewikkeld patroon zoals het best te zien : is in dse FIGUREN 8-12. Volgens een vooraf bepaald verbindingsplan ver-: lopen geselecteerde exemplaren van de geleidende tussenniveaustrippen j | i j 10I 74 vanaf de aanhechtingseilandjes 48 langs het grensvlak van de aan- j
i 1 I
| ; grenzende substraatplakken naar de rand van de plak waarop ze zijn i ; | 1 ; neergeslagen om te worden verbonden met een externe connectorpen 42.
Zekere exemplaren van de geleidende tussenniveaustrippen, aangeduid als I de strippen 76 strekken zich uit vanaf de aanhechtingseilandjes over j 15| het oppervlak van de substraatplak en eindigen bij een geleidende bin- l | i | nenniveauverbinding 78 voor verbinding met een geleidende tussenniveau- j ! : strip 74 op het oppervlak van een onderliggende substraatplak.
! j i
De geleidende tussaenniveaustrippen 74 bestaan bij voorkeur uit j wolfram en worden met een zijderasterwerkwijze gedrukt op het plakop- j 20 pervlak in overeenstemming met conventionele druktechnieken. Volgens j | : ! deze verbindingsconfiguratie worden corresponderende pennen van elke j RAM chip 44A, 44B, 44C en 44D, die functioneel gelijkwaardig zijn, met
! , I
i elkaar verbonden en verbonden met een gemeenschappelijke externe con- j j ; nectorpen 42. De inrichtingsleiding nr. 2 van elke RAM chip, hetgeen de I 25 DATA INGANGS-aansluiting is, is bijvoorbeeld verbonden met alle andere DATA INGANGS-aansluitingen nr. 2 door middel van tussenniveau-geleider-j strippen 74, 76 en geleidende binneniveauverbindingen 78, die zijn I neergeslagen op of ingebed in de tussenliggende substraatplakken 32, | 34, 36 en 38.
30| Deze verbinding van de meerdere inrichtingen is mogelijk gemaakt ] | door het aanbrengen van de tussenliggende substraatplak 34, waarvan j •I ! ! | i beide zijden voorzien zijn van geleidende tussenniveaustrippen 74, 76. ! j : De plak 34 wordt doorsneden door geleidende binneniveauverbindingen 78 j : die de tussenniveaustrippen van twee verschillende niveau*s met elkaar i ! I35 ! verbinden. De tussenliggende substraatplak 34 doet dus niet alleen I : i ; dienst voor het verbinden van beide RAM chips in de bovenste uitgelijnde j ! holten 14, 16, maar verbindt tegelijkertijd de RAM chips 44C, 44D in de : onderste in lijn gelegen holten 18, 20 en verbindt tegelijkertijd voor- j | af bepaalde exemplaren van de inrichtingsaansluitingen met een gemeen- 140 i schappelijke functie met een gemeenschappelijke externe connectoren 1 « 0X0X3 4 ~ 9 I 42. Het aanwezig zijn van de tussenliggende substraatplak met geleidende tussenniveaustrippen op beide zijden alsmede geleidende binnenni- ' i ! | i veauverbindingen maakt dsus zowel de horizontale als vertikale onder-I linge verbinding van alle circuitinrichtingen en de externe connector- I j : 5 pennen mogelijk.
i I
t Bovendien zijn de inwendige circuitverbindingen tussen de inrich- 1 ; i ; ! tingen, zoals de gemeenschappelijke aardaansluiting, verschaft door de : geleidende aardstrippen 80, 82 en 84, 86. Zoals blijkt uit de figuren ; 6, 8 en 12 is elke RAM chip voorzien van een inwendige aardaansluiting, I 10; aangeduid met "G", en een behuizingsaardingseilandje 88, dat direct ; | ) aangehecht is aan de onderliggende aardstrip. De aardstrippen zijn al- j
lemaal onderling verbonden door de vertikaal uitgelijnde geleidende I
i binneniveauverbindingen 90, die ingebed zijn in een centrale plaats in
I I
i elke substraatplak. j ; 15' De tussenliggende substraatplakken 34, 36 verschaffen tegelijker- j i tijd een strukturele montagebasis voor elke chip, terwijl de aan de bovenzijde en onderzijde gelegen chips ten opzichte van elkaar worden ge-| ïsoleerd. Het aanbrengen van deze twee tussenliggende substraatplakken : maakt ook het bedrukken van de geleidende tussenniveaustrippen op de i i j ; 20 boven- en onderzijden van de plak 34 mogelijk, hetgeen de sleutel vormt j tot de horizontale en vertikale onderlinge verbindingen waardoor de ge- \ meenschappelijke ingangs/uitgangsaansluitingen van alle vier de RAM j i chips met elkaar worden gekoppeld.
Er wordt op gewezen dat de rij-adres-vrijgeeflijn RAS en de ; ! , 25; kolom-adres-vrijgeeflijn CAS van elke inrichting gescheiden worden ge- ! \ houden ten opzichte van elkaar en elk verbonden zijn met een gemeen- | ! schappelijke externe connectorpen. Dat maakt het mogelijk dat elke j | RAM-chip wordt geselecteerd en gebruikt op een tijdverdeel/multiplexba- • i ; ! j sis. Daarom zijn slechts tweeëntwintig pennen nodig voor het bedrijven 301 van vier RAM chips elk met zestien ingangs/uitgangsaansluitingen.
j I
De meervoudige geleidende tussenniveaustripconfiguratie verschaft j i in samenwerking met de geleidende binnenniveauverbindingen een patroon-: flexibiliteit voor het arrangeren van de aanhechtingseilandjes voor be- ! i | vestiging van de ingangs/uitgangsleidingen van de inrichting. Verder is 35; er geen compromis gesloten omtrent het inrichtingssubstraatoppervlak, j I noch is het hermetische afdichtingsoppervlaktegebled gereduceerd door j ; ί : deze configuratie. De aanhechtingseilandjes behoeven als gevolg daarvan i niet onderling te worden verschoven of ten opzichte van elkaar trapsge-; wijze te worden geplaatst, waardoor het mogelijk is om een simultane | 40 directe aanhechjting van de ingangs/uitgangsleidingen van de inrichting 8 0 2 0 3 3 4 10 I I aan de aanhechtingsellandjes uit te voeren in een automatische aanhech- ! tingsbewerking. De inrichtingsdlchtheid van de behuizing is aanzienlijk j toegenomen van twee inrichtingen tot vier inrichtingen zonder een compromis te treffen omtrent het inrichtingssubstraatgebied of de afdich- j 5i tingsoppervlaktevereisten, terwijl ook de behuizingsdimensies voldoen ! i j i aan de vastgestelde Industriestandaarden.
Alhoewel een bepaalde uitvoeringsvorm van de uitvinding is geïllu-: streerd en in detail is beschreven zal het duidelijk zijn dat diverse j j modificaties kunnen worden uitgevoerd zonder buiten de geest en het ka-10 der van de uitvinding te treden.
; ! ί | i
i ί I
i i i
! ! I
I : | ; i , i , ; I i j ί ;
| I
| i ; i : i ί ; | ! 1 ] j i i ί i ! i ; r 'i | 8020334

Claims (10)

1. Elektronische circuitbehuizing voor het inkapselen van circuit-: inrichtingen elk voorzien van ingangs/uitgangsleidingen, welke behui- ; zing voorzien is van een vertikaal gestapelde array van substraatplak- 5| ken die een steunkern definiëren, welke steunkern holten heeft die een I of meer van de genoemde substraatplakken doorsnijden voor het afzonder- i lijk ontvangen van de circuitinrichtingen; inrichtingsteunoppervlakken i t I l en inrichtingleiding-verbindlngsoppervlakken liggen bloot op een of | ; meer van de genoemde substraatplakken; geleidende tussenniveaustrippen 10. zijn afzonderlijk aangebracht op elk geleiderverbindingsoppervlak voor j | bevestiging aan de ingangs/uitgangsleidingen van een van de circuitin- j ; richtingen; geleidende tussenniveaustrippen van elke groep verlopen | i I langs het tussenvlak van een of meer op elkaar geplaatste paren van I substraatplakken om te worden verbonden met externe connectorpennen; en j 15 geleidende binnenniveaumiddelen zijn ingebed in een of meer van de ge-! noemde substraten voor het onderling verbinden van de geleidende tussenniveaustrippen van het ene niveau met de geleidende tussenniveaustrippen van een verschillend niveau.
2. Elektronische circuitbehuizing als gedefinieerd in conclusie 1, ; 20 waarbij genoemde steunkern voorzien is van tenminste een tussenliggende plak met geleidende tussenniveaustrippen afgezet op beide van zijn in- | I i wendige zijkanten en tenminste een geleidende binnenniveauverbindings- configuratie ingebed in de tussenliggende plak voor het verbinden van | een tussenniveaustrip aan de ene zijde met een tussenniveaustrip aan de j j 25 tegenover liggende zijde van de tussenliggende plak.
3. Elektronische circuitbehuizing als gedefinieerd in conclusie 1, | ' waarbij genoemde steunkern tenminste twee inrichtingsholten bevat ver- < J tikaal boven elkaar geplaatst ten opzichte van elkaar binnen de genoem-! de array en tenminste een tussenliggende substraatplak aangebracht tus-30! sen de genoemde inrichtingsholten.
4. Elektronische circuitbehuizing als gedefinieerd in conclusie 1, ί I i waarbij genoemde steunkern voorzien is van zes rechthoekige plakken ί ! ; waartoe behoort een bovenste paar plakken, een onderste paar plakken en j ; | een tussenliggend paar plakken ingeklemd tussen de bovenste en onderste j35| paren plakken, waarbij de plakken van het bovenste en onderste paar elk | voorzien zijn van samenvallende vensteropeningen die de inrichtingshol- : ten definiëren. i
5. Elektronische circuitbehuizing voor het inkapselen van eerste | en tweede circuitinrichtingen elk voorzien van ingangs/uitgangsgelei-; i i j 40 i ders, welke verpakking voorzien is van een vertikaal gestapelde array ! i : 1020334 V ; van substraatplakken, welke gestapelde array voorzien is van: ! een bovenste plak met een vensteropening; een onderste plak met een vensteropening; tussenliggende plakmiddelen ingebracht tussen de bovenste en on-! 5 derste plakken, welke tussenliggende plakmiddelen bovenste en onderste ; zijoppervlakken hebben samenvallend met de respectievelijke bovenste en i i onderste vensteropeningen, en de bovenste en onderste zijoppervlakken ί i ; ; elk inrichtingssteunoppervlakken en inrichtingsgeleider-aanhechtingsop- i 1 ' | pervlakken toegankelijk via de respectievelijke vensteropeningen bezit-! 10: ten; ! i ’ ; eerste en tweede groepen van geleidende tussenniveaustrippen aan-i gebracht op de bovenste en onderste respectievelijke inrichtingsgelei-; der-aanhechtingsoppervlakken, voor bevestiging van de ingangs/uitgangs-I ! geleiders van de respectievelijke eerste en tweede circuitinrichtingen, : ' i i 15; waarbij geleidende strippen van elke groep zich uitstrekken tenminste gedeeltelijk over de bovenste en onderste zijoppervlakken van de tus- j senliggende plakmiddelen langs het grensvlak van de tussengevoegde ! plakken naar de omtreksrand van de tussengevoegde plakmiddelen om te : worden gekoppeld met externe verbindingspennen. | I 20|
6. Elektronische circuitbehuizing als gedefinieerd in conclusie 5, voorzien van geleidende binnenniveaumiddelen ingebed in de genoemde I j tussenliggende plakmiddelen om een geleidende tussenniveaustrip van de i 1 j ; bovenste groep te verbinden met een geleidende tussenniveaustrip van de i ; onderste groep. j ; i j
7. Elektronische circuitbehuizing voor het inkapselen van eerste en tweede circuitinrichtingen elk met ingangs/uitgangsleidingen, welke | behuizing voorzien is van een vertikaal gestapelde array van substraat- j ; plakken, welke gestapelde array voorzien is van: een bovenste plak met eerste en tweede vensteropeningen op afstand I 30; in een uitgelijnde relatie; ; een onderste plak met een inwendig zijoppervlak gelegen onder de I ; eerste en tweede vensteropeningen, waarbij de zijoppervlakken van de j I ; i i | genoemde onderste plak samenvallen met de eerste en tweede vensterope- j | ningen en elk voorzien zijn van inrichtingssteungebieden en inrich-35! tingsgeleider-steunoppervlakken toegankelijk via de respectievelijke ! vensteropeningen; en, ! eerste en tweede groepen van geleidende strippen aangebracht op de | eerste en tweede respectioevelijke inrichtingsgeleideraanhechtingsop-: pervlakken voor bevestiging van de ingangs/uitgangsgeleiders van de j 40 eerste respectievelijk tweede circuitinrichtingen, waarbij geleidende 8020334 V I strippen van elke groep zich uitstrekken tenminste gedeeltelijk over ; het binnenoppervlak van de onderste plak langs het tussenvlak van de | bovenste en onderste plakken naar de omtreksrand van de onderste plak om te worden verbonden met externe verbindingspennen. 5 i
8. Elektronische circuitbehuizing voor het inkapselen van eerste i en tweede circuitinrichtingen elk met ingangs/uitgangsgeleiders, welke i behuizing voorzien is van een vertikaal gestapelde array van substraat-plakken, welke gestapelde array omvat: | een bovenste paar van op elkaar geplaatste plakken elk met onder- ! 10 ling overlappende oppervlakken en samenvallende vensteropeningen; i een onderste paar van boven elkaar geplaatste plakken elk met on- I . ‘ i derling overlappende oppervlakken en samenvallende vensteropeningen; j waarbij de samenvallende vensteropeningen van elk paar bovenste j ; j i respectievelijk onderste holten definiëren voor het ontvangen van de 15 eerste en tweede respectievelijke circuitinrichtingen, en de venster- ; i opening van de buitenste plak van elk paar tenminste gedeeltelijk ver-! 1 schoven is met betrekking tot de inwendige vensteropening van elke plakholte waardoor tenminste een deel van het plakoppervlak dat de bin- j i i nenste vensteropening omgeeft bloot komt en respectievelijke bovenste i ! 20 en onderste inrichtingsgeleider-aanhechtingsoppervlakken worden gedefi- j i niëerd; tussenliggende plakmiddelen ingeklemd tussen de bovenste en onderste plakparen voor het verschaffen van een steunbasis voor de genoemde | circuitinrichtingen; [ ; : 2. eerste en tweede groepen van geleidende strippen aangebracht op de ! bovenste en onderste respectievelijke inrichtingsgeleider-aanhechtings- | oppervlakken voor bevestiging aan de ingangs/uitgangsgeleiders van de I ! ; I respectievelijke eerste en tweede circuitinrichtingen, en verlopend | tenminste gedeeltelijk over de plak waarin het binnenvenster is gevormd I '' ' 30. langs het tussenvlak van de overlappende plakoppervlakken naar een omtreksrand van de binnenplak van elk respectievelijk plakkenpaar voor j i aansluiting aan een externe verbindingspen. \
9. Elektronische circuitbehuizing als gedefinieerd in conclusie 8, j waarbij de tussenliggende plakmiddelen omvatten eerste en tweede op el- | ; j 35. kaar geplaatste plakken, waarbij een van deze tussenliggende plakken i : voorzien is van geleidende tussenniveaustrippen op zijn beide zijden en | de andere tussenliggende plak voorzien is van geleidende tussenniveau- ; strippen slechts op êên enkele zijde gericht naar een van de holten, en : voorzien van tenminste een geleidende binnenniveauverbindingsconfigura- j [ 40. tie ingebed in elke tussenliggende plak voor het verbinden van tussen- 8020334 *· : niveaustrippen van een niveau met tussenniveaustrippen van een ver-| schillend niveau.
10. Tweevoudige uitgelijnde meerdere chips in boven/onderligging bevattende module voorzien van de combinatie van: \ 5: een vertikaal gestapelde array van substraatplakken die een steun- : kern definiëren, welke steunkem voorzien is van eersate en tweede tus-| senliggende plakken ingeklemd tussen bovenste en onderste plakken, wel-! ke kern eerste en tweede holten heeft die een of meer van de genoemde ; plakken op een hoger niveau doorsnijden en derde en vierde holten die ' I 1. een of meer van de genoemde plakken op een lager niveau doorsnijden i waarbij inrichtingssteunoppervlakken en geleideraanhechtingsoppervlak-I ken zijn blootgesteld op de genoemde tussenliggende plakken; | aanhechtingseilandjes neergeslagen op de geleidingsverbindingsop- ! I I i pervlakken in elke holte; j ] 15j een halfgeleiderchipinrichting met ingangs/uitgangsgeleiders ont- i vangen in elke holte, waarbij elke chipinrichting gemonteerd wordt op j : het steunoppervlak en de ingangs/uitgangsgeleiders van elke inrichting ; worden gekoppeld met de aanhechtingseilandjes in elke holte; j ! externe connectorpennen aangebracht in eerste en tweede parallelle ! 2. rijen langs tegenover liggende zijden van de genoemde array; j geleidende tussenniveaustrippen die afzonderlijk aangebracht zijn op elk geleidingsverbindingsoppervlak waarbij een uiteinde elektrisch ; gekoppeld is met een van de genoemde aanhechtingseilandjes en het tegenover liggende uiteinde elektrisch gekoppeld is met een van de ge-; 25 noemde externe connectorpennen, en een van de genoemde tussenliggende : plakken voorzien is van geleidende tussenniveaustrippen aangebracht op beiden van zijn inwendige zijden, en de andere tussenliggende plak ; voorzien is van geleidende tussenniveaustrippen slechts op een enkele ! zijde toegekeerd naar een van de genoemde holteparen; 30. tenminste een geleidende binnenniveau verbindingsconfiguratie in- ί : i gebed in elke plak met geleidende tussenniveaustrippen voor het elek-i trisch onderling verbinden van geleidende tussenniveaustrippen van een ; niveau met geleidende tussenniveaustrippen van een verschillend ni- j 1 veau, j35; waarbij functioneel equivalente aansluitingen van alle vier de j ; chips gemeenschappelijk met elkaar zijn verbonden en met een gemeen- | I ; schappelijke externe connectorpen waardoor het mogelijk wordt de in- i ί richtingen te bedrijven op een tijdverdeel/multiplexbasis via een mini-j : mum aantal externe connectorpennen. ί i 8020334 V Ir SAMENVATTING VAN DE PUBLIKATIE j [ ; j Een elektronische circuitbehuizing (10) voor het inkapselen en on- | ' derling verbinden van twee of meer halfgeleiderchips (44A) is geopen- : baard. Een vertikaal gestapelde array van substraatplakken vormt een | 5; steunkern (12) waarin vensters (14, 16, 18, 20) zijn gevormd voor ont-; vangst van de chip. Inrichtingssteunoppervlakken en inrlchtingsgelei-; der-verbindingsoppervlakken (70, 72) zijn blootgesteld in elke holte op een of meer van de substraatplakken. De geleidende tussenniveaustrippen (74) zijn afzonderlijk neergeslagen op elke geleiderverbindingsopper-i 10: vlak voor bevestiging aan de ingangs/uitgangsgeleiders (42) van de clr-cuitinrichtingen en strekken zich uit langs het tussenvlak van een of ; meer op elkaar geplaatste paren van substraatplakken voor verbinding j ! met externe connectorpennen. Geleidende binnenniveauverbindingsconfigu- j ; raties (78) zijn ingebed in een of meer van de substraten voor het ver- j 15 binden van de geleidende tussenniveaustrippen van het ene substraatni- j veau met geleidende tussenniveaustrippen van een verschillend niveau. ! ! In een voorkeursuitvoeringsvorm zijn vier identieke RAM chips ingekap-seld en onderling verbonden voor een multiplexbedrijf in een tweevoud!- i ; ge uitgelijnde configuratie met boven/onderligging. i 20 ******************** I j ; I ; : ; i ’ ! I i ; j i ; i 1 | ! | ! i i ; j I - ; I . ; ί ! ! i : 8020334
NL8020334A 1980-02-12 1980-05-22 NL8020334A (nl)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12091780A 1980-02-12 1980-02-12
US12091780 1980-02-12
US8000662 1980-05-22
PCT/US1980/000662 WO1981002367A1 (en) 1980-02-12 1980-05-22 Over/under dual in-line chip package

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL8020334A true NL8020334A (nl) 1982-01-04

Family

ID=22393267

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL8020334A NL8020334A (nl) 1980-02-12 1980-05-22

Country Status (6)

Country Link
JP (1) JPS6356706B2 (nl)
CA (1) CA1165465A (nl)
FR (1) FR2476389A1 (nl)
GB (1) GB2083285B (nl)
NL (1) NL8020334A (nl)
WO (1) WO1981002367A1 (nl)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58159360A (ja) * 1982-03-17 1983-09-21 Fujitsu Ltd 半導体装置
US4727410A (en) * 1983-11-23 1988-02-23 Cabot Technical Ceramics, Inc. High density integrated circuit package
JPS61500879A (ja) * 1983-12-28 1986-05-01 ヒュ−ズ・エアクラフト・カンパニ− 集積回路メモリ・チップ用フラット・パッケ−ジ
US4598308A (en) * 1984-04-02 1986-07-01 Burroughs Corporation Easily repairable, low cost, high speed electromechanical assembly of integrated circuit die
US4630096A (en) * 1984-05-30 1986-12-16 Motorola, Inc. High density IC module assembly
US4734315A (en) * 1985-06-05 1988-03-29 Joyce Florence Space-Bate Low power circuitry components
EP0241236A3 (en) * 1986-04-11 1989-03-08 AT&T Corp. Cavity package for saw devices and associated electronics
GB2199182A (en) * 1986-12-18 1988-06-29 Marconi Electronic Devices Multilayer circuit arrangement
FR2625042B1 (fr) * 1987-12-22 1990-04-20 Thomson Csf Structure microelectronique hybride modulaire a haute densite d'integration
US5150196A (en) * 1989-07-17 1992-09-22 Hughes Aircraft Company Hermetic sealing of wafer scale integrated wafer
FR2772516B1 (fr) * 1997-12-12 2003-07-04 Ela Medical Sa Circuit electronique, notamment pour un dispositif medical implantable actif tel qu'un stimulateur ou defibrillateur cardiaque, et son procede de realisation
GB9915076D0 (en) * 1999-06-28 1999-08-25 Shen Ming Tung Integrated circuit packaging structure

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3341649A (en) * 1964-01-17 1967-09-12 Signetics Corp Modular package for semiconductor devices
US3372310A (en) * 1965-04-30 1968-03-05 Radiation Inc Universal modular packages for integrated circuits
US3500440A (en) * 1968-01-08 1970-03-10 Interamericano Projects Inc Functional building blocks facilitating mass production of electronic equipment by unskilled labor
US3555364A (en) * 1968-01-31 1971-01-12 Drexel Inst Of Technology Microelectronic modules and assemblies
JPS5332233B1 (nl) * 1968-12-25 1978-09-07
US3746934A (en) * 1971-05-06 1973-07-17 Siemens Ag Stack arrangement of semiconductor chips
US3760090A (en) * 1971-08-19 1973-09-18 Globe Union Inc Electronic circuit package and method for making same
US3927815A (en) * 1971-11-22 1975-12-23 Ngk Insulators Ltd Method for producing multilayer metallized beryllia ceramics
US3777220A (en) * 1972-06-30 1973-12-04 Ibm Circuit panel and method of construction
US3777221A (en) * 1972-12-18 1973-12-04 Ibm Multi-layer circuit package
US4012766A (en) * 1973-08-28 1977-03-15 Western Digital Corporation Semiconductor package and method of manufacture thereof
US4038488A (en) * 1975-05-12 1977-07-26 Cambridge Memories, Inc. Multilayer ceramic multi-chip, dual in-line packaging assembly
US4079511A (en) * 1976-07-30 1978-03-21 Amp Incorporated Method for packaging hermetically sealed integrated circuit chips on lead frames
US4224637A (en) * 1978-08-10 1980-09-23 Minnesota Mining And Manufacturing Company Leaded mounting and connector unit for an electronic device

Also Published As

Publication number Publication date
JPS57500220A (nl) 1982-02-04
CA1165465A (en) 1984-04-10
FR2476389A1 (fr) 1981-08-21
GB2083285A (en) 1982-03-17
WO1981002367A1 (en) 1981-08-20
FR2476389B1 (nl) 1983-12-16
JPS6356706B2 (nl) 1988-11-09
GB2083285B (en) 1984-08-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5448511A (en) Memory stack with an integrated interconnect and mounting structure
US5611876A (en) Method of making a multilayer LTCC tub architecture for hermetically sealing semiconductor die, external electrical access for which is provided by way of sidewall recesses
US5379191A (en) Compact adapter package providing peripheral to area translation for an integrated circuit chip
US5289346A (en) Peripheral to area adapter with protective bumper for an integrated circuit chip
US5585675A (en) Semiconductor die packaging tub having angularly offset pad-to-pad via structure configured to allow three-dimensional stacking and electrical interconnections among multiple identical tubs
US5006673A (en) Fabrication of pad array carriers from a universal interconnect structure
US4991000A (en) Vertically interconnected integrated circuit chip system
US4763188A (en) Packaging system for multiple semiconductor devices
US6351880B1 (en) Method of forming multi-chip module having an integral capacitor element
US7045901B2 (en) Chip-on-chip connection with second chip located in rectangular open window hole in printed circuit board
US5600541A (en) Vertical IC chip stack with discrete chip carriers formed from dielectric tape
US5780925A (en) Lead frame package for electronic devices
US5410107A (en) Multichip module
US4975765A (en) Highly integrated circuit and method for the production thereof
US5177863A (en) Method of forming integrated leadouts for a chip carrier
US5654221A (en) Method for forming semiconductor chip and electronic module with integrated surface interconnects/components
US4448306A (en) Integrated circuit chip carrier
JPS6355213B2 (nl)
JPH06216297A (ja) 介挿体リードフレームを有する回路組立体
JPS63211660A (ja) 集積回路用高端子数パッケージ
EP0509065A1 (en) Ultra high density integrated circuit packages, method and apparatus
WO1988005251A1 (en) High density electronic package comprising stacked sub-modules
NL8020334A (nl)
KR20130091624A (ko) 반도체 장치 및 그 제조방법
KR100360077B1 (ko) 전도성트레이스와리드프레임리드를결합하는고밀도집적회로조립체