CH436516A - Verfahren und Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Korpuskularstrahles - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Korpuskularstrahles

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CH436516A
CH436516A CH1098465A CH1098465A CH436516A CH 436516 A CH436516 A CH 436516A CH 1098465 A CH1098465 A CH 1098465A CH 1098465 A CH1098465 A CH 1098465A CH 436516 A CH436516 A CH 436516A
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CH1098465A
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Meyer Edgar Dr Dipl-Phys
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Steigerwald Gmbh K H
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
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CH1098465A 1964-08-05 1965-08-02 Verfahren und Vorrichtung zur Materialbearbeitung mittels eines Korpuskularstrahles CH436516A (de)

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