NL7608390A - Vacuuminstallatie voor het behandelen van materiaal, in het bijzonder vacuumopdamp- installatie. - Google Patents

Vacuuminstallatie voor het behandelen van materiaal, in het bijzonder vacuumopdamp- installatie.

Info

Publication number
NL7608390A
NL7608390A NL7608390A NL7608390A NL7608390A NL 7608390 A NL7608390 A NL 7608390A NL 7608390 A NL7608390 A NL 7608390A NL 7608390 A NL7608390 A NL 7608390A NL 7608390 A NL7608390 A NL 7608390A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
installation
vacuum
treating material
vacuum vapor
vapor
Prior art date
Application number
NL7608390A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Balzers Patent Beteilig Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers Patent Beteilig Ag filed Critical Balzers Patent Beteilig Ag
Publication of NL7608390A publication Critical patent/NL7608390A/nl

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
    • B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
NL7608390A 1976-06-08 1976-07-28 Vacuuminstallatie voor het behandelen van materiaal, in het bijzonder vacuumopdamp- installatie. NL7608390A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH717776A CH621714A5 (nl) 1976-06-08 1976-06-08

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7608390A true NL7608390A (nl) 1977-12-12

Family

ID=4321100

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7608390A NL7608390A (nl) 1976-06-08 1976-07-28 Vacuuminstallatie voor het behandelen van materiaal, in het bijzonder vacuumopdamp- installatie.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4306515A (nl)
CH (1) CH621714A5 (nl)
DE (1) DE2714371A1 (nl)
FR (1) FR2354392A2 (nl)
GB (1) GB1562350A (nl)
NL (1) NL7608390A (nl)

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH634606A5 (de) * 1977-10-20 1983-02-15 Balzers Hochvakuum Verfahren zur erzeugung von hochvakuum zur durchfuehrung von beschichtungsprozessen.
US4970986A (en) * 1989-08-03 1990-11-20 General Electric Company Apparatus for synthetic diamond deposition including spring-tensioned filaments
JP2998903B2 (ja) * 1990-11-14 2000-01-17 東京エレクトロン株式会社 熱処理装置
US5911560A (en) * 1994-10-31 1999-06-15 Saes Pure Gas, Inc. Getter pump module and system
US5685963A (en) * 1994-10-31 1997-11-11 Saes Pure Gas, Inc. In situ getter pump system and method
US6109880A (en) * 1994-10-31 2000-08-29 Saes Pure Gas, Inc. Getter pump module and system including focus shields
US5972183A (en) * 1994-10-31 1999-10-26 Saes Getter S.P.A Getter pump module and system
US6142742A (en) * 1994-10-31 2000-11-07 Saes Pure Gas, Inc. Getter pump module and system
US20070137653A1 (en) * 2000-03-13 2007-06-21 Wood Thomas J Ventilation interface for sleep apnea therapy
US7518880B1 (en) 2006-02-08 2009-04-14 Bi-Link Shielding arrangement for electronic device
US20100257732A1 (en) * 2009-04-14 2010-10-14 Ziberna Frank J Shielding Arrangement for Electronic Device

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2239452A (en) * 1937-03-13 1941-04-22 Robley C Williams Method and apparatus for producing semitransparent coatings
FR878682A (fr) * 1941-01-28 1943-01-27 Licentia Gmbh Dispositif pour produire des couches métalliques par vaporisation thermique
US2398382A (en) * 1942-11-17 1946-04-16 Dean A Lyon Method for coating optical elements
US2727167A (en) * 1952-04-18 1955-12-13 Westinghouse Electric Corp Ion pump
US3095494A (en) * 1960-02-25 1963-06-25 New York Air Brake Co Ultra high vacuum device
US3324825A (en) * 1964-11-25 1967-06-13 Mhd Res Inc Glow discharge reactor
FR1427137A (fr) * 1964-12-17 1966-02-04 Sedimmec Dispositif de dégazage pour installation de vide ou d'ultra-vide
NL6706895A (nl) * 1967-02-23 1968-08-26
US3678889A (en) * 1970-02-06 1972-07-25 Tokyo Shibaura Electric Co Reflector assembly for reflecting the vapors of high temperature volatile materials
CH519588A (de) * 1970-02-13 1972-02-29 Berghaus Elektrophysik Anst Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstückes mittels einer Glimmentladung und Apparatur zur Durchführung des Verfahrens
US3862397A (en) * 1972-03-24 1975-01-21 Applied Materials Tech Cool wall radiantly heated reactor

Also Published As

Publication number Publication date
DE2714371A1 (de) 1977-12-22
FR2354392A2 (fr) 1978-01-06
CH621714A5 (nl) 1981-02-27
GB1562350A (en) 1980-03-12
US4306515A (en) 1981-12-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7703708A (nl) Werkwijze voor het behandelen van polyvinylideen- fluoride.
NL183123B (nl) Werkwijze voor het behandelen van afval, alsmede gevormd voorwerp.
NL7702869A (nl) Inrichting voor neerslag in vacuum.
NL7605535A (nl) Werkwijze voor het polymeriseren van alkenen.
NL7608390A (nl) Vacuuminstallatie voor het behandelen van materiaal, in het bijzonder vacuumopdamp- installatie.
NL181650C (nl) Inrichting voor het behandelen van materiaalbanen.
NL186965C (nl) Werkwijze voor het bereiden van organopolysiloxanen.
NL7713667A (nl) Inrichting voor het bedienen van luikpanelen of dergelijke, bestaande uit luikdeksels.
NL7603651A (nl) Werkwijze voor het bereiden van 3.4-dihydrospiro- -2h-1.3-benzooxazinen.
NL7708890A (nl) Werkwijze voor het behandelen van velvormig ma- teriaal, alsmede aldus vervaardigde voorwerpen.
NL7701964A (nl) Werkwijze voor het vulcaniseren van polyfosfa- zenen.
NL7605550A (nl) Hoog vacuumklep, in het bijzonder voor ultra- hoog vacuumdoeleinden.
NL7708779A (nl) Werkwijze voor het stabiliseren van 1,1,1-tri- chloorethaan.
NL7707466A (nl) Werkwijze voor het bereiden van 6a,10a-trans- -hexahydrodibenzopyranonen.
NL7706139A (nl) Werkwijze voor het bereiden van 1,1-difluorethy- leen.
NL7901097A (nl) Papiercombinaties en werkwijzen voor het vervaardigen van banden, mappen en dergelijke uit deze papier- combinaties.
NL7512177A (nl) Vacuuminstallatie voor het behandelen van een produkt in het bijzonder een vacuumopdampin- stallatie.
NL7708034A (nl) Machine voor het behandelen van enveloppen.
NL7708460A (nl) Inrichting voor het aanbrengen van enkele of dubbele zelfkanten, in het bijzonder voor weefgetouwen.
NL7709593A (nl) Werkwijze voor het bereiden van acyloxy-n,n'-di- acylmalonamiden.
NL180316C (nl) Werkwijze voor het bereiden van 6a,10a-cis-hexahydrodibenzopyranonen.
NL7701643A (nl) Werkwijze voor het scheiden van alanine, 3-fluor- en 2-deutero-3-fluor-dl-alanine.
NL7805604A (nl) Installatie voor het behandelen van materiaal, in het bijzonder voedingsmiddelen.
NL181359C (nl) Werkwijze voor het bereiden van 2,3-cycloalkenopyridinen.
NL165752B (nl) Werkwijze voor het bereiden van 2,5-dioxo-1-oxa-2- -fosfolanen.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed