NL171757B - Werkwijze voor het aanbrengen van dunne lagen van een gegeven samenstelling op een substraat door een geregelde chemische dampafzetting. - Google Patents

Werkwijze voor het aanbrengen van dunne lagen van een gegeven samenstelling op een substraat door een geregelde chemische dampafzetting.

Info

Publication number
NL171757B
NL171757B NLAANVRAGE7606191,A NL7606191A NL171757B NL 171757 B NL171757 B NL 171757B NL 7606191 A NL7606191 A NL 7606191A NL 171757 B NL171757 B NL 171757B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
applicating
substrate
vapor deposition
chemical vapor
thin layers
Prior art date
Application number
NLAANVRAGE7606191,A
Other languages
English (en)
Other versions
NL7606191A (nl
NL171757C (nl
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of NL7606191A publication Critical patent/NL7606191A/nl
Publication of NL171757B publication Critical patent/NL171757B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL171757C publication Critical patent/NL171757C/nl

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
    • C23C16/52—Controlling or regulating the coating process

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
NLAANVRAGE7606191,A 1975-06-06 1976-06-08 Werkwijze voor het aanbrengen van dunne lagen van een gegeven samenstelling op een substraat door een geregelde chemische dampafzetting. NL171757C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP50067645A JPS51143583A (en) 1975-06-06 1975-06-06 Method for regulating gas-phase chemical reaction

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7606191A NL7606191A (nl) 1976-12-08
NL171757B true NL171757B (nl) 1982-12-01
NL171757C NL171757C (nl) 1983-05-02

Family

ID=13350945

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NLAANVRAGE7606191,A NL171757C (nl) 1975-06-06 1976-06-08 Werkwijze voor het aanbrengen van dunne lagen van een gegeven samenstelling op een substraat door een geregelde chemische dampafzetting.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4072767A (nl)
JP (1) JPS51143583A (nl)
DE (1) DE2625360C3 (nl)
NL (1) NL171757C (nl)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2718184C2 (de) * 1977-04-23 1982-10-14 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Verfahren und Vorrichtung zum kontinuierlichen Beschichten eines langgestreckten Körpers
JPS5694751A (en) * 1979-12-28 1981-07-31 Fujitsu Ltd Vapor growth method
US4292341A (en) * 1980-02-26 1981-09-29 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Method of controlling the index profile of optical fiber preforms
JPS6216515A (ja) * 1985-07-16 1987-01-24 Ulvac Corp プラズマ装置用監視装置
US6342453B1 (en) * 1999-12-03 2002-01-29 Applied Materials, Inc. Method for CVD process control for enhancing device performance
FI20090319A0 (fi) 2009-09-03 2009-09-03 Beneq Oy Prosessinsäätömenetelmä

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4930319B1 (nl) * 1969-08-29 1974-08-12
US3607378A (en) * 1969-10-27 1971-09-21 Texas Instruments Inc Technique for depositing silicon dioxide from silane and oxygen
US3662605A (en) * 1970-05-13 1972-05-16 Nl Industries Inc Method and means for automating computer-controlled production of particulate materials
DE2156498C3 (de) * 1971-11-13 1982-07-22 Klöckner-Humboldt-Deutz AG, 5000 Köln Verfahren zur Herstellung einer unveränderten Mischung einzelner Komponenten mit vorbestimmten Mengenanteilen dieser Komponenten aus mehreren Grundstoffen und Regeleinrichtung zur Durchführung des Verfahrens 4

Also Published As

Publication number Publication date
DE2625360C3 (de) 1980-09-04
DE2625360A1 (de) 1976-12-09
NL7606191A (nl) 1976-12-08
US4072767A (en) 1978-02-07
NL171757C (nl) 1983-05-02
DE2625360B2 (de) 1979-12-20
JPS51143583A (en) 1976-12-09
JPS5518783B2 (nl) 1980-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7606079A (nl) Werkwijze voor het produceren van zinkborium- -silicaatglas via chemische dampafzetting als- mede voorwerpen voorzien van een volgens deze werkwijze afgezette glasfilm.
NL7704529A (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een fotopoly- meriseerbaar preparaat op een substraat.
NL188237C (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een stof uit meerdere lagen.
NL178700C (nl) Inrichting voor het neerslaan van een dunne laag op een substraat.
NL7712200A (nl) Werkwijze voor het bereiden van een samenstel- ling voor het stabiliseren van onstabiele on- dergrondse formaties met verdikte, met zuren verhardbare kunsstofsamenstellingen.
NL160742C (nl) Werkwijze voor het polymeriseren, harden of verknopen van een op een substraat aangebrachte film van een door bestraling hardbaar bekledingsmengsel.
NL184368C (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een antistatische laag op een substraat.
NL7610482A (nl) Werkwijze voor het bereiden van zwavel bevat- tende organosiliciumverbindingen.
JPS51123562A (en) Production method of semiconductor device
NL171757C (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van dunne lagen van een gegeven samenstelling op een substraat door een geregelde chemische dampafzetting.
NL7608397A (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een polyurethanlaag op een substraat.
NL188619B (nl) Werkwijze voor het bereiden van een parfumcompositie door een of meer onverzadigde alifatische nitrillen te mengen met een voor dit doel geschikte drager.
NL7900497A (nl) Werkwijze voor het positioneren van een substraat.
ES2045275T3 (es) Un metodo para formar un revestimiento de oxido de bismuto.
NL7804102A (nl) Werkwijze voor het besturen van de migratie van een chemische stof in een vast substraat.
NL167402B (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een bekleding op een verhit substraat, zoals glas.
NL7712708A (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van een diffusie- barriere op een halfgeleidersubstraat door mid- del van kathodesputteren.
NL190725C (nl) Werkwijze voor het bekleden van een substraat.
NL165852B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een reprografisch kopieermateriaal door een lichtgevoelige laag aan te brengen op een drager.
NL7610541A (nl) Werkwijze voor het elektrolytisch bekleden.
NL168008C (nl) Werkwijze voor het aanbrengen van dielektrische lagen op substraten.
NL7712315A (nl) Werkwijze voor het epitaxiaal neerslaan van verscheidene lagen.
NL7602293A (nl) Werkwijze voor het bereiden van bis (halogeenfe- nyl) fosforverbindingen bevattende preparaten voor het bestrijden van insecten.
NL186904C (nl) Werkwijze voor de bereiding van alkylchlooraromatische verbindingen door katalytische chlorering in aanwezigheid van een organisch sulfide.
BE753520A (nl) Werkwijze voor het neerslaan van een dunne, goedhechtende laag van gouden voorwerpen voorzien van dergelijke lagen

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee

Effective date: 19960101