NL7512177A - Vacuuminstallatie voor het behandelen van een produkt in het bijzonder een vacuumopdampin- stallatie. - Google Patents

Vacuuminstallatie voor het behandelen van een produkt in het bijzonder een vacuumopdampin- stallatie.

Info

Publication number
NL7512177A
NL7512177A NL7512177A NL7512177A NL7512177A NL 7512177 A NL7512177 A NL 7512177A NL 7512177 A NL7512177 A NL 7512177A NL 7512177 A NL7512177 A NL 7512177A NL 7512177 A NL7512177 A NL 7512177A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
installation
vacuum
treating
product
vacuum vapor
Prior art date
Application number
NL7512177A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Balzers Patent Beteilig Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers Patent Beteilig Ag filed Critical Balzers Patent Beteilig Ag
Publication of NL7512177A publication Critical patent/NL7512177A/nl

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/02—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by absorption or adsorption
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
NL7512177A 1975-09-23 1975-10-16 Vacuuminstallatie voor het behandelen van een produkt in het bijzonder een vacuumopdampin- stallatie. NL7512177A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1232175 1975-09-23

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7512177A true NL7512177A (nl) 1977-03-25

Family

ID=4381925

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7512177A NL7512177A (nl) 1975-09-23 1975-10-16 Vacuuminstallatie voor het behandelen van een produkt in het bijzonder een vacuumopdampin- stallatie.

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4046101A (nl)
DE (1) DE2635007A1 (nl)
FR (1) FR2325729A1 (nl)
GB (1) GB1544227A (nl)
NL (1) NL7512177A (nl)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2400949A1 (fr) * 1977-05-09 1979-03-23 Balzers Hochvakuum Procede pour creer un vide pousse

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH626407A5 (nl) * 1977-07-08 1981-11-13 Balzers Hochvakuum
DE3725162A1 (de) * 1987-07-29 1989-02-09 Schatz Oskar Verfahren zur entgasung eines vakuumbehaelters
JP4430506B2 (ja) * 2004-10-14 2010-03-10 三菱電機株式会社 蒸着装置
TWI312714B (en) * 2007-03-03 2009-08-01 Wistron Corporatio Method for manufacturing heat pipe and capillary structure thereon
US20110159666A1 (en) * 2009-12-31 2011-06-30 O'connor John P Deposition systems and methods

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2408614A (en) * 1944-07-18 1946-10-01 Rca Corp Surface coating apparatus
US2557379A (en) * 1948-07-28 1951-06-19 Birlec Ltd Decarburization of iron or iron alloy castings
US2812411A (en) * 1955-09-30 1957-11-05 Hughes Aircraft Co Means for vapor deposition of metals
US2884894A (en) * 1956-11-02 1959-05-05 Metallgesellschaft Ag Apparatus for producing hard coatings on workpieces
FR1160513A (fr) * 1956-11-12 1958-07-17 étuve électrique à radiation infra-rouge
US3002735A (en) * 1957-07-01 1961-10-03 Sunbeam Equip Vacuum furnace
US2971039A (en) * 1957-11-26 1961-02-07 Hayes Inc C I Resistance heating element for vacuum furnaces and the like
US2986115A (en) * 1958-03-14 1961-05-30 Union Carbide Corp Gas plating of synthetic fibers
FR1317319A (fr) * 1961-12-28 1963-02-08 Perfectionnements aux fours ou étuves
FR1427137A (fr) * 1964-12-17 1966-02-04 Sedimmec Dispositif de dégazage pour installation de vide ou d'ultra-vide
FR1569036A (nl) * 1968-03-29 1969-05-30
US3757083A (en) * 1972-02-22 1973-09-04 Armstrong Cork Co Connector for high output quick response radiant heater
DE2319481C3 (de) * 1973-04-17 1978-09-07 Beckman Instruments Gmbh, 8000 Muenchen Verfahren zum Einbau einer Fremdsubstanz in ein Halbleiter-Grundmaterial, insbesondere zur Dotierung oder Legierung von Halbleiterkörpern und Ultrazentrifuge zur Durchführung des Verfahrens

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2400949A1 (fr) * 1977-05-09 1979-03-23 Balzers Hochvakuum Procede pour creer un vide pousse

Also Published As

Publication number Publication date
GB1544227A (en) 1979-04-19
US4046101A (en) 1977-09-06
FR2325729A1 (fr) 1977-04-22
DE2635007A1 (de) 1977-03-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7607352A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een gedeelte- lijk gereduceerd produkt.
NL7510903A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgelei- derinrichting, en inrichting vervaardigd volgens de werkwijze.
NL169453C (nl) Inrichting voor het transporteren, het richten en het op een rij brengen van rechthoekige voorwerpen.
NL7603907A (nl) Werkwijze voor het polymeriseren van alkenen.
NL178987C (nl) Produkt voor de behandeling van textiel.
NL7611635A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een gemodifi- ceerd polysaccharide.
NL7612827A (nl) Mengsels voor de industrie, landbouw en farmacie.
NL167766C (nl) Inrichting voor het winnen van warmte uit een gasvormig produkt.
NL7408536A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een net- werk, alsmede het produkt van de werkwijze.
NL7514911A (nl) Werkwijze en inrichting voor het bewerken van een klein produkt van buigzaam materiaal, als- mede het produkt van de werkwijze.
NL7601324A (nl) Werkwijze voor het opwerken van afvalprodukten.
NL7613024A (nl) Werkwijze voor de bereiding van een condensatie- produkt van een alkylfenol, alkoxyfenol of 1-naftol.
NL7514533A (nl) Verdamper voor narcosemiddelen.
NL173027B (nl) Inrichting voor het behandelen van een materiaal met achter elkaar geplaatste, van pennen voorziene rotoren.
NL7608390A (nl) Vacuuminstallatie voor het behandelen van materiaal, in het bijzonder vacuumopdamp- installatie.
NL7603690A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van gekroesde textielelementen, alsmede aldus verkregen pro- dukten.
NL168520C (nl) Verbeterde werkwijze voor de bereiding van een oppervlakte-actief produkt.
NL7603118A (nl) Inrichting voor het omklappen van de schoepen van een schoepenwiel-losmachine.
NL7512177A (nl) Vacuuminstallatie voor het behandelen van een produkt in het bijzonder een vacuumopdampin- stallatie.
NL7509735A (nl) Werkwijze voor het polymeriseren van alkenen-1.
NL171868C (nl) Machine voor de behandeling van een oppervlak.
NL7606225A (nl) Werkwijze voor het bereiden van 1,2-oxafosfolanen.
NL7611367A (nl) Inrichting voor het blokkeren van de levering van een produkt, in het bijzonder voor benzine- stations.
NL7613664A (nl) Geurverdrijvende middelen, alsmede werkwijze voor het bereiden van dergelijke middelen.
NL174346C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een 1,3-diaryltriazeen.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed