NL154051B - Inrichting voor materiaalbewerking door middel van corpusculaire straling. - Google Patents
Inrichting voor materiaalbewerking door middel van corpusculaire straling.Info
- Publication number
- NL154051B NL154051B NL656510195A NL6510195A NL154051B NL 154051 B NL154051 B NL 154051B NL 656510195 A NL656510195 A NL 656510195A NL 6510195 A NL6510195 A NL 6510195A NL 154051 B NL154051 B NL 154051B
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- material processing
- corpuscular radiation
- corpuscular
- radiation
- processing
- Prior art date
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DEST022502 | 1964-08-05 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL6510195A NL6510195A (nl) | 1966-02-07 |
NL154051B true NL154051B (nl) | 1977-07-15 |
Family
ID=7459414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL656510195A NL154051B (nl) | 1964-08-05 | 1965-08-05 | Inrichting voor materiaalbewerking door middel van corpusculaire straling. |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3417224A (nl) |
AT (1) | AT263168B (nl) |
BE (1) | BE667877A (nl) |
CH (1) | CH436516A (nl) |
DE (1) | DE1515200C3 (nl) |
GB (1) | GB1086578A (nl) |
NL (1) | NL154051B (nl) |
SE (1) | SE322674B (nl) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3529123A (en) * | 1968-07-24 | 1970-09-15 | Smith Corp A O | Electron beam heating with controlled beam |
US3659097A (en) * | 1971-02-16 | 1972-04-25 | Nat Res Dev | Magnetic lenses |
US5563415A (en) * | 1995-06-07 | 1996-10-08 | Arch Development Corporation | Magnetic lens apparatus for a low-voltage high-resolution electron microscope |
US6051839A (en) | 1996-06-07 | 2000-04-18 | Arch Development Corporation | Magnetic lens apparatus for use in high-resolution scanning electron microscopes and lithographic processes |
JPH11283544A (ja) * | 1998-03-31 | 1999-10-15 | Advantest Corp | 電子ビーム照射装置 |
EP1956631B1 (en) * | 2002-12-17 | 2012-06-20 | ICT Integrated Circuit Testing Gesellschaft für Halbleiterprüftechnik mbH | Lens system for a plurality of charged particle beams |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE903017C (de) * | 1951-01-31 | 1954-02-01 | Sueddeutsche Lab G M B H | Herstellung kleiner Kugeln aus hochschmelzbaren Materialien |
CH311812A (de) * | 1951-11-05 | 1955-12-15 | Zeiss Carl Fa | Aufdampfeinrichtung. |
US2897396A (en) * | 1955-05-10 | 1959-07-28 | Vakutronik Veb | Electron emitting system |
US3152238A (en) * | 1962-05-11 | 1964-10-06 | United Aircraft Corp | Electron beam centering apparatus |
DE1156522B (de) * | 1962-09-25 | 1963-10-31 | Heraeus Gmbh W C | Elektronenlinsenanordnung fuer Elektronenstrahlschmelz- oder -verdampfungsanlagen |
US3351731A (en) * | 1962-10-23 | 1967-11-07 | Jeol Ltd | Method and apparatus for treating material with a charged beam |
US3202794A (en) * | 1963-02-18 | 1965-08-24 | Thermionics Lab Inc | Permanent magnet transverse electron beam evaporation source |
-
1964
- 1964-08-05 DE DE1515200A patent/DE1515200C3/de not_active Expired
-
1965
- 1965-07-30 GB GB32640/65A patent/GB1086578A/en not_active Expired
- 1965-08-02 CH CH1098465A patent/CH436516A/de unknown
- 1965-08-03 AT AT715065A patent/AT263168B/de active
- 1965-08-04 BE BE667877D patent/BE667877A/xx unknown
- 1965-08-05 US US477486A patent/US3417224A/en not_active Expired - Lifetime
- 1965-08-05 SE SE10259/65A patent/SE322674B/xx unknown
- 1965-08-05 NL NL656510195A patent/NL154051B/nl unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE1515200A1 (de) | 1969-09-18 |
AT263168B (de) | 1968-07-10 |
CH436516A (de) | 1967-05-31 |
GB1086578A (en) | 1967-10-11 |
DE1515200C3 (de) | 1974-06-27 |
US3417224A (en) | 1968-12-17 |
BE667877A (nl) | 1965-12-01 |
NL6510195A (nl) | 1966-02-07 |
DE1515200B2 (de) | 1973-11-22 |
SE322674B (nl) | 1970-04-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL141914B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van waterhoudende emulgeermiddelvrije latices. | |
NL143934B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van organotintrihalogeniden. | |
NL145557B (nl) | Werkwijze voor de bereiding van nucleosiden. | |
NL154715B (nl) | Werkwijze voor de dimerisatie van alfa-alkenen. | |
NL153052B (nl) | Inrichting voor het reduceren van de intensiteit van lokaal opgewekte, elektromagnetische straling. | |
NL142699B (nl) | Werkwijze voor de bereiding van gestabiliseerde mengsels op basis van polyalkenen. | |
NL161574C (nl) | Inrichting voor het behandelen van materiaal door middel van lucht. | |
NL145365B (nl) | Fotografisch materiaal en werkwijze voor zijn toepassing. | |
NL148915B (nl) | Werkwijze voor de bereiding van poly-epsilon-caprolactam. | |
NL148618B (nl) | Werkwijze ter bereiding van entcopolymeren. | |
NL154051B (nl) | Inrichting voor materiaalbewerking door middel van corpusculaire straling. | |
NL164027B (nl) | Werkwijze voor het stabiliseren van t-butylhydro- peroxyde. | |
NL147449B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van polyurethanelastomeren. | |
NL139940B (nl) | Werkwijze voor het opwikkelen van foelievormig materiaal. | |
NL147724B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van alkylideen-bisacrylamide. | |
NL149195B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van oplossingen van polyurethanelastomeren. | |
NL149135B (nl) | Werkwijze voor het continu bereiden van alkalifosfaten. | |
NL139531B (nl) | Werkwijze voor de bereiding van aminoisoxazolen. | |
NL150014B (nl) | Inrichting voor het continu uitlogen van fijnverdeeld materiaal. | |
NL157894B (nl) | Werkwijze voor de bereiding van azinen. | |
NL141100B (nl) | Verbetering van een inrichting voor het behandelen van hoogviskeuze stoffen. | |
NL144595B (nl) | Werkwijze voor het bereiden van n-vinyl-n-alkylformamiden. | |
NL144279B (nl) | Werkwijze voor de bereiding van 3-amino-isoxazolen. | |
NL153540B (nl) | Werkwijze voor de bereiding van d-(-)-pantolacton. | |
NL145211B (nl) | Werkwijze voor de bereiding van 11-hydroxysteroiden. |