NL7607507A - Deeltjesstraalmicroscoop met een raster voor doorstraling. - Google Patents

Deeltjesstraalmicroscoop met een raster voor doorstraling.

Info

Publication number
NL7607507A
NL7607507A NL7607507A NL7607507A NL7607507A NL 7607507 A NL7607507 A NL 7607507A NL 7607507 A NL7607507 A NL 7607507A NL 7607507 A NL7607507 A NL 7607507A NL 7607507 A NL7607507 A NL 7607507A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
particlebeam
microscope
irradiation
grid
particlebeam microscope
Prior art date
Application number
NL7607507A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE19752530844 external-priority patent/DE2530844C3/de
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of NL7607507A publication Critical patent/NL7607507A/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
    • H01J37/09—Diaphragms; Shields associated with electron or ion-optical arrangements; Compensation of disturbing fields
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/21—Focus adjustment
    • H01J2237/216—Automatic focusing methods
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/26—Electron or ion microscopes
    • H01J2237/2614—Holography or phase contrast, phase related imaging in general, e.g. phase plates
NL7607507A 1975-07-08 1976-07-07 Deeltjesstraalmicroscoop met een raster voor doorstraling. NL7607507A (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19752530844 DE2530844C3 (de) 1975-07-08 Durchstrahlungs-Raster-Korpuskularstrahlmikroskop und Verfahren zum Betrieb

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7607507A true NL7607507A (nl) 1977-01-11

Family

ID=5951178

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7607507A NL7607507A (nl) 1975-07-08 1976-07-07 Deeltjesstraalmicroscoop met een raster voor doorstraling.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4038543A (nl)
JP (1) JPS5210064A (nl)
GB (1) GB1557226A (nl)
NL (1) NL7607507A (nl)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7906632A (nl) * 1979-09-05 1981-03-09 Philips Nv Automatische bundelcorrektie in stem.
JPS56165255A (en) * 1980-05-26 1981-12-18 Hitachi Ltd Image indicating method for transmission scan electron microscope
US4567369A (en) * 1982-06-18 1986-01-28 National Research Development Corporation Correction of astigmatism in electron beam instruments
US4975578A (en) * 1989-04-17 1990-12-04 The Research Foundation Of State University Of Ny Method and apparatus for determining distribution of mass density
US5095207A (en) * 1991-01-07 1992-03-10 University Of Wisconsin - Milwaukee Method of three-dimensional atomic imaging
US5866905A (en) * 1991-05-15 1999-02-02 Hitachi, Ltd. Electron microscope
JP3285157B2 (ja) * 1992-08-11 2002-05-27 科学技術振興事業団 位相情報観測方法及び位相情報観測用干渉装置
US5517033A (en) * 1994-07-25 1996-05-14 Gatan, Inc. Apparatus for improved image resolution in electron microscopy
US6365897B1 (en) 1997-12-18 2002-04-02 Nikon Corporation Electron beam type inspection device and method of making same
JP3661592B2 (ja) * 1998-03-27 2005-06-15 株式会社日立製作所 パターン検査装置
JP4074643B2 (ja) * 2006-03-27 2008-04-09 株式会社アドバンテスト 線幅測定調整方法及び走査型電子顕微鏡
EP1916696B1 (en) * 2006-10-25 2017-04-19 ICT, Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH Charged particle detector assembly, charged particle beam apparatus and method for generating an image
ITBO20070409A1 (it) * 2007-06-11 2008-12-12 C N R Consiglio Naz Delle Ri C Dispositivo rivelatore per microscopio elettronico.
US7952073B2 (en) * 2008-08-01 2011-05-31 Direct Electron, Lp Apparatus and method including a direct bombardment detector and a secondary detector for use in electron microscopy
JP5395864B2 (ja) * 2011-09-14 2014-01-22 住友ゴム工業株式会社 ゴム材料のシミュレーション方法
US11282671B2 (en) * 2016-07-28 2022-03-22 Hitachi High-Tech Corporation Charged-particle beam apparatus

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1564658B2 (de) * 1966-07-13 1971-04-29 Siemens AG, 1000 Berlin u 8000 München Verfahren zur fokussierung der objektivlinse eines korpus kularstrahlmikroskops insbesondere eines elektronenmikros kops
US3908124A (en) * 1974-07-01 1975-09-23 Us Energy Phase contrast in high resolution electron microscopy

Also Published As

Publication number Publication date
GB1557226A (en) 1979-12-05
US4038543A (en) 1977-07-26
DE2530844A1 (de) 1977-01-13
JPS5210064A (en) 1977-01-26
DE2530844B2 (de) 1977-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL166834C (nl) Constructie voor een telecommunicatiecentrale.
NL7611238A (nl) Ondersteuningsgestel voor een beschermings- loods.
BE850194Q (fr) Constructie-orgaan voor een bouwwerk
NL7607507A (nl) Deeltjesstraalmicroscoop met een raster voor doorstraling.
AT347510B (de) Elektromagnetisch steuerbare strahlablenk- vorrichtung
NL7606381A (nl) Afsluiting voor een houder.
NL177638C (nl) Met een electronenbundel werkende bewerkingsmachine met meebewegende afdichtband.
NL7903411A (nl) Rasterelektronenmicroscoop.
NL7600067A (nl) Werkwijze voor de bereiding van een nucleaire brandstof.
FR2335038A1 (fr) Microscope ionique a grille
NL7607510A (nl) Met een straal werkende fotometer.
NL182601C (nl) Magnetische elektronenobjectieflens voor gebruik in een aftastende elektroneninrichting.
NL7610373A (nl) Deeltjesstraalinrichting met een goniometer.
NL7510857A (nl) Celvormige roosterconstructie.
NL7603734A (nl) Gekromd raster.
NL7412506A (nl) Vasthoudinrichting voor afbuigjuk.
ES232959Y (es) Rejilla metalica para suelo.
NL7610097A (nl) Doorstralings-rasterelektronenmicroscoop met een ringschijfvormige detector.
NL7709151A (nl) Deeltjesstraalmicroscoop met een raster voor doorstraling.
NL7808162A (nl) Elektronenbundelinrichting.
NL7607046A (nl) Aandrijfmiddelen voor een beldomeinraster.
NL7614174A (nl) Omhulling voor een plant.
NL7606997A (nl) Reservoir voor een stoomstrijkijzer en stoom- strijkijzer met een dergelijk reservoir.
NL7609689A (nl) Positief aktief materiaal voor cellen met een grote specifieke energie.
NL7605956A (nl) Met corpusculaire stralen werkende rastermi- croscoop.

Legal Events

Date Code Title Description
BV The patent application has lapsed