NL7713857A - Werkwijze voor het in een gewenste positie brengen van een van een merkteken voorzien werkstuk ten opzichte van een aftastveld, respektievelijk ten opzichte van een masker. - Google Patents

Werkwijze voor het in een gewenste positie brengen van een van een merkteken voorzien werkstuk ten opzichte van een aftastveld, respektievelijk ten opzichte van een masker.

Info

Publication number
NL7713857A
NL7713857A NL7713857A NL7713857A NL7713857A NL 7713857 A NL7713857 A NL 7713857A NL 7713857 A NL7713857 A NL 7713857A NL 7713857 A NL7713857 A NL 7713857A NL 7713857 A NL7713857 A NL 7713857A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
mask
respect
desired position
scanning field
marked work
Prior art date
Application number
NL7713857A
Other languages
English (en)
Other versions
NL183686C (nl
NL183686B (nl
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of NL7713857A publication Critical patent/NL7713857A/nl
Publication of NL183686B publication Critical patent/NL183686B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL183686C publication Critical patent/NL183686C/nl

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03F—AMPLIFIERS
    • H03F1/00—Details of amplifiers with only discharge tubes, only semiconductor devices or only unspecified devices as amplifying elements
    • H03F1/30—Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters
    • H03F1/303—Modifications of amplifiers to reduce influence of variations of temperature or supply voltage or other physical parameters using a switching device
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R17/00—Measuring arrangements involving comparison with a reference value, e.g. bridge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H01J37/3045—Object or beam position registration

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
NLAANVRAGE7713857,A 1977-01-20 1977-12-14 Werkwijze voor het in een gewenste positie brengen van een van een merkteken voorzien werkstuk ten opzichte van een aftastveld, respektievelijk ten opzichte van een masker. NL183686C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2702448A DE2702448C2 (de) 1977-01-20 1977-01-20 Verfahren zur Positionierung eines mit einer Marke versehenen Werkstückes relativ zu einem Abtastfeld bzw. zu einer Maske

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7713857A true NL7713857A (nl) 1978-07-24
NL183686B NL183686B (nl) 1988-07-18
NL183686C NL183686C (nl) 1988-12-16

Family

ID=5999235

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7713857,A NL183686C (nl) 1977-01-20 1977-12-14 Werkwijze voor het in een gewenste positie brengen van een van een merkteken voorzien werkstuk ten opzichte van een aftastveld, respektievelijk ten opzichte van een masker.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4152599A (nl)
JP (1) JPS5392670A (nl)
DE (1) DE2702448C2 (nl)
FR (1) FR2377870A1 (nl)
GB (1) GB1597203A (nl)
NL (1) NL183686C (nl)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2726173C2 (de) * 1977-06-08 1982-05-27 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren und Schaltung zur automatischen Positionierung eines Werkstückes relativ zu einem Abtastfeld bzw. zu einer Maske, sowie Verwendung des Verfahrens
DE2942990A1 (de) * 1979-10-24 1981-05-07 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur automatischen justierung von strukturen in zwei parallelen ebenen, insbesondere bei der herstellung von integrierten halbleiterschaltungen
GB2159939A (en) * 1984-03-02 1985-12-11 Hewlett Packard Co Detector apparatus
JPS62183118A (ja) * 1986-02-06 1987-08-11 Canon Inc アライメント装置及び方法
TW208757B (nl) * 1992-01-09 1993-07-01 Samsung Electronics Co Ltd
US10529537B1 (en) * 2018-02-12 2020-01-07 Facebook Technologies, Llc Electron flood lithography

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3519788A (en) * 1967-01-13 1970-07-07 Ibm Automatic registration of an electron beam
FR39852E (fr) * 1972-06-30 1932-03-24 Ig Farbenindustrie Ag Procédé de production de colorants solides pour cuve
US3924113A (en) * 1973-06-08 1975-12-02 Ibm Electron beam registration system
NL7609574A (nl) * 1975-09-03 1977-03-07 Siemens Ag Werkwijze voor de beeldweergave van de uit- gangsinformaties van een toestel dat een objekt aftast.

Also Published As

Publication number Publication date
US4152599A (en) 1979-05-01
FR2377870A1 (fr) 1978-08-18
GB1597203A (en) 1981-09-03
NL183686C (nl) 1988-12-16
DE2702448A1 (de) 1978-07-27
JPS5392670A (en) 1978-08-14
DE2702448C2 (de) 1982-12-16
NL183686B (nl) 1988-07-18
JPS5436462B2 (nl) 1979-11-09
FR2377870B1 (nl) 1980-11-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7801831A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een gedeco- reerd, waterbestendig, stijf paneel en paneel verkregen met deze werkwijze.
NL7803020A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een opwik- keling.
NL184480C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een stalen plaat.
NL7602349A (nl) Werkwijze voor het uitlijnen van masker en een plaatje.
NL182621C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een dialysator en de onder toepassing van deze werkwijze verkregen dialysatoren.
NL175150B (nl) Inrichting voor het vervaardigen van gerasterde drukvormen.
NL189708C (nl) Werkwijze voor het bereiden van canthaxanthine en werkwijze voor het bereiden van een daarvoor geschikt tussenprodukt.
NL7805320A (nl) Werkwijze respectievelijk inrichting voor het automa- tisch plaatsen van een werkstuk ten opzichte van een aftastveld of ten opzichte van een masker.
NL7807573A (nl) Werkwijze voor het positioneren van plaatvormige werk- stukken met betrekking tot een bewerkingsplaats en een inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
NL7803915A (nl) Inrichting voor de elektrochemische bewerking van een werkstuk.
NL7713857A (nl) Werkwijze voor het in een gewenste positie brengen van een van een merkteken voorzien werkstuk ten opzichte van een aftastveld, respektievelijk ten opzichte van een masker.
NL180612C (nl) Van merktekens voorziene klemhuls voor een strop en een werkwijze voor de vervaardiging daarvan.
NL7802721A (nl) Werkwijze voor het uitlogen van metaalsulfiden.
BE864448A (fr) Werkwijze voor de produktie van onbrandbare synthetische vezels en textielbeschermende produkten, vezels en produkten aldus vervaardigd en mengsel daarbij gebruikt
NL7801730A (nl) Werkwijze voor de bereiding van een urethanelas- tomeer en een aldus verkregen urethanelastomeer.
NL171054C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een n"-cyaan-n'-alkyl-n-Ÿ2-(5-methyl-1h-imidazool -4-yl)-methylthioethylŸ-guanidine.
NL7705545A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een met vezels gewapende samenstelling.
NL7805309A (nl) 2-animotetralien derivaten en werkwijze voor de berei- ding daarvan.
NL176483C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een kunstleer.
NL7604607A (nl) Stellage voor het uitvoeren van werkzaamheden in een gesloten ruimte.
NL7714403A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een looimiddel.
NL181608C (nl) Werkwijze en inrichting voor de vervaardiging van dragers voor magnetogrammen.
NL7805610A (nl) Werkwijze voor het werken met een verdichtings-walsin- richting en inrichting voor toepassing van de werkwij- ze.
NL177051C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een gerasterde drukvorm.
NL173747C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een dipropylacetonitril.

Legal Events

Date Code Title Description
BB A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
A85 Still pending on 85-01-01
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee