AT263168B - Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Ladungsträgerstrahles - Google Patents

Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Ladungsträgerstrahles

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AT263168B
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    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
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    • H01J37/04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
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