NL2022204B1 - Werkwijze en inrichting voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas van zeer hoge zuiverheid - Google Patents
Werkwijze en inrichting voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas van zeer hoge zuiverheid Download PDFInfo
- Publication number
- NL2022204B1 NL2022204B1 NL2022204A NL2022204A NL2022204B1 NL 2022204 B1 NL2022204 B1 NL 2022204B1 NL 2022204 A NL2022204 A NL 2022204A NL 2022204 A NL2022204 A NL 2022204A NL 2022204 B1 NL2022204 B1 NL 2022204B1
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- concentration
- product gas
- gas
- analyzer
- gaseous pollutant
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 claims abstract description 17
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 claims abstract description 17
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 81
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 18
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 8
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims description 4
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 claims description 4
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 4
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 6
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0006—Calibrating gas analysers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0011—Sample conditioning
- G01N33/0014—Sample conditioning by eliminating a gas
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Werkwijze en inrichting (20) voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas, omvattend een analyse—apparaat (l) met een inlaatleiding (2) voor het inlaten van het productgas en ten minste een referentiegas, waarbij de inrichting (20) is voorzien van een zuiveringsinrichting (8) die is ingericht om althans een deel van het productgas te zuiveren van de gasvormige verontreiniging.
Description
HOGE ZUIVERHEID De uitvinding betreft een werkwijze voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas, welke werkwijze de stappen omvat van (i) het verschaffen van het productgas, (ii) het verschaffen van een analyse-apparaat, (ii) het verschaffen van een eerste referentiegas met een eerste concentratie van de verontreiniging, waarbij de eerste concentratie lager is dan de concentratie in het productgas, en het met dit eerste referentiegas instellen van een ondergrens van het meetbereik van het analyse-apparaat, (iii) het verschaffen van een tweede referentiegas met een tweede concentratie van de verontreiniging, waarbij de tweede concentratie hoger is dan de concentratie in het productgas, en het met dit tweede referentiegas instellen van een bovengrens van het meetbereik van het analyse-apparaat, en (iv) het door middel van het analyse-apparaat bepalen van de concentratie van de gasvormige verontreiniging in het productgas.
De werkwijze is in het bijzonder van belang voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas van zeer hoge zuiverheid. Onder een productgas van zeer hoge zuiverheid wordt hier begrepen een productgas met een concentratie van een verontreiniging lager dan 100 ppb(v) (delen per miljard per volume).
Een dergelijke werkwijze is op zich bekend, waarbij als eerste referentiegas (veelal aangeduid als “nulgas”) en het tweede referentiegas (veelal aangeduid als “calibratiegas”) een inert gas wordt gebruikt, bijvoorbeeld stikstof, argon of helium, en waarbij het analyse-apparaat een infrarooddetector is.
Het is een bezwaar van de bekende werkwijze dat deze bij de bepaling van de zuiverheid van sommige productgassen,
bijvoorbeeld waterstof, tot onduidelijke resultaten leidt. Het nul-signaal van een inert gas is vaak niet in overeenstemming met het nul-signaal van het productgas, zelfs bij infrarood metingen waarbij verwacht mag worden dat beide gassen infrarood-inactief zijn.
Het is een doel van de uitvinding een werkwijze te verschaffen voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas van zeer hoge zuiverheid, waarbij de uitkomst van de bepaling vrij is van ongewenste verstoring door een vereist referentiegas.
Dit doel wordt bereikt, en andere voordelen worden gerealiseerd, met een werkwijze volgens de aanhef, waarbij overeenkomstig de uitvinding het eerste referentiegas is verschaft door een deel van het productgas dat is geleid door een zuiveringsinrichting die is ingericht om het productgas te zuiveren van de gasvormige verontreiniging.
Door overeenkomstig de uitvinding het productgas door een zuiveringsinrichting te leiden wordt een eerste referentiegas of nul-gas verkregen waarmee voor de concentratiebepaling van de gasvormige verontreiniging in het productgas een nul-signaal van het analyse-apparaat kan worden bepaald dat correspondeert met het nul-signaal van het productgas in zijn maximaal zuivere toestand.
In een uitvoeringsvorm van de werkwijze volgens de uitvinding omvat de zuiveringsinrichting een absorptievat met een daarin opgenomen adsorptie-massa voor het absorberen van de gasvormige verontreiniging.
In een volgende uitvoeringsvorm omvat de zuiveringsinrichting een palladium-membraan voor verwijderen van niet aan een adsorptie-massa adsorberende gasvormige verontreinigingen, zoals stikstof (N:), argon (Ar) en helium (He).
In weer een uitvoeringsvorm is het analyse-apparaat een infrarooddetector.
Bij deze uitvoeringsvorm is de adsorptie-massa geselecteerd voor het adsorberen van verontreinigingen die in een infrarooddetector een signaal genereren.
In deze laatste uitvoeringsvorm is de adsorptie-massa bijvoorbeeld geselecteerd voor het adsorberen van verontreinigingen uit de groep die koolmonoxide (CO), kooldioxide (CO), water (H:0) en koolwaterstoffen (C,H) omvat.
In volgende uitvoeringsvormen is het analyse-apparaat een thermische-geleidbaarheid-detector (TCD) of een plasma- emissiedetector (PED).
Een dergelijk analyse-apparaat is in het bijzonder geschikt voor het detecteren van een verontreiniging die in een infrarooddetector geen signaal genereert, zoals bijvoorbeeld stikstof {Ns}, argon (Ar), helium (He) en zuurstof {02}.
De werkwijze wordt met voordeel toegepast voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas, waarbij het productgas waterstofgas is.
Bij de productie van zeer zuiver waterstof bestaat in sommige praktische omstandigheden behoefte aan een analyse- apparaat om verontreinigingen door bepaalde gassen in een concentratie lager dan 50 ppb{v) vast te kunnen stellen. Het niet beschikbaar zijn van inerte referentie-gassen of waterstofgas met een zuiverheid beter dan 100 ppb{v)}) staat hieraan bij een werkwijze volgens de stand der techniek in de wed.
De uitvinding betreft voorts een inrichting voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas volgens de hiervoor beschreven werkwijze, welke inrichting een analyse-apparaat omvat met een inlaatleiding voor het inlaten van het productgas en ten minste één referentiegas.
Overeenkomstig de uitvinding is deze inrichting voorzien van een zuiveringsinrichting die is ingericht om althans een deel van het productgas te zuiveren van de gasvormige verontreiniging.
In uitvoeringsvorm is de zuiveringsinrichting verschaft in een omloopleiding van de inlaatleiding.
In een volgende uitvoeringsvorm is de inrichting voor het bepalen van de concentratie voorzien van drukregelmiddelen en/of van stromingsregelmiddelen.
Het analyse-apparaat is bijvoorbeeld een infrarooddetector, een thermische-geleidbaarheid-detector (TCD) of een plasma-emissiedetector (PED).
In weer een uitvoeringsvorm is het analyse-apparaat ingericht voor het bepalen van de concentratie van ten minste een verontreiniging in een productgas uit de groep verontreinigingen die koolmonoxide (CO), kooldioxide (CO:), water (HO) en koolwaterstoffen ((C.H,) omvat.
De uitvinding zal in het volgende worden toegelicht aan de hand van een uitvoeringsvoorbeeld, onder verwijzing naar de tekeningen.
In de tekeningen tonen Fig. 1 een schematische weergave van een inrichting voor concentratiebepaling volgens de stand der techniek, Fig. 2 een grafische voorstelling van een concentratiebepaling volgens de stand der techniek met een in Fig. 1 weergegeven inrichting, Fig. 3 een schematische weergave van een uitvoeringsvorm van een inrichting voor concentratiebepaling volgens de uitvinding, en Fig. 4 een grafische voorstelling van een concentratiebepaling volgens de uitvinding met een in Fig. 3 weergegeven inrichting.
Fig. 1 toont een apparaat 10 voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas, met een analyse-apparaat 1 met een inlaatleiding 2, waarin een druk- en stromingsregelaar 3 is opgenomen. De figuur toont voorts een inlaatleiding 4 voor een calibratie- gas en een inlaatleiding 5 voor een nul-gas, en kleppen 6. De pijlen in de figuur geven de stromingsrichting van de gassen aan. Het analyse-apparaat 1 in dit voorbeeld is een MultiGas TFS™ IR(infrarood)-spectrometer van het fabricaat MKS, die volgens opgave van de fabrikant een detectielimiet heeft van 20 ppb.
Voorbeeld 1 Met de in Fig. 1 weergegeven inrichting 10 wordt de concentratie bepaald van een productgas, dat voor dit voorbeeld wordt samengesteld uit zeer zuiver waterstofgas, 5 waaraan een calibratiegas van zeer zuiver waterstofgas met een verontreiniging van 522 ppb{(v) koolmonoxide (CO) +s wordt toegevoegd. Het zuiver waterstof wordt met een debiet van 1000 ml/min ingelaten via leiding 4. Het calibratiegas wordt met een stapsgewijs oplopend debiet van respectievelijk 25, 50, 100 en 200 ml ingelaten via leiding 5, waarna het wordt gemengd met het via leiding 4 ingelaten zeer zuivere waterstof. Teneinde het bereik van de IR-spectrometer in te stellen wordt ongemengd calibratiegas via de leidingen 4 en 2 en de druk- en stromingsregelaar 3 ingelaten in de IR- spectrometer 1. Om de ondergrens van het meetbereik van de IR-spectrometer 1 in te stellen wordt via leiding 5 zeer zuiver stikstofgas ingelaten.
Fig. 2 is een grafiek die de concentratie CO-gas in het productgas (in ppb{v)) toont als functie van het debiet van het via leiding 2 ingelaten calibratiegas (in ml/min) voor de onder voorbeeld 1 beschreven meting. De verwachte (berekende) resultaten zijn weergegeven door open cirkels ©, verbonden door een stippellijn +--+, de gemeten resultaten zijn weergeven door gevulde cirkels #, verbonden door een ononderbroken lijn. De gemeten waarden tonen een verschuiving van 50 ppb(v) in de concentratie ten opzichte van verwachte waarden, bij een geringe kromning die in overeenstemming is met de verwachting.
Fig. 3 toont een apparaat 20 voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas, met een analyse-apparaat 1 met een inlaatleiding 2, waarin een druk- en stromingsregelaar 3 is opgenomen. In een omloopleiding 7 van de inlaatleiding 2 is een absorptievat 8 opgenomen met daarin een adsorbens (niet getoond) dat specifiek is voor een te detecteren onzuiverheid. De figuur toont voorts een inlaatleiding 4 voor een calibratie-gas en kleppen 6. De pijlen in de figuur gevende stromingsrichting van de gassen aan.
Het analyse-apparaat 1 in dit voorbeeld is een MultiGas TFS™ IR(infrarood)- spectrometer van het fabricaat MKS, die volgens opgave van de fabrikant een detectielimiet heeft van 20 ppb.
Voorbeeld 2 Met de in Fig. 2 weergegeven inrichting 20 wordt de concentratie bepaald van een productgas, dat voor dit voorbeeld is samengesteld uit zeer zuiver waterstofgas, waaraan een calibratiegas van zeer zuiver waterstofgas met een verontreiniging van 522 ppb{(v) koolmonoxide (CO) 4s wordt toegevoegd.
Het zuiver waterstof wordt met een debiet van 1000 ml/min ingelaten via leiding 4. Het calibratiegas wordt met een stapsgewijs oplopend debiet van respectievelijk 40, 60, 100, 140 en 200 ml ingelaten via leiding 5, waarna het wordt gemengd met het via leiding 4 ingelaten zeer zuivere waterstof.
Teneinde het bereik van de IR-spectrometer in te stellen wordt ongemengd calibratiegas via de leidingen 4 en 2 en de druk- en stromingsregelaar 3 ingelaten in de IR- spectrometer 1. Om de ondergrens van het meetbereik van de IR-spectrometer 1 in te stellen wordt telkens een deel van het productgas via omloopleiding 7 gezuiverd in de absorber 8 tot zeer zuiver waterstofgas, en ingelaten in de IR- spectrometer 1. Fig. 4 is een grafiek die de concentratie CO-gas in het productgas (in ppb(v)) toont als functie van het debiet van het via leiding 2 ingelaten calibratiegas (in ml/min) voor de onder voorbeeld 2 beschreven meting.
De verwachte (berekende) resultaten zijn weergegeven door open cirkels ©, verbonden door een stippellijn **++, de gemeten resultaten zijn weergeven door gevulde cirkels eo, verbonden door een ononderbroken lijn.
De gemeten waarden corresponderen met de verwachte waarden, bij een geringe kromming die in overeenstemming is met de verwachting.
Het onder voorbeeld 2 beschreven resultaat toont aan dat een concentratiebepaling de uitvinding in een inrichting volgens de uitvinding met een grotere nauwkeurigheid kan worden uitgevoerd dan een bepaling volgens de stand dertechniek, waarbij bovendien de aanschaf en het gebruik van kostbaar nul-gas niet zijn vereist.
Claims (18)
1. Werkwijze voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas, omvattend de stappen van (i) het verschaffen van het productgas, (ii) het verschaffen van een analyse-apparaat (1), (ii) het verschaffen van een eerste referentiegas met een eerste concentratie van de verontreiniging, waarbij de eerste concentratie lager is dan de concentratie in het productgas, en het met dit eerste referentiegas instellen van een ondergrens van het meetbereik van het analyse-apparaat, (iii) het verschaffen van een tweede referentiegas met een tweede concentratie van de verontreiniging, waarbij de tweede concentratie hoger is dan de concentratie in het productgas, en het met dit tweede referentiegas instellen van een bovengrens van het meetbereik van het analyse-apparaat, en (iv) het door middel van het analyse-apparaat bepalen van de concentratie van de gasvormige verontreiniging in het productgas, met het kenmerk, dat het eerste referentiegas is verschaft door een deel van het productgas dat is geleid door een zuiveringsinrichting (8) die is ingericht om het productgas te zuiveren van de gasvormige verontreiniging.
2. Werkwijze volgens conclusie 1, waarbij de zuiveringsinrichting een absorptievat (8) met een daarin opgenomen adsorptie-massa voor het absorberen van de gasvormige verontreiniging omvat.
3. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, waarbij de zuiveringsinrichting een palladium-membraan voor verwijderen van niet aan een adsorptie-massa adsorberende gasvormige verontreinigingen omvat.
4. Werkwijze volgens een der conclusies 1-3, waarbij het analyse-apparaat een infrarooddetector is (1).
5. Werkwijze volgens conclusies 2 en 4, waarbij de adsorptie-massa is geselecteerd voor het adsorberen van verontreinigingen die een infrarooddetector een signaal genereren.
6. Werkwijze volgens conclusie 5, waarbij de adsorptie- massa is geselecteerd voor het adsorberen van verontreinigingen uit de groep die koolmonoxide (CO), kooldioxide (CO:), water (H:0) en koolwaterstoffen ( (CH) omvat.
7. Werkwijze volgens een der conclusies 1-3, waarbij het analyse-apparaat een thermische-geleidbaarheid-detector (TCD) is.
8. Werkwijze volgens een der conclusies 1-3, waarbij het analyse-apparaat een plasma-emissiedetector (PED) is.
9. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, waarbij het productgas waterstofgas is.
10. Inrichting (20) voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas, omvattend een analyse-apparaat (1) met een inlaatleiding (2) voor het inlaten van het productgas en ten minste één referentiegas, met het kenmerk, dat deze is voorzien van een zuiveringsinrichting (8) die is ingericht om althans een deel van het productgas te zuiveren van de gasvormige verontreiniging.
11. Inrichting (20) volgens conclusie 10, met het kenmerk, dat de zuiveringsinrichting (8) is verschaft in een omloopleiding (7) van de inlaatleiding (2).
12. Inrichting (20) volgens een der conclusies 10-11, met het kenmerk, dat deze is voorzien van drukregelmiddelen (3).
13. Inrichting (20) volgens een der conclusies 10-11, met het kenmerk, dat deze is voorzien van stromingsregelmiddelen (3).
14. Inrichting (20) volgens een der conclusies 10-13, waarbij het analyse-apparaat een infrarooddetector (1) is.
15. Inrichting volgens een der conclusies 10-13, waarbij het analyse-apparaat een thermische-geleidbaarheid-detector (TCD) is.
16. Inrichting volgens een der conclusies 10-13, waarbij het analyse-apparaat een plasma-emissiedetector (PED) is.
17. Inrichting (20) volgens een der conclusies 10-11, waarbij het analyse-apparaat (10) is ingericht voor het bepalen van de concentratie van een ten minste een verontreiniging in een productgas uit de groep verontreinigingen die koolmonoxide (CO), kooldioxide (CO:), water (H;0) en koolwaterstoffen ((CiH,) omvat.
18. Inrichting (20) volgens een der conclusies 10-11, waarbij het analyse-apparaat (10) is ingericht voor het bepalen van de concentratie van een ten minste een verontreiniging in een productgas uit de groep verontreinigingen die stikstof (N2), argon (Ar), helium (He) en zuurstof (O:}) omvat.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL2022204A NL2022204B1 (nl) | 2018-12-13 | 2018-12-13 | Werkwijze en inrichting voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas van zeer hoge zuiverheid |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL2022204A NL2022204B1 (nl) | 2018-12-13 | 2018-12-13 | Werkwijze en inrichting voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas van zeer hoge zuiverheid |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL2022204B1 true NL2022204B1 (nl) | 2020-07-03 |
Family
ID=65010868
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL2022204A NL2022204B1 (nl) | 2018-12-13 | 2018-12-13 | Werkwijze en inrichting voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas van zeer hoge zuiverheid |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| NL (1) | NL2022204B1 (nl) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05256778A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Chubu Electric Power Co Inc | 基準ガス濃度調整方式によるガス濃度測定方法およびその装置 |
| DE19712823A1 (de) * | 1996-04-06 | 1997-10-30 | Horiba Ltd | Infrarot-Gasanalysator |
| US20150360171A1 (en) * | 2014-06-11 | 2015-12-17 | Horiba, Ltd. | Zero gas refiner for co2 concentration measurement device and co2 concentration measurement system |
| US20150369784A1 (en) * | 2013-01-30 | 2015-12-24 | Beko Technologies Gmbh | Device for measuring residual oil |
| CN205879861U (zh) * | 2016-03-10 | 2017-01-11 | 深圳市世纪龙晟科技发展有限公司 | 一种自清洗pid检测器 |
-
2018
- 2018-12-13 NL NL2022204A patent/NL2022204B1/nl active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05256778A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-05 | Chubu Electric Power Co Inc | 基準ガス濃度調整方式によるガス濃度測定方法およびその装置 |
| DE19712823A1 (de) * | 1996-04-06 | 1997-10-30 | Horiba Ltd | Infrarot-Gasanalysator |
| US20150369784A1 (en) * | 2013-01-30 | 2015-12-24 | Beko Technologies Gmbh | Device for measuring residual oil |
| US20150360171A1 (en) * | 2014-06-11 | 2015-12-17 | Horiba, Ltd. | Zero gas refiner for co2 concentration measurement device and co2 concentration measurement system |
| CN205879861U (zh) * | 2016-03-10 | 2017-01-11 | 深圳市世纪龙晟科技发展有限公司 | 一种自清洗pid检测器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10241096B2 (en) | Non-methane total hydrocarbons analysis apparatus and method for the same | |
| KR0163608B1 (ko) | 극고순도의 기체분석용 측정장치 | |
| EP0370151A1 (en) | Process for producing low-concentration gas mixtures, and apparatus for producing the same | |
| US3762878A (en) | Apparatus for analyzing ambient air | |
| US3240052A (en) | Pressure and flow rate regulation in a fluid circulation system | |
| EP0024566A1 (en) | An apparatus for the analysis of oxygen, nitrogen and hydrogen contained in metals | |
| EP1949091A2 (en) | Gas analysis method | |
| US10761018B2 (en) | System and method for impurity detection in beverage grade gases | |
| KR100195892B1 (ko) | 초고감도 분석기로 가스를 공급하는 방법 및 장치 | |
| NL2022204B1 (nl) | Werkwijze en inrichting voor het bepalen van de concentratie van een gasvormige verontreiniging in een productgas van zeer hoge zuiverheid | |
| KR100381996B1 (ko) | 가스중의 미량 불순물의 분석방법 및 장치 | |
| JPH05118453A (ja) | 向流弁 | |
| KR19990023535A (ko) | 대기압 이온화 질량 분광법을 사용하는 초고순도 가스 분석방법 및 장치 | |
| CN109115919B (zh) | 气体中痕量氢气、氧气和氮气的气相色谱分析装置和分析方法 | |
| US8409504B2 (en) | Method for supplying gas mixtures for an analyzer | |
| US4040789A (en) | Use of the continuous blast furnace gas analysis for supervision and regulation of the blast furnace operation | |
| JP2001124751A (ja) | ガス中の不純物の分析方法及び装置 | |
| CN103645269A (zh) | 超纯砷烷的分析方法及其装置 | |
| JPH0634616A (ja) | 微量不純物の分析方法 | |
| CN108254469B (zh) | 检测二氧化碳中非甲烷总烃和分项烃含量的装置和方法 | |
| EP0370870B1 (en) | Process for producing low-concentration gas mixtures, and apparatus for producing the same | |
| CN116242936A (zh) | 一种液氧中氪氙分析的气相色谱仪及分析方法 | |
| JP2008261865A (ja) | 揮発性有機化合物測定装置 | |
| JPH0755780A (ja) | ガスクロマトグラフによる各種ガス中の超微量成分の高感度測定装置 | |
| CN210720291U (zh) | 利用氢火焰离子化检测器测定氧浓度的气相色谱仪 |