NL183686B - Werkwijze voor het in een gewenste positie brengen van een van een merkteken voorzien werkstuk ten opzichte van een aftastveld, respektievelijk ten opzichte van een masker. - Google Patents

Werkwijze voor het in een gewenste positie brengen van een van een merkteken voorzien werkstuk ten opzichte van een aftastveld, respektievelijk ten opzichte van een masker.

Info

Publication number
NL183686B
NL183686B NLAANVRAGE7713857,A NL7713857A NL183686B NL 183686 B NL183686 B NL 183686B NL 7713857 A NL7713857 A NL 7713857A NL 183686 B NL183686 B NL 183686B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
brand
bringing
mask
desired position
position against
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE7713857,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL7713857A (nl
NL183686C (nl
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of NL7713857A publication Critical patent/NL7713857A/nl
Publication of NL183686B publication Critical patent/NL183686B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL183686C publication Critical patent/NL183686C/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03F—AMPLIFIERS
    • H03F1/00—Details of amplifiers with only discharge tubes, only semiconductor devices or only unspecified devices as amplifying elements
    • H03F1/30—Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters
    • H03F1/303—Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters using a switching device
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R17/00—Measuring arrangements involving comparison with a reference value, e.g. bridge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H01J37/3045—Object or beam position registration

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
NLAANVRAGE7713857,A 1977-01-20 1977-12-14 Werkwijze voor het in een gewenste positie brengen van een van een merkteken voorzien werkstuk ten opzichte van een aftastveld, respektievelijk ten opzichte van een masker. NL183686C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2702448A DE2702448C2 (de) 1977-01-20 1977-01-20 Verfahren zur Positionierung eines mit einer Marke versehenen Werkstückes relativ zu einem Abtastfeld bzw. zu einer Maske

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7713857A NL7713857A (nl) 1978-07-24
NL183686B true NL183686B (nl) 1988-07-18
NL183686C NL183686C (nl) 1988-12-16

Family

ID=5999235

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7713857,A NL183686C (nl) 1977-01-20 1977-12-14 Werkwijze voor het in een gewenste positie brengen van een van een merkteken voorzien werkstuk ten opzichte van een aftastveld, respektievelijk ten opzichte van een masker.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4152599A (nl)
JP (1) JPS5392670A (nl)
DE (1) DE2702448C2 (nl)
FR (1) FR2377870A1 (nl)
GB (1) GB1597203A (nl)
NL (1) NL183686C (nl)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2726173C2 (de) * 1977-06-08 1982-05-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren und Schaltung zur automatischen Positionierung eines Werkstückes relativ zu einem Abtastfeld bzw. zu einer Maske, sowie Verwendung des Verfahrens
DE2942990A1 (de) * 1979-10-24 1981-05-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur automatischen justierung von strukturen in zwei parallelen ebenen, insbesondere bei der herstellung von integrierten halbleiterschaltungen
GB2159939A (en) * 1984-03-02 1985-12-11 Hewlett Packard Co Detector apparatus
JPS62183118A (ja) * 1986-02-06 1987-08-11 Canon Inc アライメント装置及び方法
TW208757B (nl) * 1992-01-09 1993-07-01 Samsung Electronics Co Ltd
US10529537B1 (en) * 2018-02-12 2020-01-07 Facebook Technologies, Llc Electron flood lithography

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3519788A (en) * 1967-01-13 1970-07-07 Ibm Automatic registration of an electron beam
FR39852E (fr) * 1972-06-30 1932-03-24 Ig Farbenindustrie Ag Procédé de production de colorants solides pour cuve
US3924113A (en) * 1973-06-08 1975-12-02 Ibm Electron beam registration system
NL7609574A (nl) * 1975-09-03 1977-03-07 Siemens Ag Werkwijze voor de beeldweergave van de uit- gangsinformaties van een toestel dat een objekt aftast.

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5392670A (en) 1978-08-14
JPS5436462B2 (nl) 1979-11-09
GB1597203A (en) 1981-09-03
NL7713857A (nl) 1978-07-24
FR2377870A1 (fr) 1978-08-18
DE2702448C2 (de) 1982-12-16
NL183686C (nl) 1988-12-16
US4152599A (en) 1979-05-01
FR2377870B1 (nl) 1980-11-07
DE2702448A1 (de) 1978-07-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL181903C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een beenderimplantaat.
NL7606035A (nl) Werkwijze voor het maken van een resistief masker.
NL7714492A (nl) Werkwijze voor de bereiding van een elektrokatalysator.
NL184480C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een stalen plaat.
NL174719C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een dihydroxybenzeen.
NL188800B (nl) Werkwijze voor het bereiden van adiponitril.
NL7811577A (nl) Inrichting voor lithografie met behulp van een elek- tronenbundel.
NL186042C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een hoogdrukplaat.
NL7806750A (nl) Werkwijze voor het ethyleren van monoalkylbenzenen.
NL189708C (nl) Werkwijze voor het bereiden van canthaxanthine en werkwijze voor het bereiden van een daarvoor geschikt tussenprodukt.
NL182621C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een dialysator en de onder toepassing van deze werkwijze verkregen dialysatoren.
NL7805119A (nl) Werkwijze voor het bereiden van alkenen.
NL7806517A (nl) Werkwijze en inrichting voor het maken van een doek aan een stuk.
NL180612C (nl) Van merktekens voorziene klemhuls voor een strop en een werkwijze voor de vervaardiging daarvan.
NL7805986A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een gelamineerde struktuur.
NL183686C (nl) Werkwijze voor het in een gewenste positie brengen van een van een merkteken voorzien werkstuk ten opzichte van een aftastveld, respektievelijk ten opzichte van een masker.
NL7809713A (nl) Werkwijze voor het bereiden van 7-azabenzimidazolen.
NL7804729A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een fotopolymeersamen- stelling.
NL176483C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een kunstleer.
NL7806816A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van vlakdrukvormen met laserstralen.
NL7806821A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van vlakdrukvormen met laserstralen.
NL181608C (nl) Werkwijze en inrichting voor de vervaardiging van dragers voor magnetogrammen.
NL7707509A (nl) Werkwijze voor de bereiding van carbamaten.
NL7805309A (nl) 2-animotetralien derivaten en werkwijze voor de berei- ding daarvan.
NL7714403A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een looimiddel.

Legal Events

Date Code Title Description
BB A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
A85 Still pending on 85-01-01
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee