CH400405A - Verfahren und Einrichtung zur automatischen Fokussierung des Ladungsträgerstrahles in Geräten zur Materialbearbeitung mittels Ladungsträgerstrahl - Google Patents

Verfahren und Einrichtung zur automatischen Fokussierung des Ladungsträgerstrahles in Geräten zur Materialbearbeitung mittels Ladungsträgerstrahl

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CH400405A
CH400405A CH1240462A CH1240462A CH400405A CH 400405 A CH400405 A CH 400405A CH 1240462 A CH1240462 A CH 1240462A CH 1240462 A CH1240462 A CH 1240462A CH 400405 A CH400405 A CH 400405A
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automatic focusing
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CH1240462A
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Fritz Dipl Ing Schleich
Justus Dr Sienknecht
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United Aircraft Corp
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    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K15/00—Electron-beam welding or cutting
    • B23K15/0013—Positioning or observing workpieces, e.g. with respect to the impact; Aligning, aiming or focusing electronbeams
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/21—Means for adjusting the focus

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