NL150167B - Inrichting voor het transporteren van voorwerpen door een vacuuemkamer, waarin die voorwerpen door middel van opdampen of kathodeverstuiven met een laag kunnen worden bedekt. - Google Patents

Inrichting voor het transporteren van voorwerpen door een vacuuemkamer, waarin die voorwerpen door middel van opdampen of kathodeverstuiven met een laag kunnen worden bedekt.

Info

Publication number
NL150167B
NL150167B NL717116671A NL7116671A NL150167B NL 150167 B NL150167 B NL 150167B NL 717116671 A NL717116671 A NL 717116671A NL 7116671 A NL7116671 A NL 7116671A NL 150167 B NL150167 B NL 150167B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
objects
cathod
vaporization
spraying
coated
Prior art date
Application number
NL717116671A
Other languages
English (en)
Dutch (nl)
Other versions
NL7116671A (OSRAM
Original Assignee
Balzers Patent Beteilig Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers Patent Beteilig Ag filed Critical Balzers Patent Beteilig Ag
Publication of NL7116671A publication Critical patent/NL7116671A/xx
Publication of NL150167B publication Critical patent/NL150167B/xx

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/50—Substrate holders

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
NL717116671A 1971-09-21 1971-12-03 Inrichting voor het transporteren van voorwerpen door een vacuuemkamer, waarin die voorwerpen door middel van opdampen of kathodeverstuiven met een laag kunnen worden bedekt. NL150167B (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1382271A CH542772A (de) 1971-09-21 1971-09-21 Einrichtung zum Transportieren von zu beschichtenden Substraten durch eine Vakuumanlage

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL7116671A NL7116671A (OSRAM) 1973-03-23
NL150167B true NL150167B (nl) 1976-07-15

Family

ID=4395631

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL717116671A NL150167B (nl) 1971-09-21 1971-12-03 Inrichting voor het transporteren van voorwerpen door een vacuuemkamer, waarin die voorwerpen door middel van opdampen of kathodeverstuiven met een laag kunnen worden bedekt.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US3787312A (OSRAM)
CH (1) CH542772A (OSRAM)
DE (1) DE2242916C3 (OSRAM)
FR (1) FR2153241B1 (OSRAM)
GB (1) GB1360934A (OSRAM)
NL (1) NL150167B (OSRAM)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5385153A (en) * 1977-01-06 1978-07-27 Mitsubishi Electric Corp Forming method for light reflective metallic film and heat absorbent material film on face panel inside and its unit
DE2950997C2 (de) * 1979-12-18 1986-10-09 Nihon Shinku Gijutsu K.K., Chigasaki, Kanagawa Vorrichtung zum Beschichten
JPS6037188B2 (ja) * 1981-08-27 1985-08-24 三菱マテリアル株式会社 スパツタリング装置
US4423701A (en) * 1982-03-29 1984-01-03 Energy Conversion Devices, Inc. Glow discharge deposition apparatus including a non-horizontally disposed cathode
US4389295A (en) * 1982-05-06 1983-06-21 Gte Products Corporation Thin film phosphor sputtering process
US4576830A (en) * 1984-11-05 1986-03-18 Chronar Corp. Deposition of materials
DE3623970A1 (de) * 1986-07-16 1988-01-28 Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg Transporteinrichtung mit rollensystemen fuer vakuum-beschichtungsanlagen
US4911810A (en) * 1988-06-21 1990-03-27 Brown University Modular sputtering apparatus
DE69230493T2 (de) * 1991-04-04 2000-05-04 Seagate Technology, Inc. Verfahren und vorrichtung zum sputtern mit hoher geschwindigkeit
DE4139549A1 (de) * 1991-11-30 1993-06-03 Leybold Ag Vorrichtung fuer den transport von substraten
EP0572151A3 (en) * 1992-05-28 1995-01-18 Avx Corp Varistors with cathodically vaporized connections and method for depositing cathodically vaporized connections on varistors.
US5565838A (en) * 1992-05-28 1996-10-15 Avx Corporation Varistors with sputtered terminations
AU4652993A (en) 1992-06-26 1994-01-24 Materials Research Corporation Transport system for wafer processing line
DE4301189C2 (de) * 1993-01-19 2000-12-14 Leybold Ag Vorrichtung zum Beschichten von Substraten
DE4428136A1 (de) * 1994-08-09 1996-02-15 Leybold Ag Vakuum-Beschichtungsanlage
DE19630290C2 (de) * 1996-07-26 2000-08-10 Audi Ag Anlage zur Oberflächenbehandlung von Gegenständen, insbesondere von Fahrzeugkarosserien
PL204742B1 (pl) * 2002-05-06 2010-02-26 Guardian Industries Urządzenie powlekające do formowania pierwszej i drugiej powłoki na szklanym substracie
KR20100045124A (ko) * 2008-10-23 2010-05-03 삼성전자주식회사 스퍼터 트레이 이송 시스템
CN102061449B (zh) * 2009-11-16 2013-06-05 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 真空镀膜装置
DE102010017896A1 (de) * 2010-04-21 2011-10-27 Ald Vacuum Technologies Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten nach dem EB/PVD-Verfahren

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1758531A (en) * 1926-10-22 1930-05-13 Elektrodenzerstaubung M B H Ge Vacuum dispersion coating process
US3294670A (en) * 1963-10-07 1966-12-27 Western Electric Co Apparatus for processing materials in a controlled atmosphere
US3288700A (en) * 1963-10-23 1966-11-29 Northern Electric Co Sputtering apparatus including a folded flexible conveyor

Also Published As

Publication number Publication date
CH542772A (de) 1973-10-15
GB1360934A (en) 1974-07-24
DE2242916A1 (de) 1973-03-22
DE2242916B2 (de) 1974-10-03
NL7116671A (OSRAM) 1973-03-23
US3787312A (en) 1974-01-22
FR2153241B1 (OSRAM) 1976-08-13
DE2242916C3 (de) 1975-05-15
FR2153241A1 (OSRAM) 1973-05-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL150167B (nl) Inrichting voor het transporteren van voorwerpen door een vacuuemkamer, waarin die voorwerpen door middel van opdampen of kathodeverstuiven met een laag kunnen worden bedekt.
NL154560B (nl) Werkwijze voor het reinigen van het oppervlak van een op een halfgeleider aangebrachte metaallaag door kathodeverstuiving, alsmede met deze werkwijze vervaardigde halfgeleiderinrichting.
NL142675B (nl) Werkwijze voor het bereiden van een herbicide preparaat, alsmede werkwijze voor het bereiden van voor dit preparaat geschikte thiohydantoinederivaten.
NL167206B (nl) Werkwijze voor het reinigen van aluminium-oppervlakken, alvorens men deze lakt.
NL179202C (nl) Werkwijze voor het bereiden van alkynyl-cyclopropaancarboxylaten, en ten minste een dergelijke verbinding bevattende insecticide preparaten.
NL162111C (nl) Werkwijze voor de bereiding van vulcaniseerbare mengsels met een hoge thermoplasticiteit, alsmede volgens deze werkwijze bereide voorwerpen.
NL172590B (nl) Inrichting voor het trekken van een ultrahoog vacuum, alsmede een cryopomp.
NL159020B (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een voorwerp met een katalytisch oppervlak, en voorwerp, verkregen volgens deze werkwijze.
NL172948C (nl) Werkwijze voor het bereiden van alfa,beta-onverzadigde carbonylverbindingen.
NL180080C (nl) Werkwijze voor het bekleden van een oppervlak van een voorwerp uit titanium, zirconium of tantaal.
NL150849B (nl) Werkwijze voor de bereiding van een nikkel-chroom-aluminiumlegering en voorwerp, vervaardigd uit een dergelijke legering.
NL160010C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een waterige filmvormende polyurethaandispersie alsmede werkwijze voor het vervaardi- gen van een film uit de verkregen dispersie.
NL165769B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een piezo- -elektrisch vormsel uit een vinylideenfluoride polymeer en voorwerp, verkregen met de werkwijze.
NL141903B (nl) Werkwijze voor de bereiding van polyvinylchloridesamenstellingen, en hieruit gemaakte voorwerpen.
NL154505B (nl) Werkwijze voor het bereiden van een preparaat met herbicide werking, met toepassing van deze werkwijze verkregen gevormd preparaat en werkwijze voor het bereiden van een herbicide verbinding, geschikt voor gebruik bij de genoemde werkwijze.
NL175990C (nl) Werkwijze voor het bereiden van een thioureidobenzeen verbinding met anthelmintische, anti-virale en/of fungicide werking en voor het bereiden van een preparaat, dat deze verbinding bevat.
NL171503C (nl) Werkwijze voor het bekleden van de frontplaat van een kathodestraalbuis.
NL157929B (nl) Werkwijze voor het stabiliseren van een polyolefine en voorwerpen vervaardigd uit het zo verkregen polyolefine.
NL162108C (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van vel- of plaat- vormige, cellulaire kunstharsprodukten.
NL168150C (nl) Inrichting voor het vormen van bekervormige metalen voorwerpen.
NL148921B (nl) Werkwijze voor het bereiden van een deklaagvormend middel voor elektroforese.
NL154750B (nl) Werkwijze voor het polymeriseren van alkenen, alsmede voorwerpen, vervaardigd met deze werkwijze.
NL167379B (nl) Inrichting voor het distribueren van voorwerpen, die een voorzichtige behandeling vereisen, zoals fruit.
NL148883B (nl) Werkwijze voor het bereiden van n-fenylthiocarbaminezuurderivaten, werkwijze ter bereiding van preparaten met een werking tegen fungi en gevormde preparaten.
NL151119B (nl) Werkwijze voor het bereiden van een samenstelling voor het elektroforetisch bekleden van voorwerpen, alsmede met deze samenstelling beklede voorwerpen.

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee
NL80 Information provided on patent owner name for an already discontinued patent

Owner name: BALZERS